專利名稱：用于在等離子聚合裝置中固定電極的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種等離子聚合裝置中的電極，更具體地說(shuō)，涉及這樣一種等離子聚合裝置中固定電極的設(shè)備，它能使電極絕緣，通過(guò)將電極安裝在一個(gè)箱室的一面壁上防止電極變形，并使得電極易于安裝和拆除。
WO99/28530中披露了一種典型的等離子體聚合裝置。在圖1中，該裝置包括一個(gè)真空室1，安裝在該真空泵5、6室中的電極4，用于控制真空室壓力，用于測(cè)量真空度的測(cè)量計(jì)7、8，用于使電極產(chǎn)生電勢(shì)差的電源裝置3，以及用于供應(yīng)諸如活潑氣體和氮的未反應(yīng)氣體的反應(yīng)氣體調(diào)節(jié)裝置9、10。
下面說(shuō)明一個(gè)上述裝置的等離子體聚合過(guò)程的例子?；|(zhì)2安裝在箱室1中，通過(guò)啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)泵5用熱電偶測(cè)量計(jì)7檢查箱室中壓力是否維持在10-3托的真空度之后，通過(guò)啟動(dòng)擴(kuò)散泵6用離子測(cè)量計(jì)8檢查箱室中的壓力是否維持在10-6托(Torr)的真空度?；|(zhì)被電源3偏置為正極(或主動(dòng)電極)，而另一端的電極4接地。如果箱室的壓力維持在正常的真空度，反應(yīng)氣體和惰性氣體將良好地供應(yīng)在理想位置周圍。混合比由熱電偶測(cè)量到的壓力來(lái)控制。倘若真空室壓力成為一定的真空度，將放出直流電或高頻波真空室。然后，在直流電或高頻波產(chǎn)生的等離子體中，分子鍵被打破，而打破的鏈和激活的陽(yáng)離子、陰例子結(jié)合，從而在置于電極之間的基質(zhì)表面上形成聚合物質(zhì)。
在上述裝置中，電極4沒(méi)有接電源而是接地。如果該電極接了電源，則需要與箱室絕緣，并且需要一種用于固定電極裝置將電極置于與被處理的基質(zhì)有預(yù)定間隔的位置上。特別是對(duì)于既能進(jìn)行上述不連續(xù)的處理又能連續(xù)進(jìn)行等離子聚合處理的裝置，當(dāng)設(shè)備長(zhǎng)時(shí)間工作時(shí)，電極可能松弛或者電極之間的間距可能變化。
本發(fā)明的另一目的是提供一種拉緊力調(diào)整裝置，用于有效地長(zhǎng)時(shí)間固定電極并防止電極變形。
本發(fā)明還有一個(gè)目的是提供一種裝置，用于在等離子聚合裝置內(nèi)固定電極，使得電極的安裝和拆除能在短時(shí)間內(nèi)輕松完成。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種用于在等離子聚合裝置內(nèi)固定電極的裝置，包括一個(gè)處理室；一個(gè)真空泵，用于維持處理室中的真空狀態(tài)；至少一個(gè)置于處理室中的電極，用于高壓放電；一個(gè)用于固定電極的裝置；以及一個(gè)電源，用于向電極施加電能。而用于固定電極的裝置包括一個(gè)用絕緣材料制成的電極夾持部件，用于覆蓋住和夾持電極末端；一個(gè)經(jīng)過(guò)電極夾持部件的導(dǎo)線部件，用于電極和電源間的電連接；以及一個(gè)固定部件，用于將電極夾持部件固定在處理室中適當(dāng)位置。
