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一種直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具的制作方法

文檔序號:8035784閱讀:364來源:國知局
專利名稱:一種直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及直拉晶體生長爐中的一種輔助工具,特別是涉及直拉晶體大生長 爐加熱器的一種拆卸器具。
背景技術(shù)
加熱器是晶體生長爐中核心器件,它采用高密度、高強(qiáng)度石墨制成,固定在下爐體 銅電極之上,下有保溫層及下保溫罩。硅晶體的生產(chǎn)工藝流程為拆爐清爐-裝爐-抽空(充一定量的氬氣,爐內(nèi)壓力 保持1000-2000Pa)-化料-穩(wěn)定-晶體生長-停爐。因此,在每一爐生產(chǎn)時,需要在停爐以 后,等待生長爐冷卻下來,然后從位于工作臺下面,將固定在生長爐下部凹陷圓筒中的圓環(huán) 形加熱器向上抬起,再向外移出進(jìn)行清爐、裝爐作業(yè)。隨著技術(shù)進(jìn)步和性能優(yōu)良的保溫材料廣泛應(yīng)用,熱系統(tǒng)的保溫性能越來越好, 晶體生長耗用的功率大幅下降,但爐子冷卻需要的時間卻越來越長(硅熔液結(jié)晶溫度是 14200C,加熱器溫度不小于1500°C,化料時溫度應(yīng)還要高),為了提高生產(chǎn)效率,一般在加 熱器和保溫材料在耐氧化極限溫度范圍內(nèi),放氣至大氣壓打開爐子(目前停爐7-8小時,爐 內(nèi)溫度約在400-350°C左右),由于熱系統(tǒng)很好的保溫效果,加熱器即使在空氣中冷卻也需 要很長一段時間,現(xiàn)有技術(shù),對熱系統(tǒng)大清爐時,需要等其冷卻至室溫四個人方可抬出,溫 度較高時取出,容易燙傷人及損壞熱器件。取出加熱器后,才可對其下的保溫層及下保溫罩 進(jìn)行清理,需要一定的冷卻時間。隨著太陽能電池片生產(chǎn)成本的不斷壓縮,使得硅晶片尺寸的不斷增大,以滿足生 產(chǎn)需要。大尺寸硅晶片需要更大的直拉晶體生長爐來拉制,大生長爐需要更大的加熱器提 供熱量。加熱件尺寸的增加,導(dǎo)致整個生長爐內(nèi)溫度冷卻速度變慢,需要更長時間冷卻,且 重量增加,這就需要更多的時間與人力去拆卸。時間的延長,人力拆卸的不安全性,導(dǎo)致生 產(chǎn)效率的減少。生產(chǎn)實(shí)踐迫切需要一種拆卸工具,能方便快捷地將加熱器從下部向上提升,然后 移出進(jìn)行清理,減少拆卸過程中由于加熱器冷卻所需等待的時間,提高工作效率。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種直拉晶體生長爐中提供熱量的加熱器快速拆卸裝 置,能方便、快捷、安全地拆卸生長爐內(nèi)的加熱器。本實(shí)用新型的目的由以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)。一種直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具,其特征在于,所述拆卸裝置包括桿狀結(jié) 構(gòu)立柱和位于立柱下端,與立柱相垂直的托架組成;所述托架為,以立柱的下端為圓心,徑向均勻伸出至少三根支撐板,沿著各支撐板 的長度方向,可移動地連接伸縮板。所述立柱上端連接吊環(huán)。所述伸縮板以螺栓和長孔結(jié)構(gòu)與支撐板連接。[0012]所述伸縮板以長板插入長槽的結(jié)構(gòu)與支撐板連接。所述伸縮板呈T字形,豎板與支撐板連接,橫板插入加熱器的下邊。所述立柱的下端均勻伸出四根支撐板。在所述立柱與每根支撐板之間焊接加強(qiáng)斜桿。采用本裝置是先將其吊環(huán)固定在升降機(jī)構(gòu)上,如行車,拆除加熱器的固定螺絲,拆 卸裝置下降到加熱器底部,把四塊伸縮板調(diào)節(jié)伸至加熱器下口,固定加熱器及承受其重量, 緩慢上升升降機(jī)構(gòu),提升并吊至生長爐外進(jìn)行冷卻,清理下保溫層及下保溫罩。加熱器裝配 時同樣進(jìn)行如上操作。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是①減少等待加熱器的冷卻時間,加熱器需要冷卻至常溫才能取出,否則加熱器過 熱,拆卸時燙傷人體,搬動時損壞加熱器。采用本裝置,可快速取出加熱器,如22寸加熱器,每月每爐大清爐取出3次,每次 節(jié)約1小時,按100臺單晶爐計算,每月可節(jié)約300小時,可多生產(chǎn)5爐硅晶體,大大提高了 晶體爐生產(chǎn)效率。②減少人為搬動時對熱器件的損壞,加熱器由多瓣開槽石墨組成,比較重且易碎, 價格昂貴,如22寸加熱器重量約為50公斤,需3-4人方可抬出,搬運(yùn)時受力不均勻,會對開 槽處造成損壞,減少其使用壽命,而且?guī)讉€人同時操作,難免會掉下來,砸到人或損壞。采用本裝置,受力均勻,不會對開槽處造成損壞,增加熱器件的使用壽命,減少對 人體的砸傷及損壞。按普通操作,加熱器使用壽命150爐,采用本裝置,使用壽命可提高至 170爐,使用壽命增加10%以上,具有很顯著的經(jīng)濟(jì)效益。③采用本裝置,降低了操作者的工作強(qiáng)度,節(jié)省人力的同時減少對人員造成的傷害。④本實(shí)用新型改變了本領(lǐng)域技術(shù)人員的習(xí)慣思維,一般為了將圓筒環(huán)形的加熱器 提起、外移,只會從加熱器的上方、外側(cè)采取措施,比如由多個夾具從上方夾住加熱器的一 圈邊緣,或者由多個勾子從外側(cè)勾住加熱器的外側(cè)下邊緣,但是實(shí)踐證明是比較容易碰撞、 損壞加熱器的。只有本實(shí)用新型從加熱器的圓筒中央放下,再將伸縮板徑向伸出、托底,可 以平穩(wěn)、安全地上吊、外移。

