觀察窗防污組件及其使用方法、真空鍍膜系統(tǒng)與流程

本發(fā)明涉及制造領(lǐng)域，特別涉及一種觀察窗防污組件及其使用方法、真空鍍膜系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

在顯示器的制造過(guò)程中，鍍膜工藝一般都在真空鍍膜腔室中進(jìn)行，真空鍍膜腔室上一般設(shè)置有觀察窗，生產(chǎn)人員可以通過(guò)該觀察窗觀察真空鍍膜腔室內(nèi)部的生產(chǎn)情況。

由于在鍍膜過(guò)程中，鍍膜材料可能會(huì)鍍到觀察窗上，導(dǎo)致觀察窗被污染，繼而導(dǎo)致觀察窗的能見度降低。目前，在真空鍍膜腔室內(nèi)部一般還設(shè)置有觀察窗防污組件，該觀察窗防污組件包括：把手、轉(zhuǎn)軸和擋板，其中，擋板設(shè)置在真空鍍膜腔室內(nèi)部，與設(shè)置在真空鍍膜腔室外部的把手通過(guò)轉(zhuǎn)軸固定連接，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)把手可以帶動(dòng)擋板移動(dòng)，在非觀察時(shí)期，可將該擋板移動(dòng)至觀察窗的位置上以遮擋觀察窗，以保護(hù)觀察窗不受污染。

但是，在觀察時(shí)期，觀察窗上由于沒(méi)有擋板保護(hù)，鍍膜材料還是會(huì)鍍到觀察窗上，仍然會(huì)造成觀察窗的污染，而污染后的觀察窗無(wú)法有效清洗，影響真空鍍膜腔室的使用效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了解決現(xiàn)有技術(shù)觀察窗上沒(méi)有擋板保護(hù)且污染后的觀察窗無(wú)法有效清洗，影響真空鍍膜腔室的使用效果的問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種觀察窗防污組件及其使用方法、真空鍍膜系統(tǒng)。所述技術(shù)方案如下：

第一方面，提供了一種觀察窗防污組件，包括：

設(shè)置在真空鍍膜腔室內(nèi)的透明擋板，所述透明擋板與所述真空鍍膜腔室可拆卸連接，所述透明擋板能夠覆蓋所述觀察窗。

可選地，所述透明擋板與所述觀察窗可拆卸靜連接；

所述觀察窗防污組件還包括：第一防污擋板和轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸穿過(guò)所述真空鍍膜腔室的側(cè)壁，所述轉(zhuǎn)軸一端位于所述真空鍍膜腔室內(nèi)，另一端位于所述真空鍍膜腔室外；

所述轉(zhuǎn)軸的一端與所述第一防污擋板連接；

在移動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸的另一端時(shí)，所述轉(zhuǎn)軸的一端能夠帶動(dòng)所述第一防污擋板移動(dòng)，使所述第一防污擋板覆蓋所述透明擋板，或者使所述第一防污擋板遠(yuǎn)離所述透明擋板。

可選地，所述透明擋板與所述真空鍍膜腔室的內(nèi)壁可拆卸動(dòng)連接；

所述觀察窗防污組件還包括：第一防污擋板、第二防污擋板和轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸穿過(guò)所述真空鍍膜腔室的側(cè)壁，所述轉(zhuǎn)軸一端位于所述真空鍍膜腔室內(nèi)，另一端位于所述真空鍍膜腔室外；

所述轉(zhuǎn)軸的一端與所述第一防污擋板和所述透明擋板分別連接；

在移動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸的另一端時(shí)，所述轉(zhuǎn)軸的一端能夠帶動(dòng)所述第一防污擋板和所述透明擋板同時(shí)移動(dòng)，使所述第一防污擋板或所述透明擋板覆蓋所述觀察窗；