為了達(dá)到前述目的，本發(fā)明還提供了一種用于在等離子聚合裝置內(nèi)固定電極的裝置，包括一個(gè)處理室；一個(gè)真空泵，用于維持處理室中的真空狀態(tài)；至少一個(gè)置于處理室中的薄片狀電極，用于高壓放電；一個(gè)電源，用于向電極施加電能；一個(gè)用絕緣材料制成的電極夾持部件，用于覆蓋住和夾持電極末端；一個(gè)經(jīng)過(guò)電極夾持部件的導(dǎo)線部件，用于電極和電源間的導(dǎo)電連接；一個(gè)固定部件，用于將電極夾持部件固定在處理室中適當(dāng)位置；以及一個(gè)彈性部件，用于提供沿電極縱向方向的彈力。
為了達(dá)到前述目的，本發(fā)明還提供了一種用于在等離子聚合裝置內(nèi)固定電極的裝置，包括一個(gè)處理室；一個(gè)真空泵，用于維持處理室中的真空狀態(tài)；至少一個(gè)置于處理室中的薄片狀電極，用于高壓放電；一個(gè)電源，用于向電極施加電能；一個(gè)用絕緣材料制成的電極夾持部件，用于覆蓋住和夾持電極末端；一個(gè)經(jīng)過(guò)電極夾持部件的導(dǎo)線部件，用于電極和電源間的導(dǎo)電連接；以及一個(gè)由圓柱狀導(dǎo)電材料制成的內(nèi)部夾持器，被電極夾持器固定和覆蓋住并且電極的一端卷繞在其上。
圖9是圖8中的實(shí)施例的詳細(xì)透視圖；圖10是沿圖8中A-A′線的剖視圖；圖11是沿圖8中B-B′線的透視圖。
優(yōu)選實(shí)施例下面將參照
本發(fā)明。安裝在等離子聚合裝置中的處理室中的電極可以是各種形狀的，但一般是薄片形的。薄片形的電極安裝在與基質(zhì)的上、下部分有預(yù)定的間距的位置。當(dāng)通電時(shí)，電極間將放電，并且由于放電，供應(yīng)到處理室的反應(yīng)氣體變成等離子體狀態(tài)。
等離子體狀態(tài)下的氣體將改變置于處理室中的基質(zhì)的表面或者形成一個(gè)新的表面層。保持電極與需表面處理的基質(zhì)之間的預(yù)定間距對(duì)于通過(guò)等離子聚合進(jìn)行均衡的基質(zhì)表面處理非常重要。
要保持電極和要聚合的基質(zhì)之間的預(yù)定間距，需要一個(gè)固定電極的裝置。該固定電極的裝置通過(guò)固定電極的兩邊并施加預(yù)定的拉緊力防止電極松弛。
另一方面，如果電極通電，則固定電極的裝置和處理室之間就需要絕緣，因?yàn)楣潭姌O的裝置安裝在處理室的壁上并與處理室靠近。
固定電極的裝置包括一個(gè)薄片形電極；一個(gè)安裝在處理室內(nèi)壁上的夾持器，由完全覆蓋住電極末端的絕緣材料制成；一個(gè)用于連接電極連接到處理室內(nèi)壁的適當(dāng)位置的導(dǎo)線部件。
而且，該裝置可以包括一個(gè)由導(dǎo)電材料制成的靠近電極末端的內(nèi)部夾持器，并且電極夾持器部件固定后完全蓋住內(nèi)部夾持器。
根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施例，內(nèi)部夾持器可以由圓柱形導(dǎo)電材料制成，電極的一端卷繞在其上，并且根據(jù)另一實(shí)施例，該夾持器可以由靠近電極末端的上下表面的兩塊板組成。
在任何情況下，夾持器都最好由導(dǎo)電材料制成。
電極夾持器最好包括內(nèi)部夾持器并覆蓋住電極。而且，最好電極夾持器由上夾持器和下夾持器組成，以便安裝和拆除電極。
電極必須以某種方式通電，并且電流能通過(guò)直接連接電源裝置和電極或者連接內(nèi)部夾持器和導(dǎo)線流到電極。
另一方面，電極可以是薄片狀的網(wǎng)格型金屬。網(wǎng)格型金屬電極可以防止電場(chǎng)集中在電極邊緣，并使得容易將電極末端固定到內(nèi)部夾持器上。
