一種高真空機(jī)組的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于抽真空技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高真空機(jī)組。
【背景技術(shù)】
[0002]在國內(nèi)外稀有金屬應(yīng)用廣泛的條件下，對稀有金屬加工設(shè)備中的真空系統(tǒng)性能需求日益增高，國內(nèi)普遍的抽真空高真空機(jī)組，價格昂貴，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，對作業(yè)場地要求10平方米左右，造價高達(dá)20萬元左右；而且，現(xiàn)有的高真空機(jī)組真空度很難達(dá)到要求10_5pa，預(yù)抽真空時間長，不能很好地滿足使用需求；另外現(xiàn)有技術(shù)中的高真空機(jī)組還存在著噪音大、設(shè)備體型龐大、一般機(jī)組處于固定方式、移動不方便等缺陷和不足。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種高真空機(jī)組，其結(jié)構(gòu)緊湊，使用時占地面積小，預(yù)抽真空時間短，工作可靠性高，工作噪音小，整體移動方便，使用操作便捷，實用性強(qiáng)，使用效果好，便于推廣使用。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種高真空機(jī)組，其特征在于:包括機(jī)架以及固定連接在機(jī)架頂部的旋片泵和擴(kuò)散泵，所述機(jī)架的底部設(shè)置有行走輪，靠近旋片泵進(jìn)氣口的位置處設(shè)置有電磁擋板閥，所述擴(kuò)散泵的進(jìn)氣口上連接有冷阱，所述冷阱上方設(shè)置有第一手動擋板閥，所述第一手動擋板閥的旁側(cè)設(shè)置有第二手動擋板閥，靠近所述擴(kuò)散泵的出氣口的位置處設(shè)置有手動蝶閥；所述旋片泵的進(jìn)氣口與電磁擋板閥的一端連接，所述電磁擋板閥的另一端通過第一波紋管連接有三通管，所述三通管未與第一波紋管連接的兩個端口中的其中一個端口通過第二波紋管與第二手動擋板閥的一端連接，所述第二手動擋板閥的另一端與第一手動擋板閥的一端相接，所述第一手動擋板閥上設(shè)置有抽真空端口，所述抽真空端口上連接有快插接頭，所述第一手動擋板閥的另一端與冷阱連接，所述三通管未與第一波紋管連接的兩個端口中的另一個端口與手動蝶閥的一端連接，所述手動蝶閥的另一端與擴(kuò)散泵的出氣口連接。
[0005]上述的一種高真空機(jī)組，其特征在于:包括真空計，所述冷阱上連接有用于對所述高真空機(jī)組抽真空的真空度進(jìn)行檢測的電阻規(guī)和電離規(guī)，所述電阻規(guī)和電離規(guī)均與真空計連接。
[0006]上述的一種高真空機(jī)組，其特征在于:包括水冷系統(tǒng)，所述水冷系統(tǒng)包括固定連接在機(jī)架頂部且位于旋片泵旁側(cè)的循環(huán)水冷卻裝置，以及與外部水箱相連的進(jìn)水管和回水管，所述進(jìn)水管的出水口與循環(huán)水冷卻裝置的冷卻水入口相連，所述循環(huán)水冷卻裝置的冷卻水出口通過第一輸水管與旋片泵的冷卻水入口相連，所述旋片泵的冷卻水出口通過第二輸水管與擴(kuò)散泵的冷卻水入口相連，所述擴(kuò)散泵的冷卻水出口通過第三輸水管與冷阱的冷卻水入口相連，所述冷阱的冷卻水出口與回水管的進(jìn)水口相連。
[0007]上述的一種高真空機(jī)組，其特征在于:所述旋片泵和擴(kuò)散泵均通過螺栓固定連接在機(jī)架頂部。
[0008]上述的一種高真空機(jī)組，其特征在于:所述冷阱通過法蘭與擴(kuò)散泵的進(jìn)氣口連接。
[0009]上述的一種高真空機(jī)組，其特征在于:所述擴(kuò)散泵的額定功率為3kW。
