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具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片的制作方法

文檔序號:11039821閱讀:974來源:國知局
具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片的制造方法與工藝

本實用新型屬于MEMS芯片領(lǐng)域,具體是涉及具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片。



背景技術(shù):

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)芯片,特別是MEMS慣性傳感器芯片,其感測方向與MEMS結(jié)構(gòu)有對應(yīng)關(guān)系,例如X軸MEMS測量單元只能感測X軸方向的慣性信號,Y軸和Z軸與此同理;在消費級MEMS慣性傳感器中,X、Y、Z三個軸的測量單元被集成在同一個MEMS芯片上以減小芯片尺寸;但在高性能工業(yè)級的MEMS慣性傳感器中,為保證產(chǎn)品的性能,通常是一個MEMS芯片上制作一個軸的測量單元,只能感測一個方向的信號,要測量X、Y、Z三個軸方向的信號,需要三個MEMS芯片,通過封裝的方法將三個MEMS芯片封裝在一起,成為一個產(chǎn)品;其實施方式通常有二種:一種是三個MEMS芯片都水平安裝,但其中至少有一個芯片感應(yīng)方向與其余二個芯片不同,例如二個感測方向完全相同的MEMS芯片對準X、Y軸安裝,Z軸MEMS芯片的感測軸與X、Y軸垂直,這需要兩種不同的MEMS芯片,它們的MEMS結(jié)構(gòu)不同,這就需要設(shè)計兩種芯片,甚至芯片加工工藝不同,該兩種芯片的性能也不同,為了將不同性能的MEMS芯片調(diào)試到基本的性能,測試流程復(fù)雜,測試成本也高;另一種實施方式是將三個完全相同的MEMS芯片分別對準X、Y、Z三個軸的方向安裝,達到感測三個方向信號的目的,這就至少需要一個MEMS芯片垂直于水平面安裝,需要在其上制作垂直壓焊塊,以便將信號引出。

各種制作垂直于芯片表面的側(cè)面壓焊塊的方法,其基本流程都相近,即在兩個芯片中間位置蝕刻出通孔或溝槽,生長或淀積絕緣層,在絕緣層上淀積金屬層,形成覆蓋通孔或溝槽側(cè)壁的金屬層圖形,切割通孔或溝槽,制作完成帶有側(cè)壁壓焊塊的芯片?,F(xiàn)有技術(shù)中,制作垂直壓焊塊都是在主芯片的主要制作流程完成后,在封裝階段進行,或單獨制作只起到連接電信號的載板,這些方法都需要額外的制作流程以形成垂直壓焊塊,工藝復(fù)雜,成本高。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,提供一種具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片,該MEMS芯片在底板溝槽的絕緣層上淀積金屬層作為垂直壓焊塊,結(jié)構(gòu)簡單,后續(xù)封裝容易。

為解決上述技術(shù)問題,本實用新型提供了一種具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片,由蓋板、MEMS結(jié)構(gòu)層和底板組成,蓋板下表面至少有一個上凹腔,底板上表面至少有一個下凹腔,上凹腔和下凹腔共同形成密封腔;MEMS結(jié)構(gòu)層由MEMS引線區(qū)、MEMS結(jié)構(gòu)和MEMS密封區(qū)組成,MEMS結(jié)構(gòu)位于密封腔中,并可在密封腔中自由活動;蓋板通過玻璃漿料層與MEMS結(jié)構(gòu)層鍵合,底板與MEMS結(jié)構(gòu)層間有絕緣層隔離,底板上表面還具有鍵合柱和底板溝槽,鍵合柱和底板溝槽的表面及側(cè)面也具有絕緣層,MEMS結(jié)構(gòu)的錨點固定在鍵合柱上,MEMS結(jié)構(gòu)的電信號通過MEMS引線區(qū)引出密封腔;金屬層覆蓋在MEMS引線區(qū)的上表面和端面上,以及底板溝槽的絕緣層上,位于MEMS引線區(qū)的金屬層作為水平壓焊塊,位于底板溝槽的絕緣層上的金屬層則成為垂直壓焊塊。

后續(xù)封裝時,將具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片的底板固定在封裝管殼底板上,MEMS結(jié)構(gòu)層表面與管殼底板平行,在MEMS芯片的水平壓焊塊與管殼焊盤焊接金屬線,將MEMS芯片的信號引出到管殼;相似地,將另一MEMS芯片的底板切割面固定在管殼底板上,MEMS結(jié)構(gòu)層表面與管殼底板垂直,在MEMS芯片的垂直壓焊塊與管殼焊盤焊接金屬線,將MEMS芯片的信號引出到管殼;這樣,封裝后的多軸MEMS器件就可以感測水平和垂直方向的信號。本實用新型的具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片集垂直壓焊塊和水平壓焊塊于一體,封裝時不需要將多個MEMS芯片垂直布置,也能感測水平和豎直方向的信號,降低封裝難度,縮小封裝體積。