本發(fā)明的電極結(jié)構(gòu)專為安裝在等離子聚合裝置的處理室中而設(shè)計(jì)，但本發(fā)明也可以應(yīng)用到類似的各種裝置上。本發(fā)明特別對(duì)能長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)進(jìn)行表面處理的連續(xù)處理裝置有用。
圖2顯示了連續(xù)等離子聚合裝置的一個(gè)例子。如圖所示，電極23安裝在具有預(yù)定間距的上、下兩側(cè)，使得基質(zhì)22能通過(guò)處理室21中的的通道，而退卷機(jī)26安裝在退卷機(jī)室25中，基質(zhì)卷繞在退卷機(jī)上，退卷機(jī)安裝在處理室21前。在處理室21后的卷繞機(jī)室28中安裝著卷繞機(jī)27，用于卷繞具有沉積的聚合膜的基質(zhì)。
在圖中，電極與要處理的基質(zhì)的移動(dòng)方向平行地安裝在處理室中，但如果電極沿垂直方向安裝，亦即如果電極沿與基質(zhì)移動(dòng)方向垂直的方向安裝在相同的平面上，也可以使用本發(fā)明的用于固定電極的裝置。而且，除了一個(gè)電極安裝在一個(gè)表面的情況，在很多電極相互對(duì)置地安裝在基質(zhì)的一個(gè)表面或上下表面的情況下，本發(fā)明的用于固定電極的裝置也仍可以使用。
圖3顯示了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例。如圖所示，電極31的末端是上下表面上的內(nèi)部夾持器，而且在上板32a和下板32b互相靠緊的情況下被固定在聯(lián)結(jié)裝置33上，而在上電極夾持器34和下電極夾持器35靠緊以覆蓋住整個(gè)板的情況下，每塊板和電極夾持器都用外表面上的聯(lián)結(jié)裝置36固定。電極夾持器最好具有凹槽，使得板可以插入內(nèi)表面。聯(lián)結(jié)裝置最好是常用的螺絲或鉚釘，但也可以使用其它具有相同功能的器件。圖中未顯示的電極的另一端由與對(duì)側(cè)相同的內(nèi)部夾持器和電極夾持器固定。
為了使固定電極的上下板將電能傳遞到電極上，板的材料必須是導(dǎo)電的，另一方面，上下電極夾持器必須保持絕緣性能，使得電能只傳遞到電極而不外泄。要實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，電極夾持器要用具有較好耐熱性的絕緣材料制成并完全覆蓋住電極和板末端，以使得電極不能傳遞電流到周圍，比如處理室壁。
上下板貼在電極上使得電極與電極夾持器結(jié)合在一起。板的一個(gè)表面緊靠著電極夾持器，從而與電極和電極夾持器保持預(yù)定的摩擦力。因此，電極和電極夾持器通過(guò)上板和下板的中介保持聯(lián)結(jié)的穩(wěn)固。
要更換電極時(shí)，最好不要將電極與板分開(kāi)，而要隨板一起更換電極。
向電極供電的方法有很多例子，下面說(shuō)明本發(fā)明中的電源裝置包含在用于固定電極的裝置中的情況。
圖4a和4b分別顯示了本發(fā)明的另一實(shí)施例的縱向和橫向剖視圖。電極40的兩端被上部和下部的上板41和下板42靠緊固定。而板又分別被上夾持器43和下夾持器44靠緊固定。
諸如電線的導(dǎo)線46連接著上板。在圖中的實(shí)施例中，導(dǎo)線連接著上板，但導(dǎo)線也可以連接著下板。
上夾持器43和下夾持器44通過(guò)諸如螺絲的聯(lián)結(jié)裝置45緊密結(jié)合并固定電極和板。電極夾持器也被固定裝置固定在處理室壁上。標(biāo)號(hào)47是指固定處理室內(nèi)壁(圖中未顯示)和下夾持器43的結(jié)合部分。上板和下板通過(guò)諸如螺絲的這樣的將電極中置的聯(lián)結(jié)裝置互相聯(lián)結(jié)。
