本發(fā)明涉及一種在基板上形成劃片線以便切割基板的劃片設(shè)備。
背景技術(shù)：
：：一般而言，用于平板顯示器的液晶顯示面板、有機電致發(fā)光面板、無機電致發(fā)光面板、透射投影基板、反射投影基板等是通過使用單元玻璃面板(下文中，稱為“單元基板”)制造，單元玻璃面板是通過將脆性母體玻璃面板(下文中，稱為“基板”)切割成預(yù)定尺寸而制成。切割基板的處理(工藝)包括：劃片處理，通過用預(yù)定按壓力將由諸如金剛石的硬質(zhì)材料制成的劃片輪壓在基板上，并沿著預(yù)定切割線(基板將沿著該預(yù)定切割線進(jìn)行切割)移動該劃片輪來形成劃片線；以及裂片處理，通過沿著該劃片線按壓基板來切割基板以便獲得單元基板。在相關(guān)技術(shù)中的劃片設(shè)備的情況下，用于供應(yīng)基板的裝置、用于對齊供應(yīng)的基板的裝置、用于將對齊的基板運送到劃片處理的裝置、以及用于執(zhí)行劃片處理的裝置水平地布置成一行，其結(jié)果是，存在需要較大空間來安裝這些裝置，以及因此執(zhí)行劃片處理所需的成本增加的問題。此外，如圖1中所示，在相關(guān)技術(shù)中的劃片設(shè)備的情況下，基板s被放置在工作臺200上，多個按壓構(gòu)件300物理推壓基板s的橫向側(cè)，從而對準(zhǔn)基板s。其結(jié)果是存在這樣的問題，當(dāng)基板被按壓構(gòu)件300推壓和移動(和/或旋轉(zhuǎn))時，會對基板s的與工作臺200接觸的表面引起諸如刮擦的損壞。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明旨在提供一種劃片設(shè)備，其能夠防止在對準(zhǔn)基板的處理中對基板的損壞。本發(fā)明還旨在提供一種劃片設(shè)備，其能夠減少運送和對準(zhǔn)基板所需的時間和空間。本發(fā)明的示例性實施例提供了一種劃片設(shè)備，包括：基板支撐單元，其支撐由基板供應(yīng)單元供應(yīng)的基板；裝載臺，其設(shè)置在基板支撐單元之下；劃片單元，其設(shè)置在裝載臺的一側(cè)并在基板上形成劃片線；基板運送單元，其將放置在裝載臺上的基板運送到劃片單元；以及基板傳遞單元，其將基板從基板支撐單元傳遞到裝載臺，其中基板支撐單元形成供基板穿過的開口，以便基板傳遞單元通過該開口將基板傳遞到裝載臺，且基板傳遞單元包括位置調(diào)整單元，該位置調(diào)整單元在基板傳遞單元將基板傳遞到裝載臺的同時調(diào)整基板的位置，使得基板的位置與基板將被定位在裝載臺上的準(zhǔn)確位置一致。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備，在基板被基板保持構(gòu)件保持的狀態(tài)下，基板傳遞單元的基板保持構(gòu)件被位置調(diào)整單元旋轉(zhuǎn)或沿x軸方向或y軸方向移動，其結(jié)果是，基板s的位置可被調(diào)整。因此，基板的位置可被調(diào)整而無需物理地按壓基板的一部分來定位基板，其結(jié)果是，在定位和對準(zhǔn)基板的過程期間能夠防止基板被損壞。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備，基板支撐單元和裝載臺被設(shè)置在相同的豎直線上，且基板傳遞單元可將基板直接傳遞到裝載臺，同時位置調(diào)整單元調(diào)整基板的位置，其結(jié)果是，能夠減少運送基板和調(diào)整基板的位置所需的時間，并提高劃片設(shè)備的空間利用率。附圖說明圖1是示意性示出相關(guān)技術(shù)中的用于對準(zhǔn)基板的設(shè)備的側(cè)視圖。