輸送控制裝置及輸送臺車的合流點通過方法與流程

本發(fā)明關(guān)于輸送控制裝置及輸送臺車的合流點通過方法。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體器件的制造設(shè)備中，為了在各制造裝置間自動輸送半導(dǎo)體晶圓，使用對承載于設(shè)在各制造裝置的裝載端口（loadport）上的收納多塊半導(dǎo)體晶圓的晶圓承載器（carrier）進行輸送的輸送臺車。

輸送臺車由沿著為避免與人或機械的接觸而設(shè)置在制造設(shè)備的上部空間的行駛導(dǎo)軌、即軌道而自驅(qū)動的行駛部、和被行駛部支撐的物品收納部構(gòu)成，組入有使具備夾住輸送對象物的夾緊（chuck）機構(gòu)的升降體沿著既定的升降路徑升降的升降機構(gòu)。

軌道構(gòu)成為不僅具備單純的直線部，也具備曲線、分支部、合流部等的復(fù)雜的形狀，以按照制造設(shè)備的布局輸送晶圓承載器，多個輸送臺車行駛于同一軌道。

近年，為了提高晶圓承載器的輸送效率，要求許多輸送臺車高速行駛于同一軌道，與之相伴在軌道的合流點對輸送臺車進行有效率的行駛控制成為必要。

在專利文獻1（日本國的公開特許公報即特開昭63－73303號公報）中，公開了自動操縱車輛的交叉點控制方式。自動操縱車輛設(shè)有：探測對交叉點區(qū)的到達或通過的探測單元；接收存在于符合的交叉點區(qū)內(nèi)的其他自動操縱車輛的電波的接收單元；基于由接收單元接收的電波識別交叉點區(qū)內(nèi)有沒有存在其他自動操縱車輛的單元；判斷進入交叉點的優(yōu)先順序，防止多臺自動操縱車輛進入交叉點區(qū)的單元；以及直至進入交叉點區(qū)而通過為止以預(yù)先設(shè)定的周期間歇地發(fā)送的發(fā)送單元。

如圖8所示，在行駛路徑設(shè)定有包圍交叉點的交叉點區(qū)p1和交叉點區(qū)p1的跟前側(cè)的進入確認區(qū)s1，在各個區(qū)的正前面位置配置有由利用自動操縱車輛所具備的探測單元能夠探測的光反射帶構(gòu)成的探測體b1、b2。此外，圖8所示的標(biāo)號與在“具體實施方式”一欄中使用的標(biāo)號無關(guān)聯(lián)性。

關(guān)于自動操縱車輛，若利用探測單元判斷出自己車輛進入了進入確認區(qū)s1，則利用接收單元確認有沒有從其他自動操縱車輛發(fā)送的電波。電波的頻率按每個交叉點區(qū)p1設(shè)定為不同值，因此基于頻率能辨別在符合的交叉點區(qū)p1是否存在其他自動操縱車輛。在判斷為在符合的交叉點區(qū)p1不存在其他自動操縱車輛的情況下，在進入交叉點區(qū)p1、直至通過為止的期間，以按每個自動操縱車輛設(shè)定的固有的周期間歇地發(fā)送在該交叉點設(shè)定的頻率的電波。

在判斷為在符合的交叉點區(qū)p1存在其他自動操縱車輛的情況下，在交叉點區(qū)p1的正前面停止直至來自其他自動操縱車輛的電波中斷為止，若電波中斷則進入交叉點區(qū)p1。

在交叉點區(qū)p1的正前面停止多個自動操縱車輛的情況下，以按每個自動操縱車輛設(shè)定的固有的周期交替地進行固定時間的發(fā)送和剩余時間的接收，在接收來自其他自動操縱車輛的發(fā)送的期間維持停止?fàn)顟B(tài)。這樣處理，以多個自動操縱車輛不會進入交叉點區(qū)p1的方式相互控制。

在專利文獻2（日本國的公開特許公報即特開2000－250627號公報）中，公開了無人輸送車的行駛控制方法，雖然確實地防止了2臺無人輸送車同時向合流區(qū)域內(nèi)進入的情況，但是能夠控制成為使許多臺無人輸送車盡可能迅速地進入合流區(qū)域內(nèi)而提高輸送效率。

該無人輸送車的行駛控制方法是共用輸送路徑而使多臺無人輸送車行駛，并且在無人輸送車間相互進行利用無線電的通訊而一邊限制互相的行駛一邊行駛的方法，如以下那樣構(gòu)成。

即，構(gòu)成為：在輸送路徑的交叉點的周圍設(shè)定合流區(qū)域，并且在合流區(qū)域的各入口的外側(cè)分別設(shè)定確認區(qū)，對到達確認區(qū)的入口的無人輸送車，一邊交替地進行接收和發(fā)送一邊進入確認區(qū)，在確認區(qū)內(nèi)行駛的過程中，接收來自其他車的信號的情況下，停止發(fā)送而使之前進到合流區(qū)域的入口后，在入口邊繼續(xù)接收邊待機，在待機中接收信號消失的的時刻使之進入合流區(qū)域內(nèi)，不接收來自其他車的信號而到達合流區(qū)域的入口的情況下不待機而使之進入合流區(qū)域內(nèi)，在合流區(qū)域的出口停止通信動作。

在專利文獻3（日本國的公開特許公報即特開2010－257184號公報）中，公開了直接檢測交叉點內(nèi)的障礙物，進行交叉點中的進入、退出的控制的無人輸送車的交叉點控制裝置及交叉點控制方法。

在設(shè)定在行駛路徑彼此的交叉部分的第1區(qū)、與第1區(qū)的外側(cè)相接并設(shè)定在行駛路徑每一個的第2區(qū)、和與第2區(qū)的外側(cè)相接并設(shè)定在行駛路徑每一個的第3區(qū)劃分交叉點，在交叉點設(shè)有探測各區(qū)中有沒有障礙物及變化的區(qū)傳感器。