在上面的實(shí)施例中，導(dǎo)線靠緊覆蓋住電極的上板，穿過(guò)形成在電極夾持器中的通槽，而電流間接通過(guò)電極。另一方面，板表面的一部分上可以形成一個(gè)開(kāi)口，而電流施加裝置可以直接接到電極上。而且，可以通過(guò)將導(dǎo)線連接到上下夾持器之間的聯(lián)結(jié)件(例如螺絲)上形成電流。
導(dǎo)線另一端連接到處理室外的電源供應(yīng)裝置，而且要絕緣的處理室壁上最好能形成絕緣部件，或者把在處理室壁上伸出的導(dǎo)線部分用絕緣材料包住。
本發(fā)明中，電極夾持器的拉緊力使得電極保持預(yù)定形狀，特別是它從電極的兩邊施加拉緊力使得電極的一部分不因?yàn)橹亓Χ诰酆咸幚磉M(jìn)行時(shí)松弛。如果聚合處理長(zhǎng)時(shí)間進(jìn)行，電極的溫度上升，并且電極隨著時(shí)間增長(zhǎng)而產(chǎn)生熱變形。由于電極的熱變形，電極的初始形狀在重力方向上開(kāi)始變得松弛，圖5顯示了這種現(xiàn)象。圖5下部顯示了由熱變形引起的電極的下垂。標(biāo)號(hào)51是指電極夾持器。當(dāng)電極松弛時(shí)，基質(zhì)和電極之間的距離變得隨電極的各部分而不同。因此聚合在基質(zhì)表面上的薄膜的一致性降低了，而形成在基質(zhì)表面的聚合體材料不能良好地靠緊，因此降低了聚合體薄膜的耐久性和產(chǎn)品質(zhì)量。
下面說(shuō)明持續(xù)給電極夾持器拉緊力的裝置。
圖6a是本發(fā)明中的固定電極的裝置中的拉緊力調(diào)節(jié)裝置的一個(gè)實(shí)施例。所述裝置具有一個(gè)彈力部件，用于在電極的縱向方向提供彈力。電極62與夾持器63配合安裝，而夾持器位于支撐部件64上。支撐件安裝在處理室的內(nèi)壁上，而滑動(dòng)導(dǎo)向銷釘62的長(zhǎng)度能穿過(guò)支撐件上的夾持器。夾持器能通過(guò)滑動(dòng)導(dǎo)向銷釘在電極的縱向方向上移動(dòng)。壓縮彈簧68作為彈性體夾在支撐件的一端與夾持器之間。
圖6b是沿圖6a中A-A線的剖視圖，更詳細(xì)地顯示了各部件。特別詳細(xì)地顯示了夾在支撐件64一端和夾持器63之間的壓縮彈簧68的位置。
圖7a顯示了夾持器63在電極62兩邊固定電極。此處，兩邊安裝了活動(dòng)夾持器，但另一方面，夾持器也可以是在一邊固定一個(gè)夾持器而只讓另一邊的夾持器活動(dòng)。圖中所示的電極是在等離子聚合處理之前的狀態(tài)，并且電極62被夾持器63緊緊固定，因此電極具有與夾持器之間距離相等的初始長(zhǎng)度L。
圖7b顯示了由于長(zhǎng)時(shí)間進(jìn)行等離子聚合處理電極因熱變形而松弛的長(zhǎng)度F′。此時(shí)，電極仍保持張緊而不松弛。本發(fā)明的電極拉緊力裝置使得這成為可能。圖中壓縮彈簧68通過(guò)彈力在電極62的縱向方向推夾持器，而用于固定電極的兩個(gè)夾持器之間的距離增長(zhǎng)了F′。因此，即使電極因熱變形，也不會(huì)不松弛，而保持拉緊狀態(tài)。
將板靠緊電極末端的上下表面，再用聯(lián)結(jié)裝置將板固定，然后將電極夾持器靠緊各板的上下部分，再用聯(lián)結(jié)裝置固定，就形成了電極結(jié)構(gòu)。
