專(zhuān)利名稱(chēng)：側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟及側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種蒸發(fā)舟，尤其涉及一種對(duì)有機(jī)發(fā)光二極管和太陽(yáng)能電池板中大面積的基板進(jìn)行側(cè)向蒸鍍的立式蒸發(fā)舟及立式蒸發(fā)裝置。
背景技術(shù)：
OLED (英文全稱(chēng)為0rganic Light-Emitting Diode,中文名稱(chēng)為有機(jī)發(fā)光二極管)由于具備輕薄(面板厚度一般小于2毫米)、省電(操作電壓一般為3伏至10伏之間)等特性，因此在數(shù)碼產(chǎn)品的顯示屏上得到了廣泛應(yīng)用，并且具有較大的市場(chǎng)潛力，目前世界上對(duì)OLED的應(yīng)用都聚焦在平板顯示器上，因?yàn)镺LED是唯一在應(yīng)用上能和TFT-IXD相提并論的技術(shù)，且是目前所有顯示技術(shù)中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術(shù)， 可以做成和紙張一樣的厚度。因此，OLED的顯示技術(shù)是將來(lái)的顯示技術(shù)的發(fā)展方向。眾所周知，在OLED的制造過(guò)程中，會(huì)涉及到成千上萬(wàn)道工序，而OLED的基板鍍膜工序就是成千上萬(wàn)道工序中的一種。其中，在OLED的基板鍍膜過(guò)程中，會(huì)借助到蒸發(fā)舟對(duì)置于蒸發(fā)舟上的蒸發(fā)材料進(jìn)行加熱蒸發(fā)，使蒸發(fā)材料受熱產(chǎn)生蒸鍍物質(zhì)并鍍于基板上。但是，請(qǐng)見(jiàn)圖1，現(xiàn)有的蒸發(fā)舟300是水平地置于密封腔體的真空腔內(nèi)的，而基板200也是水平地置于密封腔體的真空腔內(nèi)并位于蒸發(fā)舟300的正上方，且基板200通過(guò)固定裝置500對(duì)置于蒸發(fā)舟300正上方的基板200之四周進(jìn)行固定，這使得基板200因四周被固定而導(dǎo)致該基板200的重心遠(yuǎn)離基板200的邊緣處，且在地球重力作用下使基板200產(chǎn)生變形，該變形在基板200的中心處更明顯，尤其對(duì)大面積的基板200來(lái)說(shuō)，此種情形更為突出；一方面影響到基板200的對(duì)位精度，另一方面使得基板200的膜厚因基板200的變形而導(dǎo)致不均勻，從而影響到基板200的鍍膜質(zhì)量。同樣，在太陽(yáng)能電池板的基板鍍膜過(guò)程中，也存在上述的缺陷。因此，急需要一種側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟及側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置來(lái)克服上述的缺陷。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明之一目的在于提供一種能確保大面積基板的對(duì)位精度并能提聞該基板鍛膜均勻性的側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟。本發(fā)明之另一目的在于提供一種能確保大積面基板的對(duì)位精度并能提聞該基板鍍膜均勻性的側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置。為實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明提供了一種側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟，適于設(shè)置在呈真空環(huán)境的密封腔體內(nèi)并對(duì)有機(jī)發(fā)光二極管和太陽(yáng)能電池板中大面積的基板進(jìn)行側(cè)向蒸鍍，其中，該基板呈豎直的設(shè)置，而所述側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟包括沿豎直方向設(shè)置并呈中空結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)舟本體。所述中空結(jié)構(gòu)形成一端貫穿所述蒸發(fā)舟本體一側(cè)的密封空腔，所述密封空腔的開(kāi)口與所述基板相對(duì)應(yīng)，且所述密封空腔內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)并供蒸發(fā)材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)通過(guò)的側(cè)蒸發(fā)出口，所述側(cè)蒸發(fā)出口與所述基板相對(duì)應(yīng)。較佳地，本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟還包括沿豎直方向設(shè)置并與所述蒸發(fā)舟本體相配合的蒸發(fā)舟蓋體，所述蒸發(fā)舟蓋體位于所述基板與所述蒸發(fā)舟本體之間，且所述蒸發(fā)舟蓋體沿豎直方向開(kāi)設(shè)有若干間隔開(kāi)并與所述基板相對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)孔，所述盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)穿過(guò)所述蒸發(fā)孔進(jìn)而蒸鍍于所述基板上。