專利名稱：全固態(tài)短波紫外激光源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種全固態(tài)激光器，特別涉及一種高功率、高光束質(zhì)量、實(shí)用化全固態(tài)短波紫外激光器。
背景技術(shù)：
短波紫外激光是指波長(zhǎng)介于200nm至300nm的紫外激光，具有波長(zhǎng)短、光子能量高、易被材料吸收以及波段特殊等諸多優(yōu)點(diǎn)，在激光精細(xì)加工、前沿科學(xué)及國(guó)家安全等領(lǐng)域具有重大應(yīng)用價(jià)值。全固態(tài)激光器(半導(dǎo)體激光泵浦的固體激光器，簡(jiǎn)稱DPL)具有體積小、壽命長(zhǎng)、效率高、光束質(zhì)量高、穩(wěn)定性好、可靠性高、維護(hù)方便及電驅(qū)動(dòng)無污染等優(yōu)點(diǎn)，是激光技術(shù)發(fā)展的重要方向，利用DPL諧波技術(shù)實(shí)現(xiàn)短波紫外激光輸出是目前發(fā)展高功率實(shí)用化短波紫外激光源的最有效途徑，已成為各發(fā)達(dá)國(guó)家競(jìng)相研發(fā)的熱點(diǎn)。目前，國(guó)際上短波紫外DPL研究主要是利用高功率近紅外Nd離子1064nm激光經(jīng)非線性光學(xué)晶體多次倍頻，獲得四次諧波如266nm短波紫外激光輸出，其中短波紫外非線性光學(xué)晶體是核心材料，目前主要包括CLBO(硼酸銫鋰CsLiB6010)、BBO(偏硼酸鋇BaB204)、KDP (磷酸二氫鉀KH2P04) ,KABO (硼酸鋁鉀K2A12B207)晶體等，雖然這些晶體在某些方面性能優(yōu)異，但考慮綜合性能都存在各自的不足之處，尚難于實(shí)現(xiàn)高功率產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。其中，CLBO晶體可以實(shí)現(xiàn)高功率266nm激光輸出，如2003年日本采用CLBO晶體獲得了 40W的266nm激光輸出，2006年中科院理化所采用CLBO晶體獲得了 28W266nm激光輸出，然而上述均為實(shí)驗(yàn)室條件下的研究結(jié)果，由于CLBO晶體潮解極其嚴(yán)重，并且經(jīng)過大量的研究到目前為止仍無法有效解決其潮解問題，因此難以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。BBO晶體為目前主要應(yīng)用的短波紫外非線性晶體材料，被譽(yù)為“中國(guó)牌晶體”，輸出可達(dá)W級(jí)，然而由于BBO晶體的光折變效應(yīng)嚴(yán)重，限制了其輸出功率的進(jìn)一步提高。KDP晶體由于熱導(dǎo)率低，難以實(shí)現(xiàn)高平均功率、高重頻運(yùn)轉(zhuǎn)。KABO晶體由于紫外吸收嚴(yán)重，尚未實(shí)現(xiàn)W級(jí)以上高平均功率激光輸出。綜上所述，到現(xiàn)在為止對(duì)于1064nm基頻激光四次諧波產(chǎn)生266nm短波紫外激光，僅有W級(jí)產(chǎn)品，如美國(guó)Coherent公司研發(fā)的3W 266nmDPL(型號(hào)AVIA 266)，關(guān)鍵晶體材料的瓶頸限制了高功率短波紫外DPL的發(fā)展及應(yīng)用，國(guó)際社會(huì)迫切期待著材料及相關(guān)技術(shù)上的突破。CBO(三硼酸銫CsB305)晶體具有較大的非線性光學(xué)系數(shù)、優(yōu)秀的紫外波段透過能力、非常高的抗激光損傷能力及微弱的潮解性，在紫外頻率轉(zhuǎn)換方面已經(jīng)展現(xiàn)出了良好的應(yīng)用前景和能力，是一種綜合性能優(yōu)異的非線性紫外變頻晶體。然而一直以來，由于其無法直接倍頻匹配到現(xiàn)有的1064nm基頻激光的四倍頻，因而未能應(yīng)用到短波紫外波段(CB0晶體倍頻匹配截止波長(zhǎng)為273nm)。LBO晶體具有極高的破壞閾值，是目前使用最為頻繁的商用化非線性晶體，綜合性能優(yōu)異，然而，其同樣無法直接倍頻匹配到現(xiàn)有的1064nm基頻激光的四倍頻，因而未能應(yīng)用到短波紫外波段(LB0晶體倍頻匹配截止波長(zhǎng)為277nm)
