利用長(zhǎng)弧紫外線燈的傾斜曝光及硬化裝置中使用的光學(xué)部件的制作方法

本發(fā)明涉及利用長(zhǎng)弧紫外線燈的傾斜曝光及硬化裝置中使用的光學(xué)部件，更詳細(xì)而言，涉及一種根據(jù)燈外殼的傾斜角度，對(duì)作為光學(xué)部件的濾光鏡及濾光鏡夾的相互對(duì)接的端部進(jìn)行斜切加工，構(gòu)成得進(jìn)行面接觸，使透過的光的損失及特性變化實(shí)現(xiàn)最小化，使得能夠?qū)崿F(xiàn)光的精密控制的利用長(zhǎng)弧紫外線燈的傾斜曝光及硬化裝置中使用的光學(xué)部件

背景技術(shù)：

現(xiàn)代堪稱圖像化、信息化社會(huì)，隨著信息處理系統(tǒng)的發(fā)展，正在開發(fā)能夠顯示大量信息的大面積用顯示元件。而且，最近隨著消費(fèi)者的要求轉(zhuǎn)變?yōu)榧壬僬加冒惭b空間又能夠提供大型畫面的顯示元件，正在開發(fā)能夠滿足如上所述要求的有機(jī)EL(electro luminescent)、LCD(liquid crystal display)及PDP(plasma display panel)等平板顯示裝置(flat panel display)制品并進(jìn)行商用化。

如上所述的大面積平板顯示元件為了形成圖案而需要利用了光掩模的大面積曝光裝置，具體而言，利用基于點(diǎn)光源(short arc)超高壓水銀燈的橢圓聚光鏡和蠅眼透鏡(fly-eyelens)及聚光透鏡(condenser lens)等，向平板顯示裝置的前面玻璃，按約90％以上的照度照射紫外線(特別是365nm的i線)，實(shí)施曝光作業(yè)。

但是，如上所述的以往曝光裝置不僅需要高費(fèi)用的維持費(fèi)，而且，由于超高壓水銀燈(點(diǎn)光源)壽命短，需要大量更換費(fèi)用，另外，由于所述超高壓水銀燈昂貴，在降低生產(chǎn)成本方面存在局限。另外，以往的硬化裝置由于未安裝另外的冷卻裝置，因而在曝光作業(yè)或硬化作業(yè)時(shí)，由于從燈發(fā)散的高溫，存在大面積平板顯示裝置的表面變形的問題。

另一方面，近來，在諸如替代CRT的LCD或PDP等的大面積 平板顯示裝置的曝光或硬化作業(yè)時(shí)，開發(fā)并使用利用長(zhǎng)弧紫外線燈的曝光裝置，其利用價(jià)格比點(diǎn)光源低廉的長(zhǎng)弧紫外線燈體現(xiàn)照度的均一性，能夠降低生產(chǎn)成本并提高生產(chǎn)率。

所述長(zhǎng)弧紫外線燈不需要蠅眼透鏡和聚光透鏡及各種反射鏡(球面鏡、平面鏡)，可以以比短弧燈(short arc lamp)低廉的價(jià)格使用燈，另外，由于不使用所述的構(gòu)成品，因而具有能夠降低生產(chǎn)成本、提高生產(chǎn)率的優(yōu)點(diǎn)。不僅如此，以往曝光裝置中應(yīng)用的短弧燈的壽命一般為500～1000小時(shí)，但本發(fā)明中使用的長(zhǎng)弧紫外線燈，可以使用800～2000小時(shí)左右，因而具有能夠節(jié)省更換費(fèi)用的效果。

另一方面，就這種長(zhǎng)弧紫外線燈而言，當(dāng)利用一個(gè)長(zhǎng)弧紫外線燈對(duì)大面積一面基準(zhǔn)(1500mm以上)的平板顯示裝置制品進(jìn)行曝光作業(yè)時(shí)，隨著平板顯示裝置的前面玻璃大小(size)的增大，紫外線燈的長(zhǎng)度也應(yīng)加長(zhǎng)，紫外線燈的長(zhǎng)度能制作至1500mm以上(3000mm水平)，但制作上困難，而且，存在紫外線燈的處置(運(yùn)輸及更換)困難的問題，另外，隨著紫外線燈的長(zhǎng)度的加長(zhǎng)，容易發(fā)生彎曲問題，在提高照度的均一性方面存在更困難的問題。

