本發(fā)明涉及真空傳送領(lǐng)域，尤其涉及一種樣品傳送裝置及超高真空傳輸設(shè)備。
背景技術(shù)：
在超高真空材料的生長及測試領(lǐng)域中，由于在傳統(tǒng)的真空實(shí)驗(yàn)設(shè)備腔室內(nèi)，樣品進(jìn)出真空腔室一般都依靠傳送桿傳送。在常規(guī)的樣品傳送過程中，首先，將樣品放在帶有樣品放置臺(tái)的傳送桿上；然后，將樣品傳遞窗口關(guān)閉；傳送室抽真空，當(dāng)真空度低于一定值的時(shí)候，打開真空腔室的樣品傳送門，這時(shí)手動(dòng)推動(dòng)樣品傳送桿將樣品慢慢推進(jìn)超高真空腔室內(nèi)。當(dāng)樣品到達(dá)真空腔室，將樣品卸下來，同時(shí)將傳送桿緩慢移出真空腔室內(nèi)，并關(guān)閉真空腔室。
但是，這種方法在樣品傳送過程中存在以下不足：1、由于樣品是放在傳送桿上的，所以傳送桿的長度直接決定了樣品的傳送距離；對于超高真空互聯(lián)裝置這種需要樣品傳輸距離較長的實(shí)驗(yàn)室，機(jī)械傳送臂的適用性大打折扣；2、由于整個(gè)實(shí)驗(yàn)設(shè)備都處在真空環(huán)境下，當(dāng)我們手動(dòng)推送傳送桿時(shí)，傳送桿和傳送軌之間的摩擦力很大，這都大大限制了這種方法的使用范圍。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，提供一種樣品傳送裝置及超高真空傳輸設(shè)備，其能夠方便地在真空中傳送樣品，且提高了樣品的傳輸速率和效率。
為了解決上述問題，本發(fā)明提供了一種樣品傳送裝置，包括：軌道，以及沿所述軌道延伸方向，分設(shè)于所述軌道兩側(cè)的引導(dǎo)軌；與所述兩個(gè)引導(dǎo)軌分別對應(yīng)的兩個(gè)懸浮架，所述引導(dǎo)軌和/或懸浮架上設(shè)置有電磁機(jī)構(gòu)，所述電磁機(jī)構(gòu)用于提供所述懸浮架懸浮的作用力；設(shè)置在懸浮架和引導(dǎo)軌上的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，用于驅(qū)動(dòng)所述懸浮架沿所述引導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；樣品室，連接至所述兩個(gè)懸浮架。
進(jìn)一步，還包括設(shè)置在所述引導(dǎo)軌或懸浮架上的氣隙傳感器，所述氣隙傳感器用于控制所述懸浮架的懸浮高度。
進(jìn)一步，所述懸浮架凹設(shè)有安裝槽，所述引導(dǎo)軌配合于所述安裝槽內(nèi)。
進(jìn)一步，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)分別設(shè)置于所述引導(dǎo)軌上表面、以及所述安裝槽的對應(yīng)內(nèi)側(cè)表面上。
進(jìn)一步，所述電磁機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述懸浮架安裝槽與所述引導(dǎo)軌下表面對應(yīng)的內(nèi)側(cè)表面上。
進(jìn)一步，所述引導(dǎo)軌為f形軌道，和/或所述引導(dǎo)軌與所述軌道固定連接。
進(jìn)一步，還包括一軌道底座，所述軌道設(shè)置在所述軌道底座上方且與所述軌道底座連接以支撐所述軌道。
進(jìn)一步，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)為直線電機(jī)。
進(jìn)一步，所述懸浮架與所述樣品室通過一連接器可拆卸連接。
本發(fā)明還提供一種超高真空傳輸設(shè)備，包括樣品傳送室以及位于所述樣品傳送室內(nèi)如上述的樣品傳送裝置。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于，解決了在超高真空設(shè)備中樣品的傳送距離過短，摩擦阻力過大等問題，實(shí)現(xiàn)了在真空設(shè)備中樣品無阻暢通地傳送的目的。
附圖說明
圖1是本發(fā)明樣品傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的樣品傳送裝置及超高真空傳輸設(shè)備的具體實(shí)施方式做詳細(xì)說明。
圖1是本發(fā)明樣品傳送裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。參見圖1，本發(fā)明樣品傳送裝置包括軌道1、兩個(gè)懸浮架2、驅(qū)動(dòng)電機(jī)3及樣品室4。