該交叉點控制裝置構(gòu)成為：使進入交叉點的無人輸送車在1個第3區(qū)待機，并且利用區(qū)傳感器，進行全區(qū)中障礙物的探測，在第1區(qū)及第2區(qū)沒有障礙物的情況下，向待機的無人輸送車給予對交叉點的進入許可，在第1區(qū)及第2區(qū)有障礙物的情況下，不向待機的無人輸送車給予對交叉點的進入許可，直至該障礙物從第1區(qū)及第2區(qū)消失為止。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

然而，在上述的專利文獻1記載的交叉點控制技術(shù)中，需要進入到多個進入確認區(qū)的全部的自動操縱車輛間歇地發(fā)送按每個交叉點區(qū)設(shè)定的頻率的電波，探測接收頻率是否為與自己車輛要進入的交叉點區(qū)對應(yīng)的頻率。雖然接收電波但因為微弱而不能探測頻率的情況下，為了避免沖突，需要繼續(xù)進行接收操作，直至能夠確認不是與交叉點區(qū)對應(yīng)的頻率為止。

因此，為了確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性，需要發(fā)送固定強度的電波，結(jié)果存在從多個交叉點區(qū)發(fā)出的電波干涉而容易招致干擾的問題。

進而，需要通過接收單方面發(fā)送的電波來辨別有沒有其他自動操縱車輛，若因干擾而誤探測則有多個自動操縱車輛在同時期進入交叉點區(qū)的擔(dān)憂，相反即便在交叉點區(qū)不存在其他自動操縱車輛的情況下也有停止在進入確認區(qū)的擔(dān)憂。

在上述的專利文獻2記載的交叉點控制技術(shù)中，因為是無人輸送車交替地進行接收和發(fā)送并在接收對象側(cè)的發(fā)送的情況下停止自己的發(fā)出的構(gòu)成，各無人輸送車的發(fā)送定時或接收定時重復(fù)的概率并不為零，所以，即便能降低干擾的發(fā)生概率，也不能完全防止干擾。另外，在任何情況下，都會接收不特定的對象側(cè)的發(fā)出電波而單方面進行動作，因此在確認對象側(cè)而進行動作從而確?？煽啃赃@一觀點上有改良的余地。

進而，在上述的專利文獻3記載的交叉點控制技術(shù)中，存在這樣的問題，即需要設(shè)置按每個交叉點探測障礙物的區(qū)傳感器和基于該區(qū)傳感器進行在交叉點的行駛控制的設(shè)備，設(shè)備成本上漲。

本發(fā)明的目的在于這一點，即鑒于上述問題，提供不會招致設(shè)備成本的高漲、或無線電的干擾而能夠更加確實且安全地通過合流點的輸送控制裝置及輸送臺車的合流點通過方法。

為了達到上述目的，利用本發(fā)明的輸送控制裝置，搭載于輸送臺車并基于來自系統(tǒng)控制器的指令沿著包括合流點的既定的輸送路徑進行行駛控制，其特征結(jié)構(gòu)為設(shè)有：合流點附近區(qū)域進入探測控制部，探測對設(shè)定在所述輸送路徑所包含的各合流點附近的合流點附近區(qū)域的進入；障礙物探測部，探測在該輸送臺車的周邊是否存在障礙物；無線通信部，若由所述合流點附近區(qū)域進入探測控制部探測到對各合流點附近區(qū)域的進入，則使用按每個合流點設(shè)定為不同值的共同的頻帶及共同的識別代碼在其他輸送臺車與本地（local）進行無線通訊；以及合流點通過控制部，在由所述障礙物探測部探測到在所述合流點附近區(qū)域存在其他輸送臺車時，啟動所述無線通信部，通過所述無線通信部，在與其他輸送臺車的信號交換（handshake）成立后按照按每個對該合流點的進入路徑設(shè)定的優(yōu)先次序通過合流點。

優(yōu)選所述無線通信部構(gòu)成為：進入優(yōu)先次序高的進入路徑的輸送臺車的輸送控制裝置成為主控臺，進入優(yōu)先次序低的進入路徑的輸送臺車的輸送控制裝置成為子控臺而進行所述信號交換，所述合流點通過控制部構(gòu)成為：在所述信號交換成立后如果為進入優(yōu)先次序高的進入路徑的輸送臺車則優(yōu)先而通過合流點。

優(yōu)選構(gòu)成為：進入優(yōu)先次序低的進入路徑的輸送臺車，在接收到來自進入優(yōu)先次序高的進入路徑的輸送臺車的合流點通過完成信號后、或在所述信號交換中斷后通過合流點。

優(yōu)選構(gòu)成為：所述合流點附近區(qū)域進入探測控制部通過探測設(shè)置在各合流點的進入路徑附近的標(biāo)志來判定對各合流點附近區(qū)域的進入。

優(yōu)選按每個合流點設(shè)定的頻帶及識別代碼、和/或按每個進入路徑的優(yōu)先次序，預(yù)先存儲在所述輸送控制裝置所具備的存儲部。

優(yōu)選構(gòu)成為：在由所述障礙物探測部未探測到存在其他輸送臺車時，不啟動所述無線通信部及所述合流點通過控制部，而通過該合流點。

優(yōu)選構(gòu)成為：對被所述輸送控制裝置控制并進行用于在所述輸送臺車與轉(zhuǎn)移貨物的工位（staion）之間轉(zhuǎn)移貨物的通信的光通信部，一體地組入所述無線通信部，若利用所述合流點附近區(qū)域進入探測控制部探測到對合流點附近區(qū)域的進入，則利用所述輸送控制裝置代替所述光通信部而啟動所述無線通信部，若所述輸送臺車靠近所述工位，則代替所述無線通信部而啟動所述光通信部。

