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一種藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置制造方法

文檔序號(hào):4629394閱讀:248來源:國(guó)知局
一種藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及晶體生長(zhǎng)爐領(lǐng)域,旨在提供一種藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置。該藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置包括紅外測(cè)溫儀、上板、下板、遮光板、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)、擺動(dòng)氣缸和觀察玻璃,上板和下板連接形成密閉腔體,遮光板安裝在密閉腔體內(nèi),轉(zhuǎn)動(dòng)軸一端與擺動(dòng)氣缸的輸入軸連接,轉(zhuǎn)動(dòng)軸的另一端依次穿過旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)和下板,并與遮光板連接,觀察玻璃安裝在下板下方的觀察口,紅外測(cè)溫儀安裝在觀察玻璃下方。在藍(lán)寶石爐晶體的拉制過程中,操作人員都可以通過本發(fā)明對(duì)爐體內(nèi)部溫度進(jìn)行監(jiān)控,來判斷出晶體的生長(zhǎng)情況,為后面引晶、長(zhǎng)晶提供了一個(gè)可靠的數(shù)值依據(jù),也可以通過與控制系統(tǒng)做成一個(gè)溫度-功率的閉環(huán),來實(shí)現(xiàn)藍(lán)寶石爐的自動(dòng)化引晶檢測(cè)和長(zhǎng)晶。
【專利說明】一種藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是關(guān)于晶體生長(zhǎng)爐領(lǐng)域,特別涉及一種藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]由于藍(lán)寶石光學(xué)性能好,化學(xué)性能穩(wěn)定,所以藍(lán)寶石已經(jīng)成為了制作LED襯底材料的最佳選擇。然而藍(lán)寶石晶體需要在一個(gè)密閉的爐體內(nèi),經(jīng)過引晶一放肩一等徑一收尾一系列的操作才能拉制完成,整個(gè)拉晶過程都需要調(diào)控溫度的變化來影響晶體的生長(zhǎng)速率和狀態(tài)。
[0003]通常的藍(lán)寶石爐一般這幾個(gè)工藝的過程都需要人為的去操作,而且沒有具體的儀器設(shè)備提供的具體的數(shù)值進(jìn)行參照,完全憑操作人員的實(shí)際觀察晶體生長(zhǎng)情況來調(diào)節(jié)拉晶的工藝。況且,由于藍(lán)寶石爐的觀察玻璃在爐內(nèi)達(dá)到最高溫度的12小時(shí)之后就不能觀察清楚爐體內(nèi)部的生長(zhǎng)情況,因此對(duì)操作人員的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)要求特別苛刻,而且對(duì)大批量化生產(chǎn)作業(yè)具有了局限性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供一種能夠延長(zhǎng)測(cè)溫玻璃的使用時(shí)間,并提供準(zhǔn)確的爐體內(nèi)部溫度變化參照的間斷測(cè)溫裝置。為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明的解決方案是:
[0005]提供一種藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置,包括紅外測(cè)溫儀,還包括上板、下板、遮光板、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)、擺動(dòng)氣缸和觀察玻璃;上板和下板連接形成密閉腔體,遮光板安裝在密閉腔體內(nèi);轉(zhuǎn)動(dòng)軸一端與擺動(dòng)氣缸的輸入軸連接,轉(zhuǎn)動(dòng)軸的另一端依次穿過旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)和下板,并與遮光板連接;觀察玻璃安裝在下板下方的觀察口,紅外測(cè)溫儀安裝在觀察玻璃下方;所述擺動(dòng)氣缸用于為遮光板提供動(dòng)力輸入,使觀察口能觀察到遮光板遮擋和打開兩種狀態(tài);所述旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)包括磁流體,用于保證傳動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)密封。