因此，為了對(duì)大面積的平板顯示裝置制品進(jìn)行曝光作業(yè)，把長(zhǎng)弧紫外線燈沿長(zhǎng)度方向配置兩個(gè)以上，與安裝1個(gè)曝光裝置的情形相比，可以應(yīng)用具有照度均一性(Uniformity)及特定區(qū)域波長(zhǎng)的光學(xué)部件，用于對(duì)大面積制品進(jìn)行曝光及硬化。

但是，當(dāng)如上所述把兩個(gè)長(zhǎng)弧紫外線燈沿長(zhǎng)度方向配置時(shí)，各長(zhǎng)弧紫外線燈存在其兩側(cè)端部的光源強(qiáng)度比中央部下降的問題，因此，如果把兩個(gè)長(zhǎng)弧紫外線燈沿長(zhǎng)度方向配置，則由于兩個(gè)長(zhǎng)弧紫外線燈的重疊部分的光源強(qiáng)度弱，存在無法體現(xiàn)均一照度的缺點(diǎn)。

【現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)】

【文獻(xiàn)】

文獻(xiàn)1:注冊(cè)實(shí)用新型公報(bào)第20-0245077號(hào)(曝光裝置)

文獻(xiàn)2:公開專利公報(bào)第2001-0055188號(hào)(曝光機(jī)用照明光學(xué)裝置)

文獻(xiàn)3:注冊(cè)專利公報(bào)第10-0360450號(hào)(豎直型曝光裝置的掩模排列裝置)

文獻(xiàn)4:公開專利公報(bào)第10-2005-0061231號(hào)(利用遠(yuǎn)心成像光學(xué)系的數(shù)字曝光裝置)

文獻(xiàn)5:公開專利公報(bào)第10-2006-0122505號(hào)(曝光裝置)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的技術(shù)問題

因此，旨在解決如上所述問題的本發(fā)明的目的在于提供一種利用長(zhǎng)弧紫外線燈的傾斜曝光及硬化裝置中使用的光學(xué)部件，根據(jù)燈外殼的傾斜角度，對(duì)作為光學(xué)部件的濾光鏡及濾光鏡夾的相互對(duì)接的端部進(jìn)行斜切加工，構(gòu)成得實(shí)現(xiàn)面接觸，能夠使透過的光的損失及特性變化實(shí)現(xiàn)最小化，使得實(shí)現(xiàn)光的精密控制。

解決問題的技術(shù)方案

旨在達(dá)成所述目的的本發(fā)明的特征在于，包括：燈外殼，其從兩側(cè)下端越向中央部越向上傾斜地形成，使得整體上具有“∧”剖面形態(tài)；第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈，其分別安裝于所述燈外殼的內(nèi)部空間兩側(cè)，根據(jù)所述燈外殼的傾斜角度，相互傾斜地配置并照射光源；第1、2濾光鏡，其位于所述第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈下方，使得構(gòu)成與所述第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈平行的角度，并使所述第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈照射的光源透過；所述第1、2濾光鏡的端部進(jìn)行斜切加工，構(gòu)成得以相互進(jìn)行面接觸的狀態(tài)對(duì)接。

優(yōu)選所述第1、2濾光鏡安裝于能從所述燈外殼內(nèi)部引出到外部地插入的第1、2濾光鏡夾；所述第1、2濾光鏡夾的端部進(jìn)行斜切加工，構(gòu)成得以相互進(jìn)行面接觸的狀態(tài)對(duì)接。