利用本發(fā)明的輸送臺車的合流點通過方法，被搭載于輸送臺車并基于來自系統(tǒng)控制器的指令沿著既定的輸送路徑對所述輸送臺車進行行駛控制的輸送控制裝置執(zhí)行，其特征構(gòu)成為通過所述輸送控制裝置執(zhí)行以下步驟：合流點附近區(qū)域進入探測控制步驟，探測對設(shè)定在所述輸送路徑所包含的各合流點附近的合流點附近區(qū)域的進入；障礙物探測步驟，探測在該輸送臺車的周邊是否存在障礙物；無線通信步驟，若由所述合流點附近區(qū)域進入探測控制步驟探測到對各合流點附近區(qū)域的進入，則使用按每個合流點設(shè)定為不同值的共同的頻帶及共同的識別代碼在其他輸送臺車與本地進行無線通訊；以及合流點通過控制步驟，在由所述障礙物探測步驟探測到在所述合流點附近區(qū)域存在其他輸送臺車時啟動所述無線通信步驟，在通過所述無線通信步驟與其他輸送臺車的信號交換成立后按照按每個對該合流點的進入路徑設(shè)定的優(yōu)先次序通過合流點。

優(yōu)選所述無線通信步驟構(gòu)成為：進入優(yōu)先次序高的進入路徑的輸送臺車的輸送控制裝置成為主控臺，進入優(yōu)先次序低的進入路徑的輸送臺車的輸送控制裝置成為子控臺而進行所述信號交換，所述合流點通過控制步驟構(gòu)成為：在所述信號交換成立的情況下進入優(yōu)先次序高的進入路徑的輸送臺車優(yōu)先而通過合流點。

優(yōu)選構(gòu)成為：進入優(yōu)先次序低的進入路徑的輸送臺車，在從進入優(yōu)先次序高的進入路徑的輸送臺車接收到合流點通過完成的信號后、或在所述信號交換中斷后通過合流點。

優(yōu)選所述合流點附近區(qū)域進入探測控制步驟構(gòu)成為：通過探測設(shè)置在各合流點的進入路徑附近的標(biāo)志來判定對各合流點附近區(qū)域的進入。

優(yōu)選按每個合流點設(shè)定的頻帶及識別代碼、和/或按每個進入路徑的優(yōu)先次序，預(yù)先存儲在所述輸送控制裝置所具備的存儲部。

優(yōu)選構(gòu)成為：在由所述障礙物探測部未探測到存在其他輸送臺車時，不啟動所述無線通信步驟及所述合流點通過控制步驟，而通過該合流點。

利用本發(fā)明的輸送臺車的合流點通過方法，是沿著包括多個合流點的輸送路徑而自驅(qū)動的多個輸送臺車的合流點通過方法，其特征構(gòu)成為：各輸送臺車對所述合流點附近區(qū)域進入時若探測到其他輸送臺車則停止或減速行駛，使用按每個合流點設(shè)定為不同值的共同的頻帶及識別代碼來與其他輸送臺車進行無線通訊，若信號交換成立則按每個對該合流點的進入路徑設(shè)定的優(yōu)先次序高的輸送臺車優(yōu)先通過合流點，若所述信號交換結(jié)束則其后優(yōu)先次序低的輸送臺車通過合流點。

優(yōu)選構(gòu)成為：各輸送臺車對所述合流點附近區(qū)域進入時如果未探測到其他輸送臺車，則不停止行駛而通過合流點。

進而，關(guān)于其他發(fā)明，通過參照以下的實施例而被明確地表示。

附圖說明

在附圖中，通過舉例而非限制的方式示出本公開的一些實施例。

圖1是半導(dǎo)體器件的制造設(shè)備及輸送臺車的說明圖。

圖2是在輸送臺車與制造裝置間進行的晶圓承載器的交接處理的說明圖。

圖3是輸送控制裝置的功能塊結(jié)構(gòu)圖。

圖4a、圖4b、圖4c是各個輸送臺車的合流點通過方法的說明圖。

圖5是表示輸送控制裝置的行駛控制的流程圖。

圖6是表示輸送控制裝置的合流點通過控制的流程圖。

圖7是在合流點附近的輸送臺車間的通信順序的說明圖。

圖8是現(xiàn)有的技術(shù)的說明圖。

具體實施方式

以下，以半導(dǎo)體器件的制造設(shè)備所具備的無人的輸送臺車為例，說明利用本發(fā)明的輸送控制裝置及輸送臺車的合流點通過方法。本發(fā)明是以在多個輸送臺車1想要同時進入合流點cp的情況下，事先防止沖突為目的的發(fā)明。

如圖1所示，半導(dǎo)體器件的制造設(shè)備100具備：沿著既定的通路配置并用于對半導(dǎo)體晶圓依次實施既定的處理的各種制造裝置1（1a～1l）；以沿著各制造裝置1的方式吊設(shè)在頂棚的行駛導(dǎo)軌5；以及沿著行駛導(dǎo)軌5行駛并在制造裝置1（1a～1l）間自動輸送半導(dǎo)體晶圓w的多個輸送臺車10。各制造裝置1（1a～1l）按一系列連貫的每個制造工序分開設(shè)置在停車場6、7。

各輸送臺車10構(gòu)成為：基于來自系統(tǒng)控制器h的指令，夾持承載于各制造裝置1的裝載端口2上的收納多塊半導(dǎo)體晶圓w的晶圓承載器3，在與其他制造裝置1之間、或與暫時保管晶圓承載器3的儲料器st之間往來，使晶圓承載器3承載于輸送目的地的裝載端口2上。

