恒溫水提供裝置的制作方法

本發(fā)明涉及恒溫水提供裝置，將來自水提供源的水調(diào)整為恒溫而提供給加工裝置。

背景技術(shù)：

通常在磨削裝置或切削裝置等加工裝置中，將加工水、主軸的冷卻水等的水溫管理為恒定溫度。通過恒定溫度的加工水、冷卻水的提供來防止因機械部件的熱膨脹和熱收縮而導(dǎo)致的加工精度的惡化及像主軸的咬住等那樣因部件彼此的接觸而使裝置自身損傷。以往，公知將提供給加工裝置的水保持為恒定溫度的恒溫水提供裝置(例如，參照專利文獻1)。在從貯存容器到加工裝置的流路的中途設(shè)置有溫度調(diào)整器，將通過溫度調(diào)整器調(diào)整為恒定溫度的水提供給加工裝置。

專利文獻1：日本特開2007-127343號公報

但是，由于主軸等驅(qū)動部的冷卻水不需要進行像提供給工件等的加工水那樣的純度和溫度調(diào)整，所以有時使冷卻水在加工裝置與恒溫水提供裝置之間循環(huán)使用。在該情況下，當(dāng)不更換加工水而長時間持續(xù)使用冷卻水時，雜質(zhì)被濃縮而作為污染物堆積在配管等中，由于該污染物與冷卻水一起被提供給驅(qū)動部，所以存在造成驅(qū)動部的破損的擔(dān)心。并且，在進行驅(qū)動部的冷卻水的更換時，由于需要使加工裝置的工作停止，所以存在產(chǎn)生停機時間的問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于該點而完成的，其目的在于提供一種恒溫水提供裝置，既能夠防止驅(qū)動部的破損，又能夠大幅減少冷卻水的更換作業(yè)和停機時間。

本發(fā)明的恒溫水提供裝置將來自水提供源的水調(diào)整為恒溫而提供給加工裝置，其特征在于，該恒溫水提供裝置具有：第1貯存容器，其對從水提供源提供的用于加工的水進行貯存；第1送出泵，其將水從該第1貯存容器向加工裝置送出；水溫調(diào)整單元，其配設(shè)在從該第1貯存容器到該加工裝置的第1流路上的比該第1送出泵靠下游的位置，將水的溫度調(diào)整為規(guī)定的溫度；第2貯存容器，其對該加工裝置的驅(qū)動部冷卻用的水進行貯存；第2送出泵，其將水從該第2貯存容器向該加工裝置送出；循環(huán)流路，其使進行了該加工裝置內(nèi)的驅(qū)動部冷卻之后的水向該第2貯存容器返回而進行循環(huán)；恒溫水提供流路，其在該第1流路上的該水溫調(diào)整單元的下游從該第1流路分支而與第2貯存容器連通地形成，對該第2貯存容器提供被調(diào)整為該規(guī)定的溫度的水；第1電磁閥，其配設(shè)在從該第1流路向該恒溫水提供流路的分支部位；排水流路，其在從該第2貯存容器到該加工裝置的第2流路上的比該第2送出泵靠下游的位置從該第2流路分支而形成，用于將該第2貯存容器的水向外部排出；第2電磁閥，其配設(shè)在從該第2流路向該排水流路的分支部位；以及控制單元，其至少對該第1電磁閥和該第2電磁閥的開閉進行控制，該控制單元具有：時機管理部，其對從該第2貯存容器進行排水的時機進行管理；以及電磁閥控制部，其對該第1電磁閥和該第2電磁閥的開閉進行控制，在規(guī)定的時機將該第2電磁閥打開而將該第2貯存容器內(nèi)的水按照規(guī)定的量排出，并且將該第1電磁閥打開而將該第1流路內(nèi)的該水按照規(guī)定的量提供至該第2貯存容器，由此，使進行循環(huán)的驅(qū)動部冷卻用的水內(nèi)所侵入的雜質(zhì)濃度不會上升。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，第1貯存容器內(nèi)的加工用的水在第1流路的中途被水溫調(diào)整單元調(diào)整為規(guī)定的溫度，并通過恒溫水提供流路向第2貯存容器提供溫度調(diào)整后的加工用的水的一部分。另一方面，通過第2流路向加工裝置的驅(qū)動部提供第2貯存容器內(nèi)的驅(qū)動部冷卻用的水，并通過循環(huán)流路返回到第2貯存容器并且將驅(qū)動部冷卻用的水的一部分通過排水流路排出。即，由于在第2貯存容器內(nèi)的驅(qū)動部冷卻用的水被排出的同時，從第1貯存容器向第2貯存容器提供加工用的水，所以自動更換第2貯存容器內(nèi)的水。一邊對水進行更換一邊使驅(qū)動部冷卻用的水在第2貯存容器與加工裝置的驅(qū)動部之間循環(huán)，所以雜質(zhì)濃度不會上升，驅(qū)動部不會因堆積了雜質(zhì)的污染物的提供而破損。并且，由于在使裝置持續(xù)工作的狀態(tài)下自動更換第2貯存容器內(nèi)的水，所以不需要驅(qū)動部冷卻用的水的更換作業(yè)，并且能夠大幅減少停機時間。進而，由于向第2貯存容器提供與排水量大致等量的溫度調(diào)整后的加工用的水，所以驅(qū)動部冷卻用的水的溫度變化較少，能夠防止因溫度變化而導(dǎo)致的機械故障。并且，由于能夠通過單一的水溫調(diào)整單元對兩系統(tǒng)的水進行調(diào)整，所以能夠減少部件個數(shù)而減少成本。

