專利名稱：涂布機臺及清潔涂布機臺的噴嘴的方法
技術領域：
本發(fā)明是有關于一種涂布機臺及清潔涂布機臺的噴嘴的方法，尤指一種 可對清潔頭提供穩(wěn)定的定向拉力的涂布機臺及利用所述清潔頭進行的清潔方 法。
背景技術：
在顯示裝置的制造程序中常利用噴嘴將光刻膠等涂液涂布于被處理基板 上。請參照圖1，圖1為已知光刻膠涂布工藝的示意圖。如圖1所示，首先提供基板10，水平地載置于載置臺16上。涂布機臺2包括噴嘴12，其中涂布 機臺2 —方面通過噴嘴12將光刻膠液14噴擠至基板10上，另一方面使噴嘴 12在基板IO上方朝涂布方向(與噴嘴延伸方向垂直)4移動。此時，噴至基 板10上的光刻膠液14會部分附著于噴嘴12外側，且光刻膠液14會隨著噴 嘴12的移動而于基板10上延展為光刻膠膜。于完成涂布工藝后，接著對噴嘴12進行清潔步驟，此時涂布機臺會將噴 嘴12移動至清潔頭(圖未示)上方，清潔頭會接觸噴嘴12，并且沿著噴嘴延 伸方向來去除殘留于噴嘴12周圍與外側的光刻膠液14。于清潔頭步驟的后涂 布機臺會將噴嘴12移動至載置臺16上方，進行下一次的光刻膠涂布工藝。然而，為了使清潔頭可以接觸噴嘴12并移動進行清潔，清潔頭與噴嘴12 接觸的部分具有可晃動的彈性空間。因此，即使涂布機臺可以于靜止時校正 清潔頭與噴嘴12的相對位置，但是在實際進行清潔步驟時，移動的清潔頭卻 容易因本身的晃動而產生對位偏差。當清潔步驟中的清潔頭與噴嘴12無法準 確對位，清潔頭很可能無法有效刮除殘留于噴嘴12周圍的光刻膠液14，使得光刻膠液14形成殘余光刻膠18而堆積于噴嘴12周圍。如此一來，于下一次 的光刻膠涂布循環(huán)中，噴嘴12周圍的殘余光刻膠18可能會直接剝落于下一 個基板上造成污染，也可能會通過下一次噴出的光刻膠液14而沾粘于基板上， 導致基板的污染。發(fā)明內容本發(fā)明的目的的一在于提供一種涂布機臺及清潔涂布機臺的噴嘴的方 法，以解決前述己知問題。為達上述目的，本發(fā)明的實施例提供一種涂布機臺，包括涂液輸出裝置、 清潔裝置與拉力提供組件。涂液輸出裝置包括噴嘴，通過噴嘴將填充的涂液 輸送而出。清潔裝置設于涂液輸出裝置的下方，沿著預定的行進方向移動以 清潔噴嘴。清潔裝置包括一清潔頭，用以接觸并去除位于噴嘴周圍多余的涂 液。拉力提供組件連接至清潔頭，提供至少一定向拉力至清潔頭，以于清潔 裝置清潔噴嘴時穩(wěn)定清潔頭。本發(fā)明的實施例更提供一種清潔涂布機臺的噴嘴的方法。首先，提供涂 布機臺，包括噴嘴與設置于噴嘴下方的清潔頭。的后，對清潔頭提供傳動力 與定向拉力，其中傳動力控制清潔頭的位置而使清潔頭沿著行進方向移動， 進而使清潔頭接觸而清潔噴嘴，定向拉力平行于行進方向持續(xù)施加于清潔頭， 以穩(wěn)定清潔頭。由于本發(fā)明是對清潔頭施加穩(wěn)定拉力而減少清潔頭的晃動，因此本發(fā)明 可以有效穩(wěn)定正在進行清潔步驟的清潔頭，避免移動的清潔頭因本身的晃動 而產生對位偏差。有鑒于此，實際進行清潔步驟時，清潔頭與噴嘴可以準確 對位，有效刮除殘留于噴嘴周圍的光刻膠液，使?jié)崈舻膰娮炜蛇M行良好的涂 布工藝，減低被處理基板或涂布膜層被污染的機會。
圖1為已知光刻膠涂布工藝的示意圖；圖2至圖4繪示的是本發(fā)明一較佳實施例的涂布機臺的示意圖； 圖5至圖11繪示的是本發(fā)明其他較佳實施例的清潔涂布機臺的噴嘴的方 法示意圖。
