一種支撐墊片及設有該支撐墊片的銅質(zhì)導管的制作方法

本實用新型涉及太陽能電池制備技術領域，具體涉及一種支撐墊片及設有該支撐墊片的銅質(zhì)導管。

背景技術：

鍍膜工序是指在制備太陽能電池過程中制備氮化硅薄膜，其作為晶體硅太陽能電池的光學減反射膜，同時也起到表面鈍化和體鈍化的作用，以提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。鍍膜主要以等離子體增強化學氣相沉淀（PECVD）的方法，如Roth&Rau設備，該設備在恒定磁場和恒定電場的控制下，與高頻電磁場發(fā)生相互作用，把從恒定電場中獲得能量轉(zhuǎn)變成微波能量，微波通過銅天線傳輸?shù)角惑w內(nèi)，延石英管中的銅管形成線性微波源，激發(fā)反應氣體成為等離子體，在硅片表面沉積異常均勻的氮化硅薄膜。

其中等離子體的發(fā)生裝置是磁控頭，是微波發(fā)生裝置，其核心為磁控管，是一個置于恒定磁場中的二極管。管內(nèi)電子在相互垂直的恒定磁場和恒定電場的控制下，與高頻電磁場發(fā)生相互作用，把從恒定電場中獲得能量轉(zhuǎn)變成微波能量，從而達到產(chǎn)生微波能的目的。微波通過銅天線傳輸?shù)角惑w內(nèi)，延石英管中的銅管形成線性微波源。而在生產(chǎn)、維護過程中，銅管會由于重力或其他外力因素，發(fā)生形變，影響微波傳輸及能量均勻，導致形變處鍍膜顏色異常。

有鑒于此，開發(fā)一種支撐墊片及設有該支撐墊片的Roth&Rau銅質(zhì)導管，解決現(xiàn)有技術中銅質(zhì)導管易變形導致鍍膜顏色不均勻的缺陷，顯然是有必要的。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種支撐墊片及設有該支撐墊片的銅質(zhì)導管，解決現(xiàn)有技術中銅質(zhì)導管易變形導致鍍膜顏色不均勻的缺陷。

為達到上述發(fā)明目的，本實用新型采用的技術方案是：一種支撐墊片，包括圓弧結構，所述圓弧結構上設有至少5個方向朝外的支撐直桿，

所述支撐直桿均勻的分布在所述圓弧結構上，

所述圓弧結構的圓心角的范圍為240°~300°。

優(yōu)選地，所述圓心角的范圍為270°~300°。

進一步技術方案中，所述圓心角為288°。

優(yōu)選地，所述圓弧結構上設有5個方向朝外的支撐直桿。

優(yōu)選地，所述圓弧結構上設有6個方向朝外的支撐直桿。

優(yōu)選地，所述圓弧結構為聚四氟乙烯圓弧。

優(yōu)選地，所述支撐直桿為聚四氟乙烯支撐直桿。

本實用新型還提供了一種設有支撐墊片的銅質(zhì)導管，包括銅質(zhì)導管，所述銅質(zhì)導管的外部套設有復數(shù)個上述支撐墊片，相鄰所述支撐墊片之間的間距相等。

優(yōu)選地，所述銅質(zhì)導管外部套設有3個支撐墊片。

優(yōu)選地，所述銅質(zhì)導管外部套設有5個支撐墊片。

由于上述技術方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有下列優(yōu)點：

1.本實用新型設有均勻分布的支撐直桿，避免銅管在石英管內(nèi)發(fā)生形變，使得沉積薄膜膜厚、折射率均勻性好，減少色差返工；

2.本實用新型結構簡單，成本低，適合推廣。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例一的結構示意圖。

圖2是本實用新型實施例二的結構示意圖。

其中：1、圓弧結構；2、支撐直桿。

具體實施方式

下面結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述：

實施例一：

參見圖1所示，一種支撐墊片，包括圓弧結構1，圓弧結構1上設有5個方向朝外的支撐直桿2，

支撐直桿2均勻的分布在所述圓弧結構1上，

圓弧結構1的圓心角為288°。

本實施例中，圓弧結構1為聚四氟乙烯圓弧。

本實施例中，支撐直桿2為聚四氟乙烯支撐直桿。

本實施例還提供了一種設有該支撐墊片的銅質(zhì)導管，包括銅質(zhì)導管，銅質(zhì)導管的外部套設有3個支撐墊片，相鄰所述支撐墊片之間的間距相等。

實施例二：

參見圖2所示，一種支撐墊片，包括圓弧結構1，圓弧結構1上設有6個方向朝外的支撐直桿2，

支撐直桿2均勻的分布在所述圓弧結構1上，

圓弧結構1的圓心角為300°。

本實施例中，圓弧結構1為聚四氟乙烯圓弧。

本實施例中，支撐直桿2為聚四氟乙烯支撐直桿。

本實施例還提供了一種設有該支撐墊片的銅質(zhì)導管，包括銅質(zhì)導管，銅質(zhì)導管的外部套設有4個支撐墊片，相鄰所述支撐墊片之間的間距相等。