所述軌道1延伸至所述超高真空設(shè)備的樣品傳送室內(nèi)，所述軌道1可延伸至真空設(shè)備末端，進(jìn)而不會(huì)限制樣品的傳送距離。沿所述軌道1延伸方向，在所述軌道1兩側(cè)分別設(shè)置有引導(dǎo)軌5。優(yōu)選地，所述引導(dǎo)軌5為f形軌道，其形狀像英文f，是懸浮架承受懸浮力、導(dǎo)向力及牽引力的基礎(chǔ)構(gòu)件，實(shí)現(xiàn)懸浮、導(dǎo)向、牽引、制動(dòng)、懸浮間隙測量等功能。進(jìn)一步，所述引導(dǎo)軌5與所述軌道1固定連接。本發(fā)明樣品傳送裝置還包括一軌道底座6，所述軌道1設(shè)置在所述軌道底座6上方且與所述軌道底座6連接，所述軌道底座6支撐所述軌道1。且所述軌道底座6加高引導(dǎo)軌5的懸空高度，進(jìn)而避免影響懸浮架2運(yùn)行。
兩個(gè)懸浮架2與所述兩個(gè)引導(dǎo)軌5分別對應(yīng)。進(jìn)一步，每一懸浮架2凹設(shè)有安裝槽10，在本具體實(shí)施方式中，所述懸浮架2為凹型結(jié)構(gòu)，所述凹型結(jié)構(gòu)的凹陷即為安裝槽10。所述引導(dǎo)軌5配合于所述安裝槽10內(nèi)，即所述引導(dǎo)軌5延伸入所述安裝槽10內(nèi)，以使所述懸浮架2與所述引導(dǎo)軌5配合進(jìn)行傳送。
進(jìn)一步，所述引導(dǎo)軌5和/或懸浮架2上設(shè)置有電磁機(jī)構(gòu)7，所述電磁機(jī)構(gòu)7用于提供所述懸浮架5懸浮的作用力。在本具體實(shí)施方式中，所述電磁機(jī)構(gòu)7設(shè)置于所述懸浮架安裝槽10與所述引導(dǎo)軌5下表面對應(yīng)的內(nèi)側(cè)表面上，即所述電磁機(jī)構(gòu)7嵌入安裝槽10內(nèi)側(cè)表面。
所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)3設(shè)置在懸浮架2和引導(dǎo)軌5上，用于驅(qū)動(dòng)所述懸浮架2沿所述引導(dǎo)軌5運(yùn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)的作用是牽引和導(dǎo)向。在本具體實(shí)施方式中，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)3為直線電機(jī)。所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)3的兩部分分別設(shè)置在所述引導(dǎo)軌5上表面、以及所述安裝槽10的對應(yīng)內(nèi)側(cè)表面上。
所述樣品室4用于放置樣品，所述樣品室4設(shè)置在所述軌道1及懸浮架2上方，每一懸浮架2的頂端連接至所述樣品室4的下端，所述懸浮架2可對所述樣品室4起到支撐作用。優(yōu)選地，所述懸浮架2與所述樣品室4通過一連接器9可拆卸連接，所述樣品室4可從所述連接器9上拆卸，安裝樣品或者清洗，待需要使用時(shí)，再將所述樣品室4與所述連接器9連接。
進(jìn)一步，還包括設(shè)置在所述引導(dǎo)軌5或懸浮架2上的氣隙傳感器8，所述氣隙傳感器8用于控制所述懸浮架2的懸浮高度。在本具體實(shí)施方式中，所述氣隙傳感器8設(shè)置在引導(dǎo)軌5下方，例如引導(dǎo)軌5的f形狀的兩個(gè)橫桿之間。所述氣隙傳感器8用于檢測懸浮架2與引導(dǎo)軌5之間的距離，并可通過控制器調(diào)節(jié)兩者之間的距離。進(jìn)而控制所述懸浮架2的懸浮高度。當(dāng)引導(dǎo)軌5和電磁機(jī)構(gòu)7受到外界作用距離發(fā)生變化時(shí)，氣隙傳感器8感受到的磁相互作用發(fā)生變化，通過反饋改變電磁機(jī)構(gòu)的電流大小來控制引導(dǎo)軌5和電磁機(jī)構(gòu)7的磁相互作用力，從而達(dá)到調(diào)節(jié)距離的作用。
,本發(fā)明還提供一種超高真空傳輸設(shè)備，包括樣品傳送室（附圖中未標(biāo)示）以及位于所述樣品傳送室內(nèi)如上述的樣品傳送裝置。
本發(fā)明樣品傳送裝置的工作過程如下。
電磁機(jī)構(gòu)7通電后產(chǎn)生磁力，此時(shí)安裝在軌道1上的引導(dǎo)軌5和電磁機(jī)構(gòu)7相互吸引，由于磁相互吸引力將懸浮架2向上吸引，進(jìn)而使懸浮架2及設(shè)置于懸浮架2上的樣品室4懸浮，懸浮高度通過安裝在引導(dǎo)軌5下方的氣隙傳感器8控制。啟動(dòng)驅(qū)動(dòng)電機(jī)3，懸浮的樣品室4在驅(qū)動(dòng)電機(jī)3的驅(qū)動(dòng)下沿軌道1延伸方向運(yùn)動(dòng)，將載有樣品的樣品室4送入真空腔室。
以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。