發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題本發(fā)明的目的是針對(duì)目前高功率實(shí)用化短波紫外激光產(chǎn)生關(guān)鍵材料瓶頸，通過突破新型高功率高光束質(zhì)量基頻全固態(tài)激光技術(shù)，創(chuàng)新性地將綜合性能優(yōu)異的紫外非線性光學(xué)晶體CBO、LBO等從高功率紫外應(yīng)用拓展到高功率短波紫外應(yīng)用，以實(shí)現(xiàn)一種高功率、高光束質(zhì)量、實(shí)用化短波紫外全固態(tài)激光器。( 二 )技術(shù)方案為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種全固態(tài)短波紫外激光源，包括:近紅外基頻激光器和在所述近紅外基頻激光器輸出激光方向依序設(shè)置的二倍頻非線性光學(xué)晶體、光束匹配調(diào)控系統(tǒng)、四倍頻非線性光學(xué)晶體及光束分光準(zhǔn)直整形系統(tǒng)；所述近紅外基頻激光器輸出近紅外激光，通過二倍頻非線性光學(xué)晶體產(chǎn)生二倍頻激光，所述二倍頻激光通過光束匹配調(diào)控系統(tǒng)進(jìn)入四倍頻非線性光學(xué)晶體，產(chǎn)生高效率四倍頻短波紫外激光，最后經(jīng)過光束分光整形準(zhǔn)直系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高功率、高光束質(zhì)量短波紫外激光輸出。優(yōu)選地，所述近紅外基頻激光器為近紅外Nd:YAG激光器，通過精密波長(zhǎng)選擇技術(shù)及低增益激光振蕩放大技術(shù)實(shí)現(xiàn)Nd = YAG晶體1112nm或1116nm或1123nm高功率、高光束
質(zhì)量激光輸出。優(yōu)選地，所述近紅外基頻激光器所用激光晶體基質(zhì)材料除了 YAG晶體外，還可采用透明YAG陶瓷、玻璃、釩酸釔(YVO4)、氟化釔鋰(YLF)或釩酸釓(GdVO4)15優(yōu)選地，所述二倍頻非線性光學(xué)晶體采用LBO晶體，進(jìn)行I類非臨界相位匹配或II類臨界匹配實(shí)現(xiàn)二倍頻556nm或558nm或561nm激光輸出。優(yōu)選地，所述二倍頻非線性光學(xué)晶體采用KTP晶體。優(yōu)選地，所述四倍頻非線性光學(xué)晶體采用I類相位匹配CBO晶體，實(shí)現(xiàn)四倍頻278nm或279nm或280.5nm激光輸出。優(yōu)選地，所述四倍頻非線性光學(xué)晶體采用LBO晶體。優(yōu)選地，所述四倍頻非線性光學(xué)晶體兩通光端面分別鍍二倍頻及四倍頻激光的雙點(diǎn)增透膜，或者入射端面鍍二倍頻激光增透膜、出射端面鍍二倍頻及四倍頻激光的雙點(diǎn)增透膜，或者入射端面鍍二倍頻激光增透膜、出射端面按四倍頻激光布儒斯特角切割，或者入射端面按二倍頻激光布儒斯特角切割、出射端面按四倍頻激光布儒斯特角切割。優(yōu)選地，所述近紅外基頻激光器采用雙側(cè)泵激光頭串聯(lián)，中間設(shè)置熱效應(yīng)補(bǔ)償系統(tǒng)補(bǔ)償晶體內(nèi)的熱致雙折射效應(yīng)；聲光Q開關(guān)實(shí)現(xiàn)激光高峰值功率調(diào)Q脈沖輸出；偏振片用來獲得線偏振激光；通過腔鏡、輸出耦合鏡特殊膜系設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)單波長(zhǎng)激光振蕩，輸出脈沖激光；再通過側(cè)泵激光頭實(shí)現(xiàn)功率放大，最終得到高功率、高光束質(zhì)量、高峰值功率近紅外激光輸出。