行駛導(dǎo)軌5不僅具備單純的直線部，而且具備曲線、分支部、合流部等而構(gòu)成。例如，由連結(jié)各停車場6、7間的工序間導(dǎo)軌5a、連結(jié)設(shè)置在各停車場6、7的制造裝置1間的工序內(nèi)導(dǎo)軌5b、連結(jié)工序間導(dǎo)軌5a和工序內(nèi)導(dǎo)軌5b的分支導(dǎo)軌5c、使行駛于工序內(nèi)導(dǎo)軌5b內(nèi)的輸送臺車10暫時退避的退避導(dǎo)軌5d、用于輸送臺車10向儲料器st裝卸晶圓承載器3的分流導(dǎo)軌5e等構(gòu)成。

分支導(dǎo)軌5c是連接工序間導(dǎo)軌5a和工序內(nèi)導(dǎo)軌5b的導(dǎo)軌，行駛的輸送臺車10沿著分支導(dǎo)軌5c行駛，從而在工序間導(dǎo)軌5a與工序內(nèi)導(dǎo)軌5b互相往來。

退避導(dǎo)軌5d從工序內(nèi)導(dǎo)軌5b分支而設(shè)，例如，在以下情況被使用，即為了輸送臺車10的維護等，使輸送臺車1暫時從工序內(nèi)導(dǎo)軌5b退避。

分流導(dǎo)軌5e從工序間導(dǎo)軌5a分支，用于將被行駛于工序間導(dǎo)軌5a的輸送臺車1夾持的晶圓承載器3暫時在儲料器st保管的情況等。

分支導(dǎo)軌5c與工序間導(dǎo)軌5a的連接點、分支導(dǎo)軌5c與工序內(nèi)導(dǎo)軌5b的連接點、退避導(dǎo)軌5d與工序內(nèi)導(dǎo)軌5b的連接點、分流導(dǎo)軌5e與工序間導(dǎo)軌5a的連接點成為合流點cp（圖1中，以單點劃線的圓圈標(biāo)識表示）。

如圖2所示，行駛導(dǎo)軌5由在下壁形成沿著長度方向的狹縫狀的開口5a的截面矩形的管狀體構(gòu)成。輸送臺車10夾著該狹縫5a而由沿著管狀體的下壁的內(nèi)側(cè)上表面行駛的行駛部10a、和經(jīng)由連結(jié)件與行駛部10a連結(jié)并且位于管狀體的下壁的下方的把持部10b構(gòu)成。

行駛部10a設(shè)有：在行駛基座前后安裝一對車輪并且驅(qū)動車輪的行駛馬達、把持晶圓承載器3并輸送到目的制造裝置1的輸送控制部、探測存在于前進方向的障礙物的障礙物探測部、供電部等。在管狀體的側(cè)壁內(nèi)表面沿著長度方向配設(shè)有供電線，構(gòu)成為經(jīng)由行駛基座所具備的供電部能夠從供電線接受電力。進而構(gòu)成為以供電線為通信介質(zhì)在系統(tǒng)控制器h與輸送控制部之間能夠進行數(shù)據(jù)通信。

此外，系統(tǒng)控制器h與輸送控制部之間的數(shù)據(jù)通信并不限于以供電線為通信介質(zhì)的情況，也可以構(gòu)成為用以電磁波為通信介質(zhì)的無線電進行。即便在以下的說明中，代替以供電線為通信介質(zhì)的數(shù)據(jù)通信而采用利用以電磁波為通信介質(zhì)的無線電的數(shù)據(jù)通信的方式也可。

作為障礙物探測部使用在光源上使用近紅外線的激光二極管的掃描型測距裝置，探測在前進方向前方是否有障礙物（參照圖3的標(biāo)號26）。

在把持部10b組入有升降機構(gòu)10e，其具備使具備用于夾持晶圓承載器3的夾緊機構(gòu)10c的升降體10d沿著既定的升降路徑升降的帶（belt）及提升馬達。

利用上述行駛馬達、輸送控制部、障礙物探測部、供電部來構(gòu)成輸送控制裝置c。輸送控制裝置c基于經(jīng)由供電線接收的來自系統(tǒng)控制器h的指令，總括地控制輸送臺車10，以從既定的制造裝置1接受既定的晶圓承載器3，輸送到輸送目的地的制造裝置1，在該制造裝置1的裝載端口提交晶圓承載器3。

在圖3表示輸送控制裝置c的主要部分的功能塊結(jié)構(gòu)。輸送控制裝置c具備：對輸送臺車10進行行駛控制到作為目的的制造裝置1，并且對該制造裝置1的裝載端口轉(zhuǎn)移控制晶圓承載器3的輸送控制部20；以及在與制造裝置1之間或與其他輸送臺車10之間進行本地通信的本地通信部30。

輸送控制部20具備高功能微型計算機及由存儲器、或輸入輸出電路等的周邊電路而成的硬件而構(gòu)成，由用高功能微型計算機的cpu執(zhí)行存放在存儲器的控制程序而實現(xiàn)期望的功能的電子電路構(gòu)成。

若分為功能塊來說明輸送控制部20，則具備：經(jīng)由供電線與系統(tǒng)控制器h進行通信的主機接口21；由存儲來自系統(tǒng)控制器h的發(fā)送信息或各種控制信息的半導(dǎo)體存儲器構(gòu)成的存儲部22；在與制造裝置1之間進行晶圓承載器3的轉(zhuǎn)移處理的轉(zhuǎn)移控制部23；基于來自系統(tǒng)控制器h的指令使輸送臺車10向目的制造裝置1等進行行駛控制的行駛控制部24；以及與本地通信部30進行通信的串行通信接口27等。