[0006]作為進(jìn)一步的改進(jìn),所述下板上連接有冷卻水路,冷卻水路用于降低下板的溫度和增加密閉腔體內(nèi)的密封性。
[0007]作為進(jìn)一步的改進(jìn),所述遮光板以寶塔形分層安裝在上板和下板形成的密閉腔體內(nèi)。
[0008]作為進(jìn)一步的改進(jìn),所述擺動(dòng)氣缸連接有壓縮空氣機(jī),壓縮空氣機(jī)用于提供輸入擺動(dòng)氣缸的壓縮空氣。
[0009]作為進(jìn)一步的改進(jìn),所述擺動(dòng)氣缸連接有控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)用于對(duì)壓縮空氣進(jìn)入擺動(dòng)氣缸的方向和擺動(dòng)氣缸的擺動(dòng)頻率實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。
[0010]作為進(jìn)一步的改進(jìn),所述上板上焊接有一個(gè)快卸法蘭,用于將藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置安裝到藍(lán)寶石爐體上,快卸法蘭的位置與下板上的觀察口對(duì)齊。
[0011]提供基于所述的藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置的控制方法,利用所述藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置進(jìn)行測(cè)溫時(shí),擺動(dòng)氣缸的擺動(dòng)頻率滿足公式f=K/T和f=K2xs,其中f為擺動(dòng)氣缸的擺動(dòng)頻率,K1為比例系數(shù),且K1的取值范圍為3000?4000,T為觀察玻璃的使用壽命,K2為比例系數(shù),且K2的取值范圍為10?50,S為紅外測(cè)溫儀單位時(shí)間內(nèi)所測(cè)得的數(shù)據(jù)的次數(shù)。
[0012]本發(fā)明的工作原理:主要是通過壓縮空氣直接控制擺動(dòng)氣缸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),使連接在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的遮光板做間隔性的來回反復(fù)運(yùn)動(dòng);而傳動(dòng)軸是穿過一個(gè)小的磁流體,實(shí)現(xiàn)高頻率,長(zhǎng)時(shí)間的轉(zhuǎn)動(dòng)密封,保證其爐體內(nèi)部的真空環(huán)境;遮光板在由上板和帶水冷卻的下板形成的密閉空腔體內(nèi)進(jìn)行運(yùn)動(dòng);另一邊則是安裝了一個(gè)紅外測(cè)溫儀,通過觀察玻璃與遮光板,通過程序刷選剔除遮光時(shí)間段的溫度信號(hào),對(duì)爐體內(nèi)部的溫度進(jìn)行采集,經(jīng)過系統(tǒng)的刷選和過濾,來得到準(zhǔn)確的溫度值。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:
[0014]在整個(gè)藍(lán)寶石爐晶體的拉制過程中,操作人員都可以通過本發(fā)明對(duì)爐體內(nèi)部溫度進(jìn)行監(jiān)控,來判斷出晶體的生長(zhǎng)情況,為后面引晶、長(zhǎng)晶提供了一個(gè)可靠的數(shù)值依據(jù),也可以通過與控制系統(tǒng)做成一個(gè)溫度-功率的閉環(huán),來實(shí)現(xiàn)藍(lán)寶石爐的自動(dòng)化引晶檢測(cè)和長(zhǎng)晶,將大大提高了藍(lán)寶石爐的自動(dòng)化程度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1為本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖中的附圖標(biāo)記為:1上板;2下板;3旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu);4擺動(dòng)氣缸;5遮光板;6觀察玻璃;7紅外測(cè)溫儀。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖與【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述:
[0018]圖1中的藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置包括紅外測(cè)溫儀7、上板1、下板2、遮光板5、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)3、擺動(dòng)氣缸4和觀察玻璃6,其中,采用紅外測(cè)溫儀7用來測(cè)量溫度,測(cè)量值精準(zhǔn),反應(yīng)靈敏,能夠及時(shí)的讓操作人員發(fā)覺爐體內(nèi)部的溫度變化,從而做出正確的判斷。