圖2是示意性示出根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備的側(cè)視圖。圖3是示意性示出圖2中所示的劃片設(shè)備的俯視圖。圖4和圖5是示意性示出圖2中所示的劃片設(shè)備的基板支撐單元的俯視圖。圖6和圖7是示意性示出位置調(diào)整單元的視圖，該位置調(diào)整單元被設(shè)置在圖2中所示的劃片設(shè)備的基板傳遞單元中。圖8到圖10是用于說明圖6和圖7中所示的位置調(diào)整單元的操作的示意圖。圖11到圖14是用于說明圖2中所示的劃片設(shè)備的操作的示意圖。具體實施方式在下文中，將參照附圖描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備。如圖2和圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備包括：基板供應(yīng)單元10，其從外部供應(yīng)基板s；基板支撐單元20，由基板供應(yīng)單元10供應(yīng)的基板s被支撐在基板支撐單元20上；裝載臺30，其設(shè)置在基板支撐單元20之下；劃片單元50，其設(shè)置在裝載臺30的一側(cè)并在基板s上形成劃片線；基板運送單元60，其將放置在裝載臺30上的基板s運送到劃片單元50；以及基板傳遞單元70，其將基板s從基板支撐單元20傳遞到裝載臺30。作為示例，如圖2中所示，基板供應(yīng)單元10可包括多個運送帶或運送輥，使得基板s通過帶或輥的旋轉(zhuǎn)被供應(yīng)到基板支撐單元20。作為另一示例，基板供應(yīng)單元10可被構(gòu)造成，通過夾持或真空抽吸來保持基板s，且隨后將基板s供應(yīng)到基板支撐單元20。作為示例，如圖2到圖5所示，基板支撐單元20可包括多條運送帶22。作為另一示例，基板支撐單元20可包括多個輥，或者包括向基板s噴射空氣以便浮起基板s的多個氣動工作臺(airtable，空氣臺)?；逯螁卧?0可形成供基板s穿過的開口21，使得基板傳遞單元70可通過開口21將基板s傳遞到裝載臺30。為此，如圖5所示，基板支撐單元20的多條帶22可構(gòu)造成沿著軸23、在垂直于基板s被運送的方向(x軸方向)的方向(y軸方向)上移動。為了沿y軸方向移動所述多條帶22，線性運動機構(gòu)24(比如通過氣壓或液壓操作的致動器、通過電磁相互作用操作的線性電機、或滾珠絲杠機構(gòu))可通過軸23連接到所述多條帶22。裝載臺30和基板支撐單元20可被設(shè)置在相同的豎直線上。因此，基板傳遞單元70可通過從基板支撐單元20向下移動來將基板s直接地傳遞到裝載臺30。裝載臺30提供一個區(qū)域，基板s在該區(qū)域被裝載到劃片單元50。同時，卸載臺40可被設(shè)置在裝載臺30的基于劃片單元50的相對側(cè)，該卸載臺40提供一個區(qū)域，具有由劃片單元50形成的劃片線的基板s在該區(qū)域從劃片單元50被卸載。裝載臺30和卸載臺40可分別包括多條帶32、42。所述多條帶32、42可沿y軸方向被彼此隔開。每條帶32或42均由多個輥33或43支撐，且所述多個輥33或43中的至少一個輥可以是驅(qū)動輥，該驅(qū)動輥提供驅(qū)動力以使每條帶32或42旋轉(zhuǎn)。劃片單元50可包括：框架51，其沿y軸方向延伸；以及劃片頭52，其安裝在框架51上從而能夠沿y軸方向移動。多個劃片頭52可沿y軸方向以預(yù)定間隔設(shè)置在框架51上。這些劃片頭52可被設(shè)置在基板s的上方和下方從而彼此面對。然而，本發(fā)明并不局限于此，劃片頭52可被設(shè)置在基板s的上方或下方。每個劃片頭52均設(shè)有用于在基板s的表面上形成劃片線的劃片輪53。舉例來說，一對劃片頭52可被設(shè)置在基板s的上方和下方從而彼此面對，由此一對劃片輪53可被設(shè)置在基板s的上方和下方從而彼此面對。