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一種用于微納米粉體的磁控濺射連續(xù)鍍膜設備的制作方法

文檔序號:11583007閱讀:797來源:國知局

技術領域:

本發(fā)明涉及一種磁控濺射連續(xù)鍍膜設備,尤其涉及一種用于微納米粉體的磁控濺射連續(xù)鍍膜設備。



背景技術:

隨著科技的進步和材料產業(yè)的發(fā)展,微納米粉體的表面鍍膜改性技術已逐漸應用于行業(yè)的方方面面,如電池催化劑、粉體光催化劑等。磁控濺射工藝是一種新型的物理氣相沉積方法,鍍層介質在真空系統(tǒng)中通過濺射的工藝沉積于粉體表面,形成鍍層,中間過程無廢液或廢氣產生,是一種安全環(huán)保的生產工藝。但由于微納米粉體自身的比表面積和表面能比較大,且曲率半徑小,粉體之間容易發(fā)生團聚等現(xiàn)象,若通過簡單的分散方式,無法實現(xiàn)粉體鍍膜的均勻性,因而在微納米粉體表面均勻鍍膜處理的實現(xiàn)具有一定的難度。

專利cn101805893.a中公開了“滾筒式樣品臺以及用其進行粉體顆粒的磁控濺射鍍膜方法”,設備包含滾筒式樣品臺及濺射裝置。專利cn102534520.a中公開了一種“粉末鍍膜設備”,其鍍膜設備包括磁控靶、多工位轉靶、離子槍和反彈振動裝置等,可實現(xiàn)粉體表面鍍膜。

現(xiàn)有的粉體鍍膜設備中,多采用滾筒式鍍膜方式,在分離飄落過程中實現(xiàn)鍍膜。該鍍膜工藝重現(xiàn)性不高,屬于半連續(xù)生產裝置,中間過程監(jiān)控手段有限,無法保證粉體鍍膜的均一性;同時由于結構內部靶材數目有限,無法實現(xiàn)多層鍍膜工藝。專利“一種用于微納米粉體鍍膜的連續(xù)生產設備”提出一種用于微納米粉體的單層或多層鍍膜的連續(xù)生產設備,橫向上將粉體平鋪于輸送帶,利用輸送帶的速度來控制鍍膜時間;縱向上,利用振動電機及超聲波共同控制粉體的抖動及分散,有效的提高粉體鍍膜的均一性。該設備采用振動電機及超聲波作為振動源,振動電機或超聲波均需放置在腔體內部。這種方式存在下列缺陷:(1)磁控濺射長時間運行,腔體內部溫度較高,會達到120~150℃,高于振動電機及超聲波振子長期正常使用溫度(約80℃),長時間使用,振動電機及超聲波振子容易損壞;(2)磁控濺射腔體內部磁場會影響到振動電機及超聲波振子的正常運作;(3)振動電機或超聲波振子電源連接線,長時間在氬氣及磁場環(huán)境下工作,容易發(fā)生輝光放電,電流瞬間增大,容易燒毀振動電機及超聲波電源;(4)電機內多有低 揮發(fā)性物質,影響真空抽氣時間及鍍膜效果。該設備長期使用,穩(wěn)定性下降,勢必需要比較頻繁的維護和更換。



技術實現(xiàn)要素:

正是基于以上問題,本專利提出一種用于微納米粉體的磁控濺射連續(xù)鍍膜設備,該設備可將轉動電機放置于真空腔體外部,避免磁場、電場、溫度對電機的影響,增加設備的工藝穩(wěn)定性及使用壽命,同時利用轉動電機和旋轉振動桿帶動輸送帶振動,實現(xiàn)輸送帶上表面粉體抖動,保證粉體鍍膜均一性。

該微納米粉體磁控濺射連續(xù)鍍膜設備包括真空腔體(1)、輸送帶(2)、旋轉振動裝置(3)、連續(xù)下料裝置(10)、磁控濺射裝置(11)、收料倉(12)和儲料倉(13),具體結構見附圖1。

其中旋轉振動裝置包括旋轉振動桿(4)、傳動桿(5)、聯(lián)軸器(6)、密封件(7)、法蘭(8)和轉動電機(9),具體結構見附圖2。

所述旋轉振動桿(4)位于輸送帶(2)下端,緊貼輸送帶(2)下表面。旋轉振動桿(4)與轉動電機(9)通過傳動桿(5)、聯(lián)軸器(6)連接。將轉動電機(9)的轉動傳送至旋轉振動桿(4),旋轉振動桿(4)帶動輸送帶(2)振動,實現(xiàn)輸送帶上表面粉體抖動,保證粉體鍍膜均一性。

所述旋轉振動桿(4)可選用不銹鋼、鑄鐵、耐高溫橡膠材質。所述旋轉振動桿(4)的截面形狀包含正方形、橢圓形、三角形、五邊形、不規(guī)則多邊形,見附圖3。

旋轉振動桿(4)的形式可采用一體式和多節(jié)式。一體式指整個旋轉振動桿由一根柱狀體構成。多節(jié)式旋轉振動桿由2~10個柱狀體組成,柱狀體之間夾角為0°~360°,實現(xiàn)振動桿徑向方向上振動的差異化控制。多節(jié)式可采用相同的截面形狀的柱狀體組合而成,也可采用不同的截面形狀的柱狀體組合。

所述輸送帶(2)采用特氟龍、硅膠、聚氯乙烯、丁晴橡膠、聚氨酯材質,尤其選取耐高溫的特氟龍、硅膠、丁晴橡膠材質。輸送帶(2)的輸送速度調節(jié)范圍為0.1~5m/min。

