一種柔性基板處理裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種柔性基板處理裝置，通過(guò)微調(diào)主動(dòng)輥輪的實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速以使其線速度保持恒定，從而保證柔性基板在處理液中的處理時(shí)間一致，簡(jiǎn)化了設(shè)備結(jié)構(gòu)，降低了成本。本實(shí)用新型提供的柔性基板處理裝置，包括：處理槽，用于盛放處理液；定位輥輪，位于所述處理液液面的下方；主動(dòng)輥輪和從動(dòng)輥輪，位于所述處理液液面的上方；還包括：檢測(cè)單元，用于采集所述主動(dòng)輥輪的轉(zhuǎn)動(dòng)周期；計(jì)算單元，用于獲取主動(dòng)輥輪的轉(zhuǎn)動(dòng)周期，計(jì)算并輸出滿足所需線速度時(shí)，需要的主動(dòng)輥輪的角速度數(shù)值；以及微調(diào)單元，用于獲取并將主動(dòng)輥輪的角速度調(diào)整至所述計(jì)算單元計(jì)算的角速度數(shù)值。
【專利說(shuō)明】
一種柔性基板處理裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種卷對(duì)卷處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]由于柔性基板具有可卷曲的特點(diǎn)，所以可利用卷對(duì)卷裝置對(duì)柔性基板進(jìn)行卷繞轉(zhuǎn)動(dòng)處理，實(shí)現(xiàn)低成本、高效率的生產(chǎn)。但是在現(xiàn)有的卷對(duì)卷工藝中，由于卷繞柔性基板的輥輪是勻速旋轉(zhuǎn)的，那么隨著柔性基板卷繞層數(shù)的不斷變化，柔性基板的移動(dòng)線速度也在不停變化，從而使得柔性基板在處理液中的浸泡時(shí)間隨著輥輪半徑的變化而變化，導(dǎo)致柔性基板上的器件尺寸不均勻，影響柔性顯示產(chǎn)品的品質(zhì)。
[0003]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，業(yè)內(nèi)主要提供以下兩種技術(shù)方案:一種是通過(guò)排液和補(bǔ)液的方式來(lái)調(diào)整處理液的液面高度，以實(shí)現(xiàn)柔性基板在處理液中浸泡時(shí)間恒定的效果；另一種是根據(jù)基板實(shí)時(shí)線速度的變化量來(lái)調(diào)整定位輥輪在處理液中的位置，以使柔性基板在處理液中的時(shí)間保持恒定。
[0004]但是上述技術(shù)方案都需要在原有設(shè)備的基礎(chǔ)上另外再加硬件裝置(如移動(dòng)排液組件或者位移調(diào)整裝置)，來(lái)調(diào)整處理液的液位或是定位輥輪的位置，使得設(shè)備結(jié)構(gòu)更加復(fù)雜，也相應(yīng)地增加了成本。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]有鑒于此，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種柔性基板處理裝置，通過(guò)微調(diào)主動(dòng)輥輪的實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)速以使其線速度保持恒定，從而保證柔性基板在處理液中的處理時(shí)間一致，簡(jiǎn)化了設(shè)備結(jié)構(gòu)，降低了成本。
[0006]本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的一種柔性基板處理裝置，包括:處理槽，用于盛放處理液;定位輥輪，位于所述處理液液面的下方;主動(dòng)輥輪和從動(dòng)輥輪，位于所述處理液液面的上方;還包括:檢測(cè)單元，用于采集所述主動(dòng)輥輪的轉(zhuǎn)動(dòng)周期;計(jì)算單元，用于獲取主動(dòng)輥輪的轉(zhuǎn)動(dòng)周期，計(jì)算并輸出滿足所需線速度時(shí)，需要的主動(dòng)輥輪的角速度數(shù)值；以及微調(diào)單元，用于獲取并將主動(dòng)輥輪的角速度調(diào)整至所述計(jì)算單元計(jì)算的角速度數(shù)值；
[0007]其中，所述檢測(cè)單元為計(jì)數(shù)器，用于記錄主動(dòng)輥輪的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)，并將所述主動(dòng)輥輪的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)反饋給所述計(jì)算單元；
[0008]其中，所述檢測(cè)單元為傳感器，其中，待處理的柔性基板上設(shè)置有標(biāo)記；
