1.一種碲鎘汞薄膜材料的化學(xué)拋光方法,其特征在于,包括以下步驟:
利用化學(xué)拋光液對(duì)所述碲鎘汞薄膜材料進(jìn)行N次化學(xué)拋光,其中,第i+1次化學(xué)拋光的去除厚度小于第i次化學(xué)拋光的去除厚度,其中,N≥3,1≤i≤N;
將經(jīng)過N次化學(xué)拋光后的碲鎘汞薄膜材料在表面處理液中進(jìn)行表面處理。
2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)拋光方法,其特征在于,第i+1次化學(xué)拋光的去除厚度小于第i次化學(xué)拋光的去除厚度包括:
第1次化學(xué)拋光的去除厚度不超過去除總厚度的50%;
第i+1次化學(xué)拋光的去除厚度不超過第i次化學(xué)拋光去除厚度的60%。
3.如權(quán)利要求3所述的化學(xué)拋光方法,其特征在于,所述N為3~6;
第1次化學(xué)拋光的去除厚度為去除總厚度的45~50%;
第i+1次化學(xué)拋光的去除厚度為第i次化學(xué)拋光去除厚度的55~60%。
4.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)拋光方法,其特征在于,所述第i次化學(xué)拋光利用的化學(xué)拋光液為第一化學(xué)拋光液或第二化學(xué)拋光液;
其中,所述第一化學(xué)拋光液為溴與甲醇和乙二醇組成的混合物,所述第二化學(xué)拋光液為氨水與雙氧水組成的混合物。
5.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)拋光方法,其特征在于,所述第一化學(xué)拋光液中甲醇與乙二醇的體積比為1:1~1:5,甲醇和乙二醇組成第一混合物,溴在第一混合物中的體積濃度為0.05%~0.5%。
6.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)拋光方法,其特征在于,所述第二化學(xué)拋光液中氨水與雙氧水的體積比為1:5~1:100。
7.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)拋光方法,其特征在于,所述表面處理液為乳酸與乙二醇按照體積比1:10~1:80組成的混合物。
8.如權(quán)利要求1或7所述的化學(xué)拋光方法,其特征在于,所述將經(jīng)過N次化學(xué)拋光后的碲鎘汞薄膜材料在表面處理液中進(jìn)行表面處理具體包括以下步驟:
將經(jīng)過N次化學(xué)拋光后的碲鎘汞薄膜材料在表面處理液中進(jìn)行表面處理,處理時(shí)間為5~20s。
9.如權(quán)利要求1至8任意一項(xiàng)所述的化學(xué)拋光方法,其特征在于,所述碲鎘汞薄膜材料通過外延法制備得到,所述外延法包括但不限于液相外延法、分子束外延法、金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積。