本實用新型的一個實施例中,底板溝槽頂部具有倒角,金屬層還淀積在倒角斜面的絕緣層上,且有利于在淀積金屬層時金屬層均勻覆蓋倒角斜面以及底板溝槽側(cè)面。

優(yōu)選地,上凹腔內(nèi)還制作有檔桿,可以阻止MEMS結(jié)構(gòu)在垂直方向大幅運動。

優(yōu)選地,上凹腔內(nèi)還有吸氣劑,用于保持MEMS芯片密封腔的真空度。

附圖說明

圖1—圖7是實施例一的具有垂直壓焊塊的圓片級封裝的MEMS圓片的制作流程圖。

圖8是實施例一的半切割的MEMS圓片的示意圖。

圖9是實施例一的具有垂直壓焊塊的圓片級封裝的MEMS芯片的示意圖。

圖10是實施例一的具有垂直壓焊塊的圓片級封裝的MEMS芯片引線區(qū)的俯視圖。

圖11是多軸MEMS器件中MEMS芯片的封裝示意圖。

圖12是實施例二的具有垂直壓焊塊的圓片級封裝的MEMS芯片金屬層的剖面放大圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

實施例一

具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片7,如圖9所示,由蓋板52、MEMS結(jié)構(gòu)層21和底板53組成,蓋板52下表面有一個上凹腔43,底板53上表面有兩個下凹腔13,上凹腔43和下凹腔13共同形成密封腔51;MEMS結(jié)構(gòu)層21由MEMS密封區(qū)21a、MEMS結(jié)構(gòu)21b、MEMS引線密封區(qū)21c和MEMS引線區(qū)21d組成,MEMS結(jié)構(gòu)21b位于密封腔51中,并可在密封腔51中自由活動;蓋板52的密封環(huán)42上印刷有玻璃漿料層45,蓋板52通過玻璃漿料層45與MEMS結(jié)構(gòu)層21的MEMS密封區(qū)21a和MEMS引線密封區(qū)21c鍵合,底板53與MEMS結(jié)構(gòu)層21間有絕緣層16隔離,底板53上表面還具有鍵合柱14和底板溝槽11,鍵合柱14位于兩個下凹腔13之間,鍵合柱14和底板溝槽11的表面及側(cè)面也具有絕緣層16,MEMS結(jié)構(gòu)的錨點21b′固定在鍵合柱14上,MEMS結(jié)構(gòu)21b的電信號通過MEMS引線區(qū)21d引出密封腔51;金屬層34覆蓋在MEMS引線區(qū)21d的上表面和端面上,以及底板溝槽11的絕緣層16上,位于MEMS引線區(qū)21d的金屬層34作為水平壓焊塊,位于底板溝槽11側(cè)面11b上的金屬層34則成為垂直壓焊塊。

圖10是圖9中具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片7的MEMS引線區(qū)21d的俯視圖,不顯示蓋板52,金屬層34覆蓋了部分MEMS引線區(qū)21d和部分MEMS引線區(qū)側(cè)面21d′,MEMS引線區(qū)21d位于底板引線區(qū)12上方,MEMS引線密封區(qū)21c位于位于底板密封區(qū)15上方,兩者是相連;各個MEMS引線密封區(qū)21c之間有MEMS引線密封島21e,用于形成比較均勻的空隙61和MEMS引線密封區(qū)21c、MEMS引線密封島21e,便于在氣密性圓片鍵合時,玻璃漿料層45可以充分的填充空隙61中,以及覆蓋在MEMS引線密封區(qū)21c、MEMS引線密封島21e上,形成牢固的密封腔51;MEMS引線區(qū)21d、MEMS引線密封區(qū)21c和MEMS引線密封島21e與底板密封區(qū)15和底板引線區(qū)12間有絕緣層16電隔離。

本實施例的具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片的制作方法,包括以下步驟:

(1)底板圓片1制作:以雙面拋光的單晶Si圓片10作為底板材料,通過涂光刻膠、對準、曝光、顯影等光刻工藝步驟后(以下簡稱光刻),在雙面拋光的單晶Si圓片10上形成光刻膠圖形,以此光刻膠圖形為深Si反應(yīng)離子蝕刻(DRIE)的掩模,在含氟(F)的反應(yīng)氣氛中蝕刻Si,反應(yīng)所用氣體通常為SF6和C4F8,其中SF6是各向同性蝕刻氣體,C4F8是產(chǎn)生聚合物的氣體,在反應(yīng)離子蝕刻設(shè)備中交替SF6和C4F8,在雙面拋光的單晶Si圓片10上蝕刻出50~200μm深的圖形,除去光刻膠、清洗,形成底板溝槽11、底板引線區(qū)12、下凹腔13、鍵合柱14和底板密封區(qū)15,然后在整個雙面拋光的單晶Si圓片10的表面生長絕緣層16,通常為SiO2層,也可以是SiO2與Si3N4的復(fù)合層,制作完成如圖1所示的底板圓片1。

