技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種抑制TFT液晶顯示屏減薄后凹點(diǎn)的蝕刻液,該蝕刻液基于化學(xué)手段抑制減薄處理過程中凹點(diǎn)的形成,與研磨拋光法相比,操作時間較短、工作量較小且有效避免了因研磨拋光而產(chǎn)生的品質(zhì)不良問題。在此技術(shù)思路下,本發(fā)明通過實(shí)驗(yàn)手段設(shè)計(jì)了全新的蝕刻液配方,在降低氟化物用量的基礎(chǔ)上添加了重鉻酸鉀、高錳酸鉀等強(qiáng)氧化劑,使得該蝕刻液的蝕刻速度相對緩慢,既滿足了預(yù)處理的蝕刻要求又避免了蝕刻速度過快影響基材表層結(jié)構(gòu)的問題。在此基礎(chǔ)上,本發(fā)明通過螯合劑促進(jìn)了多種溶質(zhì)成分在混合體系中的溶解性,為多種溶質(zhì)成分協(xié)同作用奠定了基礎(chǔ)。
技術(shù)研發(fā)人員:張杰;陳奇;沈勵;鄭建軍;姚仕軍;吳青肖
受保護(hù)的技術(shù)使用者:天津美泰真空技術(shù)有限公司
文檔號碼:201610565817
技術(shù)研發(fā)日:2016.07.15
技術(shù)公布日:2016.12.07