優(yōu)選地，所述近紅外基頻激光器采用雙側(cè)泵激光頭串聯(lián)，中間設(shè)置熱效應(yīng)補(bǔ)償系統(tǒng)補(bǔ)償晶體內(nèi)的熱致雙折射效應(yīng)；聲光Q開關(guān)實(shí)現(xiàn)激光高峰值功率調(diào)Q脈沖輸出；腔內(nèi)插入標(biāo)準(zhǔn)具實(shí)現(xiàn)單波長(zhǎng)振蕩；二倍頻非線性光學(xué)晶體設(shè)置在基頻激光諧振腔內(nèi)，實(shí)現(xiàn)高效率腔內(nèi)倍頻，產(chǎn)生的二倍頻激光通過雙色鏡輸出。(三)有益效果本發(fā)明通過精密波長(zhǎng)選擇技術(shù)及低增益激光振蕩放大技術(shù)實(shí)現(xiàn)Nd: YAG高功率、高光束質(zhì)量1112nm或1116nm或1123nm近紅外激光輸出，使用已商用化的非線性光學(xué)晶體LBO, KTP實(shí)現(xiàn)高效二倍頻激光輸出，創(chuàng)新性地實(shí)現(xiàn)綜合性能優(yōu)異可實(shí)用化的CBO、LBO晶體四倍頻應(yīng)用，從而實(shí)現(xiàn)高功率、高光束質(zhì)量短波紫外激光輸出。
圖1為本發(fā)明全固態(tài)短波紫外激光源的結(jié)構(gòu)框圖；圖2為本發(fā)明一實(shí)施例的示意圖；圖3為本發(fā)明另一實(shí)施例的示意圖。其中，1-近紅外基頻激光源；2_ 二倍頻非線性光學(xué)晶體；3_光束匹配調(diào)控系統(tǒng)；4-四倍頻非線性光學(xué)晶體；5_光束分光整形準(zhǔn)直系統(tǒng)；6_側(cè)泵激光頭；7_熱效應(yīng)補(bǔ)償系統(tǒng)；8_聲光Q開關(guān)；9_標(biāo)準(zhǔn)具；10_偏振片；M1-腔鏡；M2-反射鏡；M3_雙色鏡；M4_反射鏡。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不是限制本發(fā)明的范圍。如圖1所示，本發(fā)明所述的全固態(tài)短波紫外激光源，包括:近紅外基頻激光器I和在所述近紅外基頻激光器I輸出激光方向依序設(shè)置的二倍頻非線性光學(xué)晶體2、光束匹配調(diào)控系統(tǒng)3、四倍頻非線性光學(xué)晶體4及光束分光準(zhǔn)直整形系統(tǒng)5 ;所述近紅外基頻激光器I輸出近紅外激光，通過二倍頻非線性光學(xué)晶體2產(chǎn)生二倍頻激光，所述二倍頻激光通過光束匹配調(diào)控系統(tǒng)3進(jìn)入四倍頻非線性光學(xué)晶體4，產(chǎn)生高效率四倍頻短波紫外激光，最后經(jīng)過光束分光整形準(zhǔn)直系統(tǒng)5實(shí)現(xiàn)高功率、高光束質(zhì)量短波紫外激光輸出。所述近紅外基頻激光源I是通過低增益激光振蕩放大技術(shù)及精密波長(zhǎng)選擇技術(shù)實(shí)現(xiàn)Nd = YAG晶體1112nm或1116nm或1123nm高功率、高光束質(zhì)量激光輸出；所述的二倍頻非線性光學(xué)晶體采用目前已經(jīng)實(shí)用化的LBO晶體，進(jìn)行I類非臨界相位匹配或II類臨界匹配實(shí)現(xiàn)二倍頻556nm或558nm或561nm激光輸出；所述的四倍頻非線性光學(xué)晶體采用I類相位匹配CBO晶體，實(shí)現(xiàn)四倍頻278nm或279nm或280.5nm激光輸出。