本地通信部30具備具備發(fā)光二極管及光敏晶體管的光通信電路、具備無線天線和振蕩器和調(diào)制解調(diào)器的無線通信電路、控制光通信電路及無線通信電路的低功能微型計算機及存儲器等的硬件而構(gòu)成，由低功能微型計算機的cpu執(zhí)行存放在存儲器的控制程序而進行光通信功能或無線通信。

若分為功能塊來說明本地通信部30，則具備：在與設(shè)在輸送控制部20的串行通信接口27之間進行通信的串行通信接口31；在與設(shè)在制造裝置1的光通信部2c之間進行光通信的光通信部34；在與其他輸送臺車10之間進行無線通信的無線通信部35；控制光通信部34及無線通信部35的通信控制部33；由存儲經(jīng)由串行通信接口31從輸送控制部20得到的數(shù)據(jù)、在光通信部34及無線通信部35使用的收發(fā)數(shù)據(jù)等的半導(dǎo)體存儲器構(gòu)成的存儲部32等。

通信控制部33構(gòu)成為：基于經(jīng)由串行通信接口31、27從輸送控制部20發(fā)送的指令，驅(qū)動光通信部34或無線通信部35而向通信對象發(fā)送必要的數(shù)據(jù)，并且將從通信對象接收的數(shù)據(jù)向輸送控制部20發(fā)送。

在主機接口21上使用tcp/ip協(xié)議，在串行通信接口27、31上使用利用rs232c的非同步串行通信協(xié)議。進而，光通信部34構(gòu)成為基于semie84－0200a接口標(biāo)準等而動作，無線通信部35使用既定的頻帶及既定的ssid（也稱為“識別代碼”。）進行一方為主控臺而另一方為子控臺的分組通信。

行駛控制部24按照從系統(tǒng)控制器h發(fā)送并存儲在存儲部22的行駛路線對輸送臺車10進行行駛控制，若靠近成為目的的制造裝置1附近則減速并啟動光通信部34。

在制造裝置1所具備的光通信部2c與本地通信部30所具備的光通信部34之間開始進行光通信，在隨著輸送臺車10的移動而光軸一致、從而確立光通信的位置利用輸送控制部使輸送臺車10停止。利用此時的光通信，互相確認彼此為成為目的的制造裝置1，為接納用的輸送臺車10。

其后，啟動轉(zhuǎn)移控制部23而進行晶圓承載器3的轉(zhuǎn)移處理。此外，圖2中，標(biāo)號r表示配置各制造裝置1（1a、1b、1c、1d）的通路。若利用轉(zhuǎn)移控制部23的轉(zhuǎn)移處理結(jié)束，則行駛控制部24向下一個制造裝置1開始行駛控制。

在存儲部22預(yù)先存放有經(jīng)由主機接口21從系統(tǒng)控制器h發(fā)送的路線信息。行駛控制部24基于設(shè)在車輪的回轉(zhuǎn)式編碼器的輸出掌握如何在由路線信息表示的任何地點行駛，通過讀取在行駛導(dǎo)軌5的側(cè)壁內(nèi)表面的重要地點所具備的光反射型標(biāo)志，一邊進行位置確認一邊行駛控制至目的地。

那樣的光反射型標(biāo)志的一部分配置在圖1所示的由以合流點cp為中心的既定的半徑描繪的合流點附近區(qū)域的跟前及正后面。即，當(dāng)探測到跟前的標(biāo)志時能夠識別出靠近向合流點的進入路徑，若探測到正后面的標(biāo)志則能夠識別出進入了從合流點的退出路徑。

行駛控制部24構(gòu)成為：在行駛于行駛導(dǎo)軌5的合流點cp時，以在合流點不與行駛于其他行駛導(dǎo)軌5的其他輸送臺車10發(fā)生沖突或接觸事故的方式，控制成以預(yù)先決定的既定的程序通過合流點cp。以下，詳細描述利用行駛控制部24執(zhí)行的合流點通過控制。

行駛控制部24具備：合流點附近區(qū)域進入探測控制部24a、無線通信部24b、以及合流點通過控制部24c。合流點附近區(qū)域進入探測控制部24a具備由反射型光敏傳感器構(gòu)成的合流點標(biāo)志探測部25、和探測合流點附近區(qū)域是否存在其他輸送臺車的障礙物探測部26。作為無線通信部24b使用上述無線通信部35。

合流點附近區(qū)域進入探測控制部24a在基于來自合流點標(biāo)志探測部25的輸出探測到對設(shè)定在各合流點附近的合流點附近區(qū)域的進入時，若基于來自障礙物探測部26的輸出判斷為在該合流點附近區(qū)域不存在其他輸送臺車，則保持原狀通過合流點cp。

如圖4a所示，合流點附近區(qū)域進入探測控制部24a基于來自合流點標(biāo)志探測部25的輸出探測對設(shè)定在各合流點附近的合流點附近區(qū)域9的進入。此時，若基于來自障礙物探測部26的輸出判斷為在該合流點附近區(qū)域9存在其他輸送臺車10，則經(jīng)由串行通信接口27啟動本地通信部30的無線通信部35（24b），并且在比合流點cp更靠跟前即能夠避免沖突的位置停止輸送臺車10的行駛。圖4a中，標(biāo)號m表示標(biāo)志。

在存儲部22預(yù)先存儲經(jīng)由主機接口21從系統(tǒng)控制器h發(fā)送的路線信息，而且還存儲按每個合流點cp為不同值的本地通信用的頻帶數(shù)據(jù)及識別代碼，并且存儲有對進入各合流點的路線附上的優(yōu)先次序數(shù)據(jù)。此外，路線信息以外的信息、即按每個合流點cp為不同值的本地通信用的頻帶數(shù)據(jù)及識別代碼或優(yōu)先次序數(shù)據(jù)，也可以預(yù)先在存儲部中作為默認值而設(shè)定。