[0009]其中，所述標(biāo)記為等距離間隔設(shè)置的圖案；
[0010]其中，所述傳感器為數(shù)字傳感器，用于監(jiān)測(cè)并記錄卷繞在主動(dòng)輥輪的連續(xù)柔性基板上所經(jīng)過(guò)的標(biāo)記數(shù)目，并將所述標(biāo)記數(shù)目反饋給所述計(jì)算單元；
[0011]其中，所述傳感器為電荷耦合器件傳感器，用于記錄相鄰兩個(gè)標(biāo)記通過(guò)所述主動(dòng)棍輪時(shí)所經(jīng)歷的時(shí)間間隔，并將記錄結(jié)果反饋給所述計(jì)算單元；
[0012]其中，相鄰兩個(gè)標(biāo)記間的距離為所述柔性基板沿移動(dòng)方向的長(zhǎng)度；
[0013]其中，所述計(jì)算單元為計(jì)算機(jī)或者服務(wù)器；
[0014]其中，所述處理液為刻蝕液、清洗液或者剝離液中的一種。
[0015]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的柔性基板處理裝置，通過(guò)檢測(cè)單元和計(jì)算單元檢測(cè)計(jì)算出當(dāng)柔性基板移動(dòng)速度保持恒定時(shí)，主動(dòng)輥輪需要的角速度，然后通過(guò)微調(diào)單元對(duì)主動(dòng)輥輪的轉(zhuǎn)速進(jìn)行微調(diào)，即可保證柔性基板在處理液中的浸泡時(shí)間保持恒定，不需要額外的硬件裝置即可實(shí)現(xiàn)柔性基板上器件尺寸的均勻性，保證了柔性顯示產(chǎn)品品質(zhì)的同時(shí)，簡(jiǎn)化了設(shè)備結(jié)構(gòu)，降低了成本。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的一種柔性基板處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖2所示為本實(shí)用新型另一實(shí)施例提供的一種柔性基板處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0019]如圖1?2所示，本實(shí)用新型提供的柔性基板處理裝置，包括:用于盛放處理液11的處理槽12，位于處理液11液面下方的定位輥輪15，位于處理液11液面上方的主動(dòng)輥輪13和從動(dòng)輥輪14，還包括檢測(cè)單元17，用于采集主動(dòng)輥輪13的轉(zhuǎn)動(dòng)周期，計(jì)算單元，用于獲取主動(dòng)輥輪13的轉(zhuǎn)動(dòng)周期，計(jì)算并輸出滿足所需線速度時(shí)，需要的主動(dòng)輥輪13的角速度數(shù)值，以及主動(dòng)輥輪13，用于獲取計(jì)算單元計(jì)算的角速度數(shù)值，并將主動(dòng)輥輪13的角速度調(diào)整至該數(shù)值。在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，該計(jì)算單元為計(jì)算機(jī)或者服務(wù)器。
[0020]其中，圖1所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的柔性基板處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。在本實(shí)施例中，檢測(cè)單元17為計(jì)數(shù)器，該計(jì)數(shù)器與主動(dòng)輥輪13連接，用來(lái)記錄主動(dòng)輥輪13的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)m并將數(shù)值m反饋給計(jì)算單元，其初始值為零，主動(dòng)輥輪13每旋轉(zhuǎn)一周，計(jì)數(shù)器記錄的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)111就加一。根據(jù)公式￥ = '/￥打='/￥*(1'()+1]1#1())(其中，ro為主動(dòng)棍輪13的自有半徑，ho為單層柔性基板18的厚度)可知，主動(dòng)輥輪13的線速度V是其旋轉(zhuǎn)圈數(shù)m和角速度w的函數(shù)，旋轉(zhuǎn)圈數(shù)m通過(guò)計(jì)數(shù)器已檢測(cè)出，要想獲得所需的線速度V，計(jì)算單元利用上述公式計(jì)算出相應(yīng)的w然后發(fā)送給微調(diào)單元，微調(diào)單元即可對(duì)主動(dòng)輥輪13的角速度進(jìn)行調(diào)整，使其為W。
