專利名稱：一種高溫固化爐的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示裝置生產(chǎn)加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及ー種高溫固化爐。
背景技術(shù)：
高溫固化爐是液晶滴注(ODF，One Drop Filling)エ藝中對液晶顯示裝置對盒后基板之間的封框膠進行固化的高溫固化設(shè)備。如圖I所示，圖I為現(xiàn)有技術(shù)中高溫固化爐中加熱器以及熱電偶的分布結(jié)構(gòu)示意圖。高溫固化爐包括加熱腔I、對加熱腔I進行加熱的加熱器2以及對加熱腔I內(nèi)部的固化溫度進行監(jiān)控的溫度監(jiān)控系統(tǒng)。
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現(xiàn)有技術(shù)中，高溫固化爐采用的溫度監(jiān)控系統(tǒng)的原理圖如圖2所示，圖2為現(xiàn)有技術(shù)中高溫固化爐的溫度監(jiān)控系統(tǒng)的原理示意圖。目前使用的高溫固化爐應(yīng)用的溫度監(jiān)控系統(tǒng)包括熱電偶3、以可編程邏輯控制器(PLC, Programmable Logic Controller)為運算模塊的信號處理模塊以及執(zhí)行模塊；熱電偶3用于監(jiān)測加熱腔I內(nèi)部的固化溫度信息，并將監(jiān)測到的固化溫度信息信號傳輸給可編程邏輯控制器，可編程邏輯控制器根據(jù)熱電偶3監(jiān)測的固化溫度信息以及預(yù)定溫度信息進行對比計算，當熱電偶3監(jiān)測的固化溫度信息出現(xiàn)異常時，可編程邏輯控制器生成執(zhí)行指令，并將執(zhí)行指令信號傳輸給執(zhí)行模塊，執(zhí)行模塊根據(jù)執(zhí)行指令動作，對加熱器2進行調(diào)整，從而實現(xiàn)對加熱腔I內(nèi)部固化溫度的控制調(diào)節(jié)。但是，熱電偶3只能對高溫固化爐加熱腔I內(nèi)的環(huán)境溫度進行監(jiān)測，無法對基板表面的溫度進行監(jiān)測，而且，熱電偶3對于溫度變化的感知具有一定的延時性，對高溫固化爐加熱腔I內(nèi)基板的固化溫度的監(jiān)控精度較差。因此，如何提供ー種高溫固化爐，以提高其對加熱腔內(nèi)基板的固化溫度的監(jiān)控精度，是本領(lǐng)域技術(shù)人員需要解決的技術(shù)問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供了ー種高溫固化爐，以提高其對加熱腔內(nèi)基板的固化溫度的監(jiān)控精度。為達到上述目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案ー種高溫固化爐，包括加熱腔、加熱器、以及對所述加熱腔內(nèi)部固化溫度進行監(jiān)控的溫度監(jiān)控系統(tǒng)；所述加熱器包括多個可單獨控制的加熱模塊，所述溫度監(jiān)控系統(tǒng)包括監(jiān)測所述加熱腔內(nèi)部環(huán)境溫度信息的至少ー個熱電偶；監(jiān)測所述加熱腔內(nèi)每ー層基板表面的溫度信息、根據(jù)所述基板表面的溫度信息可生成溫度信號的紅外監(jiān)測裝置；信號連接所述熱電偶和所述紅外監(jiān)測裝置，根據(jù)所述熱電偶反饋的溫度信息和所述紅外監(jiān)測裝置反饋的溫度信號判斷出存在固化溫度過高點，和/或，過低點溫度異常的基板時，生成相應(yīng)執(zhí)行指令的信號處理模塊；信號連接所述信號處理模塊，井根據(jù)所述信號處理模塊生成的執(zhí)行指令調(diào)節(jié)所述加熱器中與存在溫度異常的所述基板對應(yīng)的所述加熱模塊加熱功率的執(zhí)行模塊。優(yōu)選地,姆ー個所述加熱模塊與所述加熱腔內(nèi)放置的基板對應(yīng)。優(yōu)選地，每ー個所述加熱模塊包括至少ー個加熱電阻絲，且每一個加熱電阻絲可單獨控制。優(yōu)選地，所述紅外監(jiān)測裝置包括位于所述加熱腔內(nèi)、監(jiān)測所述加熱腔內(nèi)的各層基板表 面溫度信息的至少ー個紅外