(2)鍵合圓片2制作:以重摻雜的雙面拋光的單晶Si圓片20作為MEMS結(jié)構(gòu)層材料,將重摻雜的雙面拋光的單晶Si圓片20與步驟(1)制作的底板圓片1進行Si-SiO2鍵合,鍵合后重摻雜的雙面拋光的單晶Si圓片20與底板圓片1的鍵合柱14、底板密封區(qū)15和底板引線區(qū)12通過絕緣層16鍵合在一起,如圖2所示,此時重摻雜的雙面拋光的單晶Si圓片20的厚度為300~800μm,作為MEMS結(jié)構(gòu)層太厚,需要將其研磨到MEMS結(jié)構(gòu)層所需厚度,通常在10~100μm,拋光,形成MEMS結(jié)構(gòu)層21,完成鍵合圓片2的制作。

(3)MEMS結(jié)構(gòu)圓片3制作:在步驟(2)制作的鍵合圓片2的MEMS結(jié)構(gòu)層21的表面上光刻形成光刻膠圖形,以此光刻膠圖形為深Si反應(yīng)離子蝕刻(DRIE)的掩模,在含氟(F)的反應(yīng)氣氛中蝕刻Si,將MEMS結(jié)構(gòu)層分割為MEMS密封區(qū)21a、MEMS引線區(qū)21d、MEMS引線密封區(qū)21c、MEMS結(jié)構(gòu)21b,MEMS結(jié)構(gòu)21b的錨點21b′固定在鍵合柱14上,覆蓋在底板溝槽11上的MEMS結(jié)構(gòu)層21被蝕刻掉,如圖3所示,MEMS引線區(qū)21d的端面21d′與底板溝槽11側(cè)面11b水平方向的間距D為0~10μm,除去光刻膠、清洗,完成MEMS結(jié)構(gòu)圓片3的制作。

(4)具有金屬層34的MEMS結(jié)構(gòu)圓片3′的制作:本實用新型采用掩模屏蔽的方法淀積金屬層,所以需要先制作一個具有凹腔31和窗口32的掩模圓片30,即在一個Si圓片上首先通過光刻和干法Si反應(yīng)離子蝕刻工藝步驟,制作凹腔31,其深度在2~50μm,用于在掩模圓片30貼合MEMS結(jié)構(gòu)圓片3時保護MEMS結(jié)構(gòu)21b;然后再對Si圓片進行光刻和深Si反應(yīng)離子蝕刻,將Si圓片蝕刻穿,形成窗口32,形成掩模圓片30,將其對準貼合在步驟(3)制作的MEMS結(jié)構(gòu)圓片3上,MEMS結(jié)構(gòu)圓片3的底板溝槽11位于掩模圓片30的窗口32內(nèi),如圖4所示,通過濺射或蒸發(fā)工藝步驟,金屬粒子33透過窗口32淀積在MEMS結(jié)構(gòu)圓片3的對應(yīng)位置,形成金屬層34,移掉掩模圓片30,完成金屬層34的淀積;金屬層34的材料通常為Al、Au、Pt、Ni或Cu等,厚度一般為0.3~2μm,覆蓋在MEMS引線區(qū)21d、MEMS引線區(qū)端面21d′、以及底板溝槽11的底面11a和側(cè)面11b的絕緣層16上,金屬層34與MEMS引線區(qū)21d和MEMS引線區(qū)端面21d′形成電連接,但與底板圓片1無電連接,完成具有金屬層34的MEMS結(jié)構(gòu)圓片3′的制作,如圖5所示。

(5)蓋板圓片4制作:以雙面拋光的單晶Si圓片40作為蓋板材料,對雙面拋光的單晶Si圓片40光刻和蝕刻加工,形成上凹腔43、引線側(cè)上凹腔41、密封側(cè)上凹腔44、和密封環(huán)42,上凹腔43的深度在10~100μm,然后在密封環(huán)42上通過絲網(wǎng)印刷工藝印刷低溫玻璃漿料,預(yù)燒結(jié),形成玻璃漿料層45,完成蓋板圓片4的制作,如圖6所示。根據(jù)需要,可以在上凹腔43內(nèi)制作阻止MEMS結(jié)構(gòu)21c在垂直方向大幅運動的檔桿(Stopper);根據(jù)MEMS芯片的產(chǎn)品類型,還可以在上凹腔43內(nèi)制作吸氣劑,用于保持圓片加工完成后的芯片密封腔的真空度。引線側(cè)上凹腔41和密封側(cè)上凹腔44的作用在于在后續(xù)圓片半切割工藝步驟中保證切割刀切割掉蓋板部分,而不會切割到MEMS結(jié)構(gòu)層21和底板10。