其中，借助蒸發(fā)舟蓋體能屏蔽蒸發(fā)舟本體處的部分溫度對(duì)基板鍍膜的影響，從而能進(jìn)一步地提高基板鍍膜的均勻性；同時(shí)，借助蒸發(fā)舟本體上的蒸發(fā)孔，便于盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)先穿過(guò)蒸發(fā)舟蓋體后才均勻地沉積于基板上，并可以通過(guò)控制蒸發(fā)孔的位置密度達(dá)到調(diào)整蒸鍍物質(zhì)沉積在基板上的膜厚。較佳地，所述密封空腔內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)的分隔片，所述分隔片與所述密封空腔的內(nèi)壁共同形成所述盛放部，相鄰兩所述分隔片之間以及所述分隔片中最高的分隔片與所述密封空腔對(duì)應(yīng)的內(nèi)壁之間共同形成所有所述側(cè)蒸發(fā)出口，以使得盛放部的形成簡(jiǎn)單并節(jié)省材料。
較佳地，所述立式蒸發(fā)舟還配置有為蒸發(fā)材料提供蒸發(fā)能量的加熱組件，所述加熱組件包括加熱絲及第一絕緣套排，所述第一絕緣套排與所述蒸發(fā)舟本體的遠(yuǎn)離所述密封空腔之開(kāi)口的一側(cè)鄰設(shè)，且所述第一絕緣套排圍繞所述蒸發(fā)舟本體，所述加熱絲的一端依次纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套上并與外界電源的正極電性連接，所述加熱絲的另一端與外界電源的負(fù)極電性連接，使得加熱絲能為蒸發(fā)舟本體各處的盛放部提供均勻的加熱溫度，從而確保每個(gè)盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速度一致性。具體地，所述加熱組件還包括第二絕緣套排，所述第二絕緣套排圍繞所述第一絕緣套排并使該第一絕緣套排位于所述蒸發(fā)舟本體與所述第二絕緣套排之間，所述加熱絲呈輪流的纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套和第二絕緣套排中的第二絕緣套上，能進(jìn)一步地確保每一盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速度一致性。本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置，適用于對(duì)有機(jī)發(fā)光二極管和太陽(yáng)能電池板中大面積的基板進(jìn)行側(cè)向蒸鍍，其中，本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置包括密封腔體、立式蒸發(fā)舟及加熱組件。所述密封腔體具有一密封的真空腔，所述基板豎直的設(shè)置并位于所述真空腔的一側(cè)內(nèi)。所述立式蒸發(fā)舟位于所述真空腔的另一側(cè)內(nèi)，且所述立式蒸發(fā)舟包括沿豎直方向設(shè)置并呈中空結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)舟本體，所述中空結(jié)構(gòu)形成一端貫穿所述蒸發(fā)舟本體一側(cè)的密封空腔，所述密封空腔的開(kāi)口與所述基板相對(duì)應(yīng)，且所述密封空腔內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)并供蒸發(fā)材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)通過(guò)的側(cè)蒸發(fā)出口，所述側(cè)蒸發(fā)出口與所述基板相對(duì)應(yīng)。所述加熱組件為所述盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料提供蒸發(fā)能量，且所述加熱組件與所述蒸發(fā)舟本體鄰設(shè)。較佳地，所述立式蒸發(fā)舟還包括沿豎直方向設(shè)置并與所述蒸發(fā)舟本體相配合的蒸發(fā)舟蓋體，所述蒸發(fā)舟蓋體位于所述基板與所述蒸發(fā)舟本體之間，且所述蒸發(fā)舟蓋體沿豎直方向開(kāi)設(shè)有若干間隔開(kāi)并與所述基板相對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)孔，所述盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)穿過(guò)所述蒸發(fā)孔進(jìn)而蒸鍍于所述基板上。其中，借助蒸發(fā)舟蓋體能屏蔽蒸發(fā)舟本體處的部分溫度對(duì)基板鍍膜的影響，從而能進(jìn)一步地提高基板鍍膜的均勻性；同時(shí)，借助蒸發(fā)舟本體上的蒸發(fā)孔，便于盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)先穿過(guò)蒸發(fā)舟蓋體后才均勻地沉積于基板上，并可以通過(guò)控制蒸發(fā)孔的位置密度達(dá)到調(diào)整蒸鍍物質(zhì)沉積在基板上的膜厚。