圖1為本實(shí)用新型直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具的主視圖;圖2為本實(shí)用新型直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具的俯視圖;圖3為本實(shí)用新型裝置垂直放入加熱器內(nèi)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為本實(shí)用新型拆卸裝置伸縮板向外伸出調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖5為由本實(shí)用新型拆卸裝置吊起加熱器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中,1是吊環(huán)、2是立柱、3是加強(qiáng)斜桿、4是支撐板、5是伸縮板、6是升降機(jī)構(gòu)、7 是加熱器、8是下保溫罩。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖,對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
4[0031]一種直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具,所述拆卸裝置包括桿狀結(jié)構(gòu)立柱2和位 于立柱2下端,與立柱2相垂直的托架組成;所述托架為,以立柱2的下端為圓心,徑向均勻伸出至少三根支撐板4,沿著各支 撐板4的長度方向,可移動地連接伸縮板5 ;所述立柱2上端連接吊環(huán)1。所述伸縮板5以螺栓和長孔結(jié)構(gòu)與支撐板4連接。此連接方式結(jié)構(gòu)簡單、可靠。所述伸縮板5以長板插入長槽的結(jié)構(gòu)與支撐板4連接。使伸縮板5從支撐板4外 端徑向開設(shè)的長槽中插入,任意從長槽中拔出長度,便可實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)伸縮長度。所述伸縮板5呈T字形,豎板與支撐板4連接,橫板插入加熱器7的下邊。如此結(jié) 構(gòu),既便于豎板與支撐板4的連接與調(diào)節(jié),又有利于橫板以較寬的接觸面積托住加熱器下 部,減小單位面積的壓力,保護(hù)加熱器7。所述立柱2的下端均勻伸出四根支撐板4。一般以四根支撐板4托住加熱器7為 宜,既有適當(dāng)?shù)某惺芰?,又較平穩(wěn),且調(diào)節(jié)、支撐結(jié)構(gòu)也較簡單。在所述立柱2與每根支撐板4之間焊接加強(qiáng)斜桿3。三角形的穩(wěn)定性原理,增加焊 接加強(qiáng)斜桿3能加固整個立柱與托架的強(qiáng)度和剛性。本實(shí)用新型減少等待加熱器的冷卻時間,節(jié)省能量,大大提高了晶體爐生產(chǎn)效率。 減少人為搬動時對熱器件的損壞,降低了操作者的工作強(qiáng)度,節(jié)省人力的同時減少對人員 造成的傷害。本實(shí)用新型改變了本領(lǐng)域技術(shù)人員的習(xí)慣思維,提供了一種獨(dú)特的器具結(jié)構(gòu), 改變了至今人工拆裝的局面。
權(quán)利要求一種直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具,其特征在于,所述拆卸裝置包括桿狀結(jié)構(gòu)立柱(2)和位于立柱(2)下端,與立柱(2)相垂直的托架組成;所述托架為,以立柱(2)的下端為圓心,徑向均勻伸出至少三根支撐板(4),沿著各支撐板(4)的長度方向,可移動地連接伸縮板(5);所述立柱(2)上端連接吊環(huán)(1)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具,其特征在于所述伸縮板 (5)以螺栓和長孔結(jié)構(gòu)與支撐板(4)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具,其特征在于所述伸縮板 (5)以長板插入長槽的結(jié)構(gòu)與支撐板(4)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具,其特征在于所述伸 縮板(5)呈T字形,豎板與支撐板(4)連接,橫板插入加熱器(7)的下邊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具,其特征在于所述立柱(2) 的下端均勻伸出四根支撐板(4)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具,其特征在于在所述立柱 (2)與每根支撐板(4)之間焊接加強(qiáng)斜桿(3)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及直拉晶體生長爐維護(hù)、維修中的一種輔助工具,特別是涉及直拉晶體大生長爐加熱器的一種拆卸裝置。一種直拉晶體生長爐加熱器的拆卸器具,所述拆卸裝置包括桿狀結(jié)構(gòu)立柱(2)和位于立柱(2)下端,與立柱(2)相垂直的托架組成;所述托架為,以立柱(2)的下端為圓心,徑向均勻伸出至少三根支撐板(4),沿著各支撐板(4)的長度方向,可移動地連接伸縮板(5);所述立柱(2)上端連接吊環(huán)(1)。本實(shí)用新型減少等待加熱器的冷卻時間,節(jié)省能量,大大提高了晶體爐生產(chǎn)效率。減少人為搬動時對熱器件的損壞,降低了操作者的工作強(qiáng)度,節(jié)省人力的同時減少對人員造成的傷害。本實(shí)用新型改變了本領(lǐng)域技術(shù)人員的習(xí)慣思維,提供了一種獨(dú)特的器具結(jié)構(gòu),改變了至今人工拆裝的局面。
文檔編號C30B15/14GK201738034SQ201020500328
公開日2011年2月9日 申請日期2010年8月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月20日
發(fā)明者施承啟, 李海波, 胡如權(quán) 申請人:上海卡姆丹克太陽能科技有限公司;卡姆丹克太陽能(江蘇)有限公司
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