專利名稱：一種基板支撐梢的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及基板制造領(lǐng)域，尤其是一種基板支撐梢。
背景技術(shù)：
在液晶顯示器的生產(chǎn)線中，通常采用對(duì)基板加熱的方法成膜。需要將基板放置在·基板支撐件上，通過(guò)基板支撐件內(nèi)部的加熱元件對(duì)其進(jìn)行加熱。而加熱前的基板需要先放置在基板支撐梢(Pin)上，通過(guò)基板支撐梢的升降將玻璃基板緩降到基板支撐件的上表面，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)加熱過(guò)程。目前生產(chǎn)線上所用的基板支撐梢是溫度不可控的實(shí)心材料制成，在基板實(shí)際加熱的過(guò)程中，會(huì)有兩種情況第一種是基板支撐梢在基板被加熱時(shí)與基板接觸，此種情況下，基板支撐梢的溫度低于周圍基板的溫度，會(huì)通過(guò)熱傳遞吸收被加熱的基板上的熱量，從而導(dǎo)致基板此處的膜質(zhì)較差、薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管的電學(xué)性質(zhì)降低；第二種是基板支撐梢與被加熱的基板有一段的間隔距離，此種情況下，容納基板支撐梢的孔洞處與周圍溫度不一致，同樣會(huì)導(dǎo)致孔洞處的基板形成的膜質(zhì)較差、薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管的電學(xué)性質(zhì)降低。以上兩種情況都會(huì)導(dǎo)致成品后的液晶顯示器視覺(jué)不均勻的現(xiàn)象，使產(chǎn)線的良率降低，因此生產(chǎn)線需要一種能減少此類現(xiàn)象發(fā)生的新設(shè)計(jì)。
實(shí)用新型內(nèi)容為改進(jìn)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提出一種基板支撐梢，用以改善基板在被加熱時(shí)表面溫度存在差異的問(wèn)題。本實(shí)用新型提出的基板支撐梢，包括基板支撐梢本體，還包括內(nèi)置在所述基板支撐梢本體中的加熱裝置，以及電連接所述加熱裝置并控制加熱裝置工作狀態(tài)的第一控制設(shè)備。所述基板支撐梢，還包括溫度感測(cè)裝置，位于所述基板支撐梢本體的內(nèi)部，用于感應(yīng)基板支撐梢周圍區(qū)域的溫度，并將溫度信號(hào)發(fā)送至第二控制設(shè)備；第二控制設(shè)備，與第一控制設(shè)備和溫度感測(cè)裝置分別信號(hào)連接，用于根據(jù)收到的溫度信號(hào)向第一控制設(shè)備發(fā)送控制信號(hào)，則所述第一控制設(shè)備根據(jù)收到的控制信號(hào)控制加熱裝置的工作狀態(tài)。優(yōu)選的，所述基板支撐梢還包括位于所述基板支撐梢本體中的冷卻裝置，以及與所述冷卻裝置連接、用于控制冷卻裝置對(duì)基板支撐梢本體進(jìn)行冷卻的第三控制設(shè)備，所述第三控制設(shè)備與第二控制設(shè)備信號(hào)連接，通過(guò)第二控制設(shè)備控制。所述冷卻裝置可以為為冷卻液體管。所述冷卻裝置可以為冷卻氣體進(jìn)氣管和冷卻氣體排氣管，所述冷卻氣體進(jìn)氣管的末端設(shè)有可使基板支撐梢頂端均勻降溫的多孔噴氣裝置。所述多孔噴氣裝置為帶有多個(gè)氣孔的管狀結(jié)構(gòu)或帶有多個(gè)氣孔的噴頭裝置。所述基板支撐梢為中空結(jié)構(gòu)，所述加熱裝置和所述溫度感測(cè)裝置，位于中空結(jié)構(gòu)內(nèi)靠近基板支撐梢的頂端處?？蛇x地，所述第三控制設(shè)備為電磁閥。可選的，所述溫度感測(cè)裝置為熱電偶或測(cè)溫探頭。 可選的，所述加熱裝置為電熱絲或電磁加熱裝置。本實(shí)用新型提出的基板支撐梢，通過(guò)在基板支撐梢內(nèi)部設(shè)置加熱裝置，測(cè)量周圍溫度的溫度感測(cè)裝置以及降溫裝置，使基板支撐梢能夠很好的實(shí)現(xiàn)溫度調(diào)節(jié)，從而使基板在被加熱的過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)局部溫度過(guò)低而導(dǎo)致膜質(zhì)較差、薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管的電學(xué)性質(zhì)降低的情況，從而減少了成品后的液晶顯示器視覺(jué)不均勻的現(xiàn)象，提高了成品率，減少了生成殘品的可能性，節(jié)約了成本。