合流點附近區(qū)域進入探測控制部24a若探測到對合流點附近區(qū)域9的進入，則從存儲部22讀出按每個合流點cp設(shè)定為不同值的頻帶及識別代碼并向通信控制部33發(fā)送。通信控制部33向存儲部32存儲該頻帶及識別代碼，并且啟動無線通信部24b，使用該頻帶及識別代碼在與其他輸送臺車10的無線通信部24b之間進行無線通訊。

此時，按照對進入各合流點的路線附上的優(yōu)先次序數(shù)據(jù)，行駛于優(yōu)先次序高的路線的輸送臺車10成為無線主控臺，行駛于優(yōu)先次序低的路線的輸送臺車10成為無線子控臺，互相進行無線通訊。

無線主控臺和無線子控臺兩者以按每個合流點cp設(shè)定的固有的頻帶及識別代碼進行無線通訊，因此無需擔(dān)憂與在其他合流點所使用的頻帶的信號的干擾，因而也可以不是強度那么高的電波。另外按每個合流點cp以共同的識別代碼進行無線通訊，因此能確實地保證為在該合流點cp的無線通訊，可靠性也提高。

若通過無線通信部24b與其他輸送臺車的信號交換成立，則該主旨從通信控制部33經(jīng)由串行通信接口31、27向行駛控制部24的合流點附近區(qū)域進入探測控制部24a發(fā)送，其結(jié)果，啟動合流點通過控制部24c，按照按每個對該合流點cp的進入路徑設(shè)定的優(yōu)先次序通過合流點。

即，如圖4b所示，優(yōu)先次序高的輸送臺車10構(gòu)成為：一邊維持信號交換狀態(tài)一邊優(yōu)先通過合流點cp，若對合流點cp的通過結(jié)束，則切斷無線通信。

而且，如圖4c所示，進入優(yōu)先次序低的進入路徑的輸送臺車10構(gòu)成為：若信號交換中斷或者通信結(jié)束，則判斷為優(yōu)先次序高的輸送臺車10對合流點cp通過的結(jié)束，其后通過合流點cp。

圖4a、圖4b、圖4c中，以標(biāo)號10a表示從優(yōu)先次序高的路線進入合流點附近區(qū)域9的輸送臺車10，以標(biāo)號10b表示從優(yōu)先次序低的路線進入合流點附近區(qū)域9的輸送臺車10。

依據(jù)上述的構(gòu)成，按照預(yù)先按每個進入路徑?jīng)Q定的優(yōu)先次序，優(yōu)先次序高的輸送臺車成為主控臺，優(yōu)先次序低的輸送臺車成為子控臺而進行無線通訊，因此能夠流暢地進行信號交換。

此外，也可以優(yōu)先次序高的輸送臺車10構(gòu)成為：不是若對合流點cp的通過結(jié)束則切斷無線通信，而是探測從合流點的退出路徑所具備的標(biāo)志并在判斷為對合流點cp的通過結(jié)束時，利用無線通信發(fā)送合流點的通過完成信號，而進入優(yōu)先次序低的進入路徑的輸送臺車10構(gòu)成為：若接收到合流點的通過完成信號并結(jié)束通信，則其后通過合流點cp。

根據(jù)利用無線通訊信號交換是否成立，兩者能夠識別存在其他輸送臺車，因此無需輕率地單方面發(fā)出電波。因此幾乎不存在電波干擾的擔(dān)憂，也能降低無線通訊所需要的電力。

在本實施方式中，能夠使用對具備基于現(xiàn)有的semie84－0200a接口標(biāo)準等進行動作的光通信部34及其通信控制部33等的通信器件，進一步組入無線通信部35而作為本地通信部30具備兩個功能的通信器件。

即，構(gòu)成為：對被輸送控制部20控制并且進行用于在輸送臺車10與轉(zhuǎn)移貨物的工位1之間轉(zhuǎn)移貨物3的通信的光通信部34，一體地組入無線通信部35，若通過合流點附近區(qū)域進入探測控制部探測到對合流點附近區(qū)域的進入，則利用輸送控制部20代替光通信部34而啟動無線通信部35，若輸送臺車10向工位1靠近，則代替無線通信部35而啟動光通信部34。

因而，輸送控制部20和光通信部34及無線通信部35間的通信接口能夠簡化而為一個串行通信接口31，變得能夠減小通信器件的安裝空間。此外，光通信部34和無線通信部35不會同時動作，因此即便組入為一體也不會增大控制它們的微型計算機等的控制負擔(dān)，變得能夠采用廉價的微型計算機而實現(xiàn)兩者功能。

如圖5所示，行駛控制部24若經(jīng)由主機接口21接收到從系統(tǒng)控制器h發(fā)送的轉(zhuǎn)送目的地的制造裝置1的信息，則向該制造裝置1進行行駛控制（sa1），并且向本地通信部30的通信控制部33進行指示，以使光通信部34切換到激活狀態(tài)而以光通信模式進行動作（sa2），使輸送臺車10向轉(zhuǎn)送目的地的制造裝置1進行行駛控制（sa3）。

若在行駛中利用合流點標(biāo)志探測部25探測到合流點標(biāo)志m（sa4，是（y）），則以使無線通信部35切換到激活狀態(tài)以無線通信模式進行動作的方式向本地通信部30的通信控制部33進行指示而減速（sa10）。其后，執(zhí)行利用合流點附近區(qū)域進入探測控制部24a的合流點通過控制（sa11），若通過合流點，則以使光通信部34切換到激活狀態(tài)以光通信模式進行動作的方式向本地通信部30的通信控制部33進行指示（sa12），執(zhí)行步驟sa5以后的處理。

