專利名稱：塢接式測(cè)試系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于一種測(cè)試系統(tǒng)，尤其指一種適用于半導(dǎo)體組件、可輕易變換不同測(cè)試規(guī)格的塢接式測(cè)試系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
近幾年來(lái)，隨著微機(jī)電系統(tǒng)的日新月異，各種小型化、高性能且成本低廉的傳感器紛紛問(wèn)世，使得傳感器由關(guān)鍵組件進(jìn)一步提升成為產(chǎn)生創(chuàng)新價(jià)值的主要組件，例如:蘋果公司的iPhone、新世代iPod、任天堂的Wii所使用的三軸加速度傳感器,大部分采用微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)運(yùn)用在傳感器上，加速度傳感器的運(yùn)作原理為感應(yīng)出加速度方向的XYZ三軸成分，從而得出物體在三度空間中的運(yùn)動(dòng)向量?，F(xiàn)有微機(jī)電產(chǎn)品測(cè)試上，已由最初單點(diǎn)(single site)旋轉(zhuǎn)測(cè)試發(fā)展到多點(diǎn)(multi sites)旋轉(zhuǎn)測(cè)試。但測(cè)試完成后如需進(jìn)行其它如掃腳(lead scan)、卷帶包裝(tape& reel)等動(dòng)作，要通過(guò)相應(yīng)裝置來(lái)處理，耗費(fèi)時(shí)間與成本。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種塢接式測(cè)試系統(tǒng)，以改進(jìn)公知技術(shù)中存在的不足。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供的塢接式測(cè)試系統(tǒng)，包括:一第一機(jī)臺(tái)，包括有一第一本體以及設(shè)于該第一本體上的一轉(zhuǎn)塔以及圍繞該轉(zhuǎn)塔而設(shè)置的一進(jìn)料槽、一檢視裝置、一料盤及一移行機(jī)構(gòu)，該第一本體包括有一第一塢接面板，該轉(zhuǎn)塔包括呈角度相間隔排列的復(fù)數(shù)吸取頭，該移行機(jī)構(gòu)包括有一取放器，該進(jìn)料槽、該檢視裝置及該料盤分別對(duì)應(yīng)設(shè)置于該復(fù)數(shù)吸取頭下方；以及一第二機(jī)臺(tái)，包括有一第二本體以及設(shè)于該第二本體上的一測(cè)試裝置，該第二本體包括有一第二塢接面板，該第二塢接面板選擇式接合于該第一塢接面板，該測(cè)試裝置包括有一承載座；其中，該移行機(jī)構(gòu)的該取放器移行于一第一位置與一第二位置，當(dāng)該取放器位于該第一位置時(shí)對(duì)應(yīng)于該料盤，當(dāng)該取放器位于該第二位置時(shí)對(duì)應(yīng)于該承載座。所述的系統(tǒng)，其中，該第一塢接面板與該第二塢接面板由復(fù)數(shù)銷而定位，并通過(guò)復(fù)數(shù)螺鎖件相互固定。所述的系統(tǒng)，其中，該第二機(jī)臺(tái)包括一保護(hù)罩，罩蓋住該測(cè)試裝置。所述的系統(tǒng)，其中，該保護(hù)罩包括有一對(duì)平行延伸段搭接在該第一本體，由一側(cè)面視角觀察，該保護(hù)罩呈倒L形。所述的系統(tǒng)，其中，該檢視裝置為一電荷耦合組件。所述的系統(tǒng)，其中，包括另一第一機(jī)臺(tái)接合于該第二機(jī)臺(tái)。所述的系統(tǒng)，其中，該第一機(jī)臺(tái)包括另一移行機(jī)構(gòu)與該移行機(jī)構(gòu)相隔設(shè)置。所述的系統(tǒng)，其中，該第一機(jī)臺(tái)包括一卷帶式包裝機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)設(shè)置于該復(fù)數(shù)吸取頭下方。