并且，在本發(fā)明的恒溫水提供裝置中，還具有冷卻單元，該冷卻單元配設(shè)在從該第2貯存容器到該加工裝置的第2流路上的比該第2送出泵靠下游的位置，并將水冷卻至規(guī)定的溫度。

根據(jù)本發(fā)明，由于在將第2貯存容器內(nèi)的驅(qū)動部冷卻用的水排出的同時，從第1貯存容器向第2貯存容器提供加工用的恒溫水，所以自動更換第2貯存容器內(nèi)的水。因此，既能夠防止驅(qū)動部的破損，又能夠大幅減少冷卻水的更換作業(yè)和停機時間。

附圖說明

圖1是本實施方式的恒溫水提供裝置的示意圖。

圖2的(a)和(b)是本實施方式的恒溫水提供裝置所進行的水的提供動作的說明圖。

標(biāo)號說明

1：恒溫水提供裝置；2：水提供源；3：加工裝置；4：驅(qū)動部；11：第1貯存容器；12：第1流路；14：第1送出泵；16：水溫調(diào)整單元；21：第2貯存容器；22：第2流路；23：循環(huán)流路；24：第2送出泵；26：第2冷卻單元(冷卻單元)；31：恒溫水提供流路；32：排水流路；33：第1電磁閥；34：第2電磁閥；41：控制單元；42：時機管理部；43：電磁閥控制部。

具體實施方式

以下，參照附圖對本實施方式的恒溫水提供裝置進行說明。圖1是本實施方式的恒溫水提供裝置的示意圖。另外，在以下的說明中，例示了在切削裝置或磨削裝置等加工裝置上設(shè)置有恒溫水提供裝置的結(jié)構(gòu)，但該結(jié)構(gòu)并沒有限定。在其他的具有主軸等驅(qū)動部的加工裝置中也可以具有恒溫水提供裝置。

如圖1所示，恒溫水提供裝置1將來自水提供源2的水調(diào)整為恒溫而提供給加工裝置3，具有提供加工用的水的第1系統(tǒng)10和提供驅(qū)動部冷卻用的水的第2系統(tǒng)20。在第1系統(tǒng)10中，向加工裝置3的噴嘴(未圖示)等提供加工用的水而對加工部位進行冷卻和清洗。提供后的加工用的水經(jīng)由加工裝置3的水箱(未圖示)等而排出到外部。由于加工用的水也會被吹送到加工對象的工件等，所以為了不對加工精度產(chǎn)生影響而調(diào)整為恒定溫度。

在第2系統(tǒng)20中，向主軸、卡盤工作臺或旋轉(zhuǎn)工作臺的軸電動機等驅(qū)動部4內(nèi)提供驅(qū)動部冷卻用的水，對在這些驅(qū)動部4內(nèi)產(chǎn)生的熱量進行冷卻。由于驅(qū)動部冷卻用的水對驅(qū)動部4進行冷卻即可，所以不需要進行像加工用的水那樣的純度和溫度調(diào)整，能夠在恒溫水提供裝置1與加工裝置3之間進行循環(huán)。這樣，在加工裝置3的工作時，來自水提供源2的水通過第1系統(tǒng)10而持續(xù)提供給加工裝置3，并且利用第2系統(tǒng)20使水循環(huán)而對在驅(qū)動部4中產(chǎn)生的熱量進行持續(xù)冷卻。