在行駛中利用合流點標(biāo)志探測部25探測到合流點標(biāo)志m之前（sa4，否（n）），若到達轉(zhuǎn)送目的地的制造裝置1附近（sa5，是（y）），則使輸送臺車減速，并且經(jīng)由光通信部34在與轉(zhuǎn)送目的地的制造裝置1的光通信部2c之間進行光通信（sa6），若光通信成功而能夠確認為轉(zhuǎn)送目的地的制造裝置1（sa7），則停止行駛（sa8），進行晶圓承載器的轉(zhuǎn)移處理（sa9），重復(fù)從步驟sa1開始的處理。

圖6中，表示圖5中說明的步驟sa11的合流點通過控制的詳細情況。行駛控制部24（合流點附近區(qū)域進入探測控制部24a）若基于來自障礙物探測部26的輸出判斷為在該合流點附近區(qū)域9存在其他輸送臺車10（參照圖4a）（sb1），則經(jīng)由本地通信部30的無線通信部35開始既定的無線通信處理（sb2）。

若能夠確認與其他輸送臺車10之間利用無線通信的信號交換（sb3，是（y）），則如果為主控臺側(cè)的輸送臺車10、即為行駛于優(yōu)先次序高的路線的輸送臺車10（參照圖4b的標(biāo)號10a）（sb4，是（y）），則向合流點cp進行行駛控制，若通過合流點cp（sb5），則結(jié)束無線通信處理（sb6）。

若步驟sb3中信號交換花費時間，則在合流點附近區(qū)域9停止，在預(yù)先設(shè)定的等待時間的期間重復(fù)進行無線發(fā)送，若經(jīng)過等待時間（sb7），則判斷為發(fā)生錯誤而緊急停止（sb8），經(jīng)由主機接口21向系統(tǒng)控制器h發(fā)送發(fā)生異常狀態(tài)的主旨的信號（sb9）。

在步驟sb3中，子控臺側(cè)的輸送臺車10、即行駛于優(yōu)先次序低的路線的輸送臺車10（參照圖4b的標(biāo)號10b），在合流點附近區(qū)域9停止，一邊等待來自主控臺的存在確認通知一邊執(zhí)行步驟sb7以后的時間錯誤處理。

在步驟sb4中，如果為子控臺側(cè)的輸送臺車10、即為行駛于優(yōu)先次序低的路線的輸送臺車10（參照圖4b的標(biāo)號10b）（sb4，否（n）），則在與主控臺之間的利用無線電的通訊的繼續(xù)過程中，維持在合流點附近區(qū)域停止的狀態(tài)，若切斷與主控臺之間的無線通信（sb10），則判斷為主控臺側(cè)的輸送臺車10通過合流點cp，其后通過合流點（sb11）。

在步驟sb1中，若基于來自障礙物探測部26的輸出判斷為在該合流點附近區(qū)域9不存在其他輸送臺車10，則不在合流點附近區(qū)域減速、停止而通過合流點cp（sb5）。此外，在該情況下，不會執(zhí)行步驟sb6。

在圖7中，表示了對置的輸送臺車10分別具備的行駛控制部24（合流點附近區(qū)域進入探測控制部24a）及無線通信部35（24b）彼此的收發(fā)序列等。

若利用合流點標(biāo)志探測部25探測到合流點標(biāo)志m，基于來自障礙物探測部26的輸出判斷為在合流點附近區(qū)域9存在其他輸送臺車10，則以優(yōu)先次序高的行駛路徑靠近合流點附近區(qū)域9的輸送臺車10a的行駛控制部24，經(jīng)由串行通信接口27、31（參照圖3）向通信控制部33發(fā)送利用無線通信部35的通信模式的設(shè)定信息。

具體而言，發(fā)送作為通信主控臺進行動作的主旨的設(shè)定信息（sc1），若探測到來自通信控制部33的應(yīng)答（sc2），則發(fā)送按每個合流點附近區(qū)域9設(shè)定為固有值的信道信息（頻帶）及id信息（識別代碼）（sc3），探測來自通信控制部33的應(yīng)答（sc4）。在該狀態(tài)下被通信控制部33控制的無線通信部35作為主控臺而成為能夠無線通信的狀態(tài)。

在優(yōu)先次序低的行駛路徑上靠近合流點附近區(qū)域9的輸送臺車10b的行駛控制部24，經(jīng)由串行通信接口27、31（參照圖3）向通信控制部33發(fā)送利用無線通信部35的通信模式的設(shè)定信息。

具體而言，發(fā)送作為通信子控臺進行動作的主旨的設(shè)定信息（sd1），若探測到來自通信控制部33的應(yīng)答（sd2），則發(fā)送按每個合流點附近區(qū)域9設(shè)定為固有值的信道信息（頻帶）及id信息（識別代碼）（sd3），探測來自通信控制部33的應(yīng)答（sd4）。在該狀態(tài)下被通信控制部33控制的無線通信部35作為子控臺而成為能夠進行無線通信的狀態(tài)。

成為主控臺的無線通信部35，使用以設(shè)定的頻帶設(shè)定的識別代碼，對子控臺側(cè)的無線通信部35進行信標(biāo)（beacon）通信、即發(fā)送存在確認通知，直至有來自子控臺側(cè)的無線通信部35的回信為止（se10）。接收主控臺側(cè)的存在確認通知的子控臺側(cè)的無線通信部35，使用相同的頻帶且相同的識別代碼回信為在制造設(shè)備100適當(dāng)?shù)剡M行動作的正常的輸送臺車的主旨的認證分組（se11）。

接收來自子控臺側(cè)的認證分組的主控臺側(cè)也發(fā)送為在制造設(shè)備100適當(dāng)?shù)剡M行動作的正常的輸送臺車的主旨的認證分組（se12）。若接收認證分組，則互相發(fā)送應(yīng)答（se13、se14）。在達到該狀態(tài)的時刻，互相靠近相同的合流點附近區(qū)域，確立識別到兩者存在而匹配的狀態(tài)、即信號交換。

