單晶硅片精確端面磨切機(jī)的制作方法

本發(fā)明涉及單晶硅片加工設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及了一種單晶硅片精確端面磨切機(jī)。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有技術(shù)中硅片的成型加工，普遍采用鋼絲切割技術(shù)，如專利cn200810144289.9，名稱為“一種切割硅片的工藝方法”專利所公開的，通過切割鋼絲的高速運(yùn)轉(zhuǎn)，將硅棒切割成硅片。用于鋼絲相對(duì)具有一定的延展性，所以切割鋼絲可能在硅棒的長(zhǎng)度方向發(fā)生偏移，導(dǎo)致硅片的切割厚度不平整。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中硅片可能切割的不平整的缺點(diǎn)，提供了一種單晶硅片精確端面磨切機(jī)。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：

單晶硅片精確端面磨切機(jī)，包括機(jī)體，機(jī)體上設(shè)有滑板和砂輪，滑板沿著機(jī)體長(zhǎng)度方向滑動(dòng)，硅棒放置在所述滑板上，機(jī)體上還設(shè)有軸向基準(zhǔn)塊，軸向基準(zhǔn)塊位于砂輪的兩側(cè)，所述的軸向基準(zhǔn)塊的凸起高度低于砂輪的凸起高度，軸向基準(zhǔn)塊的凸起高度與砂輪凸起高度之間的差值為硅棒被磨切掉的長(zhǎng)度。

作為優(yōu)選，還包括電機(jī)、皮帶和傳動(dòng)軸，電機(jī)通過皮帶帶動(dòng)傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，砂輪安裝在傳動(dòng)軸上。

作為優(yōu)選，滑板上還設(shè)有高度基準(zhǔn)板和寬度基準(zhǔn)板，硅棒放置在高度基準(zhǔn)板上，高度基準(zhǔn)板和寬度基準(zhǔn)板均通過銷釘可拆卸的安裝在滑板上。當(dāng)硅棒的直徑規(guī)格不同時(shí)，可通過更換不同高度的高度基準(zhǔn)板以及不同厚度的寬度基準(zhǔn)板來調(diào)整硅棒的位置。

作為優(yōu)選，所述的寬度基準(zhǔn)板包括寬度擋板和用于與滑板相連的安裝部，所述的寬度基準(zhǔn)板呈l形。

作為優(yōu)選，還包括豎向氣缸和橫向氣缸，豎向氣缸、橫向氣缸均固定連接在滑板上，豎向氣缸將硅棒擠壓在高度基準(zhǔn)板上，橫向氣缸將硅棒擠壓在寬度基準(zhǔn)板上。

作為優(yōu)選，滑板上固定設(shè)有氣缸安裝連接板，豎向氣缸固定在所述的氣缸安裝連接板上，氣缸安裝連接板與滑板之間還固定設(shè)有肋板。

作為優(yōu)選，機(jī)體上設(shè)有滑槽，滑板底部設(shè)有滑輪，滑板在所述滑槽上滑移。

作為優(yōu)選，還包括電機(jī)座，所述的電機(jī)安裝在電機(jī)座的側(cè)壁上。

作為優(yōu)選，軸向基準(zhǔn)塊為一截面為矩形的鋼塊。

本發(fā)明由于采用了以上技術(shù)方案，采用了砂輪磨切替代傳統(tǒng)鋼絲切割，可使硅片切割平整，硅片厚度一致。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是圖1的左視示意圖。

圖3是寬度基準(zhǔn)板的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中各數(shù)字標(biāo)號(hào)所指代的部位名稱如下：1—砂輪、2—軸向基準(zhǔn)塊、3—硅棒、4—高度基準(zhǔn)板、5—寬度基準(zhǔn)板、51—寬度擋板、52—安裝部、6—橫向氣缸、7—滑板、8—滑槽、9—豎向氣缸、10—豎向氣缸、11—?dú)飧装惭b連接板、12—肋板、13—電機(jī)、14—皮帶、15—傳動(dòng)軸。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖與實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。

實(shí)施例1

單晶硅片精確端面磨切機(jī)，如圖1、圖2所示，包括機(jī)體，機(jī)體上設(shè)有滑板7和砂輪1，滑板7沿著機(jī)體長(zhǎng)度方向滑動(dòng)，硅棒3放置在所述滑板7上，機(jī)體上還設(shè)有軸向基準(zhǔn)塊2，軸向基準(zhǔn)塊2位于砂輪1的兩側(cè)，所述的軸向基準(zhǔn)塊2的凸起高度低于砂輪1的凸起高度，軸向基準(zhǔn)塊2的凸起高度與砂輪1凸起高度之間的差值為硅棒3被磨切掉的長(zhǎng)度。

還包括電機(jī)13、皮帶14和傳動(dòng)軸15，電機(jī)13通過皮帶14帶動(dòng)傳動(dòng)軸15轉(zhuǎn)動(dòng)，砂輪1安裝在傳動(dòng)軸15上。

滑板7上還設(shè)有高度基準(zhǔn)板4和寬度基準(zhǔn)板5，硅棒放置在高度基準(zhǔn)板4上，高度基準(zhǔn)板4和寬度基準(zhǔn)板5均通過銷釘可拆卸的安裝在滑板7上。

所述的寬度基準(zhǔn)板5包括寬度擋板51和用于與滑板7相連的安裝部52，所述的寬度基準(zhǔn)板5呈l形。

還包括豎向氣缸9和橫向氣缸6，豎向氣缸9、橫向氣缸6均固定連接在滑板7上，豎向氣缸9將硅棒擠壓在高度基準(zhǔn)板4上，橫向氣缸6將硅棒3擠壓在寬度基準(zhǔn)板5上。

滑板7上固定設(shè)有氣缸安裝連接板11，豎向氣缸9固定在所述的氣缸安裝連接板11上，氣缸安裝連接板11與滑板7之間還固定設(shè)有肋板12。

機(jī)體上設(shè)有滑槽8，滑板7底部設(shè)有滑輪，滑板7在所述滑槽8上滑移。

還包括電機(jī)座10，所述的電機(jī)13安裝在電機(jī)座10的側(cè)壁上。

軸向基準(zhǔn)塊2為一截面為矩形的鋼塊。

總之，以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，凡依本發(fā)明申請(qǐng)專利范圍所作的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本發(fā)明專利的涵蓋范圍。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及單晶硅片加工設(shè)備領(lǐng)域，公開了一種單晶硅片精確端面磨切機(jī)，包括機(jī)體，機(jī)體上設(shè)有滑板(7)和砂輪(1)，滑板(7)沿著機(jī)體長(zhǎng)度方向滑動(dòng)，硅棒放置在所述滑板(7)上，機(jī)體上還設(shè)有軸向基準(zhǔn)塊(2)，軸向基準(zhǔn)塊(2)位于砂輪(1)的兩側(cè)，所述的軸向基準(zhǔn)塊(2)的凸起高度低于砂輪(1)的凸起高度，軸向基準(zhǔn)塊(2)的凸起高度與砂輪(1)凸起高度之間的差值為硅棒被磨切掉的長(zhǎng)度，還包括電機(jī)(13)、皮帶(14)和傳動(dòng)軸(15)，電機(jī)(13)通過皮帶(14)帶動(dòng)傳動(dòng)軸(15)轉(zhuǎn)動(dòng)。本發(fā)明由于采用了以上技術(shù)方案，采用了砂輪磨切替代傳統(tǒng)鋼絲切割，可使硅片切割平整，硅片厚度一致。

技術(shù)研發(fā)人員：孫明祥
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江好亞能源股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.24
技術(shù)公布日：2017.09.29