2涂布機臺4涂布方向10基板12噴嘴14光刻膠液16載置臺18殘余光刻膠100涂布機臺102涂液輸出裝置104清潔裝置106拉力提供組件薦軌道110傳動裝置112噴嘴114行進方向116清潔頭117傳動力118第一定向拉力120第二定向拉力122第一拉力組件124第二拉力組件126接線128滑輪130配重錘132裝置底座134上蓋136底座彈簧222第一拉力組件224第二拉力組件230巻尺330螺紋彈簧424拉力組件518第一定向拉力520第二定向拉力538分力540分力638分力640分力722第一拉力組件724第二拉力組件726接線806 拉力提供組件 842 彈簧G 重力方向具體實施方式
以下為有關本發(fā)明的詳細說明與附圖，然而所附附圖僅供參考與輔助說 明用，并非用來對本發(fā)明加以限制。為使本領域技術人員能更進一步了解本 發(fā)明，下文特列舉本發(fā)明的多個較佳實施例，并配合所附附圖，詳細說明本 發(fā)明的構成內容及所欲達成的功效。請參考圖2至圖4。圖2至圖4繪示的是本發(fā)明一較佳實施例的涂布機臺 (coating)的示意圖，其中圖2為涂布機臺的俯視示意圖，圖3為涂布機臺的側 視示意圖，而圖4為清潔裝置的仰視示意圖。其中，相同的元件或部位沿用 相同的符號來表示，需注意的是附圖僅以說明為目的，并未依照原尺寸作圖。 為清楚顯示涂布機臺100的配置圖2的涂液輸出裝置102繪示為可透視元件， 然而實際結構不限于此。如圖2與圖3所示，涂布機臺100可包括涂液輸出裝置102、清潔裝置 104、拉力提供組件106、軌道108與傳動裝置110 (圖3的傳動裝置被遮蔽 而未示)。涂液輸出裝置102包括噴嘴112，通過噴嘴112將填充的涂液輸送 而出。清潔裝置104設于涂液輸出裝置102的下方，沿著預定的行進方向114 移動以清潔噴嘴112。清潔裝置104包括一清潔頭116，例如為刮片，用以接 觸并去除位于噴嘴112周圍多余的涂液。軌道108為選擇性元件，主要是供清潔裝置104設置并且沿著軌道108 的方向移動，因此軌道108本質上可平行于清潔裝置104的行進方向114而 設置，且軌道108的設置方向一般是垂直于重力方向G。以長條形的噴嘴112 為例，軌道108與行進方向114的設置可與噴嘴112的延伸方向平行，以有 效清潔噴嘴112。拉力提供組件106連接至清潔頭116，提供至少一定向拉力至清潔頭116，以于清潔裝置104清潔噴嘴112時穩(wěn)定清潔頭116。本發(fā)明的定向拉力的大小 僅需大于零即可用于穩(wěn)定清潔裝置104，較佳是小于驅動清潔裝置104于軌道 108中移動的傳動力117,以使清潔裝置104可順利于軌道108中移動而清潔 噴嘴112。根據(jù)一般傳動狀態(tài)，定向拉力本質上較佳可介于0.4至0.6公斤重， 以提供適當穩(wěn)定效果與維持移動順暢性，但不限于此。于其他實施例中，例 如利用彈簧提供定向拉力的狀況下，定向拉力的大小也可能隨著清潔裝置104 的位置而改變，甚至達到負值而成為定向推力。于本實施例中，拉力提供組件106較佳可同時提供第一定向拉力118與 第二定向拉力120至清潔頭116，使得清潔裝置104可平衡受力，但不限于此。 第一定向拉力118本質上可沿著行進方向114拉伸，而第二定向拉力120本 質上可與第一定向拉力118位于同一作用直線上而反向拉伸。