晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置，至少包括伺服電機、設(shè)于底座上的主動輪、從動輪和設(shè)于所述從動輪內(nèi)用以與所述從動輪同步旋轉(zhuǎn)的導(dǎo)螺桿，所述伺服電機與主動輪連接，所述主、從動輪間通過傳動帶傳動，所述導(dǎo)螺桿通過旋轉(zhuǎn)運動驅(qū)動晶圓盒移動，該晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置還包括千分尺裝置，所述千分尺裝置的測距螺桿與所述導(dǎo)螺桿固定連接，且所述測距螺桿與所述導(dǎo)螺桿同軸設(shè)置。本實用新型通過千分尺裝置的增加，可將導(dǎo)螺桿向上的位移直觀地表現(xiàn)出來，可供相關(guān)人員查看，以便于及時做出處理，從而避免了由于導(dǎo)螺桿的機械問題所帶來的弊端，提供了一種能減少甚至消除伺服電機傳遞而來的位移量的偏差，進而準確移動晶圓盒的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置。
【專利說明】晶圓盒傳輸驅(qū)動裝直
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其是濕刻的設(shè)備中，可以通過一種晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置來驅(qū)動晶圓盒的移動。
[0003]然而，在現(xiàn)有的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置中，至少包括伺服電機、設(shè)于底座上的主動輪、從動輪和設(shè)于所述從動輪內(nèi)用以與所述從動輪同步旋轉(zhuǎn)的導(dǎo)螺桿，所述伺服電機與主動輪連接，所述主、從動輪間通過傳動帶傳動，所述導(dǎo)螺桿通過旋轉(zhuǎn)運動驅(qū)動晶圓盒移動。具體來說，總控系統(tǒng)將命令傳輸至所述伺服電機，總控系統(tǒng)根據(jù)該伺服電機反饋的數(shù)據(jù)判斷命令的執(zhí)行情況，電機旋轉(zhuǎn)后帶動主動輪和從動輪旋轉(zhuǎn)，進而帶動所述導(dǎo)螺桿旋轉(zhuǎn)，最終實現(xiàn)晶圓盒移動的驅(qū)動。
[0004]在該設(shè)備中，無論伺服馬達驅(qū)動與否，導(dǎo)螺桿在垂直方向是不應(yīng)該發(fā)生任何位移的，該螺桿是通過螺絲以及雙向軸承固定在整個機器人架子的底部，不拆卸的話也是無法觀察到的，一旦導(dǎo)螺桿發(fā)生任何問題，例如螺紋發(fā)生老化磨平等情況，或者傳動帶積灰太多，又或者傳動帶的松緊裝置積灰太多，都可能導(dǎo)致發(fā)生往上的位移，伺服電機傳過來的位移量就會發(fā)生偏差從而導(dǎo)致機器人在垂直位置上的移動量不夠精準而發(fā)生不必要的碰撞危險，具體來說，總控系統(tǒng)計算X距離需要電機和導(dǎo)螺桿均旋轉(zhuǎn)80圈，然而由于以上諸多情況的發(fā)生，伺服電機的80圈旋轉(zhuǎn)，卻只能使得導(dǎo)螺桿旋轉(zhuǎn)75圈，然而，總控系統(tǒng)根據(jù)伺服電機的反饋所測得的執(zhí)行情況卻依舊是80圈，于是總控系統(tǒng)就繼續(xù)進行后續(xù)工藝了，這就使得晶圓盒在沒有移動足夠距離的情況下進行后續(xù)流程，會對后續(xù)工藝以及硅片帶來嚴重的損害。
實用新型內(nèi)容
[0005]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能減少甚至消除伺服電機傳遞而來的位移量的偏差，進而準確移動晶圓盒的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置。
[0006]為了解決這一技術(shù)問題，一種晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置，至少包括伺服電機、設(shè)于底座上的主動輪、從動輪和設(shè)于所述從動輪內(nèi)用以與所述從動輪同步旋轉(zhuǎn)的導(dǎo)螺桿，所述伺服電機與主動輪連接，所述主、從動輪間通過傳動帶傳動，所述導(dǎo)螺桿通過旋轉(zhuǎn)運動驅(qū)動晶圓盒移動，所述晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置還包括千分尺裝置，所述千分尺裝置的測距螺桿與所述導(dǎo)螺桿固定連接，且所述測距螺桿與所述導(dǎo)螺桿同軸設(shè)置。
[0007]優(yōu)選的，所述伺服電機和千分尺裝置均與總控系統(tǒng)連接。
[0008]優(yōu)選的，所述千分尺裝置通過一個固定結(jié)構(gòu)與所述底座連接。
[0009]優(yōu)選的，所述晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置還包括透明罩，所述透明罩蓋于所述底座上，所述主動輪、從動輪和導(dǎo)螺桿均位于所述透明罩內(nèi)。
