本實(shí)用新型涉及乙硅烷的制備裝置，具體涉及一種多級(jí)乙硅烷精餾裝置。
背景技術(shù)：
乙硅烷作為一種電子氣體，主要用于太陽(yáng)能電池以及電子產(chǎn)品中。目前，太陽(yáng)能電池及電子產(chǎn)品中所用到的非晶硅的生產(chǎn)中，非晶硅薄膜大部分采用硅烷作為淀積源。但乙硅烷與硅烷相比，具有沉積速度快、沉積溫度低的優(yōu)點(diǎn)，因此乙硅烷的市場(chǎng)前景很大。
現(xiàn)在制備乙硅烷的方法也有很多，其中包括硅化鎂與氯化銨置于在液氨中反應(yīng)，得到硅烷、乙硅烷、氨氣和氫氣等混合氣體。因此，需要通過(guò)精餾獲得高純度的乙硅烷。目前的精餾設(shè)備可能會(huì)有氨氣殘留，影響乙硅烷的純度，而且對(duì)硅烷并沒(méi)有進(jìn)行精餾處理。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
為解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型的目的在于提供一種即能對(duì)硅烷精餾，又能保證乙硅烷的純度的多級(jí)乙硅烷精餾裝置。
為了實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)，本實(shí)用新型采用如下的技術(shù)方案：
多級(jí)乙硅烷精餾裝置，包括依次連接的第一精餾塔、第二精餾塔，其特征在于，還包括與所述第一精餾塔的頂部排氣口連接的輔助精餾塔，與所述第二精餾塔連接的第三精餾塔；所述第二精餾塔、第三精餾塔和輔助精餾塔的頂部排氣口分別與第二廢棄罐、第三廢棄罐和輔助廢棄罐連接；所述第一精餾塔、第二精餾塔、第三精餾塔和輔助精餾塔下方分別與第一再沸器、第二再沸器、第三再沸器和輔助再沸器連接；所述第一精餾塔、第二精餾塔、第三精餾塔和輔助冷凝器內(nèi)分別設(shè)有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和輔助冷凝器；所述第三精餾塔的底部出料口與乙硅烷存儲(chǔ)罐連接；所述第二精餾塔的底部出料口通過(guò)2根導(dǎo)管分別與第三精餾塔、乙硅烷存儲(chǔ)罐連接。
更進(jìn)一步的說(shuō)，所述輔助精餾塔的底部出料口與輔助存儲(chǔ)罐連接。
更進(jìn)一步的說(shuō)，與所述第二精餾塔的底部出料口連接的2根導(dǎo)管上分別設(shè)有一個(gè)閥門(mén)開(kāi)關(guān)。
更進(jìn)一步的說(shuō)，所述第一冷凝器的溫度小于所述第二冷凝器的溫度。
更進(jìn)一步的說(shuō)，所述第一冷凝器的溫度為-39℃~-35℃，所述第二冷凝器的溫度為-20℃~-14℃。
更進(jìn)一步的說(shuō)，所述輔助冷凝器的溫度為-120℃~-112℃。
更進(jìn)一步的說(shuō)，所述第三冷凝器的溫度大于或等于所述第二冷凝器的溫度。
本實(shí)用新型的有益之處在于：輔助精餾塔能對(duì)硅烷進(jìn)行回收，單獨(dú)存儲(chǔ)，保證硅烷的安全；第三精餾塔可以根據(jù)需要，選擇是否針對(duì)氨氣進(jìn)行二次精餾，保證乙硅烷的純度。
附圖說(shuō)明
圖1是本實(shí)用新型的多級(jí)乙硅烷精餾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中附圖標(biāo)記的含義：
1-第一精餾塔，12-第一再沸器，13-第一冷凝器， 2-第二精餾塔，21-第二廢棄罐，22-第二再沸器，23-第二冷凝器，3-第三精餾塔，31-第三廢棄罐，32-第三再沸器，33-第三冷凝器，34-乙硅烷存儲(chǔ)罐，4-輔助精餾塔，41-輔助廢棄罐，42-輔助再沸器，43-輔助冷凝器，44-輔助存儲(chǔ)罐，51、52-閥門(mén)開(kāi)關(guān)。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作具體的介紹。