所述第二防污擋板固定設(shè)置在所述真空鍍膜腔室內(nèi)壁上，用于在所述透明擋板未覆蓋所述觀察窗時(shí)，覆蓋所述透明擋板。

可選地，所述真空鍍膜腔室的側(cè)壁上設(shè)置有通孔，所述通孔上設(shè)置有軸承，所述軸承包括內(nèi)圈、外圈和位于所述內(nèi)圈和所述外圈之間的滾動(dòng)體，所述內(nèi)圈套接在所述轉(zhuǎn)軸上，所述外圈與所述內(nèi)壁固定連接，所述第一防污擋板與所述轉(zhuǎn)軸固定連接，所述透明擋板與所述外圈固定連接。

可選地，所述真空鍍膜腔室的側(cè)壁上設(shè)置有通孔，所述通孔上設(shè)置有軸承，所述軸承包括內(nèi)圈、外圈和位于所述內(nèi)圈和所述外圈之間的滾動(dòng)體，所述內(nèi)圈套接在所述轉(zhuǎn)軸上，所述外圈與所述內(nèi)壁固定連接，所述第一防污擋板和所述透明擋板均與所述轉(zhuǎn)軸固定連接，所述第一防污擋板和所述透明擋板位于同一平面，且所述第一防污擋板和所述透明擋板之間的距離為預(yù)設(shè)距離。

可選地，所述第一防污擋板由透明材料制成。

可選地，所述轉(zhuǎn)軸的另一端設(shè)置有把手；

所述把手包括：手持部和指示部，所述手持部上設(shè)置有滾紋，所述指示部用于指示所述觀察窗是否處于可觀察狀態(tài)。

第二方面，提供了一種真空鍍膜系統(tǒng)，所述真空鍍膜系統(tǒng)包括：

真空鍍膜腔室，以及設(shè)置在所述真空鍍膜腔室上的觀察窗防污組件，所述真空鍍膜腔室的側(cè)壁上設(shè)置有觀察窗，所述觀察窗防污組件為第一方面所述的觀察窗防污組件。

可選地，所述觀察窗防污組件還包括：轉(zhuǎn)軸和第一防污擋板，所述轉(zhuǎn)軸一端位于所述真空鍍膜腔室內(nèi)，另一端位于所述真空鍍膜腔室外；

所述真空鍍膜腔室的側(cè)壁上設(shè)置有通孔，所述通孔位于所述觀察窗上方，所述轉(zhuǎn)軸穿過(guò)所述通孔，在移動(dòng)所述轉(zhuǎn)軸的另一端時(shí)，所述轉(zhuǎn)軸的一端能夠帶動(dòng)所述第一防污擋板移動(dòng)。

第三方面，提供了一種觀察窗防污組件的使用方法，包括：

在需要觀察真空鍍膜腔室內(nèi)部時(shí)，將設(shè)置在所述真空鍍膜腔室內(nèi)的透明擋板覆蓋所述真空鍍膜腔室的觀察窗；

其中，所述透明擋板與所述真空鍍膜腔室可拆卸連接。

本發(fā)明實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來(lái)的有益效果是：

本發(fā)明實(shí)施例提供的觀察窗防污組件及其使用方法、真空鍍膜系統(tǒng)，通過(guò)在真空鍍膜腔室內(nèi)部設(shè)置透明擋板，并且該透明擋板與真空鍍膜腔室可拆卸連接，使得該透明擋板可以在觀察時(shí)期遮擋觀察窗，避免觀察窗在觀察時(shí)期被鍍上鍍膜材料，即保護(hù)觀察窗不受污染，并且，透明擋板的可拆卸連接，為透明擋板的更換和清洗提供了條件，保證了真空鍍膜腔室上的觀察窗的可視性，進(jìn)而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種真空鍍膜系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2-1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種觀察窗防污組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2-2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種第一防污擋板遠(yuǎn)離透明擋板時(shí)，第一防污擋板和透明擋板的位置示意圖；

圖2-3是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種第一防污擋板覆蓋透明擋板時(shí)，第一防污擋板和透明擋板的位置示意圖；

