一種帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器，包括由上腔體與下腔體組成的充油芯體、感壓芯片、溫度傳感器以及調(diào)理電路板，所述感壓芯片、溫度傳感器分別與調(diào)理電路板相連，感壓芯片、溫度傳感器封裝于所述上腔體內(nèi)，所述調(diào)理電路板封裝與所述下腔體內(nèi)，下腔體通過一根線作為信號(hào)輸出端。有益效果為：可以直接調(diào)理出所需要的電壓，無需外接信號(hào)調(diào)理電路，從而解決了目前的充油芯體需要外接運(yùn)放電路，才能得到需要的電壓輸出信號(hào)的技術(shù)問題。
【專利說明】
一種帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]充油芯體壓力傳感器是將感壓芯片封裝在不銹鋼腔體中，外加壓力通過膜片、內(nèi)部密封的硅油擠壓感壓芯片，把外界壓力轉(zhuǎn)變?yōu)槟軌虮桓兄哪M信號(hào)，同時(shí)外界物質(zhì)不直接作用于感壓芯片，因此該產(chǎn)品可以應(yīng)用于各種場(chǎng)合，包括惡劣的腐蝕性介質(zhì)環(huán)境。目前的充油芯體只是常規(guī)的模擬補(bǔ)償，溫度補(bǔ)償精度低、輸出信號(hào)為毫伏級(jí)，還需要外接運(yùn)放電路，才能得到需要的電壓輸出信號(hào)。
[0003]ZMD31150芯片是一款高精度橋式信號(hào)補(bǔ)償集成電路，可用于擴(kuò)散硅壓阻式壓力傳感器，并對(duì)傳感器進(jìn)行非線性修正、溫度零位補(bǔ)償和溫度靈敏度補(bǔ)償，同時(shí)將壓力信號(hào)以數(shù)字信號(hào)或標(biāo)準(zhǔn)的電壓信號(hào)輸出。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明目的在于克服以上現(xiàn)有技術(shù)之不足，提供一種帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器，具體有以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):
[0005]所述帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器，包括由上腔體與下腔體組成的充油芯體、感壓芯片、溫度傳感器以及調(diào)理電路板，所述感壓芯片、溫度傳感器分別與調(diào)理電路板相連，感壓芯片、溫度傳感器封裝于所述上腔體內(nèi)，所述調(diào)理電路板封裝與所述下腔體內(nèi)，下腔體通過一根線作為信號(hào)輸出端。
[0006]所述帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器的進(jìn)一步設(shè)計(jì)在于，所述下腔體還包括兩根用于對(duì)傳感器進(jìn)行信號(hào)調(diào)理校準(zhǔn)的引線。
[0007]所述帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器的進(jìn)一步設(shè)計(jì)在于，所述充油芯體的激勵(lì)模式是恒壓激勵(lì)或恒流激勵(lì)。
[0008]所述帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器的進(jìn)一步設(shè)計(jì)在于，所述溫度傳感器的測(cè)溫模式是外置二極管、外置PT1000或橋電阻。
[0009]所述帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器的進(jìn)一步設(shè)計(jì)在于，所述調(diào)理電路板為ZMD31150調(diào)理電路板。
[0010]所述帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器的進(jìn)一步設(shè)計(jì)在于，所述感壓芯片、溫度傳感器通過金絲焊接引腳連接到ZMD31150調(diào)理電路板。
[0011]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)如下:
[0012]本實(shí)用新型的帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器通過將感壓元件、溫度傳感器和ZMD31150調(diào)理電路板一起集成到芯體腔內(nèi)，可以直接調(diào)理出所需要的電壓，無需外接信號(hào)調(diào)理電路，從而解決了目前的充油芯體需要外接運(yùn)放電路，才能得到需要的電壓輸出信號(hào)的技術(shù)問題。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型充油芯體壓力傳感器的原理框圖。
[0014]圖2是充油芯體壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖3是圖2所示充油芯體壓力傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明方案進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0017]如圖1、圖2，本實(shí)施例的帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器，包括由上腔體I與下腔體2組成的充油芯體、感壓芯片11、溫度傳感器12以及調(diào)理電路板。感壓芯片、溫度傳感器分別與調(diào)理電路板相連。為了更好地采集感壓芯片所受環(huán)境溫度，本實(shí)施例將感壓芯片、溫度傳感器封裝于上腔體I內(nèi)。調(diào)理電路板封裝與下腔體2內(nèi)，下腔體2通過一根線作為信號(hào)輸出端。本實(shí)施例中，調(diào)理電路板為ZMD31150調(diào)理電路板。
[0018]進(jìn)一步的，下腔體還包括兩根用于對(duì)傳感器進(jìn)行信號(hào)調(diào)理校準(zhǔn)的引線。
[0019]本實(shí)施例中，充油芯體的激勵(lì)模式是恒壓激勵(lì)或恒流激勵(lì)。
[0020]溫度傳感器的測(cè)溫模式是外置二極管、外置PT1000或橋電阻。
[0021]如圖3，感壓芯片、溫度傳感器通過金絲焊接引腳連接到ZMD31150調(diào)理電路板。
[0022]本實(shí)施例的帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器通過將感壓元件、溫度傳感器和ZMD31150調(diào)理電路板一起集成到芯體腔內(nèi)，可以直接調(diào)理出所需要的電壓，無需外接信號(hào)調(diào)理電路，從而解決了目前的充油芯體需要外接運(yùn)放電路，才能得到需要的電壓輸出信號(hào)的技術(shù)問題。
[0023]以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的【具體實(shí)施方式】，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案及其實(shí)用新型構(gòu)思加以等同替換或改變，都涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器，其特征在于包括由上腔體與下腔體組成的充油芯體、感壓芯片、溫度傳感器以及調(diào)理電路板，所述感壓芯片、溫度傳感器分別與調(diào)理電路板相連，感壓芯片、溫度傳感器封裝于所述上腔體內(nèi)，所述調(diào)理電路板封裝與所述下腔體內(nèi)，下腔體通過一根線作為信號(hào)輸出端。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器，其特征在于所述下腔體還包括兩根用于對(duì)傳感器進(jìn)行信號(hào)調(diào)理校準(zhǔn)的引線。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器，其特征在于，所述充油芯體的激勵(lì)模式是恒壓激勵(lì)或恒流激勵(lì)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器，其特征在于，所述溫度傳感器的測(cè)溫模式是外置二極管、外置PTlOOO或橋電阻。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器，其特征在于，所述調(diào)理電路板為ZMD31150調(diào)理電路板。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的帶數(shù)字溫度補(bǔ)償?shù)碾妷狠敵龀溆托倔w壓力傳感器，其特征在于所述感壓芯片、溫度傳感器通過金絲焊接引腳連接到ZMD31150調(diào)理電路板。
【文檔編號(hào)】G01D21/02GK205664864SQ201620486414
【公開日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年5月25日
【發(fā)明人】焦祥錕, 彭成慶
【申請(qǐng)人】南京高華科技股份有限公司