攝像管；設(shè)置于所述加熱腔側(cè)壁的滑軌；可驅(qū)動所述紅外攝像管沿所述滑軌滑動的驅(qū)動裝置；與每ー個所述紅外攝像管信號連接，根據(jù)基板溫度信息可生成溫度信號的紅外信號接收處理器，所述紅外信號接收處理器與所述信號處理模塊信號連接。優(yōu)選地，所述紅外信號接收處理器還可以根據(jù)所述紅外攝像管監(jiān)測的基板表面的溫度信息生成紅外成像信號；所述紅外監(jiān)測裝置還包括信號連接所述紅外信號接收處理器、并根據(jù)所述紅外信號接收處理器生成的紅外成像信號成像的顯示器。優(yōu)選地，所述紅外攝像管為ー個，所述紅外攝像管沿所述滑軌可在所述加熱腔內(nèi)的最聞層基板與最低層基板之間往復(fù)滑動。優(yōu)選地，所述紅外攝像管為多個，且每一個所述紅外攝像管與所述加熱腔內(nèi)的一層基板相對應(yīng)，所述滑軌為與每一個所述紅外攝像管一一對應(yīng)的水平滑道，且每ー個所述紅外攝像管均可沿其滑道往復(fù)滑動。優(yōu)選地，所述信號處理模塊為可編程邏輯控制器。優(yōu)選地，所述執(zhí)行模塊包括多個固體繼電器；根據(jù)所述可編程邏輯控制器的執(zhí)行指令控制各個固體繼電器的開合對所述加熱器中與所述存在溫度異常的基板對應(yīng)位置處的所述加熱模塊的加熱功率進行調(diào)節(jié)。本發(fā)明提供的高溫固化爐，包括加熱腔、加熱器、以及對所述加熱腔內(nèi)部固化溫度進行監(jiān)控的溫度監(jiān)控系統(tǒng)；所述加熱器包括多個可單獨控制的加熱模塊，所述溫度監(jiān)控系統(tǒng)包括監(jiān)測所述加熱腔內(nèi)部環(huán)境溫度信息的至少ー個熱電偶；監(jiān)測所述加熱腔內(nèi)每ー層基板表面的溫度信息、根據(jù)所述基板表面的溫度信息可生成溫度信號的紅外監(jiān)測裝置；信號連接所述熱電偶和所述紅外監(jiān)測裝置，根據(jù)所述熱電偶反饋的溫度信息和所述紅外監(jiān)測裝置反饋的溫度信號判斷出存在固化溫度過高點，和/或，過低點溫度異常的基板時，生成相應(yīng)執(zhí)行指令的信號處理模塊；信號連接所述信號處理模塊，井根據(jù)所述信號處理模塊生成的執(zhí)行指令調(diào)節(jié)所述加熱器中與存在溫度異常的所述基板對應(yīng)的所述加熱模塊加熱功率的執(zhí)行模塊。本發(fā)明提供的高溫固化爐，其包括的溫度監(jiān)控系統(tǒng)通過采用熱電偶對加熱腔內(nèi)部環(huán)境中的溫度信息進行監(jiān)測，并將監(jiān)測的溫度信息信號傳輸給信號處理模塊；同時，通過紅外監(jiān)測裝置對加熱腔內(nèi)正在固化的每ー層基板表面的溫度信息進行監(jiān)測，并將基板表面的溫度信息生成溫度信號傳輸給信號處理模塊；信號處理模塊根據(jù)熱電偶反饋的溫度信息以及紅外監(jiān)測裝置反饋的溫度信號判斷是否存在固化溫度過高點或者過低點的基板，若存在固化溫度存在過高點，和/或，過低點的基板時，信號處理模塊可根據(jù)異常溫度的數(shù)據(jù)生成相應(yīng)的執(zhí)行指令，并將執(zhí)行指令信號傳輸給執(zhí)行模塊，執(zhí)行模塊根據(jù)執(zhí)行指令調(diào)整加熱器中與存在溫度異常的基板對應(yīng)的加熱模塊的加熱功率，降低過高點處的加熱功率，或者增大過低點處的加熱功率，從而實現(xiàn)對加熱器輸出溫度的調(diào)整，最終提高基板固化溫度的均一性。由于紅外監(jiān)測裝置監(jiān)測的是加熱腔內(nèi)正在高溫固化的基板的表面的溫度，而熱電偶監(jiān)測的是加熱腔內(nèi)部環(huán)境的高溫固化溫度，此外，紅外監(jiān)測裝置具有很高的靈敏性，能夠縮短因熱電偶的延時性造成的影響。所以，本發(fā)明提供的高溫固化爐包括的溫度監(jiān)控系統(tǒng)既能夠?qū)訜崆粌?nèi)部環(huán)境的固化溫度進行監(jiān)測，同時還可以對加熱腔內(nèi)部的基板表面的溫度進行監(jiān)測，提高了對加熱腔內(nèi)基板的固化溫度的監(jiān)控精確性?！?br>
