專利名稱：圓片狀氧化鋁微粉生產(chǎn)設備系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種 制備研磨材的設備，具體是一種圓片狀氧化鋁微粉生產(chǎn)設備系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
電子行業(yè)的硅片在中后期研磨拋光過程中，對表面質(zhì)量要求非常高，不得有絲毫劃痕，這就要求氧化鋁微粉粒度分布要均勻，顆粒形狀要圓滑，不得有棱角尖狀物，微粉制備難度非常大?，F(xiàn)有技術(shù)中，氧化鋁微粉一般采用球磨后分級的工藝制備，不能滿足電子行業(yè)用研磨材的要求。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型提供一種圓片狀氧化鋁微粉生產(chǎn)設備系統(tǒng)，其制備的氧化鋁微粉顆粒為圓片狀，且形狀圓滑，能夠滿足電子行業(yè)用研磨材的需要。本實用新型具體采用如下技術(shù)方案一種圓片狀氧化鋁微粉生產(chǎn)設備系統(tǒng)，其特征是，包括依次串接的球磨機、水洗設備、溢流分級設備、表面涂覆設備、壓力過濾設備、干燥設備和過篩設備。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型增加了涂覆設備和壓力過濾設備，采用物理涂覆的方法，在微粉表面上包裹上一層高分子物質(zhì)，從而增加了微粉在特定的使用環(huán)境中的濕潤性、分散性，并具有良好的抗靜電作用，使得微粉研磨拋光的效果顯著提高。
圖1是本實用新型設備流程框圖；圖中，1-球磨機，2-水洗設備，3-溢流分級設備，4-表面涂覆設備，5-壓力過濾設備，6-干燥設備，7-過篩設備。
具體實施方式
如圖1所示，一種圓片狀氧化鋁微粉生產(chǎn)設備系統(tǒng)，包括按照工藝順序依次串接的球磨機1、水洗設備2、溢流分級設備3、表面涂覆設備4、壓力過濾設備5、干燥設備6和過篩設備7。
權(quán)利要求1. 一種圓片狀氧化鋁微粉生產(chǎn)設備系統(tǒng)，其特征是，包括依次串接的球磨機、水洗設備、溢流分級設備、表面涂覆設備、壓力過濾設備、干燥設備和過篩設備。
專利摘要本實用新型涉及一種制備研磨材的設備，具體是一種圓片狀氧化鋁微粉生產(chǎn)設備系統(tǒng)，其特征是，包括依次串接的球磨機、水洗設備、溢流分級設備、表面涂覆設備、壓力過濾設備、干燥設備和過篩設備。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型增加了涂覆設備和壓力過濾設備，采用物理涂覆的方法，在微粉表面上包裹上一層高分子物質(zhì)，從而增加了微粉在特定的使用環(huán)境中的濕潤性、分散性，并具有良好的抗靜電作用，使得微粉研磨拋光的效果顯著提高。
文檔編號C09K3/14GK201981159SQ20102070128
公開日2011年9月21日 申請日期2010年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月31日
發(fā)明者丁建平 申請人:淄博金紀元研磨材有限公司