高電阻率金屬扇出端的制作方法

專利名稱：高電阻率金屬扇出端的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明主要涉及在基板上形成金屬跡線，尤其涉及以允許使用高電阻率的導(dǎo)電材料來提高跡線可靠性、減小噪聲和降低制造成本的方式在觸摸傳感器面板的邊界區(qū)域中形成金屬跡線。
背景技術(shù)：
當(dāng)前，有很多種輸入裝置可以用于在計(jì)算系統(tǒng)中執(zhí)行操作，例如按鈕或按鍵、鼠標(biāo)、軌跡球、搖桿、觸摸傳感器面板、觸摸屏等等。特別地，由于操作方便且功能眾多以及由于價(jià)格降低，觸摸屏正在變得日益普及。觸摸屏可以包括觸摸傳感器面板以及液晶顯示器(LCD)之類的顯示設(shè)備，所述觸摸傳感器面板可以是具有觸敏表面的清晰面板，所述顯示設(shè)備可以部分或者完全位于面板之后，使得觸敏表面可以覆蓋顯示設(shè)備可視區(qū)域的至少一部分。觸摸屏可以允許用戶通過用手指、觸筆或其他對(duì)象在顯示設(shè)備顯示的用戶界面(UI)所指定的位置觸摸所述觸摸傳感器面板來執(zhí)行各種功能。一般來說，觸摸屏能夠辨識(shí)觸摸事件以及該觸摸事件在觸摸傳感器面板上的位置，然后，計(jì)算系統(tǒng)能夠根據(jù)發(fā)生觸摸事件時(shí)出現(xiàn)的顯示來解譯該觸摸事件，此后可以基于該觸摸事件來執(zhí)行一個(gè)或多個(gè)動(dòng)作?；ル娙萦|摸傳感器面板可以用驅(qū)動(dòng)線路和感測(cè)線路的矩陣形成，其中所述驅(qū)動(dòng)線路和感測(cè)線路是用氧化銦錫(ITO)之類的基本透明的導(dǎo)電材料制成的，并且通常會(huì)在基本透明的基板上以行和列的方式排列在水平和垂直方向上。在一些觸摸傳感器面板的設(shè)計(jì)中，基本透明的驅(qū)動(dòng)和/或感測(cè)線路可被布線至基板的一個(gè)邊緣，以便在未必需要透明的基板邊界區(qū)域中用金屬跡線進(jìn)行板外(off-board)連接。由于這些金屬跡線很細(xì)，因此有可能需要低電阻的導(dǎo)電材料。為了創(chuàng)建這種跡線，有必要用多層導(dǎo)電材料來將低電阻材料粘附于基板并形成跡線。但是，這種多層工藝有可能增加制造成本。此外，在制造這些薄金屬層的疊層的過程中可能會(huì)涉及到可靠性問題。另外，這些細(xì)的金屬跡線并未提供防御LCD之類的噪聲源的最大屏蔽。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及在觸摸傳感器面板的邊界區(qū)域中形成金屬跡線，以便提供改進(jìn)的可靠性、更好的噪聲抑制、以及更低的制造成本。金屬跡線可以采用交錯(cuò)方式耦合到觸摸傳感器面板上的行，使得任何兩個(gè)連續(xù)的行都可以耦合到觸摸傳感器面板相對(duì)側(cè)面上的邊界區(qū)域中的金屬跡線。此外，在一些實(shí)施例中，通過使用邊界區(qū)域中可用的完整寬度，可以用更高電阻率的金屬來形成金屬跡線，這樣可以降低制造成本并改善跡線可靠性。通過提供較大的固定電位表面區(qū)域以及通過更有效地將驅(qū)動(dòng)線路耦合到固定電位，較寬的跡線還可以提供防御諸如IXD之類的噪聲源的較好抗擾性(noise immunity)。
通過用金屬跡線填充邊界區(qū)域的可用寬度，可以展寬這些跡線，由此可以降低跡線的總線路電阻，或者對(duì)于相同的總線路電阻，可以增加材料的電阻率。例如，在基板上可以形成厚度約為3000-5000A的單個(gè)較薄且較寬的鑰/鈮(Mo/Nb)層。通過Mo/Nb層增加的寬度和厚度，對(duì)Mo/Nb的較高電阻率進(jìn)行補(bǔ)償。在以優(yōu)選厚度沉積了 Mo/Nb層之后，可以對(duì)其圖案化(蝕刻)以便形成跡線。然后，在Mo/Nb層上可以形成導(dǎo)電材料層，例如ΙΤ0。之后，導(dǎo)電材料層可以被圖案化，以便形成耦合到金屬跡線的驅(qū)動(dòng)或感測(cè)線路，此外在Mo/Nb跡線上也可以將該導(dǎo)電材料層圖案化，以便形成用于Mo/Nb跡線的另一個(gè)保護(hù)層。