為清楚描述本實(shí)用新型及其有益效果，結(jié)合以下附圖對(duì)實(shí)施例的進(jìn)行詳細(xì)描述，其中圖I是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的基板、基板支撐件、基板支撐梢、以及與第一控制設(shè)備和第二控制設(shè)備連接的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的第一種基板支撐梢的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的第二種基板支撐梢的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例提供的第三種基板支撐梢的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記2-加熱裝置 3-第一控制設(shè)備 12-基板支撐件11-基板4-溫度感測(cè)裝置 8-第二控制設(shè)備7-冷卻液體管 511-管狀結(jié)構(gòu)512-噴頭裝置6-第三控制設(shè)備51-冷卻氣體進(jìn)氣管52-冷卻氣體排氣管10-基板支撐銷本體
具體實(shí)施方式
在液晶顯示器的生產(chǎn)線中，通常采用對(duì)基板加熱的方法成膜。需要將基板放置在基板支撐件上，通過(guò)基板支撐件內(nèi)部的加熱元件對(duì)其進(jìn)行加熱。而加熱前的基板需要先放置在基板支撐梢(Pin)上，通過(guò)基板支撐梢的升降將玻璃基板緩降到基板支撐件的上表面，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)加熱過(guò)程。目前生產(chǎn)線上所用的基板支撐梢是溫度不可控的實(shí)心材料制成，在基板實(shí)際加熱的過(guò)程中，基板支撐梢所在位置的溫度會(huì)低于周圍其它部分的溫度，從而導(dǎo)致被加熱的基板受熱不均，成膜質(zhì)量較差。本實(shí)用新型提出的基板支撐梢，通過(guò)在基板支撐梢內(nèi)部設(shè)置加熱裝置，測(cè)量周圍溫度的感應(yīng)裝置以及降溫裝置，使基板支撐梢能夠很好的實(shí)現(xiàn)溫度調(diào)節(jié)，從而與周圍溫度相匹配，提高了成品率。下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本實(shí)用新型，而不能解釋為對(duì)本實(shí)用新型的限制。在本實(shí)用新型的描述中，術(shù)語(yǔ)“上部”、“下部” “上方”、“下方”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型而不是要求本實(shí)用新型必須以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。如圖I所示，本實(shí)用新型提出的基板支撐梢，包括基板支撐梢本體10，還包括內(nèi)置在基板支撐梢本體10中的加熱裝置2，以及電連接加熱裝置2并控制加熱裝置2工作狀態(tài)的第一控制設(shè)備3。基板支撐梢可以實(shí)現(xiàn)升溫，在基板被加熱的過(guò)程中，通過(guò)第一控制設(shè)備3調(diào)節(jié)電流，使基板支撐梢內(nèi)部的加熱裝置2升溫到指定溫度，與周圍的基板支撐件12的加熱溫度相匹配，因此在對(duì)整體基板Ii加熱時(shí)，可以提聞I旲質(zhì)的均一性，從而提聞基板支撐梢區(qū)域的薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管的電學(xué)性質(zhì)，減少視覺(jué)不均的現(xiàn)象，提高產(chǎn)品的成品率。