旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置的制作方法

本發(fā)明涉及銀靶材的晶粒細(xì)化領(lǐng)域，尤其涉及一種旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置。

背景技術(shù)：

隨著國家節(jié)能減排政策的執(zhí)行力度加大以及人們對低碳環(huán)保意識的加強(qiáng)，以低輻射玻璃為代表的節(jié)能玻璃在門窗、玻璃幕墻中的應(yīng)用越來越廣泛。

其中，在低輻射玻璃家族中，由于雙銀低輻射玻璃具有節(jié)能性能優(yōu)異的優(yōu)點(diǎn)，故使得雙銀低輻射玻璃得到大量應(yīng)用，從而為玻璃廠家的發(fā)展提供優(yōu)越的發(fā)展平臺。

眾所周知，在雙銀低輻射玻璃的制造過程中，會涉及到玻璃的濺射等工藝，所采用的靶材主要有平面銀靶材及旋轉(zhuǎn)銀靶材。由于平面靶存在濺射效率低，使用周期僅為35天而導(dǎo)致?lián)Q靶頻繁及生產(chǎn)成本高等缺點(diǎn)，而旋轉(zhuǎn)銀靶材具有利用率高、使用時間長、濺射過程中產(chǎn)生較少的電弧等優(yōu)點(diǎn)，故使得旋轉(zhuǎn)銀靶材越來越受到人們的關(guān)注。

由于磁控濺射鍍膜線是生產(chǎn)節(jié)能環(huán)保玻璃的主要設(shè)備，旋轉(zhuǎn)銀靶材作為玻璃鍍膜的新材料正在投入市場試用，但是，旋轉(zhuǎn)銀靶材在使用過程中的均勻性較差，在調(diào)試好后的使用過程中，旋轉(zhuǎn)銀靶材的均勻性常常發(fā)生變化，由于均勻性的變化導(dǎo)致鍍膜玻璃的銀膜層的厚度變化，從而導(dǎo)致鍍膜玻璃顏色產(chǎn)生色差。

因此，有必要提供一種旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置來克服上述的缺陷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于提供一種旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置，提高旋轉(zhuǎn)銀靶材的均勻性和降低銀靶材的晶粒大小。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為：提供一種旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置，適用對旋轉(zhuǎn)銀靶材中的晶粒進(jìn)行輥壓細(xì)化，所述旋轉(zhuǎn)銀靶材安裝于機(jī)床的主軸上，所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置組裝于所述機(jī)床的托板上，所述托板沿所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的軸向呈往復(fù)滑移的布置。其中，本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置包括第一安裝架、第二安裝架、座架、驅(qū)動器及相互配合輥壓的第一輥壓輪組和第二輥壓輪組。所述第一輥壓輪組安裝于所述第一安裝架并與該第一安裝架位于所述旋轉(zhuǎn)銀靶材徑向的一側(cè)處，所述第二輥壓輪組安裝于所述第二安裝架并與該第二安裝架位于所述旋轉(zhuǎn)銀靶材徑向的另一側(cè)處，所述驅(qū)動器安裝在所述座架上，所述驅(qū)動器與所述第一安裝架及第二安裝架中至少一者連接；當(dāng)所述驅(qū)動器驅(qū)使所述第一安裝架和第二安裝架相對運(yùn)動而使所述第一輥壓輪組和第二輥壓輪組一起抱緊所述旋轉(zhuǎn)銀靶材時，則被所述主軸帶動旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)銀靶材被所述第一輥壓輪組和第二輥壓輪組一起輥壓細(xì)化，且所述托板帶動所述第一輥壓輪組和第二輥壓輪組沿所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的軸向輥壓細(xì)化該旋轉(zhuǎn)銀靶材的各處。

較佳地，所述座架與所述第二安裝架同側(cè)布置，所述驅(qū)動器驅(qū)使所述第二安裝架朝靠近或遠(yuǎn)離所述第一安裝架處移動。

較佳地，所述第一輥壓輪組包含沿所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的徑向呈一上一下布置的上輥壓輪及下輥壓輪，所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的軸心位于所述第一輥壓輪組的上輥壓輪及下輥壓輪間。

較佳地，所述第二輥壓輪組包含沿所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的徑向呈一上一下布置的上輥壓輪及下輥壓輪，所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的軸心位于所述第二輥壓輪組的上輥壓輪及下輥壓輪間。