如上裝配的電極結(jié)構(gòu)用于安裝在處理室內(nèi)的情況，而為了便于拆除電極應(yīng)該以相反順序拆除。在本發(fā)明中，電極的安裝和拆除在下面說(shuō)明的實(shí)施例中將變得很容易。
參照?qǐng)D8，上夾持器81插入安裝在下電極夾持器80的上部，下電極夾持器兩端都固定在處理室的內(nèi)壁中，而一個(gè)圓柱形內(nèi)部夾持器83位于下夾持器80和上夾持器81之間，電極的一個(gè)端部固定在圓柱形內(nèi)部夾持器上。
下面參照?qǐng)D9詳細(xì)說(shuō)明電極結(jié)構(gòu)。
在下夾持器80的上表面后部，沿縱向方向形成了一個(gè)向上伸出的主壁部85，而在主壁85兩端前面，形成有凸起部86。在形成于凸起部86和主壁部85之間的插入槽中，圓柱形內(nèi)部夾持器83的兩端和上夾持器81的兩端部依次插入。
而且，在插入槽的上表面上形成有一個(gè)縱向的下安裝槽88a，使得內(nèi)部夾持器83的下表面得以安裝，而上安裝槽88b形成在上夾持器81的下表面上，內(nèi)部夾持器83的上表面與其緊貼。
電極安裝部87形成在兩個(gè)凸起部86之間，使得薄片形電極82固定在內(nèi)部夾持器83上，從而能放置卷繞的端部。
在本發(fā)明中，為了給電極通電，圓柱形內(nèi)部夾持器可以伸長(zhǎng)到上下夾持器之外，使得內(nèi)部夾持器能象前述實(shí)施例一樣與導(dǎo)線連接，導(dǎo)線可以通過(guò)在上夾持器上形成一個(gè)通槽連接到內(nèi)部夾持器或電極。
另一方面，在形成于下夾持器80上的主壁部85的兩端部，以及凸起部86和上夾持器81的兩端部，分別形成有銷釘孔85a、86a和81a，部件聯(lián)結(jié)時(shí)各銷釘孔互相貫通，而上述銷釘孔中有固定銷釘84用于安裝和拆除，從而防止上夾持器與下夾持器脫離。
圖10是是沿圖8中A-A′線的剖視圖，圖11是沿圖8中B-B′線的透視圖。
在固定銷釘84前部的外圓周表面上，形成有預(yù)定深度的半圓形止動(dòng)槽84a。在下夾持器80的凸起部86上，與下表面垂直的方向上形成有一個(gè)垂直孔(參看圖11中標(biāo)號(hào)89)，使其連接到銷釘孔86a。在這個(gè)垂直孔上插有一個(gè)由彈簧90支撐的止動(dòng)球，通過(guò)在固定銷釘84的止動(dòng)槽84a上安裝止動(dòng)球91可以防止固定銷釘84松脫。在垂直孔89的下部入口處的內(nèi)圓周表面上形成有內(nèi)螺紋，外圓周表面上形成有外螺紋的螺帽92聯(lián)結(jié)在彈簧90下部。
上述電極結(jié)構(gòu)裝配好之后，圓柱形內(nèi)部夾持器83將安裝在形成于下夾持器80上表面的下安裝槽88a中，而連接到內(nèi)部夾持器83的薄片形電極82安裝在電極安裝部87中。
上夾持器81的兩端部插在下夾持器80的插槽88中實(shí)現(xiàn)聯(lián)結(jié)。內(nèi)部夾持器83的上表面與形成于上夾持器81的下表面的上安裝槽81b緊貼。
在上述情況下，固定銷釘84插入在下夾持器80的主壁部85后的銷釘孔85a中，而被聯(lián)結(jié)的固定銷釘因此穿過(guò)上夾持器的銷釘孔81a和形成于下夾持器的凸起部86上的銷釘孔86a。當(dāng)形成于固定銷釘84上的止動(dòng)槽84a通過(guò)垂直孔89的上端時(shí)，被彈簧90向上支撐的止動(dòng)球嵌入固定銷釘84的止動(dòng)槽84a中。
拆除本發(fā)明的如上裝配的電極結(jié)構(gòu)時(shí)，裝配過(guò)程將被反過(guò)來(lái)執(zhí)行。