拉力提供組件 106可包括第一拉力組件122與第二拉力組件124，以分別提供第一定向拉力 118與第二定向拉力120。第一拉力組件122與第二拉力組件124分別包括至 少一條接線126、至少一滑輪128與至少一配重錘130。接線126的一端可固 定于清潔頭116上，接線126沿著清潔裝置104的預定行進方向114或軌道 108的設置方向延伸，跨越滑輪128而另一端固定于懸空的配重錘130上。其 中，接線126較佳是由高耐磨材料所構成，例如包括鋼線，以提高拉力提供 組件106的耐用性，但不局限于此，接線126、滑輪128與配重錘130均為可 分別替換的組件。如圖4所示，清潔裝置104可選擇性包括裝置底座132與上蓋134，其中 上蓋134的上表面包括圖3所示的清潔頭116，而其下表面則可包括至少一底 座彈簧136，例如圖4的裝置底座132包括四個底座彈簧136，用以支撐于裝 置底座132與上蓋134之間，使清潔頭116可以適當?shù)亟佑|噴嘴112并移動 進行清潔。在未連接拉力提供組件106的情況下，上蓋134與裝置底座132 彼此的相對位置具有可調整的空間，避免清潔步驟的噴嘴112受力不均。傳 動裝置IIO連接至清潔裝置104的裝置底座132，以控制清潔裝置104的位置，且可提供圖3所示的傳動力117使清潔裝置104沿著行進方向114而移動。再參考圖2與圖3，當進行涂布機臺的噴嘴清潔步驟時，首先提供前述涂 布機臺100。之后，移動噴嘴112或清潔裝置104使得噴嘴112對應于清潔裝 置104正上方，并且使清潔頭116可接觸噴嘴112。接著，對清潔頭116提供 傳動力與定向拉力，例如前述傳動力117、第一定向拉力118與第二定向拉力 120。其中，傳動力117可由傳動裝置110提供至清潔裝置104的裝置底座132， 進而帶動清潔頭116，以控制清潔頭116的位置，并使清潔頭U6可沿著行進 方向114移動。在清潔頭116移動的過程中，特別是清潔噴嘴112的過程中， 第一定向拉力118與第二定向拉力120均可平行于行進方向114而持續(xù)施加 于清潔頭U6，以穩(wěn)定清潔頭116不易晃動。如此一來，清潔頭116可穩(wěn)定接 觸而清潔噴嘴112。其后，潔凈的噴嘴112可進行涂布工藝(圖未示)，例如 涂液為彩色光刻膠液，并且獲得較佳涂布效果，減低被處理基板或涂布膜層 被污染的機會。前述對清潔頭116提供定向拉力的步驟可于涂布機臺100中持續(xù)進行， 也可僅于清潔頭116接觸噴嘴112的過程中進行。例如本發(fā)明利用第一拉力 組件122與第二拉力組件124即可自動且穩(wěn)定地持續(xù)提供第一定向拉力118 與第二定向拉力120。于其他實施例中，拉力提供組件更可包括不同形態(tài)，請參考圖5至圖11， 其繪示的是本發(fā)明其他較佳實施例的清潔涂布機臺的噴嘴的方法示意圖，其 中相同的元件或部位沿用相同的符號來表示。如圖5所示，第一拉力組件222與第二拉力組件224分別包括至少一巻 尺230。巻尺230的一端可固定于清潔頭116上，而另一端(巻尺230的主體) 可固定于軌道108的一端，使得巻尺230可沿著清潔裝置104的預定行進方 向114或軌道108的設置方向延伸。于其他實施例中，第一拉力組件222與/ 或第二拉力組件224也可另包括至少一條接線(圖未示)，而利用接線連接巻尺230與清潔裝置104之間，也即利用接線與巻尺取代圖5所示的巻尺230。 