所述的系統(tǒng)，其中，該第一機(jī)臺(tái)包括一橫移機(jī)構(gòu)與另一料盤，該二料盤皆設(shè)置于該橫移機(jī)構(gòu)，該橫移機(jī)構(gòu)移動(dòng)使該二料盤其中之一正對(duì)于該復(fù)數(shù)吸取頭下方。本發(fā)明提供的塢接式測(cè)試系統(tǒng)，能整合更多功能以達(dá)到工藝高效率的目的。本發(fā)明提供的塢接式測(cè)試系統(tǒng)，能因應(yīng)不同待測(cè)組件類型，快速且方便更換對(duì)應(yīng)的測(cè)試裝置，減少設(shè)備成本，或者快速轉(zhuǎn)換于不同組件數(shù)量的測(cè)試模式。
圖1是本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的塢接式測(cè)試系統(tǒng)塢接前示意圖。圖2是本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的塢接式測(cè)試系統(tǒng)塢接后示意圖。圖3是圖1的第一機(jī)臺(tái)局部放大圖。圖4是圖1的第二機(jī)臺(tái)局部放大圖。圖5是本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的塢接式測(cè)試系統(tǒng)的測(cè)試裝置示意圖。圖6是本發(fā)明第三較佳實(shí)施例的塢接式測(cè)試系統(tǒng)第一運(yùn)作狀態(tài)的示意圖。圖7是本發(fā)明第三較佳實(shí)施例的塢接式測(cè)試系統(tǒng)第二運(yùn)作狀態(tài)的示意圖。圖8是本發(fā)明第四較佳實(shí)施例的塢接式測(cè)試系統(tǒng)的平面示意圖。圖9是本發(fā)明第五較佳實(shí)施例的塢接式測(cè)試系統(tǒng)的第一機(jī)臺(tái)部分示意圖。附圖中主要組件符號(hào)說(shuō)明:第一機(jī)臺(tái)10、40、41、50、60 ；第一本體11，第一塢接面板111;轉(zhuǎn)塔12、62，吸取頭 121、621 ;進(jìn)料槽13 ；檢視裝置14 ；料盤15、43、44、52、53、63a、63b ；移行機(jī)構(gòu)16、401、411、501、502、601，取放器 161,661 ；震動(dòng)盤17 ；包裝裝置18 ；第二機(jī)臺(tái)20、42、51 ；第二本體21，第二塢接面板211 ;測(cè)試裝置22、421、511 ;承載座23;保護(hù)罩24，延伸段241 ；銷30 ；鎖附件31;公轉(zhuǎn)兼自轉(zhuǎn)平臺(tái)33;橫移機(jī)構(gòu)66 ；位置A、B、C。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的塢接式測(cè)試系統(tǒng)包括一第一機(jī)臺(tái)與一第二機(jī)臺(tái)。上述第一機(jī)臺(tái)包括有一第一本體以及設(shè)于第一本體上的一轉(zhuǎn)塔以及圍繞轉(zhuǎn)塔而設(shè)置的一進(jìn)料槽、一檢視裝置、一料盤及一移行機(jī)構(gòu)。上述第一本體包括有一第一塢接面板，轉(zhuǎn)塔包括呈角度相間隔排列的復(fù)數(shù)吸取頭，移行機(jī)構(gòu)包括有一取放器，進(jìn)料槽、檢視裝置及料盤系分別對(duì)應(yīng)設(shè)置于復(fù)數(shù)吸取頭下方。上述第二機(jī)臺(tái)包括有一第二本體以及設(shè)于第二本體上的一測(cè)試裝置。上述第二本體包括有一第二塢接面板，第二塢接面板選擇式接合于第一塢接面板，測(cè)試裝置包括有一承載座。上述移行機(jī)構(gòu)的取放器移行于一第一位置與一第二位置。當(dāng)取放器位于第一位置時(shí)是對(duì)應(yīng)于料盤，當(dāng)取放器位于第二位置時(shí)是對(duì)應(yīng)于承載座。由上述系統(tǒng)設(shè)計(jì)，不僅整合了入料、檢視、測(cè)試多項(xiàng)功能，而且在欲變換不同測(cè)試組件時(shí)，只要由將第一機(jī)臺(tái)自初始第二機(jī)臺(tái)從塢接狀態(tài)分離、再將具有對(duì)應(yīng)的測(cè)試裝置的第二機(jī)臺(tái)再塢接至第一機(jī)臺(tái)即可。