然后，在Mo/Nb層和導(dǎo)電材料層上可以形成諸如二氧化硅(SiO2)之類的保護(hù)材料層?！銇碚f，能夠使用較高電阻率材料能使材料疊層更有彈性。例如，與薄且較高導(dǎo)電性材料的三層疊層相比，在雙導(dǎo)電層的實(shí)施例中，制造成本可以被降低。較少數(shù)量的導(dǎo)電層還會(huì)減小在圖案化多層疊層的時(shí)候存在的側(cè)壁控制問題。此外，由于蝕刻缺陷、腐蝕或其他環(huán)境影響未必會(huì)像跡線變細(xì)那樣輕易產(chǎn)生問題，因此較寬和較厚的跡線通常具有較高的可靠性。雖然上述實(shí)施例使用了較高電阻率的導(dǎo)電材料，但并不是必須使用此類材料。如果使用了低電阻率的材料來形成寬跡線，那么線路電阻甚至可以更低。這種減小的線路電阻可以為寬的行跡線產(chǎn)生更好的接地(或是某個(gè)固定電位)耦合，由此改進(jìn)行的噪聲屏蔽效果。作為替換，低電阻率材料可以與寬度保持很細(xì)的跡線一起使用。細(xì)的金屬跡線能夠減小觸摸傳感器面板的寬度。例如，可以使用包含低電阻材料的被細(xì)化的三層疊層，以及在一些情況中，與開發(fā)替換的雙層化學(xué)疊層相比，所述被細(xì)化的三層疊層的成本更低。


圖1A示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的行跡線以及金屬跡線的頂視圖，其中所述行跡線表示驅(qū)動(dòng)線路或感測(cè)線路，所述金屬跡線被象征性地描繪成觸摸傳感器面板的邊界區(qū)域中的細(xì)線。圖1B示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的圖1A中的例示觸摸傳感器面板，其中金屬跡線是按照表示寬度(未按比例)繪制的。圖1C示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例發(fā)生從第六到第七金屬跡線過渡的邊界區(qū)域的例示位置的特寫視圖。圖2A示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的較高電阻率材料的例示疊層，所述疊層可以用于在觸摸傳感器面板的邊界區(qū)域中形成寬跡線。圖2B示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的低電阻率材料的例示疊層，所述疊層可以用于在觸摸傳感器面板的邊界區(qū)域中形成變細(xì)的跡線。圖3示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的例示雙面ITO (DITO)觸摸傳感器面板，其中在觸摸傳感器面板的邊界區(qū)域中具有寬導(dǎo)電跡線。圖4示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的例示計(jì)算系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括在邊界區(qū)域中使用改進(jìn)的金屬跡線的觸摸傳感器面板。圖5A示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的例示移動(dòng)電話，該移動(dòng)電話具有在邊界區(qū)域包含改進(jìn)的金屬跡線的觸摸傳感器面板。圖5B示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的例示數(shù)字媒體播放器，該播放器具有在邊界區(qū)域包含改進(jìn)的跡線的觸摸傳感器面板。
