一種可拆卸晶圓直線滑軌的制作方法

本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種可拆卸晶圓直線滑軌。

背景技術(shù)：

晶圓作為制造半導(dǎo)體芯片的基本材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中；其中晶圓直線滑軌的作用尤為突出，但現(xiàn)有的滑軌均為一體的，滑塊軸承在滑軌上滑動時，滑塊軸承內(nèi)部滾珠會摩擦滑軌，使滑軌與滑塊軸承連接處磨損，從而影響使用的技術(shù)效果，更換滑軌與滑塊軸承連接部位的同時需要更換整個滑軌，這樣浪費材料、增加了制作成本并影響直線滑軌使用的技術(shù)效果；現(xiàn)有的直線滑軌均會額外安置限位塊，浪費材料的同時增加了制造的成本；并且現(xiàn)有的滑塊和滑軌之間用滾動軸承相連，滾動軸承的造價高，制造工藝和結(jié)構(gòu)復(fù)雜。該類設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高、不適合中低端半導(dǎo)體設(shè)備。故如何在更換時降低晶圓直線滑軌的制作成本，避免材料的浪費是目前亟需解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、制造成本低、易于操作的可拆卸晶圓直線滑軌。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是：

一種可拆卸晶圓直線滑軌，包括滑塊和滑軌，所述滑塊呈長方體形，滑塊下部的兩側(cè)分別開設(shè)有半圓弧形通孔，滑塊通過半圓弧形通孔與滑軌連接，所述滑軌包括牙型凸塊和滑軌底座，所述牙型凸塊上部呈半圓弧形、下部呈矩形，牙型凸塊的下部開設(shè)有第一圓形通孔，牙型凸塊的底部開設(shè)有倒“V”字形的凹槽，所述第一圓形通孔位于倒“V”字形的凹槽的上部，所述滑軌底座呈“凹”字形，滑軌底座上部的兩端分別開設(shè)有矩形凹槽，所述矩形凹槽的底部設(shè)有與倒“V”字形的凹槽相對應(yīng)的“V”字形凸塊，牙型凸塊位于矩形凹槽內(nèi)，滑軌底座的兩側(cè)端面分別開設(shè)有兩個圓形螺孔，所述圓形螺孔位于矩形凹槽的下部；滑塊和滑軌的一側(cè)面固定連接有上蓋，滑塊和滑軌的另一側(cè)面固定連接有固定板，所述上蓋的兩側(cè)分別開設(shè)有盲孔和第一螺紋孔，所述固定板的下部兩側(cè)分別開設(shè)有第二螺紋孔。

進(jìn)一步地，所述半圓弧形通孔與牙型凸塊之間進(jìn)行滑動連接，半圓弧形通孔與牙型凸塊之間為過渡配合。

進(jìn)一步地，所述固定板的上部兩側(cè)分別布設(shè)有圓柱管形的導(dǎo)管，所述導(dǎo)管穿過第一圓形通孔連接至盲孔內(nèi)。

進(jìn)一步地，所述第一螺紋孔和第二螺紋孔分別對應(yīng)滑軌底座兩側(cè)端面上的圓形螺孔，第一螺紋孔和滑軌底座一側(cè)端面上的圓形螺孔之間，第二螺紋孔和滑軌底座另一側(cè)端面上的圓形螺孔之間分別通過螺釘連接。

本實用新型的有益效果為：

本實用新型通過滑軌底座和牙型凸塊的連接實現(xiàn)了一種可拆卸式的滑軌，當(dāng)牙型凸塊上部與滑塊滑動連接時造成的磨損或損壞可直接更換牙型凸塊，無需更換整個滑軌，從而節(jié)省了材料并減少了工作成本；且滑軌底座與牙型凸塊連接處分別設(shè)有“V”字形的凸塊和倒“V”字形的凹槽，將牙型凸塊放置到滑軌底座時可避免左右的晃動，減輕兩者之間的磨損；滑塊下部的半圓弧形通孔直接接觸牙型凸塊，無需套合軸承，滑軌底座、牙型凸塊與滑塊用固定板和上蓋進(jìn)行固定，拆卸方便，提高了使用性能，簡化了晶圓直線滑軌的結(jié)構(gòu)，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