[0021]圖2所示為本實(shí)用新型另一實(shí)施例提供的柔性基板處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。在本實(shí)用新型一實(shí)施例中，檢測(cè)單元17為傳感器，具體為數(shù)字傳感器，靠近主動(dòng)輥輪13設(shè)置，其中，待處理的柔性基板18上設(shè)置有標(biāo)記19，該標(biāo)記19為等距離間隔設(shè)置的圖案，其圖案可以設(shè)置在基板的邊緣，也可以設(shè)置在其他位置，其間隔距離可以根據(jù)柔性基板18沿移動(dòng)方向的長(zhǎng)度1的倍數(shù)來(lái)設(shè)置，比如在本實(shí)施例中，選擇1的1/2倍作為兩個(gè)標(biāo)記19的間隔距離，當(dāng)然，也可以選擇其他倍數(shù)，本實(shí)用新型對(duì)此不作具體限定。數(shù)字傳感器用于監(jiān)測(cè)并記錄卷繞在主動(dòng)輥輪13的連續(xù)柔性基板18上所經(jīng)過(guò)的標(biāo)記19數(shù)目，并將該數(shù)目反饋給計(jì)算單元，數(shù)字傳感器是通過(guò)檢測(cè)周期對(duì)標(biāo)記19進(jìn)行計(jì)數(shù)的，進(jìn)而獲取主動(dòng)輥輪13的半徑/直徑變化量，具體過(guò)程為，數(shù)字傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)主動(dòng)輥輪13上連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)的柔性基板18，每當(dāng)監(jiān)測(cè)到一個(gè)標(biāo)記19，就累計(jì)數(shù)值加一，再將累計(jì)的數(shù)值η反饋給計(jì)算單元。根據(jù)設(shè)定的相鄰兩個(gè)標(biāo)記19間的距離與1的關(guān)系，即可推斷出主動(dòng)輥輪13上通過(guò)的柔性基板18的層數(shù)kn，其中，k為間隔距離與1的比值。例如，在本實(shí)施例中，由于選擇1的1/2倍作為兩個(gè)標(biāo)記19的間隔距離，那么每經(jīng)過(guò)兩個(gè)標(biāo)記19才可判斷為經(jīng)過(guò)一層柔性基板18，則k = l/2，再根據(jù)如下公式:1ο*h0*kn = 3i(r2-r()2)(其中，ho為單層柔性基板18的厚度，r為kn層柔性基板18卷繞后主動(dòng)輥輪13的半徑，Π)為主動(dòng)輥輪13的自有半徑)，計(jì)算單元即可計(jì)算出kn層柔性基板18卷繞后主動(dòng)棍輪13的半徑r，進(jìn)而根據(jù)v=w*r計(jì)算出滿足所需的線速度V時(shí)，需要的w數(shù)值并將計(jì)算結(jié)果輸出給微調(diào)單元，微調(diào)單元根據(jù)獲取的w數(shù)值即可實(shí)現(xiàn)對(duì)主動(dòng)輥輪13角速度的微調(diào)。
[0022]在本實(shí)用新型另一實(shí)施例中，檢測(cè)單元17為電荷耦合器件傳感器，基板18的邊緣間隔設(shè)置固定間距為1的標(biāo)記19，相鄰兩個(gè)標(biāo)記19構(gòu)成的直線與柔性基板18的移動(dòng)方向平行，電荷耦合器件傳感器靠近主動(dòng)輥輪13設(shè)置，用于記錄相鄰兩個(gè)標(biāo)記19通過(guò)主動(dòng)輥輪13時(shí)所經(jīng)歷的時(shí)間間隔，并將記錄結(jié)果反饋給計(jì)算單元，電荷耦合器件傳感器是通過(guò)檢測(cè)標(biāo)記19帶來(lái)的電荷周期變化進(jìn)行累計(jì)獲取半徑/直徑變化的，具體過(guò)程為，每通過(guò)一個(gè)標(biāo)記19，便通過(guò)電荷變化量記錄下與上一個(gè)標(biāo)記19通過(guò)時(shí)所經(jīng)歷的時(shí)間間隔并反饋給計(jì)算單元，然后將時(shí)間清零，重新開(kāi)始計(jì)時(shí)并監(jiān)測(cè)記錄下一個(gè)標(biāo)記19通過(guò)時(shí)的時(shí)間間隔，計(jì)算單元通過(guò)電荷耦合器件傳感器反饋的柔性基板18上相鄰兩個(gè)標(biāo)記19的時(shí)間，便可計(jì)算出每層柔性基板18的移動(dòng)線速度，再根據(jù)以下兩個(gè)公式:vn=wn*rn，vn’ =wn’*rn+i(其中，vn為第η個(gè)柔性基板18的實(shí)時(shí)線速度，wn為第η個(gè)柔性基板18通過(guò)時(shí)主動(dòng)輥輪13的實(shí)時(shí)角速度，rn為第η個(gè)柔性基板18通過(guò)時(shí)主動(dòng)輥輪13的半徑，νη’為第η+1層柔性基板18需要達(dá)到的移動(dòng)速度，因需要保持柔性基板18的移動(dòng)速度恒定，SPvn’應(yīng)為初始線速度vo，Wn’為滿足線速度^’時(shí)主動(dòng)輥輪13所需的角速度，即第η+1層柔性基板18需要調(diào)整到的角速度，可近似相等)，即可計(jì)算出第Π+1層柔性基板18滿足線速度Vn’(VO)時(shí)所需要的角速度Wn’ ,Wn' =Vn'*wn/Vn，Vn’已知，vn通過(guò)1以及電荷耦合器件傳感器檢測(cè)的時(shí)間數(shù)據(jù)已計(jì)算出，wn即為上次調(diào)整過(guò)的K’，通過(guò)迭代算法即可計(jì)算出所需的wn’并輸出給微調(diào)單元，微調(diào)單元根據(jù)獲取的數(shù)值即可對(duì)主動(dòng)輥輪13的角速度進(jìn)行微調(diào)。