具體實(shí)施例方式在以下關(guān)于優(yōu)選實(shí)施例的描述中，將會(huì)參考構(gòu)成本發(fā)明一部分的附圖，附圖中以圖解方式顯示了可以實(shí)踐本發(fā)明的具體實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解，在不脫離本發(fā)明實(shí)施例的范圍的情況下，也可以使用其他實(shí)施例，并且也可以進(jìn)行結(jié)構(gòu)改變。本發(fā)明涉及在觸摸傳感器面板的邊界區(qū)域中形成金屬跡線，以便提供改進(jìn)的可靠性、更好的噪聲抑制、以及更低的制造成本。金屬跡線可以采用交錯(cuò)方式耦合到觸摸傳感器面板上的行，使得任何兩個(gè)連續(xù)的行都可以耦合到觸摸傳感器面板的相對(duì)側(cè)面上的邊界區(qū)域中的金屬跡線。此外，通過使用邊界區(qū)域中可用的完整寬度，可以用更高電阻率的金屬來形成金屬跡線，這樣可以降低制造成本并改善跡線可靠性。通過提供較大的固定電位表面區(qū)域以及通過更有效地將驅(qū)動(dòng)線路耦合到固定電位，較寬的跡線還可以提供防御諸如LCD之類的噪聲源的較好抗擾性。雖然在這里是依照互電容觸摸傳感器面板來描述和示例本發(fā)明的實(shí)施例，但是應(yīng)該理解，本發(fā)明的實(shí)施例并不局限于此，而是還可以適用于自電容傳感器面板，以及需要在觸摸傳感器面板的邊界區(qū)域中制造金屬跡線的單點(diǎn)或多點(diǎn)觸摸傳感器面板。此外，雖然在這里是依照雙面ITO(DITO)觸摸傳感器面板來描述和示例本發(fā)明的實(shí)施例，但是應(yīng)該理解，本發(fā)明的實(shí)施例還適用于其他的觸摸傳感器面板配置，例如在不同基板或是玻璃蓋片背面形成驅(qū)動(dòng)線路和感測(cè)線路的配置，在單個(gè)基板的相同側(cè)面上形成驅(qū)動(dòng)線路和感測(cè)線路的配置，以及以行和列之外的幾何形狀形成驅(qū)動(dòng)線路和感測(cè)線路的配置。圖1A示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的行跡線(R0-R7) 100以及導(dǎo)電極線102和104的頂視圖，其中所述行跡線(R0_R7)100表示驅(qū)動(dòng)線路或感測(cè)線路，所述導(dǎo)電跡線102和104被象征性地描繪成觸摸傳感器面板110的邊界區(qū)域106和108中的細(xì)線。為了充分使用邊界區(qū)域106和108的寬度，在一些實(shí)施例中，行跡線100可以采用圖1A所示的交錯(cuò)方式耦合到金屬跡線102和104，這樣會(huì)導(dǎo)致一些金屬跡線伸至觸摸傳感器面板110的整個(gè)長(zhǎng)度。但是，在替換實(shí)施例中，不需要采用交錯(cuò)，并且金屬跡線可被布線至觸摸傳感器面板的任一側(cè)面上的任一或所有的兩個(gè)邊界區(qū)域。在圖1A的示例中，行R0、R1、R2和R3被耦合到左邊界區(qū)域106中的金屬跡線102，而交錯(cuò)的行R4、R5、R6和R7則被耦合到右邊界區(qū)域108中的金屬跡線104。應(yīng)該指出的是，圖1A中的行指示R0-R7僅僅是例示性的，并且其他的行指示(例如從底部到頂部順序地從RO到R7)也是可行的。圖1B示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的圖1A的例示觸摸傳感器面板110，其中導(dǎo)電跡線102和104是按照表示寬度(未按比例)繪制的。在圖1B的示例中，為了充分使用邊界區(qū)域106和108的寬度，導(dǎo)電跡線102和104可以依照在觸摸傳感器面板110的長(zhǎng)度上的任何位置存在的跡線的數(shù)量來展寬。例如，在位置A (行RO和R4旁邊)僅僅存在一條行跡線，因此跡線部分Ill-A填充整個(gè)可用邊界區(qū)域。在位置B (行Rl和R5旁邊)，存在兩條金屬跡線，因此可以使兩個(gè)跡線部分Ill-B和112-B具有相同的寬度，所述寬度足以填充除了跡線之間的間隔區(qū)域之外的整個(gè)可用的邊界區(qū)域。在位置C (行R2和R6旁邊)，存在三條金屬跡線，因此可以使三個(gè)跡線部分111-C、112-C以及114-C具有相同的寬度，所述寬度足以填充除了跡線之間的間隔區(qū)域之外的整個(gè)可用的邊界區(qū)域。在位置D (行R3和R7旁邊)，存在四條金屬跡線，因此可以使四個(gè)跡線部分111-D、112-D、114-D以及116-D具有相同的寬度，所述寬度足以填充除了跡線之間的間隔區(qū)域之外的可用邊界區(qū)域的整個(gè)可用寬度。