較佳地，所述密封空腔內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)的分隔片，所述分隔片與所述密封空腔的內(nèi)壁共同形成所述盛放部，相鄰兩所述分隔片之間以及所述分隔片中最高的分隔片與所述密封空腔對(duì)應(yīng)的內(nèi)壁之間共同形成所有所述側(cè)蒸發(fā)出口，以使得盛放部的形成簡(jiǎn)單并節(jié)省材料。較佳地,所述加熱組件包括加熱絲及第一絕緣套排,所述第一絕緣套排與所述蒸發(fā)舟本體的遠(yuǎn)離所述密封空腔之開(kāi)口的一側(cè)鄰設(shè)，且所述第一絕緣套排圍繞所述蒸發(fā)舟本體，所述加熱絲的一端依次纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套上并與外界電源的正極電性連接，所述加熱絲的另一端與外界電源的負(fù)極電性連接，使得加熱絲能為蒸發(fā)舟本體各處的盛放部提供均勻的加熱溫度，從而確保每個(gè)盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速度一致性。具體地，所述加熱組件還包括第二絕緣套排，所述第二絕緣套排圍繞所述第一絕緣套排并使該第一絕緣套排位于所述蒸發(fā)舟本體與所述第二絕緣套排之間，所述加熱絲呈輪流的
纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套和第二絕緣套排中的第二絕緣套上，能進(jìn)一步地確保每一盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料的蒸發(fā)速度一致性。較佳地，所述密封腔體內(nèi)具有與外界液冷系統(tǒng)相連通的液冷通道，該液冷通道一方面能降低熱輻射對(duì)密封腔體外部的影響，另一方面在停止立式蒸發(fā)舟工作時(shí)能夠加速立式蒸發(fā)舟的降溫速度，相應(yīng)地縮短對(duì)本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置的維護(hù)時(shí)間。較佳地，本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置還包括隔熱機(jī)構(gòu)，所述隔熱機(jī)構(gòu)具有屏蔽板，所述屏蔽板設(shè)置于所述真空腔內(nèi)并圍繞所述加熱組件，一方面提高加熱組件對(duì)蒸發(fā)舟本體的熱利用率，另一方面避免熱輻射對(duì)不需要加熱的部位進(jìn)行加熱。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明大面積的基板呈豎直的設(shè)置，使基板的重心與基板的邊緣相重合，防止大面積基板的變形，從而提高了基板的對(duì)位精度，為基板鍍膜的均勻性創(chuàng)造良好的條件；同時(shí)，由于本發(fā)明的中空結(jié)構(gòu)形成一端貫穿蒸發(fā)舟本體一側(cè)的密封空腔，該密封空腔的開(kāi)口與基板相對(duì)應(yīng)，且密封空腔內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)并供蒸發(fā)材料盛放用的盛放部，盛放部具有供蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)通過(guò)的側(cè)蒸發(fā)出口，該側(cè)蒸發(fā)出口為本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟進(jìn)行側(cè)向蒸鍍創(chuàng)造條件，從而使得本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟因具有多個(gè)與基板相對(duì)應(yīng)的側(cè)蒸發(fā)出口而使盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)能均勻沉積于基板上，從而提高了大面積基板膜厚的均勻性。同時(shí)，由于本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置具有本發(fā)明的立式蒸發(fā)舟，故使得本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置能確保大積面基板的對(duì)位精度并能提高該基板鍍膜均勻性。
圖I是現(xiàn)有的蒸發(fā)舟對(duì)大面積基板進(jìn)行鍍膜的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟對(duì)大面積基板進(jìn)行蒸鍍的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟之蒸發(fā)舟本體的立體結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式為了詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征，以下結(jié)合實(shí)施方式并配合附圖作進(jìn)一步說(shuō)明。請(qǐng)參閱圖2至圖4，本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置100用于對(duì)有機(jī)發(fā)光二極管和太陽(yáng)能電池板中大面積的基板200進(jìn)行側(cè)向蒸鍍，其中，本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置100包括密封腔體10、立式蒸發(fā)舟20及加熱組件30。