圖I為現(xiàn)有技術(shù)中高溫固化爐中加熱器以及熱電偶的分布結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中高溫固化爐的溫度監(jiān)測系統(tǒng)的原理示意圖；圖3為本發(fā)明提供的高溫固化爐的加熱腔的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明提供的高溫固化爐中溫度監(jiān)控系統(tǒng)的原理示意圖；圖5為本發(fā)明提供的高溫固化爐中紅外攝像管的ー種分布結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。請參考圖3和圖4，其中，圖3為本發(fā)明提供的高溫固化爐的加熱腔的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明提供的高溫固化爐中溫度監(jiān)控系統(tǒng)的原理示意圖。本發(fā)明提供的高溫固化爐，包括加熱腔10、對加熱腔10進行加熱的加熱器12、以及對加熱腔10內(nèi)部固化溫度進行監(jiān)控的溫度監(jiān)控系統(tǒng)；加熱器12包括多個可單獨控制的加熱模塊；溫度監(jiān)控系統(tǒng)包括監(jiān)測加熱腔10內(nèi)部環(huán)境溫度信息的至少ー個熱電偶11 ；監(jiān)測加熱腔10內(nèi)每ー層基板表面的溫度信息、根據(jù)基板表面的溫度信息可生成溫度信號的紅外監(jiān)測裝置19 ；信號連接熱電偶11和紅外監(jiān)測裝置19，根據(jù)熱電偶11反饋的溫度信息和紅外監(jiān)測裝置19反饋的溫度信號判斷出存在固化溫度過高點，和/或，過低點溫度異常的基板吋，生成執(zhí)行指令的信號處理模塊15 ；信號連接信號處理模塊15，并根據(jù)信號處理模塊15生成的執(zhí)行指令調(diào)節(jié)加熱器12中與存在溫度異常的所述基板對應(yīng)的所述加熱模塊加熱功率的執(zhí)行模塊16。本發(fā)明提供的高溫固化爐，其包括的溫度監(jiān)控系統(tǒng)通過采用熱電偶11對加熱腔10內(nèi)部環(huán)境的固化溫度進行監(jiān)測，并將加熱腔10內(nèi)部環(huán)境的固化溫度信息信號傳輸給信號處理模塊15 ;同時，通過紅外監(jiān)測裝置19對加熱腔11內(nèi)正在固化的基板表面的溫度進行監(jiān)測，并將基板表面的溫度信息生成溫度信號傳輸給信號處理模塊15 ;信號處理模塊15根據(jù)熱電偶11反饋的固化溫度信息以及紅外監(jiān)測裝置19反饋的溫度信號判斷固化溫度是否異常，若固化溫度異常，信號處理模塊15可根據(jù)異常數(shù)據(jù)生成相應(yīng)的執(zhí)行指令，并將執(zhí)行指令信號傳輸給執(zhí)行模塊16，執(zhí)行模塊16根據(jù)執(zhí)行指令調(diào)整加熱器12中與存在溫度異常的基板對應(yīng)的加熱模塊的加熱功率，進而調(diào)節(jié)加熱器12相應(yīng)位置的輸出熱量，最終實現(xiàn)對高溫固化爐的加熱腔10內(nèi)固化溫度的控制。由于紅外監(jiān)測裝置19監(jiān)測的是加熱腔10內(nèi)正在高溫固化的基板的表面的溫度，而熱電偶11監(jiān)測的是加熱腔10內(nèi)部環(huán)境的高溫固化溫度，此外，紅外監(jiān)測裝置19具有很高的靈敏性，能夠縮短因熱電偶11的延時性造成的影響?！