傳動桿(5)與真空腔體(1)制件采用動密封結構,動密封可選用o型圈、磁流體密封的形式,避免傳動桿在轉動過程中發(fā)生漏氣。

轉動電機(9)可選用普通電機,通過變頻器及調速器控制旋轉速度,旋轉 速度范圍為20rpm~1000rpm。

使用本發(fā)明提出的一種用于微納米粉體的磁控濺射連續(xù)鍍膜設備的過程如下:

1)在磁控濺射裝置(11)磁控靶的位置裝配所需靶材的種類和個數;

2)向儲料倉(9)內加入目標粒徑的微納米粉體基料;

3)關閉真空腔體(1)腔門,開啟抽氣系統(tǒng),抽真空至工藝所需壓力,打開所需氣瓶,調節(jié)氣體流量工藝參數,控制腔體真空度,開啟濺射電源,調節(jié)各磁控把的濺射電流大?。?/p>

4)開啟輸送帶(2),控制水平輸送速度,開啟轉動電機(9),調整轉速,開啟連續(xù)下料裝置(10),控制下料速度,粉體灑落于輸送帶(2),由輸送帶(2)輸送依次通過磁控把濺射區(qū),在旋轉振動桿(4)的帶動作用下,實現(xiàn)粉體上下翻滾,保證所有粉體各個面均能實現(xiàn)均勻鍍膜;

5)鍍膜完成后,粉體從輸送帶(2)表面下落至收料倉(12)。

附圖說明

圖1為用于微納米粉體的磁控濺射連續(xù)鍍膜設備

1.真空腔體;2.輸送帶;3.旋轉振動裝置;10.連續(xù)下料裝置;11.磁控濺射裝置;12.收料倉;13.儲料倉。

圖2為旋轉振動裝置

1.真空腔體;2.輸送帶;4.旋轉振動桿;5.傳動桿;6.聯(lián)軸器;7.密封件;8.法蘭;9.轉動電機。

圖3旋轉振動桿的截面形狀

1.正方形;2.橢圓形;3.三角形;4.五邊形;5.不規(guī)則多邊形。

圖4旋轉振動桿類型

1.一體式,截面形狀為橢圓;2.三節(jié)式,截面形狀為橢圓,三節(jié)柱狀體之間夾角均為120°。

具體實施方式:

實施例1:

在磁控靶1~8號裝配片型鋁靶,旋轉振動桿采用一體式結構,截面形狀為正三角形。向儲料倉內加入粒徑10~30微米的石英砂,關閉真空腔體腔門,開啟真 空抽氣系統(tǒng),抽真空至4.3×10-3pa,通入50sccm純度為99.999%的氬氣,腔體真空度控制在1.5×10-1pa。開啟1~8號鋁靶直流電源,調節(jié)電流為8a。開啟輸送裝置,控制水平輸送速度為0.5m/min,開啟轉動電機,調整轉速為800rpm。開啟連續(xù)下料裝置,控制下料速度為250g/min。粉體由輸送帶輸送通過鋁靶濺射區(qū)。粉體鍍膜完成后,關閉濺射電源、真空系統(tǒng)、輸送裝置及振動裝置,腔體通大氣,開啟腔門,由收料倉獲得10~30微米鍍鋁石英砂顆粒。

實施例2:

在磁控靶1~4號裝配圓柱型鋁靶,5~8號裝配圓柱型銅靶,旋轉振動桿采用三節(jié)式結構,截面形狀為橢圓形,三節(jié)柱狀體之間夾角均為120°。向儲料倉內加入粒徑20~40微米的方解石,關閉真空腔體腔門,開啟真空抽氣系統(tǒng),抽真空至6.7×10-3pa,通入60sccm純度為99.999%的氬氣,腔體真空度控制在2.0×10-1pa。開啟1~4號鋁靶直流電源,調節(jié)電流為6a;開啟5~8號銅靶直流電源,調節(jié)電流為5a。開啟輸送裝置,控制水平輸送速度為0.8m/min,開啟轉動電機,調整轉速為600rpm。開啟連續(xù)下料裝置,控制下料速度為300g/min。粉體由輸送帶輸送依次通過鋁靶濺射區(qū)和銅靶濺射區(qū)。粉體鍍膜完成后,關閉濺射電源、真空系統(tǒng)、輸送裝置及振動裝置,腔體通大氣,開啟腔門,由收料倉獲得20~40微米鋁-銅復合鍍方解石顆粒。

實施例3:

在磁控靶1~6號裝配圓柱型鈦靶,旋轉振動桿采用四節(jié)式結構,截面形狀為長方形,四節(jié)柱狀體之間的夾角均為90°。向儲料倉內加入粒徑50~60微米的三氧化二鋁,關閉真空腔體腔門,開啟真空抽氣系統(tǒng),抽真空至6.7×10-3pa,通入40sccm純度為99.999%的氬氣,腔體真空度控制在1.0×10-1pa。開啟1~6號鈦靶直流電源,調節(jié)電流為6a;開啟5~8號銅靶直流電源,調節(jié)電流為5a。開啟輸送裝置,控制水平輸送速度為0.8m/min,開啟轉動電機,調整轉速為400rpm。開啟連續(xù)下料裝置,控制下料速度為300g/min。粉體由輸送帶輸送依次通過鈦靶濺射區(qū)。粉體鍍膜完成后,關閉濺射電源、真空系統(tǒng)、輸送裝置及振動裝置,腔體通大氣,開啟腔門,由收料倉獲得50~60微米鍍鈦三氧化二鋁顆粒。

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