發(fā)明的效果

本發(fā)明為了照度的均一性，根據(jù)中央部高度制作得較高的燈外殼的傾斜角度，對(duì)作為安裝于所述燈外殼的光學(xué)部件的濾光鏡及濾光鏡夾的相互對(duì)接的端部進(jìn)行斜切加，使得構(gòu)成得其端部實(shí)現(xiàn)相 互面接觸，從而使透過的光的損失及特性變化實(shí)現(xiàn)最小化，具有能夠?qū)崿F(xiàn)光的精密控制的作用效果。而且，向兩側(cè)相連的部分，除光學(xué)部件之外，當(dāng)對(duì)器具部件也應(yīng)用相同結(jié)構(gòu)時(shí)，能夠有效應(yīng)用于切斷漏光及加裝結(jié)構(gòu)。

附圖說明

圖1是圖示本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的利用長(zhǎng)弧紫外線燈的傾斜曝光及硬化裝置的整體構(gòu)成的圖。

圖2是截取圖1的裝置中使用的光學(xué)部件并圖示的圖。

圖3是圖2的立體圖。

圖4是圖示以往光學(xué)部件的對(duì)接狀態(tài)的圖。

符號(hào)說明

10:燈外殼20,22:第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈

30,32:第1、2濾光鏡40,42:第1、2濾光鏡夾

30a,32a,40a,42a:端部

具體實(shí)施方式

下面參照附圖，說明本發(fā)明的實(shí)施例。在后述的詳細(xì)說明中，為了實(shí)現(xiàn)所述的技術(shù)課題，提示了本發(fā)明的代表性的實(shí)施例。而且，作為本發(fā)明而可以提示的其它實(shí)施例，在本發(fā)明的構(gòu)成中替代說明。

本發(fā)明不是使用一個(gè)安裝了長(zhǎng)弧紫外線燈的曝光裝置，而是沿紫外線燈的長(zhǎng)度方向安裝兩個(gè)以上，執(zhí)行曝光作業(yè)，那么，與安裝1個(gè)曝光裝置相比，具有能夠進(jìn)一步提高照度均一性的優(yōu)點(diǎn)。

即，當(dāng)利用一個(gè)長(zhǎng)弧紫外線燈，對(duì)大面積一面基準(zhǔn)(1500mm以上)的平板顯示裝置制品進(jìn)行曝光作業(yè)時(shí)，隨著平板顯示裝置的前面玻璃大小(size)的增大，紫外線燈的長(zhǎng)度也應(yīng)加長(zhǎng)，紫外線燈的長(zhǎng)度可制作至1500mm以上(3000mm水平)，但制作上困難，而 且，存在紫外線燈的處置(運(yùn)輸及更換)困難的問題，另外，隨著紫外線燈長(zhǎng)度的加長(zhǎng)，容易發(fā)生彎曲問題，在提高照度均一性方面存在更困難的問題，因此，如本發(fā)明所示，把兩個(gè)曝光裝置沿紫外線燈的長(zhǎng)度方向配置并使用，從而能夠解決如上所述的問題。

此時(shí)，使沿長(zhǎng)弧紫外線燈的長(zhǎng)度方向串聯(lián)配置的燈外殼的中央部分位于稍高處，具體而言，當(dāng)以所述燈外殼的左/右側(cè)面下端為基準(zhǔn)面時(shí)，使燈外殼位于約30°以下，能夠體現(xiàn)可以使因燈外殼間串聯(lián)而重疊的部分的照度均一性提高的利用長(zhǎng)弧紫外線燈的曝光裝置。

特別是本發(fā)明要體現(xiàn)一種利用長(zhǎng)弧紫外線燈的傾斜曝光及硬化裝置中使用的光學(xué)部件，為了長(zhǎng)弧紫外線燈發(fā)散的照度的均一性，對(duì)加裝于燈外殼的作為光學(xué)部件的濾光鏡及濾光鏡夾的端部進(jìn)行斜切加工，構(gòu)成得在把所述濾光鏡及濾光鏡夾與相向的相反側(cè)濾光鏡及濾光鏡夾對(duì)接時(shí)實(shí)現(xiàn)面接觸，能夠使光的損失及特性變化實(shí)現(xiàn)最小化，實(shí)現(xiàn)光的精密控制。

下面根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說明，所述本發(fā)明并非限定于實(shí)施例。