所述密封腔體10具有一密封的真空腔11，該真空腔11為基板200鍍膜提供真空環(huán)境；所述基板200豎直的設(shè)置并位于所述真空腔11的左側(cè)內(nèi)，且所述基板200通過(guò)固定裝置50固定于真空腔11內(nèi)。所述立式蒸發(fā)舟20位于所述真空腔11的右側(cè)內(nèi)，且所述立式蒸發(fā)舟20包括沿豎直方向設(shè)置并呈中空結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)舟本體21，所述中空結(jié)構(gòu)形成左端貫穿所述蒸發(fā)舟本體21左側(cè)的密封空腔22，該密封空腔22的開(kāi)口與所述基板200相對(duì)應(yīng)，且該密封空腔22內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)并供蒸發(fā)材料60盛放用的盛放部22b，具體地，該盛放部22b的個(gè)數(shù)是由所要鍍膜基板200的面積所決定的，也是本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)需要所熟知的，故在此不再對(duì)盛放部22b的數(shù)量進(jìn)行限定，且盛放部22b具有供蒸發(fā)材料60在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)通過(guò)的側(cè)蒸發(fā)出口 22c，該側(cè)蒸發(fā)出口 22c與所述基板200相對(duì)應(yīng)。而所述加熱組件30為所述盛放部22b內(nèi)的蒸發(fā)材料60提供蒸發(fā)能量，且所述加熱組件30與所述蒸發(fā)舟本體21鄰設(shè)。 其中，為了能降低熱輻射對(duì)密封腔體10外部的影響，并能在停止本發(fā)明的立式蒸發(fā)舟20工作時(shí)能夠加速立式蒸發(fā)舟20的降溫速度，相應(yīng)地縮短對(duì)本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置100的維護(hù)時(shí)間，故所述密封腔體10內(nèi)具有與外界液冷系統(tǒng)相連通的液冷通道12，該液冷通道12是圍繞下面提到的加熱組件30中的第二絕緣套排33設(shè)置的，且該液冷通道12可以是由開(kāi)設(shè)于密封腔體10內(nèi)的通槽所形成的，也可以是由埋設(shè)于密封腔體10內(nèi)的管道所形成的，而在本實(shí)施例中，液冷通道12就是由埋設(shè)于密封腔體10內(nèi)的管道所形成，以便于液冷通道12與外界液冷系統(tǒng)相連通；為了能屏蔽蒸發(fā)舟本體21處的部分溫度對(duì)基板200鍍膜的影響，從而能進(jìn)一步地提高基板200鍍膜的均勻性，并便于盛放部22b內(nèi)的蒸發(fā)材料60在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)能均勻地沉積于基板200上，故所述立式蒸發(fā)舟20還包括沿豎直方向設(shè)置并與所述蒸發(fā)舟本體21相配合的蒸發(fā)舟蓋體23，該蒸發(fā)舟蓋體23位于所述基板200與所述蒸發(fā)舟本體21之間，且所述蒸發(fā)舟蓋體23沿豎直方向開(kāi)設(shè)有若干間隔開(kāi)并與所述基板200相對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)孔23a，所述盛放部22b內(nèi)的蒸發(fā)材料60在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)穿過(guò)所述蒸發(fā)孔23a進(jìn)而蒸鍍于所述基板200上，使操作人員能通過(guò)控制蒸發(fā)孔23a的位置密度達(dá)到調(diào)整蒸鍍物質(zhì)沉積在基板200上的膜厚；為了能提高加熱組件30對(duì)蒸發(fā)舟本體21的熱利用率，并能避免熱輻射對(duì)不需要加熱的部位進(jìn)行加熱,故本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置100還設(shè)置有隔熱機(jī)構(gòu)，該隔熱機(jī)構(gòu)具有屏蔽板40，該屏蔽板40設(shè)置于所述真空腔11內(nèi)，且該屏蔽板40圍繞所述加熱組件30 ;具體地，在本實(shí)施例中，屏蔽板40是圍繞下面提到的加熱組件30中的第二絕緣套排33的，且該屏蔽板40包圍于第二絕緣套排33的右側(cè)、上側(cè)、下側(cè)、前側(cè)及后側(cè)的，以提高屏蔽板40的隔熱效果。更具體地,如下較優(yōu)者，所述密封空腔22內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)的分隔片221b，該分隔片221b與所述密封空腔22的內(nèi)壁222b共同形成所述盛放部22b，相鄰兩所述分隔片221b之間以及所述分隔片221b中最高的分隔片221b與所述密封空腔22對(duì)應(yīng)的內(nèi)壁(即是頂壁)之間共同形成所有所述側(cè)蒸發(fā)出口 22c，以使得盛放部22b的形成簡(jiǎn)單并節(jié)省材料。