[0019]上板I和下板2連接形成密閉腔體,遮光板5以寶塔形分層安裝在密閉腔體內(nèi),對(duì)隔熱效果更加好。擺動(dòng)氣缸4連接有壓縮空氣機(jī),壓縮空氣機(jī)用于提向擺動(dòng)氣缸4輸入壓縮空氣進(jìn)而產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),通過對(duì)壓縮空氣進(jìn)入擺動(dòng)氣缸4的方向控制,實(shí)現(xiàn)來回反復(fù)擺動(dòng)。其中,擺動(dòng)氣缸4可連接控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)用于對(duì)壓縮空氣進(jìn)入擺動(dòng)氣缸4的方向和擺動(dòng)氣缸4的擺動(dòng)頻率實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。轉(zhuǎn)動(dòng)軸一端與擺動(dòng)氣缸4的輸入軸直接連接,接入壓縮空氣得到動(dòng)力,通過程序的控制,使密閉腔體內(nèi)外的轉(zhuǎn)動(dòng)軸做間斷性的反復(fù)來回?cái)[動(dòng)。轉(zhuǎn)動(dòng)軸的另一端依次穿過旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)3和下板2,并與遮光板5連接。旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)3包括一個(gè)小型磁流體,能夠確保爐體內(nèi)部的真空環(huán)境,而使用磁流體對(duì)高頻率、長(zhǎng)時(shí)間的轉(zhuǎn)動(dòng)密封更加安全可靠。觀察玻璃6安裝在下板2下方的觀察口,紅外測(cè)溫儀7安裝在觀察玻璃6下方,紅外測(cè)溫儀7通過觀察玻璃6直接測(cè)量爐體內(nèi)部的指定區(qū)域的溫度。轉(zhuǎn)動(dòng)軸帶動(dòng)遮光板5進(jìn)行來回的反復(fù)運(yùn)動(dòng),能夠?qū)τ^察口進(jìn)行遮擋和打開兩種狀態(tài)的實(shí)現(xiàn),使紅外測(cè)溫儀7間斷性地測(cè)量爐體內(nèi)部的溫度,經(jīng)過系統(tǒng)的自動(dòng)刷選過濾,得到更加準(zhǔn)確的溫度值,同時(shí)能夠防止氧化物污染觀察玻璃6,導(dǎo)致測(cè)量的溫度值不準(zhǔn)確。下板2上連接有冷卻水路,能夠大大降低本身受到的來自爐體內(nèi)部的高溫,保護(hù)整個(gè)裝置的密封,延長(zhǎng)了使用壽命。上板I上焊接有一個(gè)快卸法蘭,用于將藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置安裝到藍(lán)寶石爐體上,快卸法蘭的位置與下板2上的觀察口對(duì)齊。
[0020]擺動(dòng)氣缸4的擺動(dòng)頻率應(yīng)滿足條件ΡΚ/Τ,其中f為擺動(dòng)氣缸4的擺動(dòng)頻率,K1為比例系數(shù),且K1的取值范圍為3000?4000,T為觀察玻璃6的使用壽命。擺動(dòng)氣缸4的擺動(dòng)頻率同時(shí)也滿足條件f=K2XS,其中f為擺動(dòng)氣缸4的擺動(dòng)頻率,K2為比例系數(shù),且K2的取值范圍為10?50,S為紅外測(cè)溫儀7單位時(shí)間內(nèi)所測(cè)得的數(shù)據(jù)的次數(shù)。從式中可知,當(dāng)擺動(dòng)頻率f越大時(shí),觀察玻璃6的使用壽命就越短;同時(shí),擺動(dòng)氣缸4的擺動(dòng)頻率越大時(shí),紅外測(cè)溫儀7所測(cè)得的數(shù)據(jù)越多,所得的數(shù)值就更加的準(zhǔn)確,能夠更加準(zhǔn)確的反應(yīng)出爐體內(nèi)部的實(shí)際的溫度變化曲線。根據(jù)上述的分析所得,擺動(dòng)氣缸4的擺動(dòng)頻率應(yīng)該通過實(shí)際取得在一個(gè)合適的試制范圍內(nèi),從而有效的測(cè)得所需要的爐體內(nèi)部的溫度值,也使使用壽命達(dá)到最大化。
[0021]安裝時(shí):首先將旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)3安裝到下板2—側(cè)上,轉(zhuǎn)動(dòng)軸的一端安裝在遮光板5上,另一端直接安裝在擺動(dòng)氣缸4上;然后將外界的壓縮空氣機(jī)直接連接到擺動(dòng)氣缸4使其得到轉(zhuǎn)動(dòng)動(dòng)力;接下來在下板2的另一側(cè),將紅外測(cè)溫儀7安裝到紅外測(cè)溫儀座上,并安裝觀察玻璃6和遮光板5,紅外測(cè)溫儀7通過觀察玻璃6與遮光板5對(duì)爐體內(nèi)部進(jìn)行溫度測(cè)量,經(jīng)過程序的篩選,剔除遮光時(shí)間段的溫度信號(hào),提取到準(zhǔn)確的溫度值。最后,將上板I和下板2進(jìn)行連接,形成一個(gè)密閉的腔體,接通下板2上的水冷卻,再將整個(gè)裝置安裝到藍(lán)寶石爐體上即可。