{實(shí)施例1}

附圖圖1是圖示本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的利用長(zhǎng)弧紫外線燈的傾斜曝光及硬化裝置的整體構(gòu)成的圖，圖2是截取圖1的裝置中使用的光學(xué)部件并圖示的圖，圖3是圖2的立體圖。

如圖1至圖3所示，本發(fā)明的曝光裝置作為對(duì)大面積的平板顯示裝置的前面玻璃(200)執(zhí)行曝光工序的裝置，為了提高照度的均一性，把兩個(gè)第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)在燈外殼(10)兩側(cè)沿長(zhǎng)度方向分別排列安裝構(gòu)成。

即，本發(fā)明可以把兩個(gè)第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)安裝于燈外殼(10)的左、右兩側(cè)，執(zhí)行大面積的平板顯示裝置(一面基準(zhǔn)1500mm以上)的曝光作業(yè)。

所述曝光裝置(100)包括燈外殼(10)、第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)、第1、2濾光鏡(30,32)、第1、2濾光鏡構(gòu)件(40,42)及移送軸 (50)構(gòu)成。

所述燈外殼(10)構(gòu)成所述曝光裝置(100)的外形，在內(nèi)部形成有能夠安裝第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)、第1、2濾光鏡(30,32)、第1、2濾光鏡夾(40,42)的空間(12)。

優(yōu)選所述燈外殼(10)使中央部(10c)位于稍高處，使得整體上構(gòu)成“∧”剖面形態(tài)，具體而言，當(dāng)以所述燈外殼(10)的左/右側(cè)面(10a,10b)下端為基準(zhǔn)面時(shí)，所述燈外殼(10)的中央部(10c)較高地形成，使得為30°以下，這是為了可以使第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(10,12)間因串聯(lián)而重疊的部分的照度均一性提高。

即，從左、右側(cè)面(10a,10b)下端越向中央部(10c)越向上傾斜(R)地配置構(gòu)成所述燈外殼(10)，從而在所述燈外殼(10)的內(nèi)部空間(12)兩側(cè)分別安裝的第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(10,12)也并非相互串聯(lián)配置，而是只能根據(jù)所述燈外殼(10)的傾斜(R)角度，相互傾斜地配置，由此，能夠消除因在第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(10,12)也相互串聯(lián)配置時(shí)發(fā)生的第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(10,12)間的距離差異而導(dǎo)致的照度的不均一性(即，在第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈之間，與其距離差異相應(yīng)，光源相對(duì)減弱的問題)。

在所述燈外殼(10)的上端，安裝有至少一個(gè)以上的移送軸(50)。所述移送軸(50)發(fā)揮使所述燈外殼(10)向左/右方向移動(dòng)的作用，隨著這種動(dòng)作，能夠減小燈外殼(10)間存在的照度差異，另外，能夠克服照度均一性比點(diǎn)光源下降的問題。此時(shí)，所述移送軸(50)的詳細(xì)構(gòu)成應(yīng)用通常的傳動(dòng)裝置即可，例如，使用由電動(dòng)機(jī)、齒輪、皮帶等構(gòu)成的通常的驅(qū)動(dòng)裝置。

優(yōu)選所述第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)按能夠覆蓋(cover)平板顯示裝置的前面玻璃(以下簡(jiǎn)稱“前面玻璃”)(200)的個(gè)數(shù)安裝，根據(jù)所述第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)的個(gè)數(shù)，燈外殼(10)與第1、2濾光鏡(30,32)等也按相同個(gè)數(shù)安裝。

所述第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)安裝于所述燈外殼(10)的內(nèi)部空間(12)，此時(shí)，所述第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)通過所述燈外殼(10)具有的形狀，即，通過從左、右側(cè)面下端越向中央越向上傾斜地形成的燈外殼(10)的結(jié)構(gòu)，當(dāng)安裝于所述燈外殼(10)的內(nèi)部 空間(12)時(shí)，所述第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)也并非相互串聯(lián)配置，而是根據(jù)所述燈外殼(10)的傾斜(R)角度相互傾斜地配置，能夠消除串聯(lián)配置時(shí)因第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)間的距離差異而導(dǎo)致的照度不均一性。