在現(xiàn)有技術(shù)中，基板支撐梢是溫度不可控的實(shí)心陶瓷材料，在本實(shí)用新型中，基板支撐梢本體10也可以是陶瓷材料，將加熱裝置2嵌設(shè)于基板支撐梢本體10內(nèi)。在加熱裝置2的選用方面，可以選擇電熱絲或電磁加熱裝置，或者其它可以加熱的設(shè)備皆可。當(dāng)?shù)谝豢刂圃O(shè)備3對(duì)加熱裝置2進(jìn)行升溫控制時(shí)，加熱裝置2首先將基板支撐梢本體10加熱，通過(guò)熱傳遞的方式實(shí)現(xiàn)。而升溫后的基板支撐梢本體10就可以對(duì)基板(例如玻璃基板)11進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)加熱。第一控制設(shè)備3可以根據(jù)周圍基板支撐件12的實(shí)際溫度對(duì)加熱裝置2進(jìn)行控制，使基板支撐梢本體10的溫度與周圍溫度相匹配。 為了使上述實(shí)施例中的第一控制設(shè)備3能夠更準(zhǔn)確地控制溫度，如圖I所示，本實(shí)用新型提出的基板支撐梢，還可進(jìn)一步包括溫度感測(cè)裝置4，位于所述基板支撐梢本體10的內(nèi)部，用于感應(yīng)基板支撐梢周圍區(qū)域的溫度，并將溫度信號(hào)發(fā)送至第二控制設(shè)備8 ；第二控制設(shè)備8，與第一控制設(shè)備3和溫度感測(cè)裝置4分別信號(hào)連接，用于根據(jù)收到的溫度信號(hào)向第一控制設(shè)備3發(fā)送控制信號(hào)，則所述第一控制設(shè)備3根據(jù)收到的控制信號(hào)控制加熱裝置2的工作狀態(tài)，例如進(jìn)行升溫控制。所述溫度感測(cè)裝置4可以為各種類型，例如熱電偶或測(cè)溫探頭。第二控制設(shè)備8可以是一信息接收和處理中心，如機(jī)臺(tái)設(shè)備控制中心，能夠接收溫度感應(yīng)裝置的信息并進(jìn)行處理，然后對(duì)第一控制設(shè)備3下達(dá)指令，使第一控制設(shè)備3對(duì)加熱裝置2實(shí)現(xiàn)升溫控制。溫度感測(cè)裝置4是單獨(dú)工作的設(shè)備，可以直接連接到第二控制設(shè)備8，如圖I所示，溫度感測(cè)裝置4在工作時(shí)感應(yīng)基板支撐梢所對(duì)應(yīng)的基板11區(qū)域的溫度，并將數(shù)據(jù)傳到第二控制設(shè)備8，其它感應(yīng)設(shè)備可以對(duì)基板11其它加熱區(qū)域的溫度進(jìn)行測(cè)量，并將測(cè)量數(shù)據(jù)也發(fā)送到第二控制設(shè)備8，通過(guò)第二控制設(shè)備8的軟件對(duì)以上兩種數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，然后將指令反饋給控制基板支撐梢內(nèi)部加熱裝置2的第一控制設(shè)備3，通過(guò)第一控制設(shè)備3調(diào)節(jié)基板支撐梢的溫度，從而實(shí)現(xiàn)基板支撐梢對(duì)應(yīng)的基板11區(qū)域與基板11其它加熱區(qū)域溫度保持一致的調(diào)節(jié)。加熱裝置2可以使基板支撐梢本體10實(shí)現(xiàn)升溫，如圖4所示，當(dāng)基板支撐件12降溫時(shí)，基板支撐梢本體10也需要與其一同降溫，因此本實(shí)用新型基板支撐梢還可包括位于所述基板支撐梢本體10中的冷卻裝置，以及與所述冷卻裝置連接、用于控制冷卻裝置對(duì)基板支撐梢本體進(jìn)行冷卻的第三控制設(shè)備6，所述第三控制設(shè)備與第二控制設(shè)備8信號(hào)連接，通過(guò)第二控制設(shè)備8控制。所述冷卻裝置可以為冷卻液體管7。冷卻液體管7可以均勻內(nèi)嵌在基板支撐梢本體10中，作為單獨(dú)的管路，通過(guò)管路內(nèi)部流動(dòng)的低溫液體，可以使基板支撐梢本體10迅速實(shí)現(xiàn)降溫。當(dāng)然，也可以是，在基板支撐梢本體10內(nèi)部直接開(kāi)通形成通道結(jié)構(gòu)的冷卻液體管，使冷卻液體流入冷卻液體管內(nèi)，同樣可以實(shí)現(xiàn)降溫效果。