如圖1所示的一種多級(jí)乙硅烷精餾裝置，包括依次連接的第一精餾塔1、第二精餾塔2和第三精餾塔3，輔助精餾塔4與第一精餾塔1的頂部排氣口連接，第二精餾塔2的底部出料口與第三精餾塔3連接。第二精餾塔2、第三精餾塔3和輔助精餾塔4的頂部排氣口分別與第二廢棄罐21、第三廢棄罐31和輔助廢棄罐41連接；第一精餾塔1、第二精餾塔2、第三精餾塔3和輔助精餾塔4下方分別與第一再沸器12、第二再沸器22、第三再沸器32和輔助再沸器42連接；第一精餾塔1、第二精餾塔2、第三精餾塔3和輔助冷凝器4內(nèi)分別設(shè)有第一冷凝器13、第二冷凝器23、第三冷凝器33和輔助冷凝器43；第三精餾塔3的底部出料口與乙硅烷存儲(chǔ)罐34連接，第二精餾塔2的底部出料口通過(guò)2根導(dǎo)管分別與第三精餾塔3、乙硅烷存儲(chǔ)罐34連接。輔助精餾塔4的底部出料口與輔助存儲(chǔ)罐44連接。
硅化鎂與氯化銨置于在液氨中反應(yīng)后，氣體混合物有主要有硅烷、乙硅烷、氨氣和氫氣等，其沸點(diǎn)由低到高分別為：氫氣沸點(diǎn)：-252.76℃，硅烷沸點(diǎn)：-112.15 ℃，氨氣沸點(diǎn)：-33.5℃，乙硅烷沸點(diǎn)：-14.15 ℃。第一精餾塔1用于排出氫氣和硅烷，氫氣和硅烷從第一精餾塔1的頂部排氣口進(jìn)入輔助精餾塔4；第二精餾塔2用于排出氨氣；第三精餾塔3用于二次排出氨氣。與第二精餾塔2的底部出料口連接的2根導(dǎo)管上分別設(shè)有一個(gè)閥門(mén)開(kāi)關(guān)51、52，閥門(mén)開(kāi)關(guān)51、52可以控制從第二精餾塔2的底部出料口流出的液體進(jìn)入第三精餾塔3或者直接進(jìn)入乙硅烷存儲(chǔ)罐34。當(dāng)?shù)诙s塔2將氨氣全部排出時(shí)，關(guān)閉第二精餾塔2的底部出料口與第三精餾塔3連接的導(dǎo)管上的閥門(mén)開(kāi)關(guān)51，精餾后乙硅烷直接流入乙硅烷存儲(chǔ)罐34；當(dāng)氨氣含量太高，第二精餾塔3并沒(méi)有將氨氣全部排出時(shí)，關(guān)閉第二精餾塔2的底部出料口與乙硅烷存儲(chǔ)罐34連接的導(dǎo)管上的閥門(mén)開(kāi)關(guān)52，讓液體進(jìn)入第三精餾塔3對(duì)氨氣進(jìn)行二次精餾，保證乙硅烷的純度。
第一冷凝器13的溫度小于第二冷凝器23的溫度，作為一種優(yōu)選方案，第一冷凝器的溫度為-39℃~-35℃，氣體混合物經(jīng)過(guò)第一冷凝器13后，氫氣和硅烷從第一精餾塔1的頂部排氣口進(jìn)入輔助精餾塔4。輔助精餾塔4用于提純硅烷，因此，輔助冷凝器43的溫度為-120℃~-112℃，這樣氫氣從輔助精餾塔4的頂部排氣口進(jìn)入輔助廢棄罐41，而硅烷從輔助精餾塔4底部出料口流入輔助存儲(chǔ)罐44。進(jìn)入第二精餾塔2的氨氣和乙硅烷的混合液體，經(jīng)過(guò)第二冷凝器23后，氨氣進(jìn)入第二廢棄罐21，第二冷凝器23的溫度優(yōu)選為-20℃~-14℃。然后，如果液體需要對(duì)氨氣進(jìn)行二次精餾，那么液體流入第三精餾塔3，第三冷凝器33的溫度大于或等于第二冷凝器23的溫度，優(yōu)選-14℃，這樣能最大限度的去除氨氣，得到高純度的乙硅烷，提純后氨氣全部進(jìn)入第三廢棄罐31，乙硅烷進(jìn)入乙硅烷存儲(chǔ)罐34。
以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理、主要特征和優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，上述實(shí)施例不以任何形式限制本實(shí)用新型，凡采用等同替換或等效變換的方式所獲得的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。