亦即，當(dāng)用戶朝插入方向相反的方向拉固定銷釘84時(shí)，嵌入固定銷釘?shù)闹箘?dòng)槽84a中的止動(dòng)球91向下移動(dòng)脫離止動(dòng)槽84a，如果用戶繼續(xù)拉固定銷釘84，則固定銷釘84將完全脫離各夾持器的銷釘孔。在上述情況下，通過(guò)按順序地從下夾持器80上分離與上夾持器81連接的內(nèi)部夾持器83以及電極，可以輕松地拆除電極。
行業(yè)應(yīng)用性如上所述，本發(fā)明可以通過(guò)將電極有效地固定在處理室內(nèi)保持與聚合基質(zhì)的間距的一致性，并能使電極更換變得容易。而且，通過(guò)事先使不接電源的部件絕緣，預(yù)防了諸如電擊這樣的危險(xiǎn)。
權(quán)利要求
1.一種用于在等離子聚合裝置中固定電極的裝置，包括一個(gè)處理室；一個(gè)真空泵，用于維持處理室中的真空狀態(tài)；至少一個(gè)置于處理室中的電極，用于高壓放電；一個(gè)用于固定電極的裝置；以及一個(gè)電源，用于向電極施加電能，其特征是，用于固定電極的裝置包括一個(gè)用絕緣材料制成的電極夾持部件，用于覆蓋住和夾持電極末端；一個(gè)經(jīng)過(guò)電極夾持部件的導(dǎo)線部件，用于電極和電源間的導(dǎo)電連接；以及一個(gè)固定部件，用于將電極夾持部件固定在處理室中適當(dāng)位置。
2.如權(quán)利要求1的裝置，還包括一個(gè)由導(dǎo)電材料制成的內(nèi)部夾持器，覆蓋住電極的末端，其特征是，電極夾持部件完全覆蓋住地固定內(nèi)部夾持器。
3.如權(quán)利要求2的裝置，其特征是，導(dǎo)線部件連接著內(nèi)部夾持器和電源。
4.如權(quán)利要求1的裝置，其特征是，用于固定電極的該裝置還包括一個(gè)彈性部件，用于沿電極縱向方向提供彈力。
5.如權(quán)利要求1的裝置，還包括一個(gè)由圓柱形絕緣材料制成的內(nèi)部夾持器，電極的一端卷繞在其上，其特征是，電極夾持部件完全覆蓋住地固定內(nèi)部夾持器。
6.如權(quán)利要求5的裝置，其特征是，電極夾持部件具有一個(gè)安裝槽能讓圓柱形內(nèi)部夾持器安裝在其中。
7.如權(quán)利要求6的裝置，其特征是，內(nèi)部夾持器通過(guò)一個(gè)伸長(zhǎng)到電極夾持部件之外的導(dǎo)線部件連接到電源。
8.如權(quán)利要求1的裝置，其特征是，電極夾持部件包括一個(gè)上夾持器、一個(gè)下夾持器和一個(gè)用于聯(lián)結(jié)這兩個(gè)夾持器的聯(lián)結(jié)部件。
9.一種用于在等離子聚合裝置內(nèi)固定電極的裝置，包括一個(gè)處理室；一個(gè)真空泵，用于維持處理室中的真空狀態(tài)；至少一個(gè)置于處理室中的薄片狀電極，用于高壓放電；一個(gè)電源，用于向電極施加電能；一個(gè)用絕緣材料制成的電極夾持部件，用于覆蓋住和夾持電極末端；一個(gè)經(jīng)過(guò)電極夾持部件的導(dǎo)線部件，用于電極和電源間的導(dǎo)電連接；一個(gè)固定部件，用于將電極夾持部件固定在處理室中適當(dāng)位置；以及一個(gè)彈性部件，用于沿電極縱向方向提供彈力。
10.如權(quán)利要求9的裝置，還包括一個(gè)由導(dǎo)電材料制成的內(nèi)部夾持器，覆蓋住電極的末端的上下表面，其特征是，電極夾持部件完全覆蓋住地固定內(nèi)部夾持器。
11.如權(quán)利要求10的裝置，其特征是，內(nèi)部夾持器包括一個(gè)上板、一個(gè)下板和一個(gè)用于聯(lián)結(jié)兩塊板的聯(lián)結(jié)部件。
