一種掃描隧道顯微鏡的制作方法

本實(shí)用新型涉及一種掃描隧道顯微鏡。

背景技術(shù)：

掃描隧道顯微鏡，是一種利用量子理論中的隧道效應(yīng)探測物質(zhì)表面結(jié)構(gòu)的儀器，是將探針接近樣品表面，然后在樣品表面進(jìn)行掃描，從而得到材料的表面信息?，F(xiàn)有技術(shù)中的掃描隧道顯微鏡，通過放樣平臺在基座上在X軸與Y軸方向上運(yùn)動來達(dá)到全面檢測樣品的目的，為了達(dá)到上述目的，通常掃描隧道顯微鏡中的放樣結(jié)構(gòu)需做的較大才能滿足上述要求，而導(dǎo)致放樣平臺上的放樣面積大大縮小。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種掃描隧道顯微鏡，其結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，增大了放樣平臺上樣品的放置面積。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種掃描隧道顯微鏡，包括機(jī)架，所述顯微鏡還包括沿前后方向滑動地安裝在所述機(jī)架上的上基座、沿左右方向滑動地安裝在所述上基座上的下基座，所述下基座還能夠隨所述上基座相對所述機(jī)架在前后方向上滑動，所述下基座上還設(shè)有用于放置樣品的放樣平臺。

優(yōu)選地，所述上基座與所述機(jī)架兩個部件中的一個部件上開設(shè)有沿前后延伸的第一滑槽，另一個部件上固設(shè)有能夠沿所述第一滑槽的槽道延伸方向滑動地卡設(shè)在所述第一滑槽內(nèi)的第一凸起部；所述下基座與所述上基座兩個部件中的一個部件上開設(shè)有沿左右方向延伸的第二滑槽，另一個部件上固設(shè)有能夠沿所述第二滑槽的槽道延伸方向滑動地卡設(shè)在所述第二滑槽內(nèi)的第二凸起部。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述上基座的左右兩側(cè)部上相對設(shè)有一對所述第一滑槽，相應(yīng)地，所述機(jī)架的左右兩側(cè)部上設(shè)有一對所述第一凸起部；所述上基座的前后兩側(cè)部上相對設(shè)有一對所述第二滑槽，相應(yīng)地，所述下基座的前后兩側(cè)部上設(shè)有一對所述第二凸起部。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述第一滑槽、所述第一凸起部兩個部件中至少有一個部件上安裝有耐摩擦片；所述第二滑槽、所述第二凸起部兩個部件中至少有一個部件上也安裝有耐摩擦片。

優(yōu)選地，所述上基座左右兩側(cè)部中的一側(cè)部與所述機(jī)架間設(shè)有供所述上基座鉤掛在所述機(jī)架上的第一彈性鉤掛件；所述下基座的前后兩側(cè)部中的一側(cè)部與所述上基座間設(shè)有供所述下基座鉤掛在所述上基座上的第二彈性鉤掛件。通過壓縮或釋放第一彈性鉤掛件及第二彈性鉤掛件可分別控制第一凸起部與第一滑槽間、第二凸起部與第二滑槽間的摩擦力及壓力。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述第一彈性鉤掛件與所述第二彈性鉤掛件均為帶鉤掛孔的“T”型簧片。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述上基座的左側(cè)部與所述機(jī)架間設(shè)有所述第一彈性鉤掛件，所述上基座的左右兩側(cè)部上相對開設(shè)有一對沿前后方向延伸的第一滑槽，所述第一彈性鉤掛件上及所述機(jī)架的右側(cè)部上分別設(shè)有能夠沿所述第一滑槽的槽道延伸方向滑動地卡設(shè)在所述第一滑槽內(nèi)的第一凸起部。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述下基座的后側(cè)部與所述上基座間設(shè)有所述第二彈性鉤掛件，所述上基座的前側(cè)部與所述下基座的后側(cè)部上分別開設(shè)有沿左右方向延伸的第二滑槽，所述下基座的前側(cè)部與所述第二彈性件上分別設(shè)有能沿所述第二滑槽的槽道延伸方向滑動地卡設(shè)在所述第二滑槽內(nèi)的第二凸起部。

優(yōu)選地，所述上基座與所述機(jī)架間、所述下基座與所述上基座間設(shè)置有壓電陶瓷片，通過所述壓電陶瓷片的電反饋信號驅(qū)動所述上基座在所述機(jī)架上沿前后方向滑動、所述下基座在所述上基座上沿左右方向滑動。

由于上述技術(shù)方案的運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)：本實(shí)用新型的掃描隧道顯微鏡，通過將上基座鉤掛在機(jī)架上、下基座鉤掛在上基座上，從而大大增加了放樣平臺上樣品的放置面積，且該結(jié)構(gòu)更為簡單、緊湊，樣品檢測更為精確，節(jié)省的空間能夠給磁場等其他實(shí)驗(yàn)設(shè)施提供條件。