所述第1、2濾光鏡(30,32)安裝于可引出外部地插入于所述燈外殼(10)的內(nèi)部空間(12)的第1、2濾光鏡夾(40,42)，隨著使所述第1、2濾光鏡夾(40,42)從所述燈外殼(10)引出及引入的動(dòng)作，位于已安裝于所述燈外殼(10)內(nèi)部的第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)下方，使從所述第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)發(fā)散的光源透過。此時(shí)，所述第1、2濾光鏡(30,32)配置得構(gòu)成與所述第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)的傾斜角度平行的角度。

所述第1、2濾光鏡(30,32)沿第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)的長(zhǎng)度方向不同地形成透過率，優(yōu)選使第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)照射的光源的透過率，以濾光鏡中央部分低、越向兩側(cè)末端部分越提高透過率的方式進(jìn)行涂布并制作濾光鏡，以便只有紫外線區(qū)域波長(zhǎng)可以透過，這可以使因第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)的長(zhǎng)度導(dǎo)致的照度差異實(shí)現(xiàn)最小化，提高整體的照度均一性。

即，從所述第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)照射的光源由于中央最強(qiáng)，越向兩側(cè)越弱，因此，如果如上所述地調(diào)整濾光鏡的透過率，則可以體現(xiàn)均一的照度。

所述第1、2濾光鏡(30,32)和所述第1、2濾光鏡夾(40,42)也根據(jù)所述燈外殼(10)具有的從兩側(cè)下端越向中央越向上傾斜地形成的燈外殼(10)的傾斜(R)角度，相互傾斜地配置構(gòu)成，使第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)照射的光源透過。

特別是本發(fā)明可以如圖2所示，對(duì)根據(jù)燈外殼(10)的傾斜(R)角度而相互對(duì)接的所述第1、2濾光鏡夾(40,42)及所述第1、2濾光鏡(30,32)的各端部(30a,32a,40a,42a)進(jìn)行斜切加工構(gòu)成，由此，在相互對(duì)接所述第1、2濾光鏡(30,32)及所述第1、2濾光鏡構(gòu)件(40,42)的端部(30a,32a,40a,42a)時(shí)，不是線接觸，而是構(gòu)成面接觸，可以實(shí)現(xiàn)光的損失及特性變化的最小化，實(shí)現(xiàn)光的精密控制。

即，在象以往技術(shù)一樣不對(duì)第1、2濾光鏡(30,32)及第1、2濾 光鏡構(gòu)件(40,42)的端部(30a,32a,40a,42a)進(jìn)行斜切加工的狀態(tài)下，當(dāng)如圖4所示相互對(duì)接第1、2濾光鏡(30,32)及第1、2濾光鏡構(gòu)件(40,42)的端部((30a,32a,40a,42a)時(shí)，構(gòu)成線形態(tài)的接觸，因而在第1、2長(zhǎng)弧紫外線燈(20,22)發(fā)散的光源透過第1、2濾光鏡(30,32)的過程中，透過所述第1、2濾光鏡(30,32)的相互對(duì)接的端部(30a,32a)的光源，其未經(jīng)適當(dāng)控制的波長(zhǎng)會(huì)漏光到制品，無法實(shí)現(xiàn)光的精密控制，存在會(huì)誘發(fā)制品的不良的問題。

與此相反，本發(fā)明對(duì)所述第1、2濾光鏡(30,32)及所述第1、2濾光鏡夾(40,42)的相互對(duì)接的端部(30a,32a,40a,42a)進(jìn)行斜切加工，當(dāng)把所述第1、2濾光鏡(30,32)與所述第1、2濾光鏡構(gòu)件(40,42)相互對(duì)接時(shí)，并非線接觸，而是實(shí)現(xiàn)面接觸，從而透過所述第1、2濾光鏡(30,32)的相互對(duì)接的端部(30a,32a)的光源能夠?qū)崿F(xiàn)適當(dāng)控制，因而能夠?qū)崿F(xiàn)光的精密控制，能夠防止制品的不良于未然。