12.如權(quán)利要求9的裝置，其特征是，電極夾持部件包括一個(gè)上夾持器、一個(gè)下夾持器和一個(gè)用于聯(lián)結(jié)兩個(gè)夾持器的聯(lián)結(jié)部件。
13.如權(quán)利要求9的裝置，其特征是，彈性部件包括一個(gè)支撐件，用于在具有前部凸起的電極夾持部件的下部支撐電極夾持部件；一個(gè)伸長(zhǎng)到上述凸起的滑動(dòng)導(dǎo)向銷釘，穿過(guò)電極夾持部件；以及一個(gè)置于凸起和夾持器之間的彈性體。
14.如權(quán)利要求13的裝置，其特征是，電極夾持部件能沿滑動(dòng)導(dǎo)向銷釘?shù)目v向方向移動(dòng)。
15.一種用于在等離子聚合裝置內(nèi)固定電極的裝置，包括一個(gè)處理室；一個(gè)真空泵，用于維持處理室中的真空狀態(tài)；至少一個(gè)置于處理室中的薄片狀電極，用于高壓放電；一個(gè)電源，用于向電極施加電能；一個(gè)用絕緣材料制成的電極夾持部件，用于覆蓋住和夾持電極末端；一個(gè)經(jīng)過(guò)電極夾持部件的導(dǎo)線部件，用于電極和電源間的導(dǎo)電連接；以及一個(gè)由圓柱狀導(dǎo)電材料制成的內(nèi)部夾持器，被電極夾持器固定和覆蓋住并且電極的一端卷繞在其上。
16.如權(quán)利要求15的裝置，其特征是，電極夾持部件包括一個(gè)上夾持器、一個(gè)下夾持器以及一個(gè)用于聯(lián)結(jié)這兩個(gè)夾持器的聯(lián)結(jié)部件。
17.如權(quán)利要求16的裝置，其特征是，圓柱形內(nèi)部夾持器安裝在由下夾持器的上表面和上夾持器的下表面形成的安裝槽內(nèi)，從而被固定。
18.如權(quán)利要求16的裝置，其特征是，下夾持器具有在上表面后部凸起的主壁部并且在主壁部?jī)啥饲懊嫘纬捎型蛊鸩俊?br>
19.如權(quán)利要求16的裝置，其特征是，下夾持器還包括一個(gè)固定銷釘，用于固定上夾持器和內(nèi)部夾持器；以及一個(gè)防松脫裝置，用于防止固定銷釘松脫。
20.如權(quán)利要求19的裝置，其特征是，固定銷釘在前端圓周表面上具有預(yù)定深度的止動(dòng)槽。
21.如權(quán)利要求19的裝置，其特征是，各銷釘孔分別形成在下夾持器的主壁部的兩端以及凸起和上夾持器的兩端，這些部件聯(lián)結(jié)時(shí)各銷釘孔互相貫通，在銷釘孔中插入固定銷釘防止上夾持器松脫。
22.如權(quán)利要求19的裝置，其特征是，在下夾持器的凸起上與下表面垂直的方向上形成有一個(gè)與銷釘孔連通的垂直孔。
23.如權(quán)利要求22的裝置，其特征是，固定銷釘?shù)姆浪擅撗b置包括一個(gè)支撐在彈簧一端的止動(dòng)球以及一個(gè)連接在彈簧另一端的螺帽，被插在垂直孔中。
全文摘要
一種用于在等離子聚合裝置中固定電極的裝置，包括一個(gè)不導(dǎo)電的夾持器，用于通過(guò)覆蓋住電極端部固定電極；一條連接電極和電源的導(dǎo)線；以及一個(gè)將夾持器固定在處理室壁上的固定部件。
文檔編號(hào)C08G83/00GK1395814SQ01803769
公開(kāi)日2003年2月5日 申請(qǐng)日期2001年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2000年11月16日
發(fā)明者尹東植, 河三喆 申請(qǐng)人:Lg電子株式會(huì)社