類似的跡線結(jié)構(gòu)也可以用于邊界區(qū)域108中的金屬跡線104。雖然圖1B的實(shí)施例顯示的是用相同寬度的金屬跡線來填充可用邊界區(qū)域，但在替換實(shí)施例中，跡線并不需要具有相等的寬度。例如，較長(zhǎng)的跡線可以寬于較短的跡線。通過用金屬跡線102和104來填充邊界區(qū)域106和108的可用寬度，可以展寬所述跡線，并且由此可以降低跡線的總線路電阻，或者對(duì)于相同的總線路電阻，可以增加材料的電阻率。例如，不使用O. 4歐姆/方塊的鑰/鋁/鑰(Mo/Al/Mo)疊層作為金屬跡線，可以使用電阻率為1. O歐姆/方塊的金屬。圖1C示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例發(fā)生從第六到第七導(dǎo)電跡線102過渡的邊界區(qū)域部分106的例示位置的特寫視圖。如圖1C的示例所示，在需要窄化跡線的每個(gè)點(diǎn)上都可以使用傾斜布線(angled routing)方案來避免直角布線，以及確保跡線寬度得到保持，但是應(yīng)該理解，直角布線方案并不是必需的。圖2A示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的較高電阻率材料的例示疊層200，所述疊層可以用于在觸摸傳感器面板的邊界區(qū)域中形成寬跡線。在圖2A的示例中，在基板206上可以形成厚度約為3000-5000,4的單個(gè)較薄且較寬的鑰/鈮(Mo/Nb)層204。Mo/Nb的較高電阻率是通過增大Mo/Nb層的寬度和高度來補(bǔ)償?shù)?。在以?yōu)選厚度沉積了 Mo/Nb層204之后，可以對(duì)其進(jìn)行圖案化(蝕刻)，以便形成跡線。然后，在Mo/Nb層204上可以形成導(dǎo)電材料層224，例如ΙΤ0。導(dǎo)電材料層224可以被圖案化，以便形成耦合到金屬跡線的驅(qū)動(dòng)線路或感測(cè)線路，此外還可以在Mo/Nb跡線204上將所述導(dǎo)電材料層224圖案化，以便形成用于Mo/Nb跡線的另一保護(hù)層。應(yīng)該指出的是，雖然圖2A顯示的是在Mo/Nb層204上形成導(dǎo)電材料224，但在替換實(shí)施例中也可以使用相反的疊層。換句話說，Mo/Nb層可以是在導(dǎo)電材料上形成的。然后，在Mo/Nb層204和導(dǎo)電材料層224上可以形成材料保護(hù)層210，諸如二氧化硅(Si02)。對(duì)于疊層200的材料來說，Mo/Nb層204的典型厚度可以約為3000-5000A ,導(dǎo)電材料層的典型厚度可以約為100-200A，保護(hù)層210的厚度可以約為300-1000A。一般來說，能夠使用較高電阻率材料能使材料疊層更有彈性。例如，由于圖2A的實(shí)施例僅僅使用了兩個(gè)導(dǎo)電層，因此與薄且較高導(dǎo)電性材料的三層疊層相比，可以降低制造成本。減少數(shù)量的導(dǎo)電層還會(huì)減少在圖案化多層疊層時(shí)存在的側(cè)壁控制問題。此外，由于蝕刻缺陷、腐蝕或其他環(huán)境影響未必會(huì)像跡線變細(xì)那樣輕易產(chǎn)生問題，因此較寬和較厚的跡線通常具有較高的可靠性。雖然上述實(shí)施例使用了較高電阻率的導(dǎo)電材料，但并不是必須使用此類材料。如果使用了低電阻率的材料來形成寬跡線，那么線路電阻甚至可以更低。這種減小的線路電阻可以為寬的行跡線產(chǎn)生更好的接地(或是某個(gè)固定電位)耦合，由此改進(jìn)行的噪聲屏蔽效果。作為替換，低電阻率材料可以與寬度保持很細(xì)的跡線一起使用。細(xì)的金屬跡線能夠減小觸摸傳感器面板的寬度。例如，可以使用包含低電阻材料的被細(xì)化的三子層疊層，以及在一些情況中，與開發(fā)替換的雙層化學(xué)疊層相比，所述被細(xì)化的三子層疊層的成本更低。圖2B示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的低電阻率材料的例示疊層212，所述疊層可以用于在觸摸傳感器面板的邊界區(qū)域中形成變細(xì)的跡線。