附圖說明

圖1是本實用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的剖切的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的滑軌底座的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的牙型凸塊的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本實用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的滑塊的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本實用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的上蓋的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是本實用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的固定板的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8是本實用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的上蓋和固定板對接的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中標(biāo)號為：1為滑塊，2為牙型凸塊，3為第一圓形通孔，4為滑軌底座，5為矩形凹槽，6為圓形螺孔，7為螺釘，9為盲孔，10為上蓋，11為固定板,12為導(dǎo)管,13為第一螺紋孔，14為半圓弧形通孔，15為第二螺紋孔。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施方式對本實用新型進(jìn)一步說明：

如圖1～圖8所示，一種可拆卸晶圓直線滑軌，包括滑塊1和滑軌，所述滑塊1呈長方體形，滑塊1下部的兩側(cè)分別開設(shè)有半圓弧形通孔14，滑塊通過半圓弧形通孔14與滑軌連接，所述滑軌包括牙型凸塊2和滑軌底座4，所述牙型凸塊2上部呈半圓弧形、下部呈矩形，牙型凸塊2的下部開設(shè)有第一圓形通孔3，牙型凸塊2的底部開設(shè)有倒“V”字形的凹槽，所述第一圓形通孔3位于倒“V”字形的凹槽的上部，牙型凸塊2與滑塊1滑動連接，牙型凸塊2與滑塊1過渡配合，所述滑軌底座4呈“凹”字形，滑軌底座4上部的兩端分別開設(shè)有矩形凹槽5，所述矩形凹槽5的底部設(shè)有與倒“V”字形的凹槽相對應(yīng)的“V”字形凸塊，牙型凸塊2位于矩形凹槽5內(nèi)，滑軌底座4的兩側(cè)端面分別開設(shè)有兩個圓形螺孔6，所述圓形螺孔6位于矩形凹槽5的下部；滑塊1和滑軌的一側(cè)面固定連接有上蓋10，滑塊1和滑軌的另一側(cè)面固定連接有固定板11，所述上蓋10的兩側(cè)分別開設(shè)有盲孔9和第一螺紋孔13，所述固定板11的上部兩側(cè)分別布設(shè)有圓柱管形的導(dǎo)管12，所述導(dǎo)管12穿過第一圓形通孔3連接至盲孔9，固定板11的下部兩側(cè)分別開設(shè)有第二螺紋孔15，所述第一螺紋孔13和第二螺紋孔15分別對應(yīng)滑軌底座4兩側(cè)端面上的圓形螺孔6，第一螺紋孔13和滑軌底座4一側(cè)端面上的圓形螺孔6之間，第二螺紋孔15和滑軌底座4另一側(cè)端面上的圓形螺孔6之間分別通過螺釘7連接。

使用時，將兩個牙型凸塊2分別安裝至滑軌底座4兩端上部的矩形凹槽5內(nèi)，手動將滑塊1滑入到牙型凸塊2上部，螺釘7穿過第一螺紋孔13至滑軌底座4上的圓形螺孔6內(nèi)，將上蓋10固定在滑塊1和滑軌的一側(cè)面上；將固定板11上的導(dǎo)管12穿過第一圓形通孔3連接至上蓋10的盲孔9內(nèi)，再將螺釘7穿過第二螺紋孔15至滑軌底座4上的圓形螺孔6內(nèi)，使固定板11固定在滑塊1和滑軌的另一側(cè)面上，從而將牙型凸塊2和滑軌底座4夾緊固定，滑塊1可在牙型凸塊2上自由滑動。

以上所述之實施例，只是本實用新型的較佳實施例而已，并非限制本實用新型的實施范圍，故凡依本實用新型專利范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均應(yīng)包括于本實用新型申請專利范圍內(nèi)。