較佳地，所述第一輥壓輪組的上輥壓輪與所述第二輥壓輪組的上輥壓輪相正對，所述第一輥壓輪組的下輥壓輪與所述第二輥壓輪組的下輥壓輪相正對。

較佳地，所述座架具有面對所述旋轉(zhuǎn)銀靶材的容置活動槽，所述第二安裝架呈匹配地置于所述容置活動槽內(nèi)，所述驅(qū)動器的輸出端伸至所述容置活動槽再與所述第二安裝架連接。

較佳地，所述容置活動槽的上槽壁及下槽壁均凸伸出導(dǎo)軌部，所述第二安裝架的上下端部對應(yīng)地開設(shè)有導(dǎo)槽，所述導(dǎo)軌部嵌于所述導(dǎo)槽內(nèi)。

較佳地，所述驅(qū)動器為一氣缸或一直線電機(jī)。

較佳地，所述機(jī)床為一車床。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明中的旋轉(zhuǎn)銀靶材安裝于機(jī)床的主軸上，而旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置組裝于機(jī)床的托板上，托板沿旋轉(zhuǎn)銀靶材的軸向呈往復(fù)滑移的布置，且晶粒輥壓細(xì)化裝置包括第一安裝架、第二安裝架、座架、驅(qū)動器及相互配合輥壓的第一輥壓輪組和第二輥壓輪組，故當(dāng)驅(qū)動器驅(qū)使第一安裝架和第二安裝架相對運(yùn)動而使第一輥壓輪組和第二輥壓輪組一起抱緊旋轉(zhuǎn)銀靶材時，則被主軸帶動旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)銀靶材被第一輥壓輪組和第二輥壓輪組一起輥壓細(xì)化，且托板帶動第一輥壓輪組和第二輥壓輪組沿旋轉(zhuǎn)銀靶材的軸向輥壓細(xì)化該旋轉(zhuǎn)銀靶材的各處，使得旋轉(zhuǎn)銀靶材通過不斷地被本發(fā)明的晶粒輥壓細(xì)化裝置所擠壓，有效地提高旋轉(zhuǎn)銀靶材的致密性，消除旋轉(zhuǎn)銀靶材中的氣泡，使得旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒變小，從而提高了旋轉(zhuǎn)銀靶材的均勻性，使旋轉(zhuǎn)銀靶材正常應(yīng)用在鍍膜生產(chǎn)中相比平面銀靶材更能夠延長鍍膜換靶的周期，提高鍍膜線的利用效率。另，由于本發(fā)明的晶粒輥壓細(xì)化裝置包括第一安裝架、第二安裝架、第一輥壓輪組、第二輥壓輪組、座架及驅(qū)動器，故使得本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置的結(jié)構(gòu)簡單及成本更低。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1所示的晶粒輥壓細(xì)化裝置沿旋轉(zhuǎn)銀靶材的軸向投影的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是圖1所示的晶粒輥壓細(xì)化裝置在隱藏旋轉(zhuǎn)銀靶材及夾具后的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是圖3中箭頭A所指部分的平面結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例，附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元件。

請參閱圖1，本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置200適用對旋轉(zhuǎn)銀靶材200中的晶粒進(jìn)行輥壓細(xì)化，以提高旋轉(zhuǎn)銀靶材200的品質(zhì)，確保后續(xù)濺射玻璃的質(zhì)量。

其中，旋轉(zhuǎn)銀靶材200安裝于機(jī)床的主軸上，較優(yōu)是安裝于車床的主軸(圖中未示)上，適應(yīng)性更強(qiáng)，但不以此為限；具體地，如圖1及圖2所示，旋轉(zhuǎn)銀靶材200是被主軸的夾具10所夾緊固定，夾具10包含沿旋轉(zhuǎn)銀靶材200的周向布置的多個夾塊11，所有的夾塊11呈等圓心角的布置，以使得旋轉(zhuǎn)銀靶材200更可靠地被夾塊11所夾緊；舉例而言，在本實(shí)施例中，位于旋轉(zhuǎn)銀靶材200的前端處的夾具10的夾塊11及位于旋轉(zhuǎn)銀靶材200的后端處的夾具10的夾塊11各為三個，相鄰兩夾塊11所占的圓心角為120度，但不以此為限。