但是，通常當(dāng)長時間持續(xù)地循環(huán)使用驅(qū)動部冷卻用的水時，會擔(dān)心雜質(zhì)濃縮而作為污染物堆積在流路等中。因此，在本實施方式的恒溫水提供裝置1中，將在第2系統(tǒng)20內(nèi)循環(huán)的驅(qū)動部冷卻用的水的一部分排出并且向第2系統(tǒng)20提供第1系統(tǒng)10的加工用的水的一部分，從而自動更換第2系統(tǒng)20內(nèi)的水。由此，能夠抑制雜質(zhì)的濃縮，進而在使加工裝置3工作的狀態(tài)下對第2系統(tǒng)20內(nèi)的水進行更換，因此能夠大幅減少停機時間。

并且，當(dāng)在加工裝置3的初期工作時驅(qū)動部冷卻用的水過冷時，存在因各驅(qū)動部4的軸承等收縮而使旋轉(zhuǎn)軸咬住的可能性。通常，在加工前利用驅(qū)動部4的怠速時的發(fā)熱而使驅(qū)動部冷卻用的水上升至恒定溫度從而抑制加工中的咬住，但初期工作時的啟動較慢。因此，在本實施方式中，向第2系統(tǒng)20提供由第1系統(tǒng)10進行了溫度調(diào)整而達到規(guī)定的溫度的加工用的水。由此，第2系統(tǒng)20內(nèi)的驅(qū)動部冷卻用的水不會變得過冷，加快了初期工作時的啟動。

以下，對本實施方式的恒溫水提供裝置1的第1系統(tǒng)10和第2系統(tǒng)20的詳細結(jié)構(gòu)進行說明。在第1系統(tǒng)10中設(shè)置有從第1貯存容器11到加工裝置3的第1流路12。在第1流路12上，從上游朝向下游依次設(shè)置有第1貯存容器11、第1送出泵14、第1壓力檢測單元15、水溫調(diào)整單元16以及第1過濾器17。在第1貯存容器11中貯存有從水提供源2提供的加工用的水，通過第1送出泵14將第1貯存容器11內(nèi)的水從第1貯存容器11送出至加工裝置3。

通過第1壓力檢測單元15來檢測第1送出泵14的送出壓，并根據(jù)第1壓力檢測單元15的檢測結(jié)果對第1送出泵14的送出壓進行調(diào)整。在第1流路12上的第1送出泵14的下游，通過水溫調(diào)整單元16將水的溫度調(diào)整為規(guī)定的溫度。水溫調(diào)整單元16由冷卻器等第1冷卻單元18和加熱器等加熱單元19構(gòu)成，對第1冷卻單元18的冷卻和加熱單元19的加熱進行組合而將水調(diào)整為規(guī)定的溫度。變成規(guī)定的溫度的水(恒溫水)通過第1過濾器17而作為加工用的水提供給加工裝置3內(nèi)的噴嘴。

在第2系統(tǒng)20中設(shè)置有從第2貯存容器21到加工裝置3的驅(qū)動部4的第2流路22和從加工裝置3的驅(qū)動部4到第2貯存容器21的循環(huán)流路23。在第2流路22上，從上游朝向下游設(shè)置有第2貯存容器21、第2送出泵24、第2壓力檢測單元25、第2冷卻單元(冷卻單元)26以及第2過濾器27。在第2貯存容器21中貯存有加工裝置3的驅(qū)動部冷卻用的水，通過第2送出泵24將第2貯存容器21內(nèi)的水從第2貯存容器21送出至加工裝置3的驅(qū)動部4。

通過第2壓力檢測單元25來檢測第2送出泵24的送出壓，并根據(jù)第2壓力檢測單元25的檢測結(jié)果對第2送出泵24的送出壓進行調(diào)整。在第2流路22上的第2送出泵24的下游，通過冷卻器等第2冷卻單元26將水的溫度冷卻至規(guī)定的溫度。冷卻至規(guī)定的溫度的水通過第2過濾器27而作為驅(qū)動部冷卻用的水提供給加工裝置3內(nèi)的驅(qū)動部4。并且，進行了驅(qū)動部冷卻之后的水通過循環(huán)流路23而返回到第2貯存容器21內(nèi)，在第2貯存容器21與驅(qū)動部4之間進行循環(huán)。