上述第一塢接面板與第二塢接面板可由復(fù)數(shù)銷而定位，并通過(guò)復(fù)數(shù)螺鎖件相互固定。上述第二機(jī)臺(tái)可還包括一保護(hù)罩，罩蓋住測(cè)試裝置。此外，保護(hù)罩可包括有一對(duì)平行延伸段搭接在第一本體，由一側(cè)面視角觀察，保護(hù)罩呈倒L形。上述檢視裝置為一電荷耦合組件。本發(fā)明的測(cè)試系統(tǒng)可還包括另一第一機(jī)臺(tái)系接合于第二機(jī)臺(tái)，由復(fù)數(shù)第一機(jī)臺(tái)與第二機(jī)臺(tái)的配合運(yùn)作可以減少因等待入料導(dǎo)致時(shí)間浪費(fèi)的情形。第一機(jī)臺(tái)可還包括另一移行機(jī)構(gòu)，且二移行機(jī)構(gòu)相隔設(shè)置，可讓二移行機(jī)構(gòu)分別負(fù)責(zé)入料與收料的步驟。第一機(jī)臺(tái)可還包括一卷帶式包裝機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)設(shè)置于吸取頭下方。第一機(jī)臺(tái)可還包括一橫移機(jī)構(gòu)與另一料盤，二料盤皆設(shè)置于橫移機(jī)構(gòu)，橫移機(jī)構(gòu)移動(dòng)使二料盤其中之一正對(duì)于復(fù)數(shù)吸取頭下方。以下結(jié)構(gòu)附圖對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)描述。請(qǐng)參閱圖1至圖4，分別為第一實(shí)施例的塢接式測(cè)試系統(tǒng)塢接前、后示意圖以及二不同機(jī)臺(tái)的局部放大圖。圖中示出一塢接式測(cè)試系統(tǒng)，主要包括一第一機(jī)臺(tái)10與一第二機(jī)臺(tái)20。第一機(jī)臺(tái)10包括有一第一本體11、一轉(zhuǎn)塔12、一進(jìn)料槽13、一檢視裝置14、一料盤15及一移行機(jī)構(gòu)16，其中轉(zhuǎn)塔12、進(jìn)料槽13、檢視裝置14、料盤15及移行機(jī)構(gòu)16皆設(shè)于第一本體11上，且進(jìn)料槽13、檢視裝置14、料盤15及移行機(jī)構(gòu)16是圍繞轉(zhuǎn)塔12設(shè)置。轉(zhuǎn)塔12包括有呈角度相間隔排列的復(fù)數(shù)吸取頭121，轉(zhuǎn)塔12可進(jìn)行自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使每一吸取頭121產(chǎn)生角度位移；第二機(jī)臺(tái)20上則包括有一第二本體21與一測(cè)試裝置22，測(cè)試裝置22安裝在第二本體21上。特別地，上述第一機(jī)臺(tái)10包括有一第一塢接面板111，第二機(jī)臺(tái)20包括有一第二塢接面板211，第二塢接面板211用于選擇式與第一塢接面板111相接合。本例中，上述面板111、211呈四邊形，特別是矩形。本實(shí)施例中兩塢接面板111、211還通過(guò)復(fù)數(shù)銷30構(gòu)件來(lái)加強(qiáng)定位準(zhǔn)確度，以及通過(guò)復(fù)數(shù)鎖附件31如螺栓使兩機(jī)臺(tái)10、20的接合更為穩(wěn)固。第二機(jī)臺(tái)20還包括一保護(hù)罩24，用于罩蓋住測(cè)試裝置22。保護(hù)罩24于左右兩側(cè)各延伸出一延伸段241，可搭接在第一機(jī)臺(tái)10的本體11。由一側(cè)面視角觀察，保護(hù)罩24呈倒L形。
前述進(jìn)料槽13、檢視裝置14、料盤15是圍繞著轉(zhuǎn)塔12而設(shè)置，且皆對(duì)應(yīng)于轉(zhuǎn)塔12的吸取頭121。本例的進(jìn)料槽13 —端延伸至吸取頭121下方，另一端連接于一震動(dòng)盤17，震動(dòng)盤17受一震動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖未示)的力量而產(chǎn)生震動(dòng)。震動(dòng)盤17為一個(gè)中央突出的盤狀結(jié)構(gòu)，故待測(cè)組件從進(jìn)料區(qū)震動(dòng)掉落后，隨即落到震動(dòng)盤17的環(huán)周。