一種用于二氧化碳激光器的漏粒子收集裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及激光器技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于二氧化碳激光器的漏粒子收集裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]二氧化碳激光器有比較大的功率和比較高的能量轉(zhuǎn)換效率，譜線也比較豐富，在10微米附近有幾十條譜線的激光輸出，在工業(yè)、軍事、醫(yī)療、科研等方面得到了廣泛的應(yīng)用。
[0003]二氧化碳激光器是以二氧化碳?xì)怏w作為工作物質(zhì)的氣體激光器，放電管內(nèi)充以二氧化碳?xì)怏w和其他輔助氣體，電極設(shè)置在放電管的兩端，激光器還包括有儲氣管，在儲氣管的一端設(shè)置有反射鏡片，另一端設(shè)置有輸出鏡片。當(dāng)在放電管兩端的電極上加高電壓時，放電管中產(chǎn)生輝光放電，經(jīng)反射鏡片和輸出鏡片反射后形成激光束。
[0004]在進(jìn)一步的研究中，本申請的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，目前的二氧化碳激光器依然存在著較大的問題，具體為，在二氧化碳激光器工作時，輸出鏡片的壽命較短，也就直接影響了二氧化碳激光器的使用壽命；并且在使用一定時間后，激光器輸出激光質(zhì)量降低，影響使用質(zhì)量。
[0005]為了解決上述問題，本申請的發(fā)明人進(jìn)行了深入的研究，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，目前結(jié)構(gòu)的二氧化碳激光器，在放電管中產(chǎn)生輝光放電時，放電管內(nèi)具有極高的電場，正粒子受電場加速撞擊陰電極，會引起陰電極材料的濺射和蒸發(fā)，同時，正粒子在被電場加速撞擊陰電極時，部分濺射或由于慣性形成漏粒子射向輸出鏡片所在的方向，陰電極濺射出的和蒸發(fā)出的粒子，以及正粒子部分濺射或由于慣性射向輸出鏡片所在的方向的粒子統(tǒng)稱為漏粒子，由于陰電極距離輸出鏡片距離較近，這些漏粒子會對輸出鏡片造成沖擊，降低其反射效率和激光束輸出效率，同時，漏粒子也可能會沉積附著在輸出鏡片上，降低輸出鏡片的光潔度，也進(jìn)一步的降低了輸出鏡片的反射效率和激光束輸出效率。
[0006]所以，正是由于上述原因，在目前的二氧化碳激光器結(jié)構(gòu)中，輸出鏡片的使用壽命受到了影響，也直接降低了激光器的使用壽命以及激光束的輸出質(zhì)量。
[0007]所以，基于上述問題，目前亟需一種能夠提高輸出鏡片使用壽命，進(jìn)而提高二氧化碳激光器的使用壽命，以及激光束輸出質(zhì)量的裝置。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0008]本實用新型的目的在于:針對現(xiàn)有二氧化碳激光器存在的上述問題，提供一種能夠提高輸出鏡片使用壽命，進(jìn)而提高二氧化碳激光器的使用壽命，以及激光束輸出質(zhì)量的
目.ο
[0009]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術(shù)方案為:
[0010]一種具有漏粒子收集裝置的二氧化碳激光器，包括有放電管和輸出鏡片，所述放電管上設(shè)置有陰電極，所述陰電極與所述輸出鏡片之間設(shè)置有漏粒子收集裝置，所述漏粒子收集裝置設(shè)置的位置保證其不阻擋的激光束。[0011 ] 在本申請的上述方案中，在放電管中產(chǎn)生輝光放電時，放電管內(nèi)具有極高的電場，正粒子受電場加速撞擊陰電極，會產(chǎn)生漏粒子，由于設(shè)置了漏粒子收集裝置，漏粒子收集裝置收集這些漏粒子，減小漏粒子對輸出鏡片造成的沖擊，同時也減少了漏粒子沉積附著在輸出鏡片上的可能，使得輸出鏡片的使用壽命增加，進(jìn)而提高激光器的使用壽命，并且，輸出鏡片的光潔度能夠得到良好的保證，所以也提高了激光束的輸出質(zhì)量。
[0012]作為優(yōu)選，所述漏粒子收集裝置與所述陰電極導(dǎo)電連接。
[0013]在本申請的上述方案中，由于漏粒子帶有正電荷，所以，在本申請中，漏粒子收集裝置與陰電極導(dǎo)電連接，提高漏粒子收集裝置收集陰電極濺射出的粒子以及漏粒子的能力，進(jìn)一步的提高輸出鏡片的使用壽命增加，進(jìn)而提高激光器的使用壽命，并且，輸出鏡片的光潔度能夠得到良好的保證，所以也提高了激光束的輸出質(zhì)量。
[0014]作為優(yōu)選，所述漏粒子收集裝置包括有與所述陰電極導(dǎo)電連接的連接體，所述連接體上設(shè)置有若干凸起。
[0015]在本申請的上述方案中，在連接體上設(shè)置凸起，進(jìn)一步的提高漏粒子收集裝置收集漏粒子的能力。
[0016]作為優(yōu)選，所述凸起具有尖角。
[0017]在上述方案中，凸起具有角尖，基于尖端放電的原理，進(jìn)一步的提高本申請的漏粒子收集裝置收集漏粒子的能力。
[0018]作為優(yōu)選，所述連接體一端與所述陰電極連接，另一端與所述輸出鏡片相配合。此處連接體的一端與陰電極的連接，可以是連接體直接套設(shè)在陰電極之上，也可以是連接體與陰電極之間隔開設(shè)置，然后通過導(dǎo)電體連接陰電極與連接體。
[0019]在上述方案中，連接體與輸出鏡片相配合，使得連接體盡量靠近輸出鏡片，盡量多的收集漏粒子，進(jìn)一步的提高本申請漏粒子收集裝置收集漏粒子的能力。
[0020]作為優(yōu)選，所述連接體與所述輸出鏡片之間為間隙配合連接。避免本申請的漏粒子收集裝置刮傷輸出鏡片，提高激光器的可靠性。
[0021]作為優(yōu)選，所述連接體為空心的筒體，所述連接體為空心的筒體，所述連接體設(shè)置在所述陰電極與輸出鏡片之間，所述凸起設(shè)置在所述連接體的內(nèi)壁。
[0022]在本申請的上述方案中，連接體設(shè)置在陰電極與輸出鏡片之間，首先是方便了漏粒子收集裝置的連接，同時由于連接體為空心筒狀，進(jìn)而避免了對激光束的阻擋；更為重要的是，連接體具有較大的表面積，并且設(shè)置在陰電極與輸出鏡片之間，進(jìn)而，進(jìn)一步的提高了本申請漏粒子收集裝置收集漏粒子的能力。
[0023]作為優(yōu)選，所述凸起與所述連接體為一體式結(jié)構(gòu)，所述凸起的尖角向所述連接體內(nèi)部翹起。
[0024]在本申請的上述方案中，由于連接體和凸起尖角的共同作用，進(jìn)一步的提高本申請漏粒子收集裝置收集漏粒子的能力。
[0025]作為優(yōu)選，所述漏粒子收集裝置為鈦材料或鈦合金材料制得。
[0026]在上述方案中，本申請的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)鈦材料或鈦合金材料在受到漏粒子沖擊時，濺射量和蒸發(fā)量極小，幾乎可以忽略不計，進(jìn)一步的提高了本申請漏粒子收集裝置收集漏粒子的能力。
[0027]綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實用新型的有益效果是:
[0028]1、漏粒子收集裝置收集漏粒子，減小漏粒子對輸出鏡片造成的沖擊，同時也降低了漏粒子沉積附著在輸出鏡片上的可能，使得輸出鏡片的使用壽命增加，進(jìn)而提高激光器的使用壽命；