[0010]優(yōu)選的，所述透明罩的材質(zhì)為聚甲基丙烯酸甲脂。[0011]優(yōu)選的，所述晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置還包括激光傳感器，所述激光傳感器設(shè)在所述透明罩上。
[0012]優(yōu)選的，所述激光傳感器位于所述透明罩頂部的中間位置。
[0013]本實用新型通過千分尺裝置的增加，可將導(dǎo)螺桿向上的位移直觀地表現(xiàn)出來，可供相關(guān)人員查看，以便于及時做出處理，從而避免了由于導(dǎo)螺桿的機械問題所帶來的弊端，提供了一種能減少甚至消除伺服電機傳遞而來的位移量的偏差，進而準確移動晶圓盒的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型一實施例提供的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖中，1-主動輪；2_從動輪；3_導(dǎo)螺桿；4_傳動帶；5-底座；6_千分尺裝置；61_儀表盤；62_測距螺桿；7_透明罩；8-固定結(jié)構(gòu)；9_激光傳感器。
【具體實施方式】
[0016]以下將結(jié)合圖1對本實用新型提供的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置進行詳細的描述，其為本實用新型一可選的實施例，可以認為本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不改變本實用新型精神和內(nèi)容的范圍內(nèi)，能夠?qū)ζ溥M行修改和潤色。
[0017]請參考圖1，本實施例提供了一種晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置，主要用于濕法刻蝕(WET)中，至少包括伺服電機(圖未示)、設(shè)于底座5上的主動輪1、從動輪2和設(shè)于所述從動輪2內(nèi)用以與所述從動輪2同步旋轉(zhuǎn)的導(dǎo)螺桿3，所述伺服電機與主動輪I連接，即所述伺服電機驅(qū)動所述主動輪I旋轉(zhuǎn)，所述主、從動輪I與2間通過傳動帶4傳動,所述導(dǎo)螺桿3通過旋轉(zhuǎn)運動驅(qū)動晶圓盒移動，其具體如何實現(xiàn)驅(qū)動在公知的常識中有若干方案，本實施例不再例舉描述，而僅對改進部分進行詳細描述。
[0018]在本實施例中，所述晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置還包括千分尺裝置6，千分尺裝置6亦為常用的千分尺，至少包括了測距螺桿62和儀表盤61，所述儀表盤61將所述測距螺桿62測得的數(shù)據(jù)表現(xiàn)出來，所述千分尺裝置6的測距螺桿62與所述導(dǎo)螺桿3固定連接，且所述測距螺桿62與所述導(dǎo)螺桿3同軸設(shè)置。從而使得導(dǎo)螺桿3的旋轉(zhuǎn)能夠帶動測距螺桿62的旋轉(zhuǎn)，進而在儀表盤61上顯示出移動的距離。
[0019]具體來說，所述千分尺裝置6用來偵測導(dǎo)螺桿3是否有位移，因為無論伺服電機驅(qū)動與否，導(dǎo)螺桿3在豎直方向是不應(yīng)該發(fā)生任何位移的，該導(dǎo)螺桿3是通過螺絲以及雙向軸承固定在整個機器人架子的底部，不拆卸的話是無法觀察到的，所以在頂端增加千分計就是用來偵測該導(dǎo)螺桿有沒有發(fā)生往上的位移，當然，其不可能發(fā)生往下的位移，因為機器人底部是鋼結(jié)構(gòu)做死的。一旦發(fā)生往上的位移，伺服電機傳過來的位移量就會發(fā)生偏差從而導(dǎo)致機器人在垂直位置上的移動量不夠精準而發(fā)生不必要的碰撞危險。
[0020]所述伺服電機和千分尺裝置6可均與總控系統(tǒng)(圖未示)連接。從而實現(xiàn)千分尺裝置6直接將數(shù)據(jù)反饋給總控系統(tǒng)，總控系統(tǒng)根據(jù)該反饋數(shù)據(jù)直接進行反應(yīng)，當然，在實際工藝中，依舊可通過人工的查看與操作來干預(yù)。
[0021]所述千分尺裝置6通過一個固定結(jié)構(gòu)8與所述底座5連接。具體來說，固定結(jié)構(gòu)8固定設(shè)在所述透明罩7，由于透明罩7與底座5的位置相對固定，從而使得所述固定結(jié)構(gòu)8與所述透明罩7的位置固定，千分尺6固定安裝在所述固定結(jié)構(gòu)8上，進一步的，儀表盤61位于所述固定結(jié)構(gòu)8上，所述測距螺桿62穿過所述固定結(jié)構(gòu)8連接所述導(dǎo)螺桿3，在本實施例中，所述固定結(jié)構(gòu)8的下表面與所述從動輪2的上表面間的距離不小于0.5毫米，在其他不設(shè)有固定結(jié)構(gòu)8的實施例中，儀表盤61的底部與所述從動輪2的上表面間的距離不小于0.5毫米，在通常狀態(tài)下，所述導(dǎo)螺桿3的上端高度不超出所述從動輪2的范圍，一旦導(dǎo)螺桿3發(fā)生問題，尤其是螺紋老化等問題，會導(dǎo)致其沿其軸向向上移動，即其上端高度會超出從動輪2的上表面，所述千分尺裝置6則可進行檢測反饋。