由于本發(fā)明基頻近紅外激光采用已經(jīng)極其成熟的Nd = YAG激光晶體，因此可以獲得高平均功率、高光束質(zhì)量基頻激光產(chǎn)生；二倍頻、四倍頻晶體采用綜合性能優(yōu)異、實(shí)用化的LBO及CBO晶體；短波紫外激光輸出基于兩級(jí)倍頻技術(shù)路線，因此本發(fā)明所述的全固態(tài)短波紫外激光器具有可實(shí)現(xiàn)高平均功率、高光束質(zhì)量、實(shí)用化的突出優(yōu)點(diǎn)。所述近紅外基頻激光器I所用激光晶體基質(zhì)材料除了 YAG晶體外，還包括透明YAG陶瓷、玻璃、釩酸釔(YVO4)、氟化釔鋰(YLF)及釩酸釓(GdVO4)等。所述二倍頻非線性光學(xué)晶體2除了 LBO晶體，還包括KTP晶體。所述四倍頻非線性光學(xué)晶體4除了 CBO晶體，還包括LBO晶體。所述四倍頻非線性光學(xué)晶體可以兩通光端面分別鍍二倍頻及四倍頻激光的雙點(diǎn)增透膜；可以入射端面鍍二倍頻激光增透膜，出射端面鍍二倍頻及四倍頻激光的雙點(diǎn)增透膜；可以入射端面鍍二倍頻激光增透膜，出射端面按四倍頻激光布儒斯特角切割；也可以入射端面按二倍頻激光布儒斯特角切割，出射端面按四倍頻激光布儒斯特角切割。實(shí)施例1
如圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例1的278nm短波紫外全固態(tài)激光器。近紅外基頻激光器I采用雙側(cè)泵激光頭6串聯(lián)，中間設(shè)置熱效應(yīng)補(bǔ)償系統(tǒng)7補(bǔ)償晶體內(nèi)的熱致雙折射效應(yīng)；聲光Q開關(guān)10實(shí)現(xiàn)激光高峰值功率調(diào)Q脈沖輸出；偏振片10用來獲得線偏振激光；通過腔鏡M1，輸出耦合鏡OC特殊膜系設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)單波長(zhǎng)1112nm激光振蕩；實(shí)現(xiàn)40W 1112nm脈沖激光輸出。再通過側(cè)泵激光頭6實(shí)現(xiàn)功率放大，最終得到100W級(jí)高功率、高光束質(zhì)量、高峰值功率近紅外1112nm激光輸出。然后通過二倍頻非線性光學(xué)晶體2產(chǎn)生二倍頻激光，二倍頻晶體采用I類非臨界溫度匹配LBO晶體，實(shí)現(xiàn)高效率556nm激光產(chǎn)生；二倍頻激光通過光束匹配調(diào)控系統(tǒng)3進(jìn)入四倍頻非線性光學(xué)晶體4，四倍頻晶體4采用I類匹配CBO晶體，最終實(shí)現(xiàn)高效率四倍頻激光產(chǎn)生，最后經(jīng)過分光及光束整形準(zhǔn)直系統(tǒng)5實(shí)現(xiàn)IOW級(jí)高功率、高光束質(zhì)量短波紫外278nm激光輸出。實(shí)施例2如圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例2的280.5nm短波紫外全固態(tài)激光器。近紅外基頻激光器采用雙側(cè)泵激光頭6串聯(lián)，中間設(shè)置熱效應(yīng)補(bǔ)償系統(tǒng)7補(bǔ)償晶體內(nèi)的熱致雙折射效應(yīng)；聲光Q開關(guān)10實(shí)現(xiàn)激光高峰值功率調(diào)Q脈沖輸出；腔內(nèi)插入標(biāo)準(zhǔn)具9實(shí)現(xiàn)單波長(zhǎng)1123nm振蕩；二倍頻非線性光學(xué)晶體2采用II類匹配LBO晶體，其設(shè)置在基頻激光諧振腔內(nèi)，實(shí)現(xiàn)高效率腔內(nèi)倍頻；產(chǎn)生的二倍頻561nm激光通過雙色鏡M3輸出。再通過光束匹配調(diào)控系統(tǒng)3進(jìn)入四倍頻非線性光學(xué)晶體4，四倍頻晶4采用I類匹配CBO晶體，實(shí)現(xiàn)四倍頻281nm激光輸出，最終經(jīng)過分光及光束整形準(zhǔn)直系統(tǒng)5實(shí)現(xiàn)高功率、高光束質(zhì)量短波紫外280.5nm激光輸出。