ど鲜黾夹g(shù)方案中提到的高溫固化爐通過紅外監(jiān)測裝置19直接實時地監(jiān)測高溫固化爐的加熱腔10內(nèi)基板表面的溫度變化來進行溫度控制，使其溫度控制精度大大提高。所以，本發(fā)明提供的高溫固化爐包括的溫度監(jiān)控系統(tǒng)既能夠?qū)訜崆?0內(nèi)部環(huán)境的固化溫度進行監(jiān)測，同時還可以對加熱腔10內(nèi)部的基板表面的溫度進行監(jiān)測，從而使高溫固化爐對基板的加熱時間控制的更為合理，提高了對加熱腔10的固化溫度監(jiān)控的精確性。當然，為了進一步增加對加熱腔10內(nèi)部溫度控制的精確性，優(yōu)選地，每ー個加熱模塊與加熱腔10內(nèi)放置的基板對應(yīng)。更優(yōu)選地，每ー個加熱模塊包括至少ー個加熱電阻絲，且每ー個加熱電阻絲可單獨控制。具體的，上述技術(shù)方案中提到的紅外監(jiān)測裝置19包括位于加熱腔10內(nèi)、監(jiān)測加熱腔10內(nèi)的各層基板表面溫度信息的至少ー個紅外攝像管13 ；設(shè)置于加熱腔10內(nèi)的滑軌；可驅(qū)動紅外攝像管13沿滑軌滑動的驅(qū)動裝置；與每ー個紅外攝像管13信號連接，根據(jù)基板溫度信息可生成溫度信號的紅外信號接收處理器17，紅外信號接收處理器17與信號處理模塊15信號連接。上述紅外監(jiān)測裝置創(chuàng)新性的提出了利用不同溫度發(fā)出不同紅外光的原理，利用紅外攝像管13對高溫固化爐的加熱腔10內(nèi)基板表面發(fā)出的紅外光進行監(jiān)測，從而實現(xiàn)對基板表面溫度的監(jiān)測；同時紅外攝像管13在驅(qū)動裝置的驅(qū)動下可以沿滑軌在加熱腔10內(nèi)進行滑動，從而實現(xiàn)對加熱腔10內(nèi)進行加熱固化的每ー層基板進行監(jiān)測；而且，紅外攝像管13將監(jiān)測到的基板表面發(fā)出的紅外光信息信號傳輸給紅外信號接收處理器17，通過紅外信號接收處理器17生成反饋信號，并將反饋信號信號傳輸給信號處理模塊15。因此，上述結(jié)構(gòu)的紅外監(jiān)測裝置19能夠?qū)崿F(xiàn)對加熱腔10內(nèi)的每ー層基板表面的溫度進行監(jiān)測，具有較高的監(jiān)測精確性。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，進ー步地，為了提高紅外攝像管13監(jiān)測效果的直觀性，優(yōu)選地，紅外信號接收處理器17還可以根據(jù)紅外攝像管13監(jiān)測的基板表面的溫度信息生成紅外成像信號；而且，紅外監(jiān)測裝置19還包括信號連接紅外信號接收處理器17、井根據(jù)紅外信號接收處理器17生成的紅外成像信號成像的顯示器18。顯示器18根據(jù)紅外成像信號生成熱圖像，熱圖像上面的不同顔色代表被測基板表面的不同溫度，并且通過紅外信號接收處理器17進行同步的畫面溫度曲線和紅外成像，操作人員可以通過熱圖像的溫度分布找出異常發(fā)熱點，從而能夠?qū)宓墓袒闆r實現(xiàn)全面的掌握，進而精確控制固化的過程，提高產(chǎn)品的良率。并且，上述紅外監(jiān)測裝置19可以簡化高溫固化爐的裝機調(diào)試過程，目前高溫固化爐在裝機調(diào)試過程中需要制作熱電偶玻璃，對高溫固化爐加熱腔 10內(nèi)的每ー層進行調(diào)整，并且需要對每ー層基板分別做溫度曲線，浪費了大量的工時；而現(xiàn)在可以直接通過顯示器18生成熱圖像進行調(diào)試，可省去大量的エ時，大大筒化了高溫固化爐的裝機調(diào)試過程，并且可以在生產(chǎn)中進行對基板的溫度進行實時的監(jiān)控。