或者如圖6所示，本實施例可利用螺紋彈簧330取代前述的巻尺230。如圖7所示，本發(fā)明也可僅提供單一定向拉力120至清潔頭116，其中拉 力組件424可如圖7所示包括接線126、滑輪128與配重綞130，也可如其他實施例中所示包括巻尺或螺紋彈簧。本發(fā)明是對清潔頭施加穩(wěn)定拉力而減少清潔頭的晃動，包括作用力是平 行于行進方向、于俯視而言與行進方向傾斜、于側視而言與行進方向傾斜或 垂直于行進方向，均符合本發(fā)明的精神。如圖8所示，第一定向拉力518與 第二定向拉力520可以與重力方向G不垂直，使得清潔頭116同時受到朝向 軌道108終端的分力538與向下的分力540。如圖9所示，第一定向拉力518 與第二定向拉力520可以與重力方向G不垂直，使得清潔頭116同時受到朝 向軌道108終端的分力638與向上的分力640。如圖IO所示，第一拉力組件722與第二拉力組件724分別包括至少兩條 接線726、至少一滑輪128與至少一配重錘D0。單一拉力組件(第一拉力組 件722或第二拉力組件724)的兩條接線726可彼此連接，使得接線726呈Y 字形而具有至少三個端點，其中兩端可分別固定于清潔頭116上，而另一端 點可連接配重錘130、巻尺(圖未示)或螺紋彈簧(圖未示)。如圖11所示，拉力提供組件806可包括彈簧842，設置于裝置底座132 與上蓋134之間，例如一端固定于裝置底座132或上蓋134上，而另一端相 對接觸于上蓋134或裝置底座132側壁。彈簧842可以增加裝置底座132與 上蓋134之間的穩(wěn)定效果，進而減少清潔頭的晃動。上述各種拉力提供組件與其包括元件均可彼此替換或組合使用，例如圖2 所示的涂布機臺100可同時包括拉力提供組件106與拉力提供組件806。由于本發(fā)明是對清潔頭施加穩(wěn)定拉力而減少清潔頭的晃動，因此本發(fā)明 可以有效穩(wěn)定正在進行清潔步驟的清潔頭，避免移動的清潔頭因本身的晃動 而產生對位偏差。有鑒于此，實際進行清潔步驟時，清潔頭與噴嘴可以準確 對位，有效刮除殘留于噴嘴周圍的光刻膠液，使?jié)崈舻膰娮炜蛇M行良好的涂布工藝，減低被處理基板或涂布膜層被污染的機會。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例，凡依本發(fā)明權利要求書范圍所做的 均等變化與修飾，皆應屬本發(fā)明的涵蓋范圍。
權利要求
1.一種涂布機臺，其特征在于，所述涂布機臺包括一涂液輸出裝置，填充有一涂液，所述涂液輸出裝置包括一噴嘴，通過所述噴嘴將所述涂液輸送而出；一清潔裝置，設于所述涂液輸出裝置的下方，沿著一行進方向移動以清潔所述噴嘴，所述清潔裝置包括一清潔頭，用以接觸并去除位于所述噴嘴周圍多余的所述涂液；以及一拉力提供組件，連接至所述清潔頭，所述拉力提供組件提供至少一定向拉力至所述清潔頭，以于所述清潔裝置清潔所述噴嘴時穩(wěn)定所述清潔頭。
2. 如權利要求1所述的涂布機臺，其特征在于，所述定向拉力本質上平 行于所述行進方向而作用。
3. 如權利要求1所述的涂布機臺，其特征在于，所述拉力提供組件包括 至少一條接線、至少一滑輪與至少一配重錘，所述接線的一端固定于所述清 潔頭上，所述接線沿著所述行進方向延伸，跨越所述滑輪而另一端固定于懸 空的所述配重錘上。
4. 如權利要求l所述的涂布機臺，其特征在于，所述接線包括一鋼線。
5. 如權利要求1所述的涂布機臺，其特征在于，所述拉力提供組件包括 至少一巻尺或至少一螺紋彈簧。