因此，在這對劃片輪53被壓靠在基板s的上表面和下表面上的狀態(tài)下，通過基板s相對于劃片頭52的相對運動和/或劃片頭52相對于基板s的相對運動，多條劃片線可被分別地形成在基板s的上表面和下表面上。基板運送單元60可包括：保持基板s的保持構(gòu)件61；以及沿x軸方向延伸的導(dǎo)軌62。線性運動機構(gòu)(比如通過氣壓或液壓操作的致動器、通過電磁相互作用操作的線性電機、或滾珠絲杠機構(gòu))可被設(shè)置在保持構(gòu)件61與導(dǎo)軌62之間。因此，在保持構(gòu)件61保持基板s的狀態(tài)下，隨著保持構(gòu)件61通過線性運動機構(gòu)沿x軸方向移動，基板s可沿x軸方向被運送。在這種情況下，帶32配合著保持構(gòu)件61的移動而旋轉(zhuǎn)，因此可穩(wěn)定地支撐基板s的下表面。保持構(gòu)件61可以是物理地按壓并且保持基板s的后緣的夾具。然而，本發(fā)明并不局限于此，保持構(gòu)件61可設(shè)有與真空源連接的至少一個真空孔，且可構(gòu)造成通過抽吸來保持基板s的后緣。導(dǎo)軌62可被設(shè)置在多條帶32之間。導(dǎo)軌62用于引導(dǎo)保持構(gòu)件61沿x軸方向的移動?；鍌鬟f單元70可包括：基板保持構(gòu)件71，其保持放置在基板支撐單元20上的基板s；支撐構(gòu)件72，其支撐基板保持構(gòu)件71；以及升降裝置73，其通過支撐構(gòu)件72連接到基板保持構(gòu)件71并沿豎直方向移動基板保持構(gòu)件71。基板保持構(gòu)件71可設(shè)有與真空源連接的至少一個真空孔，且可被構(gòu)造為通過抽吸來保持基板s的上表面。然而，本發(fā)明不限于此，基板保持構(gòu)件71可為物理地按壓并保持基板s的夾具。升降裝置73可被構(gòu)造為線性運動機構(gòu)，比如通過氣壓或液壓操作的致動器、通過電磁相互作用操作的線性電機、或滾珠絲杠機構(gòu)?；灞３謽?gòu)件71可通過升降裝置73的操作而沿豎直方向移動，因此基板s可沿豎直方向移動。同時，基板傳遞單元70可包括位置調(diào)整單元74，當(dāng)基板傳遞單元70將基板s傳遞到裝載臺30時，位置調(diào)整單元74調(diào)整基板s的位置。如圖2所示，位置調(diào)整單元74可被安裝在基板保持構(gòu)件71與支撐構(gòu)件72之間，且可調(diào)整基板保持構(gòu)件71關(guān)于支撐構(gòu)件72的相對水平位置。位置調(diào)整單元74可包括旋轉(zhuǎn)基板s的基板旋轉(zhuǎn)裝置、水平地且直線地移動基板s的基板移動裝置、或者基板旋轉(zhuǎn)裝置和基板移動裝置這兩者。此處，基板旋轉(zhuǎn)裝置可包括連接基板保持構(gòu)件71和支撐構(gòu)件72的旋轉(zhuǎn)電機。而且，基板移動裝置被設(shè)置在基板保持構(gòu)件71與支撐構(gòu)件72之間，且可為線性運動機構(gòu)，比如通過氣壓或液壓操作的致動器、通過電磁相互作用操作的線性電機、或滾珠絲杠機構(gòu)。如圖6到圖10所示的另一示例，可設(shè)置一對位置調(diào)整單元74，且該位置調(diào)整單元74可包括：連接構(gòu)件75，其與基板保持構(gòu)件71連接；x軸驅(qū)動單元76，其沿x軸方向移動連接構(gòu)件75；以及y軸驅(qū)動單元77，其沿y軸方向移動連接構(gòu)件75。x軸驅(qū)動單元76和/或y軸驅(qū)動單元77可被構(gòu)造為線性運動機構(gòu)，比如通過氣壓或液壓操作的致動器、通過電磁相互作用操作的線性電機、或滾珠絲杠機構(gòu)。