震動(dòng)盤17由震動(dòng)機(jī)構(gòu)的震動(dòng)，使待測(cè)組件隨著環(huán)周側(cè)壁的螺旋導(dǎo)軌順勢(shì)上爬。期間會(huì)歷經(jīng)一光感測(cè)步驟，由此判斷待測(cè)組件的正反方位，此為公知技術(shù)，故不再贅述。一經(jīng)判斷待測(cè)組件處于正確的方位時(shí)，則將組件繼續(xù)往前送入進(jìn)料槽13中。在進(jìn)料槽13內(nèi)的待測(cè)組件順勢(shì)被推送，而吸取頭121在進(jìn)料槽13尾端吸取待測(cè)組件后，由轉(zhuǎn)塔12的轉(zhuǎn)動(dòng)而位移至外觀檢驗(yàn)區(qū)的平臺(tái)上，亦即前述的檢視裝置14。檢視裝置14承接待測(cè)組件的部位同樣位于吸取頭121下方，其主要利用攝影模塊如電荷耦合組件(CXD)來(lái)檢驗(yàn)待測(cè)組件外觀上的正確性，例如外表印刷文字是否正確或有無(wú)瑕疵。一旦判斷為錯(cuò)誤或瑕疵，吸取頭121可將待測(cè)組件送至一回收區(qū)。經(jīng)檢視裝置14檢驗(yàn)無(wú)誤的待測(cè)組件便再被吸取頭121移送至一料盤15。移行機(jī)構(gòu)16具有一取放器161用以取放、載送待測(cè)組件于第一機(jī)臺(tái)10與第二機(jī)臺(tái)20之間，亦即取放器161可進(jìn)行空間上的移動(dòng)。詳細(xì)而言，取放器161可移動(dòng)至位于吸取頭121下方的料盤15處以拿取料盤15，其中料盤15是負(fù)責(zé)儲(chǔ)存多個(gè)從吸取頭121放下的待測(cè)組件，此時(shí)稱取放器161位于第一位置；之后，取放器161可再將料盤15連同其上的待測(cè)組件一起運(yùn)送至第二機(jī)臺(tái)20上的測(cè)試裝置22的承載座23以進(jìn)行組件測(cè)試，此時(shí)稱取放器161位于第二位置。本實(shí)施例中，第二機(jī)臺(tái)20上的測(cè)試裝置22是特別用于測(cè)試重力傳感器，可進(jìn)行待測(cè)組件相對(duì)于X軸方向呈前后轉(zhuǎn)動(dòng)的傾斜角度測(cè)試、以及相對(duì)于Y軸方向呈左右轉(zhuǎn)動(dòng)的傾斜角度測(cè)試。此外，本實(shí)施例還示范了在第一機(jī)臺(tái)10上可還包括一包裝裝置18:如卷帶式(tape and reel)包裝機(jī)構(gòu)，以方便進(jìn)行測(cè)試完組件的后續(xù)包裝步驟。請(qǐng)參閱圖5，為第二實(shí)施例的測(cè)試系統(tǒng)的測(cè)試裝置示意圖。本發(fā)明的一特色在于在沿用第一機(jī)臺(tái)的情形下，任意變換第二機(jī)臺(tái)上測(cè)試裝置的類型，如圖中顯示另一測(cè)試裝置的態(tài)樣，其測(cè)試裝置具有一公轉(zhuǎn)兼自轉(zhuǎn)平臺(tái)33。請(qǐng)參閱圖6與圖7，為第三實(shí)施例的塢接式測(cè)試系統(tǒng)不同運(yùn)作狀態(tài)下示意圖。本實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)主要包括兩組第一機(jī)臺(tái)40、41以及一第二機(jī)臺(tái)42，且每一組第一機(jī)臺(tái)40、41及其上設(shè)置的進(jìn)料槽、檢視裝置及移行機(jī)構(gòu)等細(xì)節(jié)都與第一例相同，故在此不另行贅述。第二機(jī)臺(tái)42以不同側(cè)同時(shí)與兩組第一機(jī)臺(tái)40、41塢接。圖中左側(cè)第一機(jī)臺(tái)40的移行機(jī)構(gòu)與右側(cè)第一機(jī)臺(tái)41的移行機(jī)構(gòu)401、411同樣都能進(jìn)行移動(dòng)而使各自的取放器位移于第一機(jī)臺(tái)40、41與第二機(jī)臺(tái)42之間。以下將說(shuō)明本例的運(yùn)作。