專利名稱：一種安裝晶圓托架的專用工具及其安裝方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種安裝晶圓托架的專用工具及其安裝方法，確切地說是一種能使晶圓在真空裝載腔內(nèi)實現(xiàn)精確定位的新型安裝晶圓托架專用工具及其安裝方法，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
薄膜沉積技術(shù)的原理是將晶圓置于真空環(huán)境中，通入適量的反應(yīng)氣體，利用氣體的物理變化和化學(xué)反應(yīng)，在晶圓表面形成固態(tài)薄膜。在進(jìn)行氣體薄膜沉積的整個過程中，晶圓從EFEM中的大氣壓與真空狀態(tài)的轉(zhuǎn)換是通過Loadlock Chamber進(jìn)行傳送的。與晶圓安裝架相關(guān)的現(xiàn)有技術(shù)，其托架上晶圓交換的位置不能進(jìn)行準(zhǔn)確定位，無 法檢測晶圓的中心與安裝盤的中心是否同心，并且在托架放入Loadlock Chamber的凹槽時因為沒有手持的把手，很容易發(fā)生偏移，將托架卡在Loadlock Chamber的凹槽邊緣。因此，在實際應(yīng)用中，這種結(jié)構(gòu)的晶圓托架及安裝方法，存在著效率低，操作比較麻煩及制造成本聞的缺點。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明主要解決現(xiàn)有的托架上晶圓交換的位置不能準(zhǔn)確定位及效率低的技術(shù)問題，而提供一種結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、定位精確、效率高的安裝晶圓托架的專用工具及其安裝方法。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案安裝晶圓托架的專用工具，包括晶圓托架安裝架(3 )，晶圓托架安裝架(3 )的上面設(shè)有安裝架把手(I)，安裝架把手(I)是通過螺栓(5)將其固定在晶圓托架安裝架(3)上的。上述晶圓托架安裝架(3)的中心設(shè)有定位銷
(4)，螺栓(2 )與晶圓托架安裝架(3 )螺紋聯(lián)接。上述安裝晶圓托架專用工具的安裝方法，先將定位銷(4)穿過晶圓安裝盤(9)，把托架安裝架(3)和晶圓安裝盤(9)定位保證同心，定位之后將四個螺栓(2)與晶圓安裝盤
(9)上的四個孔位對準(zhǔn)并且旋緊固定。這時晶圓安裝盤(9)和托架安裝架(3)已經(jīng)完全固定。然后將晶圓托架(8)以晶圓托架安裝架(3)的邊緣為依托進(jìn)行定位對正，保證邊緣完全貼合將位置對準(zhǔn)之后，用螺栓(7)旋緊固定。此時，晶圓托架(8)已經(jīng)完全固定在晶圓安裝盤(9)上，并且保證放在托架上的晶圓與晶圓安裝盤(9)是完全對正同心的狀態(tài)。接下來手持著已經(jīng)安裝完成的安裝架放入到真空裝載腔(Loadlock Chamber)的圓形凹槽之中，此圓形凹槽之中有四個安裝孔與晶圓托架(8)上的四個螺栓孔(6)相匹配，當(dāng)真空裝載腔(Loadlock Chamber)凹槽中的四個孔和安裝盤上四個孔對準(zhǔn)定位之后使用四個沉頭螺栓旋緊固定。此時，安裝架與真空裝載腔(Loadlock Chamber )就已經(jīng)完全固定。最后將螺栓(2)擰下來，這時托架安裝架(3)與晶圓托架(8)，晶圓安裝盤(9)無連接，手持安裝架把手(I)旋轉(zhuǎn)合適角度便可以把托架安裝架拿下來了。使用這種工裝安裝的晶圓托架既省力方便又可以定位晶圓的位置，保證晶圓在真空裝載腔(Loadlock Chamber)中的位置為正中間，從而保證整個PECVD設(shè)備中晶圓的精確定位。本發(fā)明的有益效果及特點是本發(fā)明能夠準(zhǔn)確確定晶圓托架的安裝位置，保證晶圓托架能夠與晶圓的邊緣相結(jié)合，晶圓和安裝盤同心，保證了晶圓在真空裝載腔內(nèi)的準(zhǔn)確定位。本發(fā)明在上方設(shè)置有把手，在將托架放入真空裝載腔的凹槽中準(zhǔn)確平穩(wěn)，不會發(fā)生由于偏移所造成托架卡住的狀況。安裝托架之后，只要手持把手將安裝架偏轉(zhuǎn)一定角度便可以輕松取出，不會劃傷真空裝載腔內(nèi)壁，操作簡單。本發(fā)明在結(jié)構(gòu)和操作均簡單的條件下，實現(xiàn)了晶圓托架的準(zhǔn)確定位。其占用空間小，安裝維護(hù)方便，成本低廉。
圖I是本發(fā)明專用工具的主視圖。 圖2是本發(fā)明專用工具的俯視圖。圖3是本發(fā)明安裝晶圓托架的主視圖。圖4是本發(fā)明安裝晶圓托架的的俯視圖。