[0010]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0011]1、本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊，使用時占地面積小，設(shè)計新穎合理，實現(xiàn)方便。
[0012]2、本實用新型的預(yù)抽真空時間短，能夠使待抽真空的腔體內(nèi)部真空度達(dá)到l(T5pa，能夠很好地滿足使用需求。
[0013]3、本實用新型通過設(shè)置冷阱，能夠有效地防止擴(kuò)散泵污染到待抽真空的腔體，有效地提高了擴(kuò)散泵的工作可靠性。
[0014]4、本實用新型通過設(shè)置第一波紋管和第二波紋管，能夠緩沖旋片泵運(yùn)轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的振動，有效地減小了本實用新型工作時由于旋片泵振動產(chǎn)生的噪音。
[0015]5、本實用新型通過在所述第一手動擋板閥的抽真空端口上連接快插接頭，能夠方便地通過快插接頭連接伸入待抽真空的腔體內(nèi)部的抽真空管。
[0016]6、本實用新型在機(jī)架的底部設(shè)置有行走輪，因此本實用新型的高真空機(jī)組能夠方便地移動。
[0017]7、本實用新型能夠應(yīng)用到稀有金屬加工過程中，實用性強(qiáng)，使用效果好，便于推廣使用。
[0018]綜上所述，本實用新型結(jié)構(gòu)緊湊，使用時占地面積小，預(yù)抽真空時間短，工作可靠性高，工作噪音小，整體移動方便，使用操作便捷，實用性強(qiáng)，使用效果好，便于推廣使用。
[0019]下面通過附圖和實施例，對本實用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
【附圖說明】
[0020]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]附圖標(biāo)記說明:
[0022]I一機(jī)架；2—旋片泵；3—擴(kuò)散泵；
[0023]4一行走輪；5—電磁擋板閥；6—冷阱；
[0024]7一第一手動擋板閥；8一第二手動擋板閥；9一手動蝶閥；
[0025]10—第一波紋管；11 一三通管；12—第二波紋管；
[0026]13—快插接頭；14一循環(huán)水冷卻裝置；15—進(jìn)水管；
[0027]16—回水管；17—第一輸水管；18—第二輸水管；
[0028]19—第三輸水管。
【具體實施方式】
[0029]如圖1所示，本實用新型包括機(jī)架I以及固定連接在機(jī)架I頂部的旋片泵2和擴(kuò)散泵3，所述機(jī)架I的底部設(shè)置有行走輪4，靠近旋片泵2進(jìn)氣口的位置處設(shè)置有電磁擋板閥5，所述擴(kuò)散泵3的進(jìn)氣口上連接有冷阱6，所述冷阱6上方設(shè)置有第一手動擋板閥7，所述第一手動擋板閥7的旁側(cè)設(shè)置有第二手動擋板閥8，靠近所述擴(kuò)散泵3的出氣口的位置處設(shè)置有手動蝶閥9 ;所述旋片泵2的進(jìn)氣口與電磁擋板閥5的一端連接，所述電磁擋板閥5的另一端通過第一波紋管10連接有三通管11，所述三通管11未與第一波紋管10連接的兩個端口中的其中一個端口通過第二波紋管12與第二手動擋板閥8的一端連接，所述第二手動擋板閥8的另一端與第一手動擋板閥7的一端相接，所述第一手動擋板閥7上設(shè)置有抽真空端口，所述抽真空端口上連接有快插接頭13，所述第一手動擋板閥7的另一端與冷阱6連接，所述三通管11未與第一波紋管10連接的兩個端口中的另一個端口與手動蝶閥9的一端連接，所述手動蝶閥9的另一端與擴(kuò)散泵3的出氣口連接。
[0030]本實施例中，本實用新型還包括真空計，所述冷阱6上連接有用于對所述高真空機(jī)組抽真空的真空度