(6)具有垂直的圓片級封裝的MEMS圓片形成:將步驟(5)制作的蓋板圓片4對準步驟(4)制作的具有金屬層34的MEMS結(jié)構(gòu)圓片3′,放入鍵合機的鍵合腔中,先抽真空,除去鍵合腔內(nèi)的空氣和吸附在鍵合腔壁的水汽等,然后根據(jù)MEMS芯片產(chǎn)品類型的需要,或在真空中,或在設(shè)定氣壓的保護性氣體,如氮氣、惰性氣體等中,對兩個圓片施加機械壓力,加熱到400~500℃,實施低溫玻璃鍵合,形成具有垂直壓焊塊的圓片級封裝的MEMS圓片5,如圖7所示。上凹腔43、下凹腔13、壓合后的玻璃漿料層45、MEMS密封區(qū)21a和MEMS引線密封區(qū)21c、底板密封區(qū)15、絕緣層16圍成一個密封腔51,MEMS結(jié)構(gòu)21b可以在密封腔51內(nèi)自由活動;金屬層34位于由引線側(cè)上凹腔41、玻璃漿料層45、MEMS引線密封區(qū)21c、底板溝槽11、絕緣層16圍成的引線密封腔51a內(nèi),底板溝槽側(cè)面11b與MEMS結(jié)構(gòu)層表面垂直。

(7)具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片形成:用砂輪切割機切割步驟(6)形成的具有垂直壓焊塊的圓片級封裝的MEMS圓片5的蓋板圓片4,控制切割刀的高度,不切割到MEMS結(jié)構(gòu)層21和底板圓片1,如圖8所示,引線側(cè)上凹腔41和密封側(cè)上凹腔44部分的蓋板圓片4被切割掉,形成MEMS芯片的蓋板52,這時引線側(cè)密封腔41被打開,露出金屬層34,形成半切割的MEMS圓片6,這樣,就可以對半切割MEMS圓片6進行圓片級測試,然后將半切割MEMS圓片6上不合格的芯片打點或?qū)⑿酒诎肭懈頜EMS圓片6上的位置存入電腦。

然后,再用機械切割或激光切割方法,切割經(jīng)過圓片級測試的半切割MEMS圓片6的MEMS結(jié)構(gòu)層21和底板圓片1,完成具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片7的制作,如圖9所示,底板圓片1切割后作為MEMS芯片7的底板53,底板53切割面與MEMS結(jié)構(gòu)層21表面垂直;金屬層34沿底板溝槽底部11a被切開,其中位于底板溝槽側(cè)面11b上的金屬層34作為獨立的垂直壓焊塊34b,位于MEMS引線區(qū)21d上的金屬層34既作為與MEMS結(jié)構(gòu)層21的電接觸區(qū),也可以在后續(xù)封裝中用作水平壓焊塊34a。

圖11說明了多軸MEMS器件中MEMS芯片的安裝方法,封裝管殼由底板71、側(cè)壁72、臺階73組成,臺階73上制作有金屬焊盤74,這里未畫出管殼的外引腳;具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片7a的底板53a背面通過粘片膠75固定在管殼底板71上,MEMS結(jié)構(gòu)層21表面與管殼底板71平行,在具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片7a的水平壓焊塊34a與管殼焊盤74焊接上至少一根金屬線76,將MEMS芯片7a的信號引出到管殼;相似地,圓片級封裝的MEMS芯片7b的底板切割面通過粘片膠75固定在管殼底板71上,MEMS結(jié)構(gòu)層21表面與管殼底板71垂直,在MEMS芯片7b的垂直壓焊塊34b與管殼焊盤75也焊接至少一根金屬線76,將MEMS芯片7b的信號引出到管殼;這樣,封裝后的多軸MEMS器件就可以感測水平和垂直方向的信號。

另外,將兩個MEMS芯片7a在管殼底板71平行的平面內(nèi)相互垂直安裝,一個MEMS芯片7b垂直于管殼底板71的平面安裝,就可以實現(xiàn)X、Y、Z三軸感應(yīng)的MEMS器件。

實施例二

本實施例制作的具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片7與實施例一制作的具有垂直壓焊塊的圓片級封裝MEMS芯片7的不同之處僅在于底板溝槽11頂部還有倒角11c,金屬層34還淀積在倒角11c的斜面上,如圖12所示。

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