專利名稱：一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實(shí)用新型涉及拉硅棒的領(lǐng)域，尤其是一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒。
背景技術(shù)：
[0002]單晶爐拉制單晶硅棒時(shí)，盛裝多晶硅塊等原料的石英坩堝放入位于堝托之上的石墨坩堝托內(nèi)，在保護(hù)性氣氛中加熱融化，調(diào)控到工藝溫度后，籽晶經(jīng)導(dǎo)流筒插入溶融多晶硅液中，與坩堝作逆向旋轉(zhuǎn)并向上提升，使多晶硅液按籽晶的硅原子排列順序結(jié)晶凝固成單晶娃棒。[0003]目前在單晶硅棒生產(chǎn)過程中，需要對(duì)硅液進(jìn)行導(dǎo)流，由于目前使用的導(dǎo)流筒為直筒狀，在硅液通過導(dǎo)流筒時(shí)，導(dǎo)流速度不穩(wěn)定，另外，由于導(dǎo)流筒內(nèi)壁的溫度很難控制，容易造成硅液溫度的不穩(wěn)定性，從而影響硅棒的質(zhì)量。發(fā)明實(shí)用新型內(nèi)容[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是為了克服上述中存在的問題，提供了一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒，其能夠保證硅液的溫度的穩(wěn)定性并且提供硅棒的質(zhì)量。[0005]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒， 包括外筒體和設(shè)在外筒體內(nèi)壁上的內(nèi)筒體，所述的外筒體的內(nèi)壁和內(nèi)筒體的外壁之間具有保溫空腔，保溫空腔內(nèi)填充有保溫液體，所述的外筒體外壁上端開設(shè)有進(jìn)液口，外筒體外壁下端開設(shè)有出液口，進(jìn)液口和出液口之間通過管道連通有恒溫水箱，恒溫水箱內(nèi)安裝有恒溫控制器。[0006]為了能夠更好的起到導(dǎo)流作用，所述的外筒體與內(nèi)筒體均呈漏斗狀，外筒體的內(nèi)壁和內(nèi)筒體的內(nèi)壁與軸線之間的夾角均為8°。[0007]所述的內(nèi)筒體內(nèi)表面上涂覆有碳/碳復(fù)合抗氧化層。[0008]本實(shí)用新型的有益效果是所述的一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒，采用恒溫水箱的設(shè)計(jì)，能夠有效地控制內(nèi)筒體表面上的問題，從而有效的控制硅棒流過內(nèi)筒體內(nèi)壁上的溫度，從而提聞娃棒的良率。
[0009]
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。[0010]圖I是本實(shí)用新型所述的一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒的整體結(jié)構(gòu)示意圖。[0011]附圖中標(biāo)記分述如下1、外筒體，11、進(jìn)液口，12、出液口，2、內(nèi)筒體，3、保溫空腔，4、恒溫水箱，5、恒溫控制器。
具體實(shí)施方式
[0012]現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖， 僅以示意方式說明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。3[0013]如圖I所示的一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒，包括呈漏斗狀的外筒體1，外筒體I的內(nèi)壁與軸線之間的夾角為8°，在外筒體I內(nèi)壁上設(shè)有內(nèi)筒體2，內(nèi)筒體2也呈漏斗狀，內(nèi)筒體2的內(nèi)壁與軸線之間的夾角為8°，在內(nèi)筒體2的內(nèi)壁上涂覆有碳/碳復(fù)合抗氧化層，在外筒體I的內(nèi)壁和內(nèi)筒體2的外壁之間具有保溫空腔3，保溫空腔3內(nèi)填充有保溫液體，外筒體I外壁上端開設(shè)有進(jìn)液口 11，外筒體I外壁下端開設(shè)有出液口 12，進(jìn)液口 11和出液口 12之間通過管道連通有恒溫水箱4，恒溫水箱4內(nèi)安裝有恒溫控制器5。[0014]本實(shí)用新型的一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒，在進(jìn)行拉硅棒制造中，硅液通過導(dǎo)流筒時(shí)，內(nèi)筒體2的內(nèi)壁的溫度為適宜生產(chǎn)硅棒的溫度，此原因是由保溫空腔3內(nèi)的保溫液體通過出液口 12流入恒溫水箱4內(nèi)，然后通過管道從而進(jìn)液口進(jìn)入保溫空腔3內(nèi)，形成一個(gè)循環(huán)，從而始終保持保溫空腔3內(nèi)溫度的穩(wěn)定性，從而保證了生產(chǎn)出的硅棒的穩(wěn)定性。[0015]以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過上述的說明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。
權(quán)利要求1.一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒，包括外筒體(I)和設(shè)在外筒體(I)內(nèi)壁上的內(nèi)筒體(2)，其特征是所述外筒體(I)的內(nèi)壁和內(nèi)筒體(2)的外壁之間具有保溫空腔(3)，保溫空腔(3 )內(nèi)填充有保溫液體，所述的外筒體(I)外壁上端開設(shè)有進(jìn)液口( 11 )，外筒體(I)外壁下端開設(shè)有出液口(12)，進(jìn)液口(11)和出液口(12)之間通過管道連通有恒溫水箱(4)，恒溫水箱(4)內(nèi)安裝有恒溫控制器(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒，其特征是所述的外筒體(I) 與內(nèi)筒體(2)均呈漏斗狀，外筒體(I)的內(nèi)壁和內(nèi)筒體(2)的內(nèi)壁與軸線之間的夾角均是 8。。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒，其特征是所述的內(nèi)筒體(2) 內(nèi)表面上涂覆有碳/碳復(fù)合抗氧化層。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒，包括外筒體和設(shè)在外筒體內(nèi)壁上的內(nèi)筒體，外筒體的內(nèi)壁和內(nèi)筒體的外壁之間具有保溫空腔，保溫空腔內(nèi)填充有保溫液體，外筒體外壁上端開設(shè)有進(jìn)液口，外筒體外壁下端開設(shè)有出液口，進(jìn)液口和出液口之間通過管道連通有恒溫水箱，恒溫水箱內(nèi)安裝有恒溫控制器。所述的一種拉硅棒用保溫型導(dǎo)流筒，采用恒溫水箱的設(shè)計(jì)，能夠有效地控制內(nèi)筒體表面上的問題，從而有效的控制硅棒流過內(nèi)筒體內(nèi)壁上的溫度，從而提高硅棒的良率。
文檔編號(hào)C30B29/06GK202744652SQ20122044441
公開日2013年2月20日 申請(qǐng)日期2012年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月3日
發(fā)明者王桂奮, 謝德兵, 王迎春 申請(qǐng)人:金壇正信光伏電子有限公司