6. 如權利要求1所述的涂布機臺，其特征在于，所述拉力提供組件提供 一第一定向拉力與一第二定向拉力至所述清潔頭，所述第一定向拉力本質上 是沿著所述行進方向拉伸，而所述第二定向拉力本質上是與所述第一定向拉 力位于同一作用直線上而反向拉伸。
7. 如權利要求6所述的涂布機臺，其特征在于，所述拉力提供組件包括 一第一拉力組件與一第二拉力組件，所述第一拉力組件與所述第二拉力組件 分別包括至少一條接線、至少一滑輪與至少一配重錘。
8. 如權利要求1所述的涂布機臺，其特征在于，所述清潔裝置包括一裝 置底座與至少一底座彈簧，以支撐所述清潔頭。
9. 如權利要求8所述的涂布機臺，其特征在于，所述涂布機臺還包括-一軌道，本質上平行于所述行進方向而設置，所述清潔裝置是設置于所述軌道中；以及一傳動裝置連接至所述清潔裝置的所述裝置底座，以控制所述清潔裝置 的位置，且控制所述清潔裝置沿著所述行進方向而移動。
10. 如權利要求l所述的涂布機臺，其特征在于，所述定向拉力本質上介 于0.4至0,6公斤重。
11. 如權利要求l所述的涂布機臺，其特征在于，所述涂液為一彩色光刻膠。
12. —種清潔涂布機臺的噴嘴的方法，其特征在于，所述方法包括 提供一涂布機臺，所述涂布機臺包括所述噴嘴與一清潔頭設置于所述噴嘴下方；對所述清潔頭提供一傳動力與一定向拉力，所述傳動力控制所述清潔頭 的位置而使所述清潔頭沿著一行進方向移動，進而使所述清潔頭接觸而清潔 所述噴嘴，而所述定向拉力平行于所述行進方向持續(xù)施加于所述清潔頭，以 穩(wěn)定所述清潔頭。
13. 如權利要求12所述的方法，其特征在于，所述定向拉力本質上介于 0.4至0.6公斤重。
14. 如權利要求12所述的方法，其特征在于，所述定向拉力包括一第一 定向拉力與一第二定向拉力，所述第一定向拉力本質上是沿著所述行進方向 拉伸，而所述第二定向拉力本質上是與所述第一定向拉力位于同一作用直線 上而反向拉伸。
15. 如權利要求12所述的方法，其特征在于，提供所述定向拉力的方法 包括把至少一條接線的兩端分別固定于所述清潔頭與至少一配重錘上；以及 使所述接線沿著所述行進方向延伸，跨越至少一滑輪而讓所述配重錘懸 空掛置。
16.如權利要求12所述的方法，其特征在于，提供所述定向拉力的方法 包括把至少一巻尺或至少一螺紋彈簧的兩端分別固定于所述清潔頭與一固定 處上，且所述清潔頭與所述固定處的連線方向與所述行進方向平行。
全文摘要
本發(fā)明提供一種涂布機臺及清潔涂布機臺的噴嘴的方法，所述涂布機臺包括涂液輸出裝置、清潔裝置與拉力提供組件。涂液輸出裝置包括噴嘴，通過噴嘴將填充的涂液輸送而出。清潔裝置設于涂液輸出裝置的下方，沿著預定的行進方向移動以清潔噴嘴。清潔裝置包括一清潔頭，用以接觸并去除位于噴嘴周圍多余的涂液。拉力提供組件連接至清潔頭，提供至少一定向拉力至清潔頭，以于清潔裝置清潔噴嘴時穩(wěn)定清潔頭。由于本發(fā)明是對清潔頭施加穩(wěn)定拉力而減少清潔頭的晃動，因此本發(fā)明可以有效穩(wěn)定正在進行清潔步驟的清潔頭，避免移動的清潔頭因本身的晃動而產生對位偏差。
文檔編號G03F7/16GK101592867SQ20091014935
公開日2009年12月2日 申請日期2009年6月18日 優(yōu)先權日2009年6月18日
發(fā)明者丁振原, 黃瀅儒 申請人:友達光電股份有限公司