[0023]本實(shí)用新型實(shí)施例提供的柔性基板處理裝置，通過(guò)檢測(cè)單元和計(jì)算單元檢測(cè)計(jì)算出當(dāng)柔性基板移動(dòng)速度保持恒定時(shí)，主動(dòng)輥輪需要的角速度，然后通過(guò)微調(diào)單元對(duì)主動(dòng)輥輪的轉(zhuǎn)速進(jìn)行微調(diào)，即可保證柔性基板在處理液中的浸泡時(shí)間保持恒定，不需要額外的硬件裝置即可實(shí)現(xiàn)柔性基板上器件尺寸的均勻性，保證了柔性顯示產(chǎn)品品質(zhì)的同時(shí)，簡(jiǎn)化了設(shè)備結(jié)構(gòu)，降低了成本。
[0024]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種柔性基板處理裝置，包括: 處理槽，用于盛放處理液； 定位輥輪，位于所述處理液液面的下方； 主動(dòng)輥輪和從動(dòng)輥輪，位于所述處理液液面的上方;其特征在于，還包括: 檢測(cè)單元，用于采集所述主動(dòng)輥輪的轉(zhuǎn)動(dòng)周期； 計(jì)算單元，用于獲取主動(dòng)輥輪的轉(zhuǎn)動(dòng)周期，計(jì)算并輸出滿足所需線速度時(shí)，需要的主動(dòng)輥輪的角速度數(shù)值;以及 微調(diào)單元，用于獲取并將主動(dòng)輥輪的角速度調(diào)整至所述計(jì)算單元計(jì)算的角速度數(shù)值。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述檢測(cè)單元為計(jì)數(shù)器，用于記錄主動(dòng)輥輪的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)，并將所述主動(dòng)輥輪的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)反饋給所述計(jì)算單元。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述檢測(cè)單元為傳感器，其中，待處理的柔性基板上設(shè)置有標(biāo)記。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述標(biāo)記為等距離間隔設(shè)置的圖案。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述傳感器為數(shù)字傳感器，用于監(jiān)測(cè)并記錄卷繞在主動(dòng)輥輪的連續(xù)柔性基板上所經(jīng)過(guò)的標(biāo)記數(shù)目，并將所述標(biāo)記數(shù)目反饋給所述計(jì)算單元。6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述傳感器為電荷耦合器件傳感器，用于記錄相鄰兩個(gè)標(biāo)記通過(guò)所述主動(dòng)輥輪時(shí)所經(jīng)歷的時(shí)間間隔，并將記錄結(jié)果反饋給所述計(jì)算單元。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，相鄰兩個(gè)標(biāo)記間的距離為所述柔性基板沿移動(dòng)方向的長(zhǎng)度。8.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述計(jì)算單元為計(jì)算機(jī)或者服務(wù)器。9.根據(jù)權(quán)利要求1至7任一所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述處理液為刻蝕液、清洗液或者剝離液中的一種。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK205692808SQ201620669112
【公開(kāi)日】2016年11月16日
【申請(qǐng)日】2016年6月29日 公開(kāi)號(hào)201620669112.0, CN 201620669112, CN 205692808 U, CN 205692808U, CN-U-205692808, CN201620669112, CN201620669112.0, CN205692808 U, CN205692808U
【發(fā)明人】周俊, 朱剛
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