同時(shí)，所述加熱組件30包括加熱絲31及第一絕緣套排32，該第一絕緣套排32與所述蒸發(fā)舟本體21的遠(yuǎn)離所述密封空腔22之開(kāi)口的一側(cè)鄰設(shè)(即是密封空腔22的右側(cè))，且該第一絕緣套排32圍繞所述蒸發(fā)舟本體21 ;具體地，在本實(shí)施例中，第一絕緣套排32是圍繞蒸發(fā)舟本體21的右側(cè)、上則及下側(cè)的，當(dāng)然，第一絕緣套排32還可以只圍繞蒸發(fā)舟本體21的右側(cè)。而所述加熱絲31的上端依次纏繞于所述第一絕緣套排32中的第一絕緣套32a上并與外界電源的正極電性連接，所述加熱絲31的下端與外界電源的負(fù)極電性連接，以使得加熱絲31能為蒸發(fā)舟本體21各處的盛放部22b提供均勻的加熱溫度，從而確保每個(gè)盛放部22b內(nèi)的蒸發(fā)材料60的蒸發(fā)速度一致性。較優(yōu)是，所述加熱組件30還包括第二絕緣套排33，該第二絕緣套排33圍繞所述第一絕緣套排32并使該第一絕緣套排32位于所述蒸發(fā)舟本體21與所述第二絕緣套排33之間；具體地，在本實(shí)施例中，該第二絕緣套排33是圍繞所述第一絕緣套排32的右則、上側(cè)及下側(cè)的，當(dāng)然，該第二絕緣套排33還可以只圍繞所述第一絕緣套排32的右側(cè)，且所述加熱絲31呈輪流的纏繞于所述第一 絕緣套排32中的第一絕緣套32a和第二絕緣套排33中的第二絕緣套33a上，以進(jìn)一步地確保每一盛放部22b內(nèi)的蒸發(fā)材料60的蒸發(fā)速度一致性。結(jié)合圖2至圖4，對(duì)本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置的工作原理做詳細(xì)的說(shuō)明當(dāng)基板200置于密封腔體10的真空腔11內(nèi)，且基板200與立式蒸發(fā)舟20相對(duì)應(yīng)時(shí)，此時(shí)為加熱組件30中的加熱絲31通電，使加熱絲31為盛放部22b內(nèi)的蒸發(fā)材料60提供蒸發(fā)時(shí)所需要的熱量，并使盛放部22b內(nèi)的蒸發(fā)材料60被加熱蒸發(fā)形成蒸鍍物質(zhì)，該蒸鍍物質(zhì)依次地通過(guò)側(cè)蒸發(fā)出口 22c和蒸發(fā)舟蓋體23上的蒸發(fā)孔23a后便沉積于基板200上，該蒸鍍物質(zhì)的流向如圖2中波浪曲線(xiàn)所示，從而完成本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置100對(duì)基板200進(jìn)行均勻鍍膜的目的。其中，在基板200鍍膜過(guò)程中，操作人員根據(jù)實(shí)際需要而往液冷通道12內(nèi)輸送冷卻液以對(duì)密封腔體10提供冷卻作用，從而能進(jìn)一步地確?；?00鍍膜的均勻性；同時(shí)，在基板200鍍膜過(guò)程中，操作人員還可以根據(jù)實(shí)際需要而將蒸發(fā)舟本體21取出來(lái)，使盛放部22b內(nèi)的蒸發(fā)材料60被加熱蒸發(fā)后產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)只需通過(guò)側(cè)蒸發(fā)出口 22c便可沉積于基板200上，一樣能達(dá)到基板200鍍膜的均勻性目的，而此時(shí)的蒸鍍物質(zhì)的流向如圖3中波浪曲線(xiàn)所示。值得注意者，上述提到的左端、上端、下端、左側(cè)、右側(cè)、上側(cè)、下側(cè)、前側(cè)及后側(cè)均是以圖2為基準(zhǔn)而建立的，同時(shí)，由于本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟20的結(jié)構(gòu)已在本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置100中得到詳細(xì)的描述，故在此不再對(duì)本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟20的結(jié)構(gòu)做重復(fù)的描述。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明大面積的基板200呈豎直的設(shè)置，使基板200的重心與基板200的邊緣相重合，防止大面積基板200的變形，從而提聞了基板200的對(duì)位精度，為基板200鍍膜的均勻性創(chuàng)造良好的條件；同時(shí)，由于本發(fā)明的中空結(jié)構(gòu)形成一端貫穿蒸發(fā)舟本體21 —側(cè)的密封空腔22，該密封空腔22的開(kāi)口與基板200相對(duì)應(yīng)，且密封空腔22內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)并供蒸發(fā)材料60盛放用的盛放部22b，盛放部22b具有供蒸發(fā)材料60在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)通過(guò)的側(cè)蒸發(fā)出口 22c，該側(cè)蒸發(fā)出口 22c為本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟20進(jìn)行側(cè)向蒸鍍創(chuàng)造條件，從而使得本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟20因具有多個(gè)與基板200相對(duì)應(yīng)的側(cè)蒸發(fā)出口 22c而使盛放部22b內(nèi)的蒸發(fā)材料60在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)能均勻沉積于基板200上，從而提高了大面積基板200膜厚的均勻性。同時(shí)，由于本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置100具有本發(fā)明的立式蒸發(fā)舟20，故使得本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置100能確保大積面基板200的對(duì)位精度并能提高該基板200鍍膜均勻性。