而且，在毎次設(shè)備保養(yǎng)時，也可以很簡單的進行溫度的調(diào)整，不需要停產(chǎn)線，目前對高溫固化爐進行保養(yǎng)時，需要像高溫固化爐裝機時那樣，對加熱腔10內(nèi)的每ー層基板做溫度曲線，需要大量的時間，現(xiàn)在不需要停產(chǎn)就可以通過紅外攝像管13以及顯示器18進行溫度的調(diào)整。優(yōu)選地，上述技術(shù)方案中提到的紅外攝像管13為ー個，且可沿滑軌沿加熱腔10內(nèi)的最聞層基板與最低層基板之間往復(fù)滑動。當然，為了能夠及時地對每ー層基板的溫度進行監(jiān)控，更優(yōu)選地，上述技術(shù)方案中提到的紅外攝像管13為多個，且每一個紅外攝像管13與加熱腔10內(nèi)的ー層基板相對應(yīng)，滑軌為與每ー個紅外攝像管13 —一對應(yīng)的水平滑道14，且每ー個紅外攝像管13均可沿其水平滑道14往復(fù)滑動。具體結(jié)構(gòu)如圖5所示，圖5為本發(fā)明提供的高溫固化爐中紅外攝像管13的ー種分布結(jié)構(gòu)示意圖。優(yōu)選地，上述技術(shù)方案中提到的信號處理模塊15為可編程邏輯控制器PLC?？删幊踢壿嬁刂破鱌LC采用ー類可編程的存儲器，用于其內(nèi)部存儲程序，執(zhí)行邏輯運算、順序控制、定時、計數(shù)與算木操作等面向用戶的指令，并通過數(shù)字或模擬式輸入/輸出控制各種類型的機械或生產(chǎn)過程；可編程邏輯控制器技術(shù)成熟，工作穩(wěn)定。更優(yōu)選地,執(zhí)行模塊16包括多個固體繼電器(SSR, Solid State Relay);根據(jù)可編程邏輯控制器的執(zhí)行指令控制各個SSR的開合對加熱器中與所述存在溫度異常的基板對應(yīng)位置處的所述加熱模塊的加熱功率進行調(diào)節(jié)。SSR是ー種全部由電子元器件組成的新型無觸點開關(guān)器件，具有高可靠性、長壽命、低噪音、開關(guān)速度快、抗干擾能力強、耐振動、耐沖擊、防濕、防潮、防腐蝕、能與邏輯門電路(TTL, Transistor-Transistor Logic)、互補金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS, Complementary Metal Oxide Semiconductor)等邏輯電路兼容的優(yōu)點，且其在導(dǎo)通及截止時不會產(chǎn)生電火花現(xiàn)象。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本發(fā)明實施例進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種高溫固化爐，包括加熱腔、加熱器、以及對所述加熱腔內(nèi)部固化溫度進行監(jiān)控的溫度監(jiān)控系統(tǒng)；其特征在于，所述加熱器包括多個可單獨控制的加熱模塊，所述溫度監(jiān)控系統(tǒng)包括 監(jiān)測所述加熱腔內(nèi)部環(huán)境溫度信息的至少一個熱電偶； 監(jiān)測所述加熱腔內(nèi)每一層基板表面的溫度信息、根據(jù)所述基板表面的溫度信息可生成溫度信號的紅外監(jiān)測裝置； 信號連接所述熱電偶和所述紅外監(jiān)測裝置，根據(jù)所述熱電偶反饋的溫度信息和所述紅外監(jiān)測裝置反饋的溫度信號判斷出存在固化溫度過高點，和/或，過低點溫度異常的基板時，生成相應(yīng)執(zhí)行指令的信號處理模塊； 信號連接所述信號處理模塊，并根據(jù)所述信號處理模塊生成的執(zhí)行指令調(diào)節(jié)所述加熱器中與存在溫度異常的所述基板對應(yīng)的所述加熱模塊加熱功率的執(zhí)行模塊。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的高溫固化爐，其特征在于，每一個所述加熱模塊與所述加熱腔內(nèi)放置的基板對應(yīng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高溫固化爐，其特征在于，每一個所述加熱模塊包括至少一個加熱電阻絲，且每一個加熱電阻絲可單獨控制。