主控臺側(cè)及子控臺側(cè)的通信控制部33經(jīng)由串行通信接口27、31，向行駛控制部24發(fā)送信號交換完成報告（sc5、sd5）。

其后，主控臺側(cè)的行駛控制部24和子控臺側(cè)的行駛控制部24，經(jīng)由各自的無線通信部35、35重復(fù)既定的指令的收發(fā)（sc6、7、sd6、7）。具體而言主控臺側(cè)的行駛控制部24向子控臺側(cè)的行駛控制部24發(fā)送合流點待機指令，以通過合流點cp的方式行駛控制，子控臺側(cè)的行駛控制部24向主控臺側(cè)的行駛控制部24發(fā)送合流點通過請求指令，在合流點附近區(qū)域9停止。

主控臺側(cè)的行駛控制部24若對合流點cp的通過結(jié)束，則結(jié)束經(jīng)由無線通信部35的對子控臺側(cè)的發(fā)送，向轉(zhuǎn)送目的地制造裝置1行駛。子控臺側(cè)的行駛控制部24若切斷經(jīng)由無線通信部35的來自主控臺側(cè)的接收，則判斷為主控臺側(cè)的輸送臺車10a對合流點cp的通過結(jié)束并向合流點cp開始行駛。

如以上說明的那樣，利用本發(fā)明的輸送臺車的合流點通過方法構(gòu)成為具備：合流點附近區(qū)域進入探測控制步驟，探測對設(shè)定在輸送路徑所包含的各合流點附近的合流點附近區(qū)域的進入；障礙物探測步驟，探測該輸送臺車的周邊是否存在障礙物；無線通信步驟，若由合流點附近區(qū)域進入探測控制步驟探測到對各合流點附近區(qū)域的進入，則使用按每個合流點設(shè)定為不同值的共同的頻帶及共同的識別代碼在其他輸送臺車與本地進行無線通訊；以及合流點通過控制步驟，當(dāng)由障礙物探測步驟探測到在合流點附近區(qū)域存在其他輸送臺車時啟動無線通信步驟，在通過無線通信步驟與其他輸送臺車的信號交換成立后按照按每個對該合流點的進入路徑設(shè)定的優(yōu)先次序通過合流點。

而且，無線通信步驟構(gòu)成為：進入優(yōu)先次序高的進入路徑的輸送臺車的輸送控制裝置成為主控臺，進入優(yōu)先次序低的進入路徑的輸送臺車的輸送控制裝置成為子控臺而進行信號交換，合流點通過控制步驟構(gòu)成為：在信號交換成立的情況下進入優(yōu)先次序高的進入路徑的輸送臺車優(yōu)先而通過合流點。

另外，構(gòu)成為：進入優(yōu)先次序低的進入路徑的輸送臺車，在從進入優(yōu)先次序高的進入路徑的輸送臺車接收到合流點通過完成的信號后、或在信號交換中斷后通過合流點。

另外，合流點附近區(qū)域進入探測控制步驟構(gòu)成為：通過探測設(shè)置在各合流點的進入路徑附近的標(biāo)志來判定對各合流點附近區(qū)域的進入。

進而，優(yōu)選構(gòu)成為：在由障礙物探測部未探測到存在其他輸送臺車時，不啟動無線通信步驟及合流點通過控制步驟，而通過該合流點。

在上述實施方式中，說明了作為標(biāo)志使用光反射型標(biāo)志，作為合流點標(biāo)志探測部使用反射型光敏傳感器的例子，但是標(biāo)志并不限于光反射型標(biāo)志，另外合流點標(biāo)志探測部也不限于反射型光敏傳感器。例如，也可以標(biāo)志使用二維條形碼，合流點標(biāo)志探測部使用條形碼讀出器，也可以標(biāo)志使用磁體，合流點標(biāo)志探測部使用簧片開關(guān)。

在上述實施方式中，說明了合流點附近區(qū)域進入探測控制部基于來自合流點標(biāo)志探測部的輸出探測對設(shè)定在各合流點附近的合流點附近區(qū)域的進入，且，基于來自障礙物探測部的輸出判斷為在該合流點附近區(qū)域存在其他輸送臺車時，啟動無線通信部，并且在比合流點更靠跟前即能夠避免沖突的位置停止輸送臺車的行駛的例子，但是本發(fā)明的障礙物探測部并不是必需的。

例如，若基于來自合流點標(biāo)志探測部的輸出探測到對設(shè)定在各合流點附近的合流點附近區(qū)域的進入，則啟動無線通信部，并且在比合流點更靠跟前即能夠避免沖突的位置停止輸送臺車的行駛也可。

在該情況下，也可以構(gòu)成為：在啟動無線通信部后僅在預(yù)先設(shè)定的固定時間嘗試信號交換，在信號交換不成立的情況下，判斷為在該合流點附近區(qū)域不存在其他輸送臺車而通過合流點cp。

即便在該情況下，如果信號交換成立就變得能精度良好地識別存在其他輸送臺車。

如以上說明的那樣，依據(jù)本發(fā)明，變得能夠提供不會招致設(shè)備成本的高漲、或無線電的干擾而能夠更加確實且安全地通過合流點的輸送控制裝置及輸送臺車的合流點通過方法。

上述實施方式全都不過是本發(fā)明的一個實施例，本發(fā)明的范圍并不因該記載而受限定，輸送臺車的各部分的具體構(gòu)成、輸送控制裝置的功能塊構(gòu)成等能夠在發(fā)揮利用本發(fā)明的作用效果的范圍內(nèi)進行適當(dāng)變更這一點無需贅述。