[0022]所述晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置還包括透明罩7，所述透明罩7蓋于所述底座5上，所述主動輪1、從動輪2和導(dǎo)螺桿3均位于所述透明罩內(nèi)。所述透明罩7的材質(zhì)為聚甲基丙烯酸甲脂(PMMA)。相較于現(xiàn)有技術(shù)中不透光的不銹鋼外罩，使用該透明罩有利于觀測傳動帶4、主動輪1、從動輪2等的運作，且能夠同時觀察其中各處的磨損情況。
[0023]在本實施例中，所述晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置還包括激光傳感器9，所述激光傳感器9設(shè)在所述透明罩7上，且所述激光傳感器9正對所述傳動帶4和與所述傳動帶4連接的松緊裝置(圖未示)設(shè)置，所述激光傳感器9位于所述透明罩7頂部的中間位置。本實用新型增加了激光傳感器，無論是正常的使用還是導(dǎo)螺桿3移位發(fā)生變化以后導(dǎo)致的異常情況，磨損情況是不可避免的，該磨損情況主要集中在傳動帶與傳動輪，以及傳動輪與導(dǎo)螺桿中的軸承，本實用新型發(fā)現(xiàn)，由于不同的高低上腔體結(jié)構(gòu)以及傳動帶作用時的風力影響，磨損造成的粉塵會主要集中在低洼的中間區(qū)域。當該區(qū)域沒有任何粉塵時，激光傳感器9能夠接受到返回的光線從而感應(yīng)到，而當該區(qū)域被覆蓋粉塵后，導(dǎo)致光線的反射率降低從來無法感應(yīng)到而向所述總控系統(tǒng)9報警，提示透明罩7內(nèi)的異常情況發(fā)生。該激光傳感器9可以與總控系統(tǒng)連接，也可與顯示設(shè)備或警報設(shè)備連接，將檢測結(jié)果反饋出來。
[0024]本實用新型通過千分尺裝置的增加，可將導(dǎo)螺桿向上的位移直觀地表現(xiàn)出來，可供相關(guān)人員查看，以便于及時做出處理，從而避免了由于導(dǎo)螺桿的機械問題所帶來的弊端，提供了一種能減少甚至消除伺服電機傳遞而來的位移量的偏差，進而準確移動晶圓盒的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置。
【權(quán)利要求】
1.一種晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置，至少包括伺服電機、設(shè)于底座上的主動輪、從動輪和設(shè)于所述從動輪內(nèi)用以與所述從動輪同步旋轉(zhuǎn)的導(dǎo)螺桿，所述伺服電機與主動輪連接，所述主、從動輪間通過傳動帶傳動，所述導(dǎo)螺桿通過旋轉(zhuǎn)運動驅(qū)動晶圓盒移動，其特征在于:還包括千分尺裝置，所述千分尺裝置的測距螺桿與所述導(dǎo)螺桿固定連接，且所述測距螺桿與所述導(dǎo)螺桿同軸設(shè)置。
2.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置，其特征在于:所述伺服電機和千分尺裝置均與總控系統(tǒng)連接。
3.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置，其特征在于:所述千分尺裝置通過一個固定結(jié)構(gòu)與所述底座連接。
4.如權(quán)利要求1所述的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置，其特征在于:還包括透明罩，所述透明罩蓋于所述底座上，所述主動輪、從動輪和導(dǎo)螺桿均位于所述透明罩內(nèi)。
5.如權(quán)利要求4所述的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置，其特征在于:所述透明罩的材質(zhì)為聚甲基丙烯酸甲脂。
6.如權(quán)利要求4所述的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置，其特征在于:還包括激光傳感器，所述激光傳感器設(shè)在所述透明罩上。
7.如權(quán)利要求6所述的晶圓盒傳輸驅(qū)動裝置，其特征在于:所述激光傳感器位于所述透明罩頂部的中間位置。
【文檔編號】H01L21/677GK203631521SQ201320804569
【公開日】2014年6月4日 申請日期:2013年12月9日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月9日
【發(fā)明者】倪堯, 肖方, 張偉, 衛(wèi)金榮, 潘建偉 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司