[0022]最后,需要注意的是,以上列舉的僅是本發(fā)明的具體實(shí)施例。顯然,本發(fā)明不限于以上實(shí)施例,還可以有很多變形。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能從本發(fā)明公開的內(nèi)容中直接導(dǎo)出或聯(lián)想到的所有變形,均應(yīng)認(rèn)為是本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置,包括紅外測(cè)溫儀,其特征在于,還包括上板、下板、遮光板、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)、擺動(dòng)氣缸和觀察玻璃;上板和下板連接形成密閉腔體,遮光板安裝在密閉腔體內(nèi);轉(zhuǎn)動(dòng)軸一端與擺動(dòng)氣缸的輸入軸連接,轉(zhuǎn)動(dòng)軸的另一端依次穿過旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)和下板,并與遮光板連接;觀察玻璃安裝在下板下方的觀察口,紅外測(cè)溫儀安裝在觀察玻璃下方;所述擺動(dòng)氣缸用于為遮光板提供動(dòng)力輸入,使觀察口能觀察到遮光板遮擋和打開兩種狀態(tài);所述旋轉(zhuǎn)密封結(jié)構(gòu)包括磁流體,用于保證傳動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)密封。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置,其特征在于,所述下板上連接有冷卻水路,冷卻水路用于降低下板的溫度和增加密閉腔體內(nèi)的密封性。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置,其特征在于,所述遮光板以寶塔形分層安裝在上板和下板形成的密閉腔體內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置,其特征在于,所述擺動(dòng)氣缸連接有壓縮空氣機(jī),壓縮空氣機(jī)用于提供輸入擺動(dòng)氣缸的壓縮空氣。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置,其特征在于,所述擺動(dòng)氣缸連接有控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)用于對(duì)壓縮空氣進(jìn)入擺動(dòng)氣缸的方向和擺動(dòng)氣缸的擺動(dòng)頻率實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5任意一項(xiàng)所述的藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置,其特征在于,所述上板上焊接有一個(gè)快卸法蘭,用于將藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置安裝到藍(lán)寶石爐體上,快卸法蘭的位置與下板上的觀察口對(duì)齊。
7.基于權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置的控制方法,其特征在于,利用所述藍(lán)寶石爐間斷測(cè)溫裝置進(jìn)行測(cè)溫時(shí),擺動(dòng)氣缸的擺動(dòng)頻率滿足公式fzKi/T和f=K2X S,其中f為擺動(dòng)氣缸的擺動(dòng)頻率,K1為比例系數(shù),且K1的取值范圍為3000?4000,T為觀察玻璃的使用壽命,K2為比例系數(shù),且K2的取值范圍為10?50,S為紅外測(cè)溫儀單位時(shí)間內(nèi)所測(cè)得的數(shù)據(jù)的次數(shù)。
【文檔編號(hào)】F27B14/04GK103471391SQ201310362354
【公開日】2013年12月25日 申請(qǐng)日期:2013年8月19日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月29日
【發(fā)明者】張俊, 朱亮, 付春雷, 沈興潮, 張成方 申請(qǐng)人:浙江晶盛機(jī)電股份有限公司
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