一種環(huán)保型拋光液的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種環(huán)保型拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì)：三偏焦磷酸1-3份，磷酸二氫鉀5-13份，苯甲酸甲酯16-25份，乙二醇丁醚11-14份，馬來酸酐9-13份，表面活性劑10-14份，有機添加劑7-9份，除油劑1-2份，碳酸鈣7-10份，硬脂酸鹽7-14份，三乙胺4-13份，酒石酸5-10份，硼酸鋅4-13份，硬脂酰胺10-15份。本發(fā)明的拋光液性能穩(wěn)定，拋光效果好，可滿足制備納電子相變存儲器中工藝的需要。
【專利說明】一種環(huán)保型拋光液
【技術領域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種環(huán)保型拋光液。
【背景技術】
[0002]相變存儲器因具有高速讀取、高可擦寫次數(shù)、非易失性、元件尺寸小、功耗低、抗強震動和抗輻射、成本具有競爭力等優(yōu)點，而被國際半導體行業(yè)協(xié)會認為是最有可能取代目前的閃存存儲器的下一代非易失性存儲器。相變存儲器技術的基本原理是以硫系化合物為存儲介質(zhì)，利用電能使材料在晶態(tài)與非晶態(tài)(高阻)之間相互轉換實現(xiàn)信息的寫入與擦除，信息的讀出則靠測量電阻的變化實現(xiàn)。存儲單元包括由電介質(zhì)材料定義的細孔，相變材料沉積在細孔中，相變材料在細孔的一端上連接電極。電極接觸使電流通過該通道產(chǎn)生焦耳熱對該單元進行編程，或者讀取該單元的電阻狀態(tài)。
[0003]目前，在構建相變存儲單元時，通行的做法是:先通過磁控濺射的方法沉積相變材料在由電介質(zhì)材料定義的細孔中，然后通過反應離子刻蝕CRIE)或者化學機械拋光的方法，將細空上方的相變材料進行去除。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種環(huán)保型拋光液。
[0005]為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的技術方案是:
一種環(huán)保型拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):三偏焦磷酸1-3份，磷酸二氫鉀5-13份，苯甲酸甲酯16-25份，乙二醇丁醚11-14份，馬來酸酐9-13份，表面活性劑
10-14份，有機添加劑7-9份，除油劑1-2份，碳酸鈣7-10份，硬脂酸鹽7-14份，三乙胺4-13份，酒石酸5-10份，硼酸鋅4-13份，硬脂酰胺10-15份。
[0006]本發(fā)明的拋光液性能穩(wěn)定，拋光效果好，可滿足制備納電子相變存儲器中工藝的需要。
【具體實施方式】
[0007]實施例1
一種環(huán)保型拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):三偏焦磷酸1-3份，磷酸二氫鉀5-13份，苯甲酸甲酯16-25份，乙二醇丁醚11-14份，馬來酸酐9-13份，表面活性劑
10-14份，有機添加劑7-9份，除油劑1-2份，碳酸鈣7-10份，硬脂酸鹽7-14份，三乙胺4-13份，酒石酸5-10份，硼酸鋅4-13份，硬脂酰胺10-15份。
【權利要求】
1.一種環(huán)保型拋光液，其特征在于，包括下列重量份數(shù)的物質(zhì):三偏焦磷酸1-3份，磷酸二氫鉀5-13份,苯甲酸甲酯16-25份，乙二醇丁醚11-14份,馬來酸酐9-13份,表面活性劑10-14份，有機添加劑7-9份，除油劑1-2份，碳酸鈣7-10份，硬脂酸鹽7-14份，三乙胺4-13份，酒石酸5-10份，硼酸鋅4-13份，硬脂酰胺10-15份。
【文檔編號】C09G1/02GK104059544SQ201410291996
【公開日】2014年9月24日 申請日期:2014年6月26日 優(yōu)先權日:2014年6月26日
【發(fā)明者】范向奎 申請人:青島寶泰新能源科技有限公司