在圖2B的示例中，用于運(yùn)送所關(guān)注的信號(hào)的主導(dǎo)電跡線可以是鋁/釹(Al/Nd)層202，但是也可以使用具有相似屬性的其他材料。(如這里定義的，所關(guān)注的信號(hào)包括但不局限于交流(AC)信號(hào)，處于基本恒定電壓的直流(DC)信號(hào)，以及DC信號(hào)中的脈沖或其他瞬時(shí)擾動(dòng))。由于Al/Nd并沒有很好粘合到基板206，因此在基板206上可以先形成另一金屬的鑰/鈮(Mo/Nb)層204，以便增強(qiáng)Al/Nd與基板的粘合度，但是也可以使用具有類似屬性的其他材料。然后，在Mo/Nb層204上可以形成Al/Nd層202。之后，在Al/Nd層202上可以形成第二 Mo/Nb層208 (或其他類似材料)，以此作為為Mo/Nb防御高度腐蝕性的大氣的附加保護(hù)措施。這三個(gè)層可以作為順序工藝(in-line process)而實(shí)際上以一個(gè)步驟被施加,使得使用三個(gè)腔室以連續(xù)的方式施加每個(gè)層。然后，這三個(gè)層可以被蝕刻在一起以便形成跡線，但在其他實(shí)施例中，這三個(gè)層中的每個(gè)都可以在施加下一層之前被單獨(dú)施加和圖案化。然后，在這個(gè)三層疊層上可以形成導(dǎo)電材料層224，例如IT0。導(dǎo)電材料層224可以被圖案化，以便形成耦合到金屬跡線的驅(qū)動(dòng)線路或感測(cè)線路，此外還可以在三層疊層上將其圖案化，以便形成用于所述疊層的另一個(gè)保護(hù)層。然后，在跡線上可以施加可被噴鍍的第一鈍化材料層210(例如SiO2),以便保護(hù)所形成的跡線，但是同樣可以使用具有類似屬性的其他材料。圖3示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的例示DITO觸摸傳感器面板300，其中在該觸摸傳感器面板的邊界區(qū)域中具有展寬的導(dǎo)電跡線316 (被象征性地顯示成虛線)。如圖3所示(為使例證清楚，大幅放大z方向)，DIT0多點(diǎn)觸摸傳感器面板300可以具有能在基板306的短邊緣304處終止的列跡線302 (例如感測(cè)線路)，由此需要柔性電路324具有延伸至所述短邊緣的整個(gè)寬度的寬的柔性電路部分308，所述短邊緣可以焊接到基板正面的接合焊盤310。在焊接區(qū)314將列跡線302 (例如感測(cè)線路)和行跡線312 (例如驅(qū)動(dòng)線路)相互交叉是不合需要的，而在基板306的相反側(cè)面上形成接合焊盤310和318同樣也是不合需要的，這是因?yàn)榇祟悈^(qū)域有可能產(chǎn)生不需要的雜散互電容和信號(hào)耦合。因此，通過使用沿著基板邊界延伸的寬導(dǎo)電跡線316 (被象征性地表示成細(xì)線)，可以將行跡線312布線至基板306的與列跡線302相同的短邊緣304。圖4示出的是可以包括如上所述的本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的例示計(jì)算系統(tǒng)400。計(jì)算系統(tǒng)400可以包括一個(gè)或多個(gè)面板處理器402和外設(shè)404,以及面板子系統(tǒng)406。外設(shè)404可以包括但不局限于隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)或其他類型的存儲(chǔ)器或存儲(chǔ)裝置、監(jiān)視計(jì)時(shí)器等等。面板子系統(tǒng)406可以包括但不局限于一個(gè)或多個(gè)感測(cè)通道408、通道掃描邏輯410以及驅(qū)動(dòng)器邏輯414。通道掃描邏輯410可以存取RAM412，自主地從感測(cè)通道讀取數(shù)據(jù)，以及提供對(duì)感測(cè)通道的控制。另外，通道掃描邏輯410可以控制驅(qū)動(dòng)器邏輯414，以便產(chǎn)生不同頻率和相位的激勵(lì)信號(hào)416，所述激勵(lì)信號(hào)416可以被有選擇地施加至觸摸傳感器面板424的驅(qū)動(dòng)線路。