首先當(dāng)圖中左側(cè)第一機(jī)臺(tái)40已進(jìn)行到將料盤43通過(guò)移行機(jī)構(gòu)40移送到第二機(jī)臺(tái)42上的測(cè)試裝置421進(jìn)行測(cè)試時(shí)，圖中右側(cè)第一機(jī)臺(tái)41便開始進(jìn)行料盤44入料的作業(yè)，如圖7所示。直到料盤43上組件已測(cè)試完畢并由左側(cè)的移行機(jī)構(gòu)401取回，右側(cè)的移行機(jī)構(gòu)411恰可將盛滿待測(cè)組件的另一料盤44運(yùn)送至測(cè)試裝置421以進(jìn)行測(cè)試，如圖8所示。如此可避免單一第一機(jī)臺(tái)場(chǎng)合中等待再入料的時(shí)間。因此本實(shí)施例更具有加速整體測(cè)試作業(yè)的功效，尤其針對(duì)大量組件測(cè)試的場(chǎng)合中，更見其優(yōu)勢(shì)。請(qǐng)參閱圖8，第四實(shí)施例的塢接式測(cè)試系統(tǒng)示意圖。本實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)大致與第一例相似，唯其差異處在于第一機(jī)臺(tái)上50是設(shè)置兩組移行機(jī)構(gòu)501、502，一組用于將料盤從第一機(jī)臺(tái)50移送到第二機(jī)臺(tái)51，另一組則相反運(yùn)作。因此，當(dāng)承載第一批待測(cè)組件的料盤52在測(cè)試裝置511進(jìn)行測(cè)試期間，另一料盤53持續(xù)收集待測(cè)組件。一旦第一批待測(cè)組件測(cè)試完畢并由第一移行機(jī)構(gòu)501取走，第二移行機(jī)構(gòu)502便可接續(xù)將已載滿待測(cè)組件的另一料盤53再運(yùn)送到測(cè)試裝置511進(jìn)行測(cè)試。如此反復(fù)動(dòng)作，同樣具有加速整體測(cè)試作業(yè)的功效。請(qǐng)參閱圖9，為第五實(shí)施例的塢接式測(cè)試系統(tǒng)第一機(jī)臺(tái)的部分示意圖。本實(shí)施例的自動(dòng)化系統(tǒng)大致與第一實(shí)施例相似，其差異處在于本實(shí)施例中第一機(jī)臺(tái)60具有兩組料盤63a、63b，皆設(shè)置在橫移機(jī)構(gòu)66上，圖中所示的料盤63a位于位置A接收待測(cè)組件，空的料盤63b則位于位置B等待。當(dāng)料盤63a盛滿從吸取頭621放下的待測(cè)組件時(shí)，由一移行機(jī)構(gòu)601的取放器661取走料盤63a以進(jìn)行測(cè)試，然后橫移機(jī)構(gòu)66會(huì)將料盤63b從位置B移動(dòng)至位置A，使料盤63b自吸取頭621接收待測(cè)組件。一旦料盤63b盛滿待測(cè)組件，再由橫移機(jī)構(gòu)66將其移動(dòng)回到位置B處。當(dāng)料盤63a測(cè)試完畢而回到位置A，再次啟動(dòng)橫移機(jī)構(gòu)66使料盤63a往圖中位置C移動(dòng)，而料盤63b則前進(jìn)至位置A進(jìn)而由第一移行機(jī)構(gòu)601的取放器661取走，以進(jìn)行測(cè)試。一旦料盤63b被取走，橫移機(jī)構(gòu)66再度移動(dòng)使料盤63a回至位置A處，并通過(guò)轉(zhuǎn)塔62將測(cè)試完成的待測(cè)組件送入卷帶式包裝機(jī)構(gòu)(請(qǐng)結(jié)合圖3)，以方便進(jìn)行測(cè)試完組件的后續(xù)包裝步驟。如此反復(fù)動(dòng)作可避免單一第一機(jī)臺(tái)場(chǎng)合中等待再入料的時(shí)間，同樣具有加速整體測(cè)試作業(yè)的功效、快速地更換不同的測(cè)試裝置，使整體系統(tǒng)的使用更具彈性。上述實(shí)施例僅為了方便說(shuō)明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權(quán)利范圍自應(yīng)以申請(qǐng)的權(quán)利要求范圍所述為準(zhǔn)，而非僅限于上述實(shí)施例。
權(quán)利要求