實(shí)施例3本發(fā)明實(shí)施例3的280.5nm短波紫外全固態(tài)激光器，同實(shí)施例2不同的是，通過腔鏡M1，輸出耦合鏡OC及偏振片10的特殊膜系設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)為1123nm基頻激光輸出；另外四倍頻晶體4采用I類匹配LBO晶體實(shí)現(xiàn)短波紫外280.5nm激光輸出。實(shí)施例4本發(fā)明實(shí)施例4的279nm短波紫外全固態(tài)激光器，同實(shí)施例2不同的是，通過調(diào)諧標(biāo)準(zhǔn)具9實(shí)現(xiàn)1116nm激光振蕩，二倍頻晶體采用II類匹配KTP晶體實(shí)現(xiàn)558nm激光輸出；四倍頻晶體4采用I類匹配LBO晶體，實(shí)現(xiàn)短波紫外279nm激光輸出。本發(fā)明通過精密波長(zhǎng)選擇技術(shù)及低增益激光振蕩放大技術(shù)實(shí)現(xiàn)Nd3+離子1112nm或1116nm或1123nm高功率、高光束質(zhì)量激光輸出，使用非線性光學(xué)晶體LBO實(shí)現(xiàn)高效二倍頻556nm或558nm或561nm激光輸出，再通過非線性光學(xué)晶體CBO實(shí)現(xiàn)高效四倍頻產(chǎn)生，從而實(shí)現(xiàn)高功率、高光束質(zhì)量短波紫外278nm或279nm或280.5nm激光輸出。以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種全固態(tài)短波紫外激光源，其特征在于，包括: 近紅外基頻激光器(I)和在所述近紅外基頻激光器(I)輸出激光方向依序設(shè)置的二倍頻非線性光學(xué)晶體(2)、光束匹配調(diào)控系統(tǒng)(3)、四倍頻非線性光學(xué)晶體(4)及光束分光準(zhǔn)直整形系統(tǒng)(5)； 所述近紅外基頻激光器(I)輸出近紅外激光，通過二倍頻非線性光學(xué)晶體(2)產(chǎn)生二倍頻激光，所述二倍頻激光通過光束匹配調(diào)控系統(tǒng)(3)進(jìn)入四倍頻非線性光學(xué)晶體(4)，產(chǎn)生高效率四倍頻短波紫外激光，最后經(jīng)過光束分光整形準(zhǔn)直系統(tǒng)(5)實(shí)現(xiàn)高功率、高光束質(zhì)量短波紫外激光輸出。
2.如權(quán)利要求1所述的全固態(tài)短波紫外激光源，其特征在于，所述近紅外基頻激光器(I)為近紅外Nd: YAG基頻激光器，通過精密波長(zhǎng)選擇技術(shù)及低增益激光振蕩放大技術(shù)實(shí)現(xiàn)Nd: YAG晶體1112nm或1116nm或1123nm高功率、高光束質(zhì)量激光輸出。
3.如權(quán)利要求2所述的全固態(tài)短波紫外激光源，其特征在于，所述近紅外基頻激光器(I)所用激光晶體基質(zhì)材料除了 YAG晶體外，還可采用透明YAG陶瓷、玻璃、釩酸釔(YVO4)、氟化釔鋰(YLF)或釩酸釓(GdVO4)。
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的全固態(tài)短波紫外激光源，其特征在于，所述二倍頻非線性光學(xué)晶體(2)采用LBO 晶體，進(jìn)行I類非臨界相位匹配或II類臨界匹配實(shí)現(xiàn)二倍頻556nm或558nm或56 Inm激光輸出。
5.如權(quán)利要求4所述的全固態(tài)短波紫外激光源，其特征在于，所述二倍頻非線性光學(xué)晶體⑵采用KTP晶體。
6.如權(quán)利要求1、2或3所述的全固態(tài)短波紫外激光源，其特征在于，所述四倍頻非線性光學(xué)晶體(4)采用I類相位匹配CBO晶體，實(shí)現(xiàn)四倍頻278nm或279nm或280.5nm激光輸出。