具體實施例方式實施例參照圖1-4，一種安裝晶圓托架的專用工具，包括晶圓托架安裝架3，晶圓托架安裝架3的上面設(shè)有安裝架把手1，安裝架把手I是通過螺栓5將其固定在晶圓托架安裝架3上的。上述晶圓托架安裝架3的中心設(shè)有定位銷4，螺栓2與晶圓托架安裝架3螺紋聯(lián)接。上述安裝晶圓托架專用工具的安裝方法，先將定位銷4穿過晶圓安裝盤9，把托架安裝架3和晶圓安裝盤9定位保證同心，定位之后將四個螺栓2與晶圓安裝盤9上的四個孔位對準(zhǔn)并且旋緊固定，這時晶圓安裝盤9和托架安裝架3已經(jīng)完全固定。然后將8個晶圓托架8以晶圓托架安裝架3的邊緣為依托進(jìn)行定位對正，保證邊緣完全貼合將位置對準(zhǔn)之后，用螺栓7旋緊固定。此時，晶圓托架8已經(jīng)完全固定在晶圓安裝盤9上，并且保證放在托架上的晶圓與晶圓安裝盤9是完全對正同心的狀態(tài)。接下來手持著已經(jīng)安裝完成的安裝架放入到真空裝載腔(Loadlock Chamber)的圓形凹槽之中，此圓形凹槽之中有四個安裝孔與晶圓托架8上的四個螺栓孔6相匹配。當(dāng)真空裝載腔(Loadlock Chamber)凹槽中的四個孔和安裝盤上四個孔對準(zhǔn)定位之后使用四個沉頭螺栓旋緊固定，此時安裝架與真空裝載腔(Loadlock Chamber)就已經(jīng)完全固定。最后將螺栓2擰下來，這時托架安裝架3與晶圓托架8，晶圓安裝盤9無連接，手持安裝架把手I旋轉(zhuǎn)合適角度便可以把托架安裝架拿下來了。使用這種工裝安裝的晶圓托架既省力方便又可以定位晶圓的位置，保證晶圓在真空裝載腔(Loadlock Chamber)中的位置為正中間，從而保證整個PECVD設(shè)備中晶圓的精確定位。上述晶元托架8的數(shù)量依設(shè)備的具體情況而定，但一般至少為4個，最佳為8個。如多于8個也可以，這樣生產(chǎn)效率會更高。
權(quán)利要求
1.一種安裝晶圓托架的專用工具，包括晶圓托架安裝架(3)，其特征在于晶圓托架安裝架(3 )的上面設(shè)有安裝架把手(I)，安裝架把手(I)是通過螺栓(5 )將其固定在晶圓托架安裝架(3 )上的，上述晶圓托架安裝架(3 )的中心設(shè)有定位銷(4)，螺栓(2 )與晶圓托架安裝架(3)螺紋聯(lián)接。
2.一種安裝晶圓托架專用工具的安裝方法，先將定位銷(4)穿過晶圓安裝盤(9)，把托架安裝架(3)和晶圓安裝盤(9)定位保證同心，定位之后將四個螺栓(2)與晶圓安裝盤(9)上的四個孔位對準(zhǔn)并且旋緊固定，這時晶圓安裝盤(9)和托架安裝架(3)已經(jīng)完全固定，然后將晶圓托架(8)以晶圓托架安裝架(3)的邊緣為依托進(jìn)行定位對正，保證邊緣完全貼合將位置對準(zhǔn)之后，用螺栓(7)旋緊固定，此時，晶圓托架(8)已經(jīng)完全固定在晶圓安裝盤(9)上，并且保證放在托架上的晶圓與晶圓安裝盤(9)是完全對正同心的狀態(tài)，接下來手持著已經(jīng)安裝完成的安裝架放入到真空裝載腔的圓形凹槽之中，此圓形凹槽之中有四個安裝孔與晶圓托架(8)上的四個螺栓孔(6)相匹配，當(dāng)真空裝載腔凹槽中的四個孔和安裝盤上四個孔對準(zhǔn)定位之后使用四個沉頭螺栓旋緊固定，此時安裝架與真空裝載腔就已經(jīng)完全固定，最后將螺栓(2 )擰下來，這時托架安裝架(3 )與晶圓托架(8 )，晶圓安裝盤(9 )無連接，手持安裝架把手(I)旋轉(zhuǎn)合適角度便可以把托架安裝架拿下來了，保證晶圓在真空裝載腔中的位置為正中間，從而保證整個PECVD設(shè)備中晶圓的精確定位。
3.如權(quán)利要求2所述的一種安裝晶圓托架專用工具的安裝方法，其所述的晶元托架(8)的數(shù)量至少為4個，最佳為8個。全文摘要
一種安裝晶圓托架專用工具及其安裝方法，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。主要解決現(xiàn)有的托架上晶圓交換的位置不能準(zhǔn)確定位及效率低的技術(shù)問題。安裝晶圓托架的專用工具，包括晶圓托架安裝架，晶圓托架安裝架的上面設(shè)有安裝架把手，安裝架把手是通過螺栓將其固定在晶圓托架安裝架上的。上述晶圓托架安裝架的中心設(shè)有定位銷，螺栓與晶圓托架安裝架螺紋聯(lián)接。安裝方法，先將定位銷穿過晶圓安裝盤定位保證同心，并固定晶圓安裝盤和托架安裝架。將托架安裝架放入到真空裝載腔的圓形凹槽之中，對準(zhǔn)定位之后固定，最后將螺栓擰下來，將托架安裝架取下來。使用這種工裝安裝的晶圓托架既省力方便又可以精確定位晶圓的位置。
文檔編號C23C16/44GK102747341SQ20121027169
公開日2012年10月24日 申請日期2012年8月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月1日
發(fā)明者姜崴, 蘆佳 申請人:沈陽拓荊科技有限公司