連接構(gòu)件75可通過旋轉(zhuǎn)軸78可旋轉(zhuǎn)地連接到x軸驅(qū)動單元76或y軸驅(qū)動單元77。因此，當(dāng)這對位置調(diào)整單元74中的一個位置調(diào)整單元74的連接構(gòu)件75直線移動時，另一個位置調(diào)整單元74的連接構(gòu)件75可圍繞旋轉(zhuǎn)軸78旋轉(zhuǎn)。這對位置調(diào)整單元74可被設(shè)置在基板保持構(gòu)件71與支撐構(gòu)件72之間，使得基板s可在多個支撐點處被支撐，從而更穩(wěn)定地進(jìn)行調(diào)整基板s的位置的操作。當(dāng)這對位置調(diào)整單元74中的一個位置調(diào)整單元74的連接構(gòu)件75沿x軸方向或y軸方向移動時，另一個位置調(diào)整單元74的連接構(gòu)件75可旋轉(zhuǎn)，其結(jié)果是，基板保持構(gòu)件71可旋轉(zhuǎn)。而且，這對位置調(diào)整單元74的兩個連接構(gòu)件75均可通過x軸驅(qū)動單元76和/或y軸驅(qū)動單元77的操作而沿x軸方向和/或y軸方向移動，其結(jié)果是，基板保持構(gòu)件71可沿x軸方向和/或y軸方向移動。因此，如圖8所示，即使在由基板保持構(gòu)件71保持的基板s的位置從將要被定位在裝載臺30上的基板s的準(zhǔn)確位置t偏離一角度，和/或從準(zhǔn)確位置t沿x軸方向和/或y軸方向偏離一距離的情況下，由于基板保持構(gòu)件71如圖9所示地旋轉(zhuǎn)，基板s的角度可變得與準(zhǔn)確位置t處的角度一致，并且由于基板保持構(gòu)件71如圖10所示沿x軸方向和/或y軸方向移動，基板s的位置可變得與準(zhǔn)確位置t一致。借助這對位置調(diào)整單元74，基板s可旋轉(zhuǎn)并沿水平方向移動。因此，相比于具有沉重重量和高負(fù)載的基板保持構(gòu)件71和基板s由單一旋轉(zhuǎn)電機旋轉(zhuǎn)的情況，其能夠更穩(wěn)定地旋轉(zhuǎn)基板s，其結(jié)果是，能夠精確地調(diào)整基板s的位置。如上所述，可旋轉(zhuǎn)基板保持構(gòu)件71且可沿x軸方向和/或y軸方向移動基板保持構(gòu)件71的位置調(diào)整單元74被設(shè)置在基板保持構(gòu)件71與支撐構(gòu)件72之間，其結(jié)果是，當(dāng)基板傳遞單元70將基板s傳遞到裝載臺30時，能夠調(diào)整基板s的位置。因此，相比于獨立于基板傳遞單元70設(shè)置一個單獨裝置以調(diào)整基板s的位置的情況，運送基板s和執(zhí)行劃片處理所需的空間和時間可被最小化。同時，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備可包括位置檢測單元80，其檢測由基板傳遞單元70保持的基板s的至少一部分的位置。位置檢測單元80可安裝在裝載臺30上從而檢測基板s的下表面的位置。然而，位置檢測單元80的安裝位置并不受限，例如，位置檢測單元80可被安裝在基板傳遞單元70上以便檢測放置在基板支撐單元20上的基板s的上表面的位置。位置檢測單元80可包括圖像采集單元，該圖像采集單元采集基板s的圖像，并基于所采集的基板s的圖像來確定基板s是否偏離準(zhǔn)確位置t。作為另一示例，位置檢測單元80可包括光學(xué)傳感器，該光學(xué)傳感器朝向基板s的至少一部分發(fā)光并確定是否接收到來自基板s的反射光，從而確定基板s是否偏離準(zhǔn)確位置t。而且，基于由位置檢測單元80檢測的基板s的位置，位置調(diào)整單元74可旋轉(zhuǎn)基板保持構(gòu)件71或可沿x軸方向和/或y軸方向移動基板保持構(gòu)件71。