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的高溫固化爐，其特征在于，所述紅外監(jiān)測裝置包括 位于所述加熱腔內(nèi)、監(jiān)測所述加熱腔內(nèi)的各層基板表面溫度信息的至少一個紅外攝像管； 設(shè)置于所述加熱腔側(cè)壁的滑軌； 可驅(qū)動所述紅外攝像管沿所述滑軌滑動的驅(qū)動裝置； 與每一個所述紅外攝像管信號連接，根據(jù)基板溫度信息可生成溫度信號的紅外信號接收處理器，所述紅外信號接收處理器與所述信號處理模塊信號連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高溫固化爐，其特征在于，所述紅外信號接收處理器還可以根據(jù)所述紅外攝像管監(jiān)測的基板表面的溫度信息生成紅外成像信號； 所述紅外監(jiān)測裝置還包括信號連接所述紅外信號接收處理器、并根據(jù)所述紅外信號接收處理器生成的紅外成像信號成像的顯示器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高溫固化爐，其特征在于，所述紅外攝像管為一個，所述紅外攝像管沿所述滑軌可在所述加熱腔內(nèi)的最高層基板與最低層基板之間往復(fù)滑動。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高溫固化爐，其特征在于，所述紅外攝像管為多個，且每一個所述紅外攝像管與所述加熱腔內(nèi)的一層基板相對應(yīng)，所述滑軌為與每一個所述紅外攝像管一一對應(yīng)的水平滑道，且每一個所述紅外攝像管均可沿其滑道往復(fù)滑動。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7任一項所述的高溫固化爐，其特征在于，所述信號處理模塊為可編程邏輯控制器。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的高溫固化爐，其特征在于，所述執(zhí)行模塊包括多個固體繼電器；根據(jù)所述可編程邏輯控制器的執(zhí)行指令控制各個固體繼電器的開合對所述加熱器中與所述存在溫度異常的基板對應(yīng)位置處的所述加熱模塊的加熱功率進行調(diào)節(jié)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種高溫固化爐，包括加熱腔、加熱器、以及溫度監(jiān)控系統(tǒng)；加熱器包括多個可單獨控制的加熱模塊，溫度監(jiān)控系統(tǒng)包括監(jiān)測加熱腔內(nèi)部環(huán)境溫度信息的熱電偶；監(jiān)測加熱腔內(nèi)每一層基板表面的溫度信息并生成溫度信號的紅外監(jiān)測裝置；信號連接熱電偶和紅外監(jiān)測裝置，根據(jù)熱電偶反饋的溫度信息和紅外監(jiān)測裝置反饋的溫度信號判斷出存在溫度異常的基板時，生成相應(yīng)執(zhí)行指令的信號處理模塊；信號連接信號處理模塊，根據(jù)信號處理模塊生成的執(zhí)行指令調(diào)節(jié)與存在溫度異常的基板對應(yīng)的加熱模塊加熱功率的執(zhí)行模塊。該高溫固化爐通過熱電偶以及紅外監(jiān)測裝置分別對加熱腔的環(huán)境溫度以及基板表面溫度進行監(jiān)測，提高了對固化溫度監(jiān)測的精度。
文檔編號B05D3/02GK102784747SQ20121024580
公開日2012年11月21日 申請日期2012年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月16日
發(fā)明者井楊坤 申請人:京東方科技集團股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司