以上所揭露的僅為本發(fā)明的較佳實(shí)例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，因此依本發(fā)明權(quán)利要求所作的等同變化，仍屬于本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
1.一種側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟，適于設(shè)置在呈真空環(huán)境的密封腔體內(nèi)并對(duì)有機(jī)發(fā)光二極管和太陽(yáng)能電池板中大面積的基板進(jìn)行側(cè)向蒸鍍，其特征在于，該基板呈豎直的設(shè)置，而所述側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟包括沿豎直方向設(shè)置并呈中空結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)舟本體，所述中空結(jié)構(gòu)形成一端貫穿所述蒸發(fā)舟本體一側(cè)的密封空腔，所述密封空腔的開(kāi)口與所述基板相對(duì)應(yīng)，且所述密封空腔內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)并供蒸發(fā)材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)通過(guò)的側(cè)蒸發(fā)出口，所述側(cè)蒸發(fā)出口與所述基板相對(duì)應(yīng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟，其特征在于，還包括沿豎直方向設(shè)置并與所述蒸發(fā)舟本體相配合的蒸發(fā)舟蓋體，所述蒸發(fā)舟蓋體位于所述基板與所述蒸發(fā)舟本體之間，且所述蒸發(fā)舟蓋體沿豎直方向開(kāi)設(shè)有若干間隔開(kāi)并與所述基板相對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)孔，所述盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)穿過(guò)所述蒸發(fā)孔進(jìn)而蒸鍍于所述基板上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟，其特征在于，所述密封空腔內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)的分隔片，所述分隔片與所述密封空腔的內(nèi)壁共同形成所述盛放部，相鄰兩所述分隔片之間以及所述分隔片中最高的分隔片與所述密封空腔對(duì)應(yīng)的內(nèi)壁之間共同形成所有所述側(cè)蒸發(fā)出口。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟，其特征在于，所述側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟還配置有為蒸發(fā)材料提供蒸發(fā)能量的加熱組件，所述加熱組件包括加熱絲及第一絕緣套排，所述第一絕緣套排與所述蒸發(fā)舟本體的遠(yuǎn)離所述密封空腔之開(kāi)口的一側(cè)鄰設(shè)，且所述第一絕緣套排圍繞所述蒸發(fā)舟本體，所述加熱絲的一端依次纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套上并與外界電源的正極電性連接，所述加熱絲的另一端與外界電源的負(fù)極電性連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟，其特征在于，所述加熱組件還包括第二絕緣套排，所述第二絕緣套排圍繞所述第一絕緣套排并使該第一絕緣套排位于所述蒸發(fā)舟本體與所述第二絕緣套排之間，所述加熱絲呈輪流的纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套和第二絕緣套排中的第二絕緣套上。
