一種真空探針臺探測方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及電子工業(yè)專用設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空探針臺探測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]探針設(shè)備是半導(dǎo)體封裝工藝線上對完整晶圓進行前道測試的設(shè)備，主要功能是避免對不合格的芯片進行封裝。目前，國內(nèi)的探針設(shè)備多為大氣環(huán)境下或者通入受控保護氣體如氮氣或惰性氣體等環(huán)境下進行測試，不能滿足真空測試的要求。真空探針技術(shù)是在常規(guī)探針設(shè)備基礎(chǔ)上發(fā)展的，基于真空測試基本理論及工藝原理，測試對象為特殊環(huán)境(主要包括:低溫環(huán)境和特種環(huán)境)測試要求的芯片。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明旨在提出一種真空探針臺探測方法。
[0004]本發(fā)明的技術(shù)方案在于:
一種真空探針臺探測方法，包括以下步驟:
步驟1:上片；步驟2:抽真空；步驟3:輸入特殊氣體；步驟4:第一次測試，通過三維座調(diào)整測試針到待測焊盤，讀取測試儀結(jié)果；步驟5:輸入氮氣；步驟6:打開腔體端蓋，取出測試晶圓。
[0005]優(yōu)選地，所述的上片的步驟為:打開腔體端蓋，將承片盤清潔干凈，避免雜質(zhì)影響晶圓的平整度，然后用鑷子將晶圓放在承片盤上，固定晶圓，調(diào)整三維座，使探針座針尖處于待測芯片上方，蓋上并鎖緊端蓋；打開圖像軟件，調(diào)整倍率、工作距離、光源亮度強弱，使圖像清晰顯示于顯示器上。
[0006]優(yōu)選地，所述的抽真空的步驟為:打開真空閥門，關(guān)閉其它閥門，打開真空計電源，打開真空泵。達到要求真空度后，關(guān)閉真空輸入閥門，關(guān)閉真空泵。
或者優(yōu)選地，所述的輸入特殊氣體的步驟為:將特殊氣體管路與特殊氣體輸入閥門可靠連接，打開特殊氣體輸入閥門，觀察復(fù)合真空計上數(shù)，當(dāng)真空腔內(nèi)氣壓大于I X 105 Pa時，讀數(shù)顯示HHK，此時關(guān)閉特殊氣體輸入閥門。
[0007]或者優(yōu)選地，所述的輸入氮氣的步驟為:測試完成后，打開廢氣排出閥門，打開氮氣輸入閥門，將真空腔中特殊氣體排出后，關(guān)閉氮氣輸入閥門和廢氣排出閥門。
[0008]本發(fā)明的技術(shù)效果在于:
本發(fā)明方法簡單，易于操作，始于大范圍推廣。
【具體實施方式】
[0009]一種真空探針臺探測方法，包括以下步驟:
步驟1:上片；步驟2:抽真空；步驟3:輸入特殊氣體；步驟4:第一次測試，通過三維座調(diào)整測試針到待測焊盤，讀取測試儀結(jié)果；步驟5:輸入氮氣；步驟6:打開腔體端蓋，取出測試晶圓。
[0010]其中，上片的步驟為:打開腔體端蓋，將承片盤清潔干凈，避免雜質(zhì)影響晶圓的平整度，然后用鑷子將晶圓放在承片盤上，固定晶圓，調(diào)整三維座，使探針座針尖處于待測芯片上方，蓋上并鎖緊端蓋；打開圖像軟件，調(diào)整倍率、工作距離、光源亮度強弱，使圖像清晰顯示于顯示器上。
[0011]抽真空的步驟為:打開真空閥門，關(guān)閉其它閥門，打開真空計電源，打開真空泵。達到要求真空度后，關(guān)閉真空輸入閥門，關(guān)閉真空泵。
輸入特殊氣體的步驟為:將特殊氣體管路與特殊氣體輸入閥門可靠連接，打開特殊氣體輸入閥門，觀察復(fù)合真空計上數(shù)，當(dāng)真空腔內(nèi)氣壓大于1X105 Pa時，讀數(shù)顯示HHK，此時關(guān)閉特殊氣體輸入閥門。
[0012]輸入氮氣的步驟為:測試完成后，打開廢氣排出閥門，打開氮氣輸入閥門，將真空腔中特殊氣體排出后，關(guān)閉氮氣輸入閥門和廢氣排出閥門。
【主權(quán)項】
1.一種真空探針臺探測方法，其特征在于:包括以下步驟: 步驟1:上片；步驟2:抽真空；步驟3:輸入特殊氣體；步驟4:第一次測試，通過三維座調(diào)整測試針到待測焊盤，讀取測試儀結(jié)果；步驟5:輸入氮氣；步驟6:打開腔體端蓋，取出測試晶圓。2.如權(quán)利要求1一種真空探針臺探測方法，其特征在于:所述的上片的步驟為:打開腔體端蓋，將承片盤清潔干凈，避免雜質(zhì)影響晶圓的平整度，然后用鑷子將晶圓放在承片盤上，固定晶圓，調(diào)整三維座，使探針座針尖處于待測芯片上方，蓋上并鎖緊端蓋；打開圖像軟件，調(diào)整倍率、工作距離、光源亮度強弱，使圖像清晰顯示于顯示器上。3.如權(quán)利要求1一種真空探針臺探測方法，其特征在于:所述的抽真空的步驟為:打開真空閥門，關(guān)閉其它閥門，打開真空計電源，打開真空泵；達到要求真空度后，關(guān)閉真空輸入閥門，關(guān)閉真空泵。4.如權(quán)利要求1一種真空探針臺探測方法，其特征在于:所述的輸入特殊氣體的步驟為:將特殊氣體管路與特殊氣體輸入閥門可靠連接，打開特殊氣體輸入閥門，觀察復(fù)合真空計上數(shù)，當(dāng)真空腔內(nèi)氣壓大于1X105 Pa時，讀數(shù)顯示HHK，此時關(guān)閉特殊氣體輸入閥門。5.如權(quán)利要求1一種真空探針臺探測方法，其特征在于:所述的輸入氮氣的步驟為:測試完成后，打開廢氣排出閥門，打開氮氣輸入閥門，將真空腔中特殊氣體排出后，關(guān)閉氮氣輸入閥門和廢氣排出閥門。
【專利摘要】本發(fā)明涉及電子工業(yè)專用設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種真空探針臺探測方法。一種真空探針臺探測方法，包括以下步驟：步驟1：上片；步驟2：抽真空；步驟3：輸入特殊氣體；步驟4：第一次測試，通過三維座調(diào)整測試針到待測焊盤，讀取測試儀結(jié)果；步驟5：輸入氮氣；步驟6：打開腔體端蓋，取出測試晶圓。本發(fā)明方法簡單，易于操作，始于大范圍推廣。
【IPC分類】G01R1/067
【公開號】CN105628985
【申請?zhí)枴緾N201410602952
【發(fā)明人】王耀斌
【申請人】陜西盛邁石油有限公司
【公開日】2016年6月1日
【申請日】2014年10月31日