如圖1至圖4所示，本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置20組裝于機(jī)床的托板(圖中未示)上，托板沿旋轉(zhuǎn)銀靶材200的軸向呈往復(fù)滑移的布置，使得操作人員通過驅(qū)使托板做往復(fù)滑移就能帶動本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置20做協(xié)調(diào)的往復(fù)滑移，以滿足旋轉(zhuǎn)銀靶材200的輥壓細(xì)化的工藝需要。舉例而言，在本實(shí)施例中，操作人員是通過手柄去帶動托板做往復(fù)的滑移，當(dāng)然，根據(jù)實(shí)際需要可將托板的往復(fù)滑移設(shè)計(jì)為自動的，但不以此為限。

又如圖1至圖4所示，本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置20包括第一安裝架21、第二安裝架22、座架23、驅(qū)動器24及相互配合輥壓的第一輥壓輪組25和第二輥壓輪組26。第一輥壓輪組25安裝于第一安裝架21并與該第一安裝架21位于旋轉(zhuǎn)銀靶材200徑向的一側(cè)處，第二輥壓輪組26安裝于第二安裝架22并與該第二安裝架22位于旋轉(zhuǎn)銀靶材200徑向的另一側(cè)處，從而使得旋轉(zhuǎn)銀靶材200沿其徑向位于第一輥壓輪組25及第二輥壓輪組26之間，為第一輥壓輪組25及第二輥壓輪組26抱緊旋轉(zhuǎn)銀靶材200做準(zhǔn)備。具體地，如圖1及圖3所示，在本實(shí)施例中，第一輥壓輪組25包含沿旋轉(zhuǎn)銀靶材200的徑向呈一上一下布置的上輥壓輪251及下輥壓輪252，旋轉(zhuǎn)銀靶材200的軸心210位于第一輥壓輪組25的上輥壓輪251及下輥壓輪252間；同時，第二輥壓輪組26包含沿旋轉(zhuǎn)銀靶材200的徑向呈一上一下布置的上輥壓輪261及下輥壓輪262，旋轉(zhuǎn)銀靶材200的軸心210位于第二輥壓輪組26的上輥壓輪261及下輥壓輪262間；這樣設(shè)置的目的是使得旋轉(zhuǎn)銀靶材200更可靠地被在做相對閉合運(yùn)動的第一輥壓輪組25和第二輥壓輪組26所輥壓細(xì)化，進(jìn)一步地提高旋轉(zhuǎn)銀靶材200的均勻性；舉例而言，在本實(shí)施例中，第一輥壓輪組25的上輥壓輪251與第二輥壓輪組26的上輥壓輪261相正對，第一輥壓輪組25的下輥壓輪252與第二輥壓輪組26的下輥壓輪262相正對，使得第一輥壓輪組25對旋轉(zhuǎn)銀靶材200的輥壓施力處與第二輥壓輪組26對旋轉(zhuǎn)銀靶材200的輥壓施力處一致性更好，有效地消除旋轉(zhuǎn)銀靶材200的氣泡，降低旋轉(zhuǎn)銀靶材200的晶粒大小，使得旋轉(zhuǎn)銀靶材200的均勻性更好，但不以此為限。