并且，在第1系統(tǒng)10中設(shè)置有恒溫水提供流路31，該恒溫水提供流路31在水溫調(diào)整單元16的下游從第1流路12分支而與第2貯存容器21連通，通過恒溫水提供流路31從第1流路12向第2貯存容器21提供調(diào)整至規(guī)定的溫度的水。在第2系統(tǒng)20中設(shè)置有排水流路32，該排水流路32在第2送出泵24的下游從第2流路22分支而將第2貯存容器21的水排出到外部。在從第1流路12向恒溫水提供流路31的分支部位配設(shè)有針對第2貯存容器21的供水用的第1電磁閥33，在從第2流路22向排水流路32的分支部位配設(shè)有第2貯存容器21的排水用的第2電磁閥34。

在恒溫水提供裝置1上至少設(shè)置有對第1電磁閥33和第2電磁閥34的開閉進行控制的控制單元41。在控制單元41中設(shè)置有對第2貯存容器21的排水時機進行管理的時機管理部42以及對第1電磁閥33和第2電磁閥34的開閉進行控制的電磁閥控制部43。另外，控制單元41由執(zhí)行各種處理的處理器或存儲器等構(gòu)成。存儲器根據(jù)用途由rom(readonlymemory：只讀存儲器)、ram(randomaccessmemory：隨機存取存儲器)等一個或多個存儲介質(zhì)構(gòu)成。在存儲器中存儲有用于執(zhí)行時機管理和開閉控制的程序等。

在這樣構(gòu)成的恒溫水提供裝置1中，在規(guī)定的時機打開第2電磁閥34而將第2貯存容器21內(nèi)的水按照規(guī)定的量排出，并且打開第1電磁閥33而將第1流路12內(nèi)的水按照規(guī)定的量向第2貯存容器21提供。一邊按照規(guī)定的量對第2貯存容器21內(nèi)的水進行更換，一邊使水在第2貯存容器21與加工裝置3的驅(qū)動部4之間循環(huán)。因此，抑制了在第2貯存容器21和驅(qū)動部4中循環(huán)的水中的雜質(zhì)濃度的上升，并且自動地實施第2貯存容器21內(nèi)的驅(qū)動部冷卻用的水的更換作業(yè)。

參照圖2對由恒溫水提供裝置進行的水的提供動作進行說明。圖2是由本實施方式的恒溫水提供裝置進行的水的提供動作的說明圖。其中，圖2的(a)示出了使從第1流路向第2貯存容器21的供水停止的供水停止?fàn)顟B(tài)，圖2的(b)示出了從第1流路向第2貯存容器21供水的供水狀態(tài)。

如圖2的(a)所示，在針對第2貯存容器21的供水停止?fàn)顟B(tài)下，根據(jù)來自時機管理部42的指示而通過電磁閥控制部43關(guān)閉恒溫水提供流路31的第1電磁閥33和排水流路32的第2電磁閥34。由此，停止從第1流路12向第2貯存容器21的供水，并且停止從第2貯存容器21向外部的排水。在針對該第2貯存容器21的供水停止?fàn)顟B(tài)下，從水提供源2向第1貯存容器11提供加工用的水，并通過第1送出泵14的送出壓將第1貯存容器11內(nèi)的水送出到第1流路12內(nèi)。

通過水溫調(diào)整單元16將第1流路12內(nèi)的水調(diào)整為規(guī)定的溫度。在第1流路12內(nèi)的水溫為規(guī)定的溫度以上的情況下，通過水溫調(diào)整單元16的第1冷卻單元18冷卻至規(guī)定的溫度。并且，在第1流路12內(nèi)的水溫比規(guī)定的溫度低的情況下，通過水溫調(diào)整單元16的加熱單元19加熱至規(guī)定的溫度。并且，規(guī)定的溫度的水在通過第1過濾器17去除了異物的狀態(tài)下從加工裝置3的噴嘴朝向工件的加工點噴射。該加工用的水經(jīng)由加工裝置3的水箱等而排出到外部。