冷卻液體流入和流出基板支撐梢本體10是通過(guò)第三控制設(shè)備6實(shí)現(xiàn)的，第三控制設(shè)備6是一冷卻調(diào)節(jié)裝置，例如可以為電磁閥，與第二控制設(shè)備8信號(hào)連接，通過(guò)第二控制設(shè)備8反饋的信息，可進(jìn)行冷卻介質(zhì)的流量調(diào)節(jié)。從而達(dá)到降溫的目的，實(shí)現(xiàn)溫度控制。具體通入冷卻液體管7的介質(zhì)可以是水或油等能夠?qū)崿F(xiàn)降溫的液體介質(zhì)。由于加熱裝置2位于靠近基板支撐梢的頂端處，冷卻液體管7不能夾在基板支撐梢頂端與加熱裝置2之間，會(huì)影響熱輻射，也可能會(huì)造成冷卻液體 管7內(nèi)部的液體受熱膨脹而使管路破裂，因此，如圖4所示，冷卻液體管7貼在基板支撐梢中空結(jié)構(gòu)的側(cè)壁上，并且環(huán)繞排布。冷卻液體管7從基板支撐梢的底部穿出，并且設(shè)置有可通過(guò)第二控制設(shè)備8控制的電磁閥，通過(guò)與溫度感測(cè)裝置以及加熱裝置2的配合實(shí)現(xiàn)基板支撐梢的升溫或降溫控制。在本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例中，如圖I所示，基板支撐梢可以設(shè)計(jì)成中空結(jié)構(gòu)，力口熱裝置2和溫度感測(cè)裝置4設(shè)置在中空結(jié)構(gòu)內(nèi)靠近基板支撐梢的頂端處。加熱裝置2電連接第一控制設(shè)備3，通過(guò)第一控制設(shè)備3控制加熱裝置2升溫或者降溫。加熱裝置2在安裝時(shí)需要與基板支撐梢的頂端保持一定距離，不能直接接觸。加熱過(guò)程中，基板支撐梢的頂端被輻射變熱，從而對(duì)接觸的基板11進(jìn)行熱傳遞，使基板11升溫。另一種情況是基板支撐梢收入基板支撐件12后，頂端不與基板11接觸，之間相隔一段距離，此種情況下，在基板支撐梢的頂端升溫后，會(huì)對(duì)基板11進(jìn)行熱輻射，通過(guò)此種方式使基板升溫，也可以達(dá)到加熱基板11的目的。以上實(shí)施例中列舉了基板支撐梢的加熱裝置2以及溫度感測(cè)裝置4的工作原理，為了使基板支撐梢的溫度調(diào)節(jié)與基板11其它區(qū)域的溫度更好的匹配，在基板支撐梢的中空結(jié)構(gòu)內(nèi)可以設(shè)置另外一種冷卻裝置，例如可以通入冷卻氣體的冷卻氣體進(jìn)氣管51，以及排出冷卻氣體的冷卻氣體排氣管52。如圖I所示，在基板支撐梢中通入冷卻氣體，可以使基板支撐梢的溫度迅速降低，在基板11其它區(qū)域溫度較低時(shí)，單靠加熱裝置2常溫冷卻不一定可以滿足匹配需求，因此加裝可通入冷卻氣體的裝置，使冷卻氣體可以輔助加熱裝置2快速降溫。冷卻氣體進(jìn)氣管51與冷卻氣體排氣管52在基板支撐梢的外部分別設(shè)有可通過(guò)第二控制設(shè)備8控制的第三控制設(shè)備6 (例如電磁閥)，通過(guò)與溫度感測(cè)裝置4以及加熱裝置2的配合實(shí)現(xiàn)對(duì)基板支撐梢的升溫或降溫控制。在冷卻氣體進(jìn)氣管51的末端可以設(shè)置使基板支撐梢頂端均勻降溫的多孔噴氣裝置，其具體結(jié)構(gòu)可以是多種，例如可以是帶有多個(gè)氣孔的管狀結(jié)構(gòu)511，如圖2所示，相當(dāng)于在一條管路的管壁上同時(shí)開(kāi)有一排幾排通孔，每個(gè)通孔都可以向外輸送冷卻氣體，增大了出氣的面積，使基板支撐梢可以更快的冷卻；另外還可以是帶有多個(gè)氣孔的噴頭裝置512，如圖3所示，具體結(jié)構(gòu)類似于淋浴噴頭，其上的通孔直接朝向基板支撐梢的頂端，降溫效果更明顯。本實(shí)用新型提出的基板支撐梢，通過(guò)在基板支撐梢內(nèi)部設(shè)置加熱裝置，測(cè)量周圍溫度的溫度感測(cè)裝置以及降溫裝置，使基板支撐梢能夠很好的實(shí)現(xiàn)溫度調(diào)節(jié)，從而使基板在被加熱的過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)局部溫度過(guò)低而導(dǎo)致膜質(zhì)較差、薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管的電學(xué)性質(zhì)降低的情況，從而減少了成品后的液晶顯示器視覺(jué)不均勻的現(xiàn)象，提高了成品率，減少了生成殘品的可能性，節(jié)約了成本。 盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解 在不脫離本實(shí)用新型的原理和宗旨的情況下，可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求1.一種基板支撐梢，包括基板支撐梢本體，其特征在于，還包括 內(nèi)置在所述基板支撐梢本體中的加熱裝置，以及 電連接所述加熱裝置并控制加熱裝置工作狀態(tài)的第一控制設(shè)備。