7.如權(quán)利要求6所述的全固態(tài)短波紫外激光源，其特征在于，所述四倍頻非線性光學(xué)晶體⑷采用LBO晶體。
8.如權(quán)利要求1所述的全固態(tài)短波紫外激光源，其特征在于，所述四倍頻非線性光學(xué)晶體(4)兩通光端面分別鍍二倍頻及四倍頻激光的雙點(diǎn)增透膜，或者入射端面鍍二倍頻激光增透膜、出射端面鍍二倍頻及四倍頻激光的雙點(diǎn)增透膜，或者入射端面鍍二倍頻激光增透膜、出射端面按四倍頻激光布儒斯特角切割，或者入射端面按二倍頻激光布儒斯特角切割、出射端面按四倍頻激光布儒斯特角切割。
9.如權(quán)利要求1所述的全固態(tài)短波紫外激光源，其特征在于，所述近紅外基頻激光器(I)采用雙側(cè)泵激光頭￠)串聯(lián)，中間設(shè)置熱效應(yīng)補(bǔ)償系統(tǒng)(7)補(bǔ)償晶體內(nèi)的熱致雙折射效應(yīng)；聲光Q開關(guān)(8)實(shí)現(xiàn)激光高峰值功率調(diào)Q脈沖輸出；偏振片(10)用來獲得線偏振激光；通過腔鏡(Ml)、輸出耦合鏡(OC)特殊膜系設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)單波長(zhǎng)激光振蕩，輸出脈沖激光；再通過側(cè)泵激光頭(6)實(shí)現(xiàn)功率放大，最終得到高功率、高光束質(zhì)量、高峰值功率近紅外激光輸出。
10.如權(quán)利要求1所述的全固態(tài)短波紫外激光源，其特征在于，所述近紅外基頻激光器(I)采用雙側(cè)泵激光頭(6)串聯(lián)，中間設(shè)置熱效應(yīng)補(bǔ)償系統(tǒng)(7)補(bǔ)償晶體內(nèi)的熱致雙折射效應(yīng)；聲光Q開關(guān)(8)實(shí)現(xiàn)激光高峰值功率調(diào)Q脈沖輸出；腔內(nèi)插入標(biāo)準(zhǔn)具(9)實(shí)現(xiàn)單波長(zhǎng)振蕩；二倍頻非線性光學(xué)晶體(2)設(shè)置在基頻激光諧振腔內(nèi)，實(shí)現(xiàn)高效率腔內(nèi)倍頻，產(chǎn)生的二倍頻激光通過雙色 鏡(M3)輸出。
全文摘要
本發(fā)明是一種全固態(tài)短波紫外激光源，包括近紅外基頻激光器和在所述近紅外基頻激光器輸出激光方向依序設(shè)置的二倍頻非線性光學(xué)晶體、光束匹配調(diào)控系統(tǒng)、四倍頻非線性光學(xué)晶體及光束分光準(zhǔn)直整形系統(tǒng)；所述近紅外基頻激光器輸出近紅外激光，通過二倍頻非線性光學(xué)晶體產(chǎn)生二倍頻激光，通過光束匹配調(diào)控系統(tǒng)進(jìn)入四倍頻非線性光學(xué)晶體，產(chǎn)生高效率四倍頻激光，經(jīng)過光束分光整形準(zhǔn)直系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)高功率、高光束質(zhì)量短波紫外激光輸出。本發(fā)明通過精密波長(zhǎng)選擇技術(shù)及低增益激光振蕩放大技術(shù)實(shí)現(xiàn)高效近紅外基頻激光輸出，使用非線性光學(xué)晶體實(shí)現(xiàn)高效二倍頻激光輸出，再通過非線性光學(xué)晶體實(shí)現(xiàn)高效四倍頻產(chǎn)生，從而實(shí)現(xiàn)高功率、高光束質(zhì)量短波紫外激光輸出。
文檔編號(hào)H01S3/10GK103199429SQ20121000645
公開日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2012年1月10日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月10日
發(fā)明者彭欽軍, 楊峰, 許祖彥, 薄勇, 王志超, 杜仕峰, 許家林 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所