另一方面，通過第2送出泵24的送出壓將第2貯存容器21內(nèi)的水送出到第2流路22內(nèi)。第2流路22內(nèi)的水通過第2冷卻單元26冷卻至規(guī)定的溫度。在第2流路22內(nèi)的水溫為規(guī)定的溫度以上的情況下，通過第2冷卻單元26冷卻至規(guī)定的溫度以下。并且，在第2流路22內(nèi)的水溫比規(guī)定的溫度低的情況下，不利用第2冷卻單元26進行冷卻而直接通過。并且，冷卻后的水在通過第2過濾器27去除了異物的狀態(tài)下提供給加工裝置3的驅(qū)動部4。進行了驅(qū)動部冷卻之后的水通過循環(huán)流路23而返回到第2貯存容器21。

這樣，由于向加工裝置3提供通過第1流路12而調(diào)整為規(guī)定的溫度的加工用的水，所以抑制了工件的加工時的加工精度的降低。并且，由于向加工裝置3的驅(qū)動部4提供通過第2流路22而冷卻至規(guī)定的溫度以下的驅(qū)動部冷卻用的水，所以從驅(qū)動部4帶走熱量而抑制驅(qū)動部4的老化等。并且，雖然進行了驅(qū)動部冷卻之后的水因吸收熱量而變暖，但其在返回到第2貯存容器21之后再次在第2流路22內(nèi)被冷卻至規(guī)定的溫度以下，由此，再次作為驅(qū)動部冷卻用的水而進行再利用。

如圖2的(b)所示，在針對第2貯存容器21的供水狀態(tài)下，根據(jù)來自時機管理部42的指示而通過電磁閥控制部43打開恒溫水提供流路31的第1電磁閥33和排水流路32的第2電磁閥34。由此，開始進行從第1流路12向第2貯存容器21的供水，并且開始進行從第2貯存容器21向外部的排水。在針對該第2貯存容器21的供水狀態(tài)下，當(dāng)通過第1送出泵14從第1貯存容器11送出加工用的水時，通過了水溫調(diào)整單元16的規(guī)定的溫度的水在第1流路12的中途部分被恒溫水提供流路31分流。

在第1流路12內(nèi)直行的水從加工裝置3的噴嘴朝向加工點噴射，并經(jīng)由加工裝置3的水箱等而排出到外部。流入恒溫水提供流路31的水被提供給第2貯存容器21，并在第2貯存容器21中作為驅(qū)動部冷卻用的水而貯存。此時，由于恒溫水提供流路31內(nèi)的水被水溫調(diào)整單元16調(diào)整為規(guī)定的溫度，所以貯存在第2貯存容器21中的水的溫度不會大幅變化。另外，即使因打開第1電磁閥33而使水壓降低，由于第1送出泵14的送出壓足夠高，所以也能夠?qū)⒓庸び玫乃统鲋良庸ぱb置3。

另一方面，當(dāng)通過第2送出泵24將驅(qū)動部冷卻用的水從第2貯存容器21送出時，驅(qū)動部冷卻用的水在第2流路22的中途部分被排水流路32分流。在第2流路22內(nèi)直行的水被第2冷卻單元26冷卻至規(guī)定的溫度以下而提供給加工裝置3的驅(qū)動部4，并進一步通過循環(huán)流路23而返回到第2貯存容器21。流入排水流路32的水被排出到外部，在第2貯存容器21與驅(qū)動部4之間的循環(huán)中在雜質(zhì)濃縮之前水量減少。這樣，從第2貯存容器21通過排水流路32僅排出從恒溫水提供流路31向第2貯存容器21供水的量。

由于一點一點地更換第2貯存容器21的水而抑制了雜質(zhì)的濃度的上升，所以不會向驅(qū)動部4提供堆積了雜質(zhì)的污染物，防止驅(qū)動部4的破損。并且，由于在使加工裝置3工作的狀態(tài)下自動更換第2貯存容器21內(nèi)的水，所以能夠減少第2貯存容器21內(nèi)的水的更換作業(yè)并且削減因裝置停止而導(dǎo)致的停機時間。在該情況下，優(yōu)選對針對第2貯存容器21的供水時機和從第2貯存容器21進行的排水時機進行控制，以便按照24小時對第2貯存容器21內(nèi)的水進行更換。

由于如上述那樣從恒溫水提供流路31向第2貯存容器21提供規(guī)定的溫度的水，所以第2貯存容器21內(nèi)的水溫不會變得過低。由于第2流路22內(nèi)的水溫不會極度降低，所以即使縮短加工裝置3的初期工作前的空轉(zhuǎn)時間(怠速時間)，也不會產(chǎn)生因軸承的收縮等而導(dǎo)致的驅(qū)動部4的旋轉(zhuǎn)軸的咬住等不良情況。因此，能夠加快加工裝置3的初期工作時的啟動。另外，即使因打開第2電磁閥34而使水壓降低，由于第2送出泵24的送出壓足夠高，所以也能夠?qū)⒗鋮s用的水送出至驅(qū)動部4。