在一些實(shí)施例中，面板子系統(tǒng)406、面板處理器402和外設(shè)404可以集成在一個(gè)單獨(dú)的專用集成電路(ASIC)中。觸摸傳感器面板424可以包括具有多個(gè)驅(qū)動(dòng)線路和多個(gè)感測(cè)線路的電容式感測(cè)介質(zhì)，但是也可使用其他感測(cè)介質(zhì)。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，驅(qū)動(dòng)線路和感測(cè)線路中的任何一個(gè)或是所有這二者都可以耦合到寬導(dǎo)電跡線。驅(qū)動(dòng)線路和感測(cè)線路的每個(gè)相交點(diǎn)可以代表電容式感測(cè)節(jié)點(diǎn)，并且可以被視為像素(pixel) 426，在將觸摸傳感器面板424視為獲取觸摸的“圖像”時(shí)，這一點(diǎn)是非常有用的。(換句話說，在面板子系統(tǒng)406已經(jīng)確定是否在觸摸傳感器面板中的每個(gè)觸摸傳感器處檢測(cè)到觸摸事件之后，這時(shí)可以將多點(diǎn)觸摸面板中發(fā)生觸摸事件的觸摸傳感器的圖案視為觸摸的“圖像”(例如，觸摸面板的手指的圖案))。觸摸傳感器面板424中的每個(gè)感測(cè)線路都可以驅(qū)動(dòng)面板子系統(tǒng)406內(nèi)的感測(cè)通道408 (在這里也被稱為事件檢測(cè)和解調(diào)電路)。計(jì)算系統(tǒng)400還可包括主處理器428，用于從面板處理器402接收輸出并基于該輸出執(zhí)行動(dòng)作，這些動(dòng)作可以包括但不局限于移動(dòng)光標(biāo)或指針之類的物體，滾動(dòng)或平移，調(diào)節(jié)控制設(shè)置，打開文檔或文件，查看菜單，做出選擇，執(zhí)行指令，操作耦接至主設(shè)備的外圍設(shè)備，接聽電話，電話呼叫，掛斷電話，改變音量或音頻設(shè)置，存儲(chǔ)與電話通信相關(guān)聯(lián)的信息，例如地址、常撥號(hào)碼、已接來電、未接來電，登陸到計(jì)算機(jī)或計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)、允許經(jīng)授權(quán)的個(gè)人訪問計(jì)算機(jī)或計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)的限制區(qū)域，加載與用戶喜愛的計(jì)算機(jī)桌面布局相關(guān)聯(lián)的用戶配置文件，允許訪問網(wǎng)頁內(nèi)容，打開特定程序，加密或解碼消息等等。主處理器428還能執(zhí)行可能并非與面板處理相關(guān)聯(lián)的附加功能，并且可以耦接到程序存儲(chǔ)裝置432和顯示裝置430 (例如，LED顯示器)，以便為該裝置的用戶提供用戶界面(UI)。當(dāng)顯示裝置430部分或完全位于觸摸傳感器面板424下方時(shí)，這時(shí)它可以與觸摸傳感器面板424 —同形成觸摸屏418。應(yīng)該指出的是，上述一個(gè)或多個(gè)功能可以由保存在存儲(chǔ)器(例如，圖4中的外設(shè)404之一)內(nèi)部并由面板處理器402執(zhí)行的固件實(shí)施，或者可以由保存在程序存儲(chǔ)裝置432內(nèi)部并由主處理器428執(zhí)行的固件來實(shí)施。該固件還可以存儲(chǔ)在和/或傳輸于那些由指令執(zhí)行系統(tǒng)、設(shè)備或裝置使用或與之結(jié)合使用的任何計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)內(nèi)，例如基于計(jì)算機(jī)的系統(tǒng)、含有處理器的系統(tǒng)、或是其他那些可以從指令執(zhí)行系統(tǒng)、設(shè)備或裝置提取指令并執(zhí)行指令的系統(tǒng)。