6.一種側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置，適用于對(duì)有機(jī)發(fā)光二極管和太陽(yáng)能電池板中大面積的基板進(jìn)行側(cè)向蒸鍍，其特征在于，所述側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置包括 密封腔體，所述密封腔體具有一密封的真空腔，所述基板豎直的設(shè)置并位于所述真空腔的一側(cè)內(nèi)； 立式蒸發(fā)舟，所述立式蒸發(fā)舟位于所述真空腔的另一側(cè)內(nèi)，且所述立式蒸發(fā)舟包括沿豎直方向設(shè)置并呈中空結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)舟本體，所述中空結(jié)構(gòu)形成一端貫穿所述蒸發(fā)舟本體一側(cè)的密封空腔，所述密封空腔的開(kāi)口與所述基板相對(duì)應(yīng)，且所述密封空腔內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)并供蒸發(fā)材料盛放用的盛放部，所述盛放部具有供蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)通過(guò)的側(cè)蒸發(fā)出口，所述側(cè)蒸發(fā)出口與所述基板相對(duì)應(yīng)；以及 為所述盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料提供蒸發(fā)能量的加熱組件，所述加熱組件與所述蒸發(fā)舟本體鄰設(shè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置，其特征在于，所述立式蒸發(fā)舟還包括沿豎直方向設(shè)置并與所述蒸發(fā)舟本體相配合的蒸發(fā)舟蓋體，所述蒸發(fā)舟蓋體位于所述基板與所述蒸發(fā)舟本體之間，且所述蒸發(fā)舟蓋體沿豎直方向開(kāi)設(shè)有若干間隔開(kāi)并與所述基板相對(duì)應(yīng)的蒸發(fā)孔，所述盛放部?jī)?nèi)的蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)穿過(guò)所述蒸發(fā)孔進(jìn)而蒸鍍于所述基板上。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置，其特征在于，所述密封空腔內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)的分隔片，所述分隔片與所述密封空腔的內(nèi)壁共同形成所述盛放部，相鄰兩所述分隔片之間以及所述分隔片中最高的分隔片與所述密封空腔對(duì)應(yīng)的內(nèi)壁之間共同形成所有所述側(cè)蒸發(fā)出口。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置，其特征在于，所述加熱組件包括加熱絲及第一絕緣套排，所述第一絕緣套排與所述蒸發(fā)舟本體的遠(yuǎn)離所述密封空腔之開(kāi)口的一側(cè)鄰設(shè)，且所述第一絕緣套排圍繞所述蒸發(fā)舟本體，所述加熱絲的一端依次纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套上并與外界電源的正極電性連接，所述加熱絲的另一端與外界電源的負(fù)極電性連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置，其特征在于，所述加熱組件還包括第二絕緣套排，所述第二絕緣套排圍繞所述第一絕緣套排并使該第一絕緣套排位于所述蒸發(fā)舟本體與所述第二絕緣套排之間，所述加熱絲呈輪流的纏繞于所述第一絕緣套排中的第一絕緣套和第二絕緣套排中的第二絕緣套上。
11.根據(jù)權(quán)利要求6所述的側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置，其特征在于，所述密封腔體內(nèi)具有與外界液冷系統(tǒng)相連通的液冷通道。
12.根據(jù)權(quán)利要求6所述的側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)裝置，其特征在于，還包括隔熱機(jī)構(gòu)，所述隔熱機(jī)構(gòu)具有屏蔽板，所述屏蔽板設(shè)置于所述真空腔內(nèi)并圍繞所述加熱組件。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟，適于設(shè)置在呈真空環(huán)境的密封腔體內(nèi)并用于對(duì)有機(jī)發(fā)光二極管和太陽(yáng)能電池板中大面積的基板進(jìn)行側(cè)向蒸鍍，其中，基板呈豎直的設(shè)置，而側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟包括沿豎直方向設(shè)置并呈中空結(jié)構(gòu)的蒸發(fā)舟本體，中空結(jié)構(gòu)形成一端貫穿蒸發(fā)舟本體一側(cè)的密封空腔，密封空腔的開(kāi)口與基板相對(duì)應(yīng)，且密封空腔內(nèi)沿豎直方向設(shè)置有若干間隔開(kāi)并供蒸發(fā)材料盛放用的盛放部，盛放部具有供蒸發(fā)材料在蒸發(fā)時(shí)產(chǎn)生的蒸鍍物質(zhì)通過(guò)的側(cè)蒸發(fā)出口，側(cè)蒸發(fā)出口與基板相對(duì)應(yīng)。本發(fā)明側(cè)向蒸鍍用的立式蒸發(fā)舟能確保大面積的基板的對(duì)位精度及提高該基板鍍膜的均勻性。
文檔編號(hào)C23C14/26GK102808154SQ20121027423
公開(kāi)日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2012年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月1日
發(fā)明者葉宗鋒, 楊順先, 劉惠森, 楊明生 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司