如以上那樣，在本實施方式的恒溫水提供裝置1中，由于將第2貯存容器21內(nèi)的驅(qū)動部冷卻用的水排出而從第1貯存容器11向第2貯存容器21提供加工用的水，所以自動更換第2貯存容器21內(nèi)的水。一邊對水進行更換一邊使驅(qū)動部冷卻用的水在第2貯存容器21與加工裝置的驅(qū)動部4之間循環(huán)，所以雜質(zhì)濃度不會上升，驅(qū)動部4不會因被提供堆積了雜質(zhì)的污染物而破損。并且，由于在使裝置持續(xù)工作的狀態(tài)下自動更換第2貯存容器21內(nèi)的水，所以不需要驅(qū)動部冷卻用的水的更換作業(yè)，并且能夠大幅減少停機時間。進而，由于向第2貯存容器21提供與排水量大致等量的溫度調(diào)整后的加工用的水，所以驅(qū)動部冷卻用的水的溫度變化較少，能夠防止因溫度變化而導(dǎo)致的機械故障。

另外，本發(fā)明并不僅限于上述實施方式，能夠進行各種變更而實施。在上述實施方式中，在附圖中圖示出的大小或形狀等并不僅限于此，能夠在發(fā)揮本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)進行適當(dāng)變更。另外，只要在不脫離本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)便能夠進行各種變更而實施。

例如，在上述的實施方式中，構(gòu)成為通過水溫調(diào)整單元16將第1流路12的水調(diào)整為規(guī)定的溫度，并通過第2冷卻單元26將第2流路22的水調(diào)整為規(guī)定的溫度以下，但并不僅限于該結(jié)構(gòu)。例如，也可以不在第2流路22上設(shè)置第2冷卻單元26以便不在第2流路22內(nèi)進行水溫調(diào)整。雖然第2流路22內(nèi)的水因從驅(qū)動部4帶走熱量而變暖，但由于從第1流路12向第2貯存容器21提供規(guī)定的溫度的水，所以第2流路22內(nèi)的水不會變得過于高溫，能夠?qū)︱?qū)動部4進行持續(xù)冷卻。這樣，由于能夠利用單一的水溫調(diào)整單元16將規(guī)定的溫度的水提供至第1流路12和第2流路22這兩個系統(tǒng)，所以能夠減少部件個數(shù)而降低成本。

并且，在上述的實施方式中，針對第2貯存容器21的供水時機和從第2貯存容器21進行的排水時機是同時實施的，但并不僅限于該結(jié)構(gòu)。如果在第2貯存容器21中貯存有規(guī)定的量以上的水，則也可以使針對第2貯存容器21的供水時機和從第2貯存容器21進行的排水時機錯開。

并且，在上述的實施方式中，構(gòu)成為在第1過濾器17的下游從第1流路12分支而形成有恒溫水提供流路31，但并不僅限于該結(jié)構(gòu)。恒溫水提供流路31在水溫調(diào)整單元16的下游從第1流路12分支而形成即可，例如，恒溫水提供流路31也可以在第1過濾器17的上游從第1流路12分支而形成。

并且，在上述的實施方式中，構(gòu)成為在第2送出泵24與第2冷卻單元26之間從第2流路22分支而形成有排水流路32，但并不僅限于該結(jié)構(gòu)。排水流路32在第2送出泵24的下游從第2流路22分支而形成即可，例如排水流路32也可以從循環(huán)流路23分支而形成。

并且，在上述的實施方式中，作為驅(qū)動部4，例示了主軸、卡盤工作臺和旋轉(zhuǎn)工作臺的軸電動機，但并不僅限于該結(jié)構(gòu)。只要驅(qū)動部4是隨著加工裝置3的工作而發(fā)熱的驅(qū)動部位，則并沒有特別限定。

如以上說明的那樣，本發(fā)明具有既能夠防止驅(qū)動部的破損又能夠大幅減少冷卻水的更換作業(yè)和停機時間的效果，特別對向切削裝置、磨削裝置等加工裝置提供加工水和冷卻水的恒溫水提供裝置有用。