1.一種塢接式測(cè)試系統(tǒng)，包括: 一第一機(jī)臺(tái)，包括有一第一本體以及設(shè)于該第一本體上的一轉(zhuǎn)塔以及圍繞該轉(zhuǎn)塔而設(shè)置的一進(jìn)料槽、一檢視裝置、一料盤及一移行機(jī)構(gòu)，該第一本體包括有一第一瑪接面板，該轉(zhuǎn)塔包括呈角度相間隔排列的復(fù)數(shù)吸取頭，該移行機(jī)構(gòu)包括有一取放器，該進(jìn)料槽、該檢視裝置及該料盤分別對(duì)應(yīng)設(shè)置于該復(fù)數(shù)吸取頭下方；以及 一第二機(jī)臺(tái)，包括有一第二本體以及設(shè)于該第二本體上的一測(cè)試裝置，該第二本體包括有一第二塢接面板，該第二塢接面板選擇式接合于該第一塢接面板，該測(cè)試裝置包括有一承載座； 其中，該移行機(jī)構(gòu)的該取放器移行于一第一位置與一第二位置，當(dāng)該取放器位于該第一位置時(shí)對(duì)應(yīng)于該料盤，當(dāng)該取放器位于該第二位置時(shí)對(duì)應(yīng)于該承載座。
2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該第一塢接面板與該第二塢接面板由復(fù)數(shù)銷而定位，并通過(guò)復(fù)數(shù)螺鎖件相互固定。
3.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該第二機(jī)臺(tái)包括一保護(hù)罩，罩蓋住該測(cè)試裝置。
4.如權(quán)利要求3所述的系統(tǒng)，其中，該保護(hù)罩包括有一對(duì)平行延伸段搭接在該第一本體，由一側(cè)面視角觀察，該保護(hù)罩呈倒L形。
5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該檢視裝置為一電荷耦合組件。
6.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，包括另一第一機(jī)臺(tái)接合于該第二機(jī)臺(tái)。
7.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該第一機(jī)臺(tái)包括另一移行機(jī)構(gòu)與該移行機(jī)構(gòu)相隔設(shè)置。
8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該第一機(jī)臺(tái)包括一卷帶式包裝機(jī)構(gòu)對(duì)應(yīng)設(shè)置于該復(fù)數(shù)吸取頭下方。
9.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中，該第一機(jī)臺(tái)包括一橫移機(jī)構(gòu)與另一料盤，該二料盤皆設(shè)置于該橫移機(jī)構(gòu)，該橫移機(jī)構(gòu)移動(dòng)使該二料盤其中之一正對(duì)于該復(fù)數(shù)吸取頭下方。
全文摘要
本發(fā)明是有關(guān)于一種塢接式測(cè)試系統(tǒng)，包括一第一機(jī)臺(tái)與一第二機(jī)臺(tái)。第一機(jī)臺(tái)包括有一第一本體以及設(shè)于第一本體上的一轉(zhuǎn)塔以及圍繞轉(zhuǎn)塔而設(shè)置的一進(jìn)料槽、一檢視裝置、一料盤及一移行機(jī)構(gòu)，其中進(jìn)料槽、檢視裝置及料盤分別對(duì)應(yīng)設(shè)置于轉(zhuǎn)塔的吸取頭下方。第二機(jī)臺(tái)包括有一第二本體以及設(shè)于第二本體上的一測(cè)試裝置，第二本體包括有一第二塢接面板，第二塢接面板選擇式接合于第一塢接面板，測(cè)試裝置包括有一承載座。移行機(jī)構(gòu)可將料盤移載于第一機(jī)臺(tái)與一第二機(jī)臺(tái)之間。由此，可方便、快速地更換不同的測(cè)試裝置，使整體系統(tǒng)的使用更具彈性。
文檔編號(hào)G01N21/89GK103196924SQ201210004319
公開日2013年7月10日 申請(qǐng)日期2012年1月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月9日
發(fā)明者劉光祥, 賴啟祥 申請(qǐng)人:京元電子股份有限公司