在下文中，將參照圖11到圖14描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備的操作。首先，如圖11所示，基板s被基板供應(yīng)單元10從外部供應(yīng)到基板支撐單元20。在這種情況下，基板傳遞單元70被設(shè)置成與基板支撐單元20隔開預(yù)定間隔。同時，基板支撐單元20上可設(shè)置止動件，使得基板s可被放置在基板支撐單元20上的適當(dāng)位置。而且，如圖12所示，當(dāng)基板s被放置在基板支撐單元20上時，基板傳遞單元70的基板保持構(gòu)件71向下移動并保持被放置在基板支撐單元20上的基板s。在這種情況下，位置檢測單元80可檢測基板s的至少一部分的位置，以便確定基板s是否偏離準(zhǔn)確位置t。而且，如圖13所示，在基板保持構(gòu)件71保持基板s的狀態(tài)下，基板保持構(gòu)件71從基板支撐單元20向上移動。在這種情況下，基板保持構(gòu)件71通過位置調(diào)整單元74進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或沿x軸方向和/或y軸方向移動，其結(jié)果是，基板s的位置可被調(diào)整。而且，基板支撐單元20可形成供基板s穿過的開口21，使得基板傳遞單元70可通過開口21將基板s傳遞到裝載臺30。而且，如圖14所示，基板保持構(gòu)件71向下移動同時穿過開口21，其結(jié)果是，基板s可被傳遞到裝載臺30。當(dāng)基板s被放置在裝載臺30上時，基板運送單元60保持基板s的后緣，并且隨后將基板s移動到劃片單元50。而且，劃片單元50在基板s上形成劃片線。此后，具有劃片線的基板s經(jīng)由卸載臺40被卸載向后續(xù)處理。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備，在由基板傳遞單元70的基板保持構(gòu)件71保持基板s的狀態(tài)下，基板保持構(gòu)件71通過位置調(diào)整單元74進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或沿x軸方向和/或y軸方向移動，其結(jié)果是，基板s的位置可被調(diào)整。因此，不用物理地按壓基板s的一部分來對準(zhǔn)和定位基板s，基板s的位置就可被調(diào)整，其結(jié)果是，能夠防止在定位和對準(zhǔn)基板s的處理期間對基板s的損壞。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備，基板支撐單元20和裝載臺30被設(shè)置在相同的豎直線上，且基板傳遞單元70可將基板s直接傳遞到裝載臺30，同時位置調(diào)整單元74調(diào)整基板s的位置，其結(jié)果是，能夠減少運送基板s和調(diào)整基板s的位置所需的時間，并能夠提高劃片設(shè)備的空間利用率。此外，根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例的劃片設(shè)備，當(dāng)基板傳遞單元70將基板s傳遞到裝載臺30時，基板s的位置可被設(shè)置在基板傳遞單元70中的位置調(diào)整單元74調(diào)整。因此，不需要在運送基板s所沿循的路徑中設(shè)置單獨裝置來定位和對準(zhǔn)基板s，其結(jié)果是，能夠最小化運送基板s和進(jìn)行劃片處理所需的水平空間。本文已經(jīng)為說明性目的描述了本發(fā)明的多個示例性實施例。然而應(yīng)認(rèn)識到，本發(fā)明的范圍不局限于具體的示例性實施例，并且在不脫離所附權(quán)利要求書限定的范圍的前提下，可以進(jìn)行各種修改。當(dāng)前第1頁12當(dāng)前第1頁12