在本文的語境中，“計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)”可以是任何能夠包含或存儲(chǔ)由指令執(zhí)行系統(tǒng)、設(shè)備或裝置使用或與之結(jié)合使用的程序的介質(zhì)。計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)可以包括但不局限于電子、磁性、光學(xué)、電磁、紅外或半導(dǎo)體系統(tǒng)、設(shè)備或裝置、便攜式計(jì)算機(jī)碟片(磁性)、隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(RAM)(磁性)、只讀存儲(chǔ)器(ROM)(磁性)、可擦可編程只讀存儲(chǔ)器(EPROM)(磁性)、便攜式光學(xué)碟片(例如，CD、CD-R、CD-RW、DVD、DVD-R或DVD-RW)、或快閃存儲(chǔ)器，例如緊湊型閃存卡、安全數(shù)字卡、USB存儲(chǔ)裝置、記憶棒等等。此外，固件還可以在供指令執(zhí)行系統(tǒng)、設(shè)備或裝置使用或與之結(jié)合使用的任何傳輸介質(zhì)內(nèi)部傳輸，例如基于計(jì)算機(jī)的系統(tǒng)、含有處理器的系統(tǒng)、或是其他那些可以從指令執(zhí)行系統(tǒng)、設(shè)備或裝置提取指令并執(zhí)行指令的其他系統(tǒng)。在本文的語境中，“傳輸介質(zhì)”可以是任何能夠傳遞、傳播或傳輸由指令執(zhí)行系統(tǒng)、設(shè)備或裝置使用的或與之結(jié)合使用的程序的介質(zhì)。傳輸可讀介質(zhì)可以包括但不局限于電子、磁性、光學(xué)、電磁或紅外有線或無線的傳播介質(zhì)。圖5A示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的例示移動(dòng)電話536，所述移動(dòng)電話可以包含觸摸傳感器面板524和顯示設(shè)備530，并且該觸摸傳感器面板包含在所述觸摸傳感器面板的邊界區(qū)域中形成的導(dǎo)電跡線。圖5B示出的是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的例示數(shù)字媒體播放器540，所述數(shù)字媒體播放器可以包含觸摸傳感器面板524和顯示設(shè)備530，并且該觸摸傳感器面板包含可靠性得到改進(jìn)的導(dǎo)電跡線。盡管參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了全面描述，但是應(yīng)當(dāng)指出，各種改變和修改對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言都是顯而易見的。此類改變和修改將視為包含在附權(quán)利要求書限定的本發(fā)明實(shí)施例的范圍以內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種觸摸傳感器面板，包括: 基板； 支撐在基板的第一側(cè)面上以創(chuàng)建一個(gè)或多個(gè)行的第一導(dǎo)電材料的第一層； 支撐在基板的第二側(cè)面上以創(chuàng)建一個(gè)或多個(gè)列的第一導(dǎo)電材料的第二層；以及支撐在基板的第一側(cè)面上并在觸摸傳感器面板的一個(gè)或多個(gè)邊界區(qū)域中的所述一個(gè)或多個(gè)行的一部分上形成以創(chuàng)建用于板外連接的一條或多條導(dǎo)電跡線的第二導(dǎo)電材料；其中，所述一個(gè)或多個(gè)行以及所述一個(gè)或多個(gè)列形成多個(gè)電容式感測(cè)節(jié)點(diǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器面板，還包括:設(shè)置在基板的第一側(cè)面和第二側(cè)面中至少之一上的鈍化層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器面板，其中，所述第二導(dǎo)電材料具有大于約0.4歐姆/方塊的電阻率。