附圖說明

附圖1為本實(shí)用新型所述的掃描隧道顯微鏡的結(jié)構(gòu)示意圖一；

附圖2為本實(shí)用新型所述的掃描隧道顯微鏡的結(jié)構(gòu)示意圖二；

其中：1、機(jī)架；11、第一凸起部；2、上基座；21、第一滑槽；22、第二滑槽；3、下基座；31、第二凸起部；32、鉤掛臂；4、放樣平臺；5、耐摩擦片；6、第一彈性件；7、第二彈性件；8、鉤掛孔；9、壓電陶瓷片。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖來對本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步的闡述。

參見圖1、圖2所示，一種掃描隧道顯微鏡，包括機(jī)架1、沿前后方向滑動地安裝在機(jī)架1上的上基座2、沿左右方向滑動地安裝在上基座2上的下基座3，該下基座3還能夠隨上基座2相對機(jī)架1在前后方向上滑動，該下基座3上還設(shè)有用于放置樣品的放樣平臺4。

這里，該上基座2與機(jī)架1兩個部件中的一個部件上開設(shè)有沿前后方向延伸的第一滑槽21，另一個部件上固設(shè)有能夠沿第一滑槽21的槽道延伸方向滑動地卡設(shè)在第一滑槽21內(nèi)的第一凸起部11；下基座3與上基座2兩個部件中的一個部件上開設(shè)有沿左右方向延伸的第二滑槽22，另一個部件上固設(shè)有能夠沿第二滑槽22的槽道延伸方向滑動地卡設(shè)在第二滑槽22內(nèi)的第二凸起部31。具體的，上基座2的左右兩側(cè)部上開設(shè)有一對第一滑槽21，相應(yīng)地，機(jī)架1上設(shè)有一對與第一滑槽21相配合的第一凸起部11；上基座2的前后兩側(cè)部上開設(shè)有一對第二滑槽22，相應(yīng)地，下基座3上設(shè)有一對與第二滑槽22相配合的第二凸起部31。

為了降低凸起部與滑槽間的磨損，這里，該第一滑槽21、第一凸起部11兩個部件中至少有一個部件上安裝有耐摩擦片5；第二滑槽22、第二凸起部31兩個部件中至少有一個部件上安裝有耐摩擦片5。

這里，上基座2與機(jī)架1間、下基座3與上基座2間設(shè)置有壓電陶瓷片9，通過壓電陶瓷片9的電反饋信號驅(qū)動上基座2在機(jī)架1上沿前后方向滑動、下基座3在上基座2沿左右方向滑動。

為了使結(jié)構(gòu)更緊湊、安裝更簡單，這里，上基座2左側(cè)部與機(jī)架1間設(shè)有供上基座2鉤掛在機(jī)架1上的第一彈性鉤掛件6；下基座3的后側(cè)部與上基座2間設(shè)有供下基座3鉤掛在上基座2上的第二彈性鉤掛件7，這里的第一彈性鉤掛件6與第二彈性鉤掛件7均為帶鉤掛孔8的“T”型簧片。通過設(shè)置“T”型簧片，不僅有利于上基座2與機(jī)架1間、下基座3與上基座2間的連接，同時通過調(diào)節(jié)簧片的壓縮情況來調(diào)節(jié)第一滑槽21與第一凸起部11間、第二滑槽22與第二凸起部31間的摩擦力及壓力。

優(yōu)選地，該上基座2的左右兩側(cè)部上相對開設(shè)有一對沿前后方向延伸的第一滑槽21，則第一彈性鉤掛件6與機(jī)架1的右側(cè)部上分開設(shè)有第一凸起部11；該上基座2的前側(cè)部與下基座3的后側(cè)部上分別開設(shè)有沿左右方向延伸的第二滑槽22，則第二彈性鉤掛件7與下基座3的前側(cè)部上分別設(shè)有第二凸起部31。進(jìn)一步優(yōu)選地，下基座3的前側(cè)部的左右兩側(cè)上分別設(shè)有沿上下方向延伸的鉤掛臂32，鉤掛臂32的前側(cè)部上設(shè)有所述的第二凸起部31。

通過上述設(shè)置，不僅使得該放樣結(jié)構(gòu)更為緊湊、安裝更為簡單，同時還大大增加了放樣平臺4上樣品的放置面積，提高了檢測的精確度，且節(jié)省出來的空間還能給磁場等其他實(shí)驗(yàn)設(shè)施提供條件。

上述實(shí)施例只為說明本實(shí)用新型的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的在于讓熟悉此項技術(shù)的人士能夠了解本實(shí)用新型的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能以此限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。凡根據(jù)本實(shí)用新型精神實(shí)質(zhì)所作的等效變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。