如圖1至圖4所示，驅(qū)動器24安裝在座架23上；較優(yōu)的是，在本實(shí)施例中，驅(qū)動器24為一氣缸以簡化其結(jié)構(gòu)，還使得驅(qū)動器24的作動更直接，以及根據(jù)實(shí)際需要去調(diào)節(jié)氣缸的壓力，當(dāng)然，在其它實(shí)施例中，驅(qū)動器24可為直線電機(jī)，故不以此為限。具體地，在本實(shí)施例中，驅(qū)動器24與第二安裝架22連接，驅(qū)動器24驅(qū)使第一安裝架21和第二安裝架22相對運(yùn)動而使第一輥壓輪組25和第二輥壓輪組26一起包緊旋轉(zhuǎn)銀靶材200。當(dāng)然，在其它實(shí)施例中，驅(qū)動器24還可以與第一安裝架21連接，或者，同時與第一安裝架21及第二安裝架22連接，一起達(dá)到使第一安裝架21及第二安裝架22做相對運(yùn)動的的目的，故不以此為限。舉例而言，如圖1所示，在本實(shí)施例中，座架23與第二安裝架22同側(cè)布置，使得驅(qū)動器24驅(qū)使第二安裝架22朝靠近或遠(yuǎn)離第一安裝架21處移動，以滿足第一輥壓輪組25與第二輥壓輪組26配合抱緊旋轉(zhuǎn)銀靶材200的目的，但不以此為限。為使得第二安裝架22于座架23處的滑移更平穩(wěn)可靠，進(jìn)而確保第二輥壓輪組26與第一輥壓輪組25間工作的可靠性，故座架23具有面對旋轉(zhuǎn)銀靶材200的容置活動槽27，第二安裝架22呈匹配地置于容置活動槽27內(nèi)，驅(qū)動器24的輸出端伸至容置活動槽27再與第二安裝架22連接；較優(yōu)的是，在本實(shí)施例中，容置活動槽27的上槽壁及下槽壁均凸伸出導(dǎo)軌部271，第二安裝架22的上下端部對應(yīng)地開設(shè)有導(dǎo)槽221，導(dǎo)軌部271嵌于導(dǎo)槽221內(nèi)，使得第二安裝架22在導(dǎo)軌部271與導(dǎo)槽221的配合下相對座架23做更平穩(wěn)的滑移，從而確保第二輥壓輪組26相對第一輥壓輪組25運(yùn)動的可靠性。

當(dāng)驅(qū)動器24驅(qū)使第一安裝架21和第二安裝架22相對運(yùn)動而使第一輥壓輪組25和第二輥壓輪組26一起抱緊旋轉(zhuǎn)銀靶材200時，則被主軸帶動旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)銀靶材200被第一輥壓輪組25和第二輥壓輪26一起輥壓細(xì)化，且托板帶動第一輥壓輪組25和第二輥壓輪組26沿旋轉(zhuǎn)銀靶材200的軸向輥壓細(xì)化該旋轉(zhuǎn)銀靶材200的各處，使得旋轉(zhuǎn)銀靶材200通過被本發(fā)明的晶粒輥壓細(xì)化裝置20不斷擠壓，使得旋轉(zhuǎn)銀靶材200可以提高致密性，消除旋轉(zhuǎn)銀靶材200的氣泡，使得旋轉(zhuǎn)銀靶材200的晶粒變小，從而提高旋轉(zhuǎn)銀靶材200的均勻性，使得鍍膜線的效率得到提高。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明中的旋轉(zhuǎn)銀靶材200安裝于機(jī)床的主軸上，而旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置20組裝于機(jī)床的托板上，托板沿旋轉(zhuǎn)銀靶材200的軸向呈往復(fù)滑移的布置，且晶粒輥壓細(xì)化裝置20包括第一安裝架21、第二安裝架22、座架23、驅(qū)動器24及相互配合輥壓的第一輥壓輪組25和第二輥壓輪組26，故當(dāng)驅(qū)動器24驅(qū)使第一安裝架21和第二安裝架22相對運(yùn)動而使第一輥壓輪組25和第二輥壓輪組26一起抱緊旋轉(zhuǎn)銀靶材200時，則被主軸帶動旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)銀靶材200被第一輥壓輪組25和第二輥壓輪組26一起輥壓細(xì)化，且托板帶動第一輥壓輪組25和第二輥壓輪組26沿旋轉(zhuǎn)銀靶材200的軸向輥壓細(xì)化該旋轉(zhuǎn)銀靶材200的各處，使得旋轉(zhuǎn)銀靶材200通過不斷地被本發(fā)明的晶粒輥壓細(xì)化裝置20所擠壓，有效地提高旋轉(zhuǎn)銀靶材200的致密性，消除旋轉(zhuǎn)銀靶材200中的氣泡，使得旋轉(zhuǎn)銀靶材200的晶粒變小，從而提高了旋轉(zhuǎn)銀靶材200的均勻性，使旋轉(zhuǎn)銀靶材200正常應(yīng)用在鍍膜生產(chǎn)中相比平面銀靶材更能夠延長鍍膜換靶的周期，提高鍍膜線的利用效率。另，由于本發(fā)明的晶粒輥壓細(xì)化裝置20包括第一安裝架21、第二安裝架22、第一輥壓輪組25、第二輥壓輪組26、座架23及驅(qū)動器24，故使得本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)銀靶材的晶粒輥壓細(xì)化裝置20的結(jié)構(gòu)簡單及成本更低。

上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。