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器面板，其中，由鑰/鈮(Mo/Nb)形成疊層。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器面板，其中，由鑰/鈮(Mo/Nb)、鋁/釹(Al/Nd)和Mo/Nb形成疊層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器面板，其中，所述一條或多條導(dǎo)電跡線被配置成基本上占據(jù)所述邊界區(qū)域的整個(gè)寬度，其中至少一條跡線在所述跡線的長(zhǎng)度上具有可變寬度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器面板，其中，所述跡線以交錯(cuò)方式耦合到每隔一個(gè)的行，使得在所述邊界區(qū)域的整個(gè)長(zhǎng)度上存在至少一條跡線。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的觸摸傳感器面板，其中，處于行旁邊的所述邊界區(qū)域的任何特定部分中的一條或多條導(dǎo)電跡線都具有基本相同的寬度。
9.一種包括觸摸傳感器面板的移動(dòng)電話，所述觸摸傳感器面板包括: 基板； 支撐在基板的第一側(cè)面上以創(chuàng)建一個(gè)或多個(gè)行的第一導(dǎo)電材料的第一層； 支撐在基板的第二側(cè)面上以創(chuàng)建一個(gè)或多個(gè)列的第一導(dǎo)電材料的第二層；以及支撐在基板的第一側(cè)面上并在觸摸傳感器面板的一個(gè)或多個(gè)邊界區(qū)域中的所述一個(gè)或多個(gè)行的一部分上形成以創(chuàng)建用于板外連接的一條或多條導(dǎo)電跡線的第二導(dǎo)電材料；其中，所述一個(gè)或多個(gè)行以及所述一個(gè)或多個(gè)列形成多個(gè)電容式感測(cè)節(jié)點(diǎn)。
10.一種包括觸摸傳感器面板的數(shù)字媒體播放器，所述觸摸傳感器面板包括: 基板； 支撐在基板的第一側(cè)面上以創(chuàng)建一個(gè)或多個(gè)行的第一導(dǎo)電材料的第一層； 支撐在基板的第二側(cè)面上以創(chuàng)建一個(gè)或多個(gè)列的第一導(dǎo)電材料的第二層；以及支撐在基板的第一側(cè)面上并在觸摸傳感器面板的一個(gè)或多個(gè)邊界區(qū)域中的所述一個(gè)或多個(gè)行的一部分上形成 以創(chuàng)建用于板外連接的一條或多條導(dǎo)電跡線的第二導(dǎo)電材料；其中，所述一個(gè)或多個(gè)行以及所述一個(gè)或多個(gè)列形成多個(gè)電容式感測(cè)節(jié)點(diǎn)。
全文摘要
本發(fā)明涉及高電阻率金屬扇出端。公開了在觸摸傳感器面板(110)的邊界區(qū)域(106，108)中形成金屬跡線(102，104)，以提供改進(jìn)的可靠性、更好的噪聲抑制、以及更低的制造成本。金屬跡線(102，104)可以采用交錯(cuò)方式耦合到觸摸傳感器面板(110)上的行(100)，使得任何兩個(gè)連續(xù)的行都可以耦合到觸摸傳感器面板相對(duì)側(cè)面上的邊界區(qū)域中的金屬跡線。此外，在一些實(shí)施例中，通過使用邊界區(qū)域中可用的完整寬度，可以用更高電阻率的金屬來形成金屬跡線，這樣可以降低制造成本并改進(jìn)跡線可靠性。通過提供較大的固定電位表面區(qū)域，以及通過更有效地將驅(qū)動(dòng)線路耦合到固定電位，較寬的跡線還可以提供防御LCD之類的噪聲源的較好抗擾性。
文檔編號(hào)G06F3/044GK103076932SQ20121058191
公開日2013年5月1日 申請(qǐng)日期2009年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2008年6月6日
發(fā)明者M·P·格倫坦?fàn)? 黃麗麗 申請(qǐng)人:蘋果公司