2.如權(quán)利要求I所述的基板支撐梢，其特征在于，還包括 溫度感測(cè)裝置，位于所述基板支撐梢本體的內(nèi)部，用于感應(yīng)基板支撐梢周圍區(qū)域的溫度，并將溫度信號(hào)發(fā)送至第二控制設(shè)備； 第二控制設(shè)備，與第一控制設(shè)備和溫度感測(cè)裝置分別信號(hào)連接，用于根據(jù)收到的溫度信號(hào)向第一控制設(shè)備發(fā)送控制信號(hào)以控制加熱裝置的工作狀態(tài)。
3.如權(quán)利要求2所述的基板支撐梢，其特征在于，還包括位于所述基板支撐梢本體中的冷卻裝置，以及與所述冷卻裝置連接、用于控制冷卻裝置對(duì)基板支撐梢本體進(jìn)行冷卻的第三控制設(shè)備，所述第三控制設(shè)備與第二控制設(shè)備信號(hào)連接，通過(guò)第二控制設(shè)備控制。
4.如權(quán)利要求3所述的基板支撐梢，其特征在于，所述冷卻裝置為冷卻液體管。
5.如權(quán)利要求3所述的基板支撐梢，其特征在于，所述冷卻裝置為冷卻氣體進(jìn)氣管和冷卻氣體排氣管，所述冷卻氣體進(jìn)氣管的末端設(shè)有可使基板支撐梢頂端均勻降溫的多孔噴氣裝置。
6.如權(quán)利要求5所述的基板支撐梢，其特征在于，所述多孔噴氣裝置為帶有多個(gè)氣孔的管狀結(jié)構(gòu)或帶有多個(gè)氣孔的噴頭裝置。
7.如權(quán)利要求2所述的基板支撐梢，其特征在于，所述基板支撐梢為中空結(jié)構(gòu)，所述加熱裝置和所述溫度感測(cè)裝置，位于中空結(jié)構(gòu)內(nèi)靠近基板支撐梢的頂端處。
8.如權(quán)利要求4 6中任一項(xiàng)所述的基板支撐梢，其特征在于，所述第三控制設(shè)備為電磁閥。
9.如權(quán)利要求I 7中任一項(xiàng)所述的基板支撐梢，其特征在于，所述溫度感測(cè)裝置為熱電偶或測(cè)溫探頭。
10.如權(quán)利要求I 7中任一項(xiàng)所述的基板支撐梢，其特征在于，所述加熱裝置為電熱絲或電磁加熱裝置。
專利摘要本實(shí)用新型涉及基板制造領(lǐng)域，尤其是一種基板支撐梢。其中，基板支撐梢包括基板支撐梢本體，還包括內(nèi)置在基板支撐梢本體中的加熱裝置，以及電連接加熱裝置并控制加熱裝置工作狀態(tài)的第一控制設(shè)備。本實(shí)用新型提出的基板支撐梢以及基板支撐件，通過(guò)在基板支撐梢內(nèi)部設(shè)置加熱裝置，測(cè)量周圍溫度的溫度感測(cè)裝置以及降溫裝置，使基板支撐梢能夠很好的實(shí)現(xiàn)溫度調(diào)節(jié)，從而使基板在被加熱的過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)局部溫度過(guò)低而導(dǎo)致膜質(zhì)較差、薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管的電學(xué)性質(zhì)降低的情況，從而減少了成品后的液晶顯示器視覺(jué)不均勻的現(xiàn)象，提高了成品率，減少了生成殘品的可能性，節(jié)約了成本。
文檔編號(hào)H01L21/687GK202796877SQ20122016048
公開(kāi)日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年4月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月16日
發(fā)明者王守坤, 孫亮 申請(qǐng)人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方顯示技術(shù)有限公司