圖3-1是本發(fā)明實(shí)施例提供的另一種觀察窗防污組件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3-2是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種當(dāng)透明擋板覆蓋觀察窗時(shí)，第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板的位置示意圖；

圖3-3是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種當(dāng)?shù)谝环牢蹞醢甯采w觀察窗時(shí)，第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板的位置示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。

圖1是本發(fā)明實(shí)施例提供的觀察窗防污組件所涉及的真空鍍膜系統(tǒng)的示意圖。如圖1所示，該真空鍍膜系統(tǒng)s可以包括：真空鍍膜腔室0和觀察窗防污組件00。真空鍍膜腔室0上設(shè)置有觀察窗01，位于真空鍍膜腔室0外部的生產(chǎn)人員可以通過(guò)該觀察窗觀察真空鍍膜腔室0內(nèi)部的生產(chǎn)情況。觀察窗防污組件00設(shè)置在該真空鍍膜腔室0上，用于遮擋觀察窗01，以保護(hù)觀察窗01不受污染。

圖2-1是本發(fā)明實(shí)施例提供的一種觀察窗防污組件00的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2-1所示，該觀察窗防污組件00可以包括：

設(shè)置在真空鍍膜腔室內(nèi)的透明擋板001，透明擋板001與真空鍍膜腔室可拆卸連接。該可拆卸連接可以為可拆卸靜連接，該可拆卸靜連接是指透明擋板在與真空鍍膜腔室可拆卸連接的前提下，該透明擋板相對(duì)于真空鍍膜腔室能夠靜止，即無(wú)法發(fā)生移動(dòng)，如卡扣、螺栓或膠粘等可拆卸靜連接方式。示例地，透明擋板的邊緣處可以預(yù)留有連接區(qū)域，該連接區(qū)域可以通過(guò)螺栓與真空鍍膜腔室進(jìn)行連接?；蛘?，該可拆卸連接也可以為可拆卸動(dòng)連接，該可拆卸動(dòng)連接是指透明擋板在與真空鍍膜腔室可拆卸連接的前提下，該透明擋板相對(duì)于真空鍍膜腔室能夠活動(dòng)，即可以發(fā)生移動(dòng)。如透明擋板可以通過(guò)軸承與真空鍍膜腔室進(jìn)行連接，該軸承的外圈與真空鍍膜腔室相對(duì)固定，該軸承的內(nèi)圈與透明擋板連接，內(nèi)圈相對(duì)于外圈可活動(dòng)，即可實(shí)現(xiàn)透明擋板的可拆卸動(dòng)連接。該透明擋板與真空鍍膜腔室的可拆卸連接，為透明擋板的更換和清洗提供了條件。

其中，透明擋板001能夠覆蓋觀察窗01(為了便于觀看，圖2-1中繪出了觀察窗01的邊界，實(shí)際應(yīng)用中，觀察窗01被透明擋板001完全遮擋)，實(shí)際應(yīng)用中，可以使透明擋板001的面積大于或等于真空鍍膜腔室的觀察窗01的面積，以實(shí)現(xiàn)對(duì)觀察窗01的覆蓋，工作人員可以透過(guò)該覆蓋在觀察窗01上的透明擋板001對(duì)真空鍍膜腔室內(nèi)的生產(chǎn)情況進(jìn)行查看。需要說(shuō)明的是，為了便于觀看，圖2-1中繪制了真空鍍膜腔室0的部分內(nèi)壁，該觀察窗01位于真空鍍膜腔室0的側(cè)壁上。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的觀察窗防污組件，通過(guò)在真空鍍膜腔室內(nèi)部設(shè)置透明擋板，并且該透明擋板與真空鍍膜腔室可拆卸連接，使得該透明擋板可以在觀察時(shí)期遮擋觀察窗，避免觀察窗在觀察時(shí)期被鍍上鍍膜材料，即保護(hù)觀察窗不受污染，并且，透明擋板的可拆卸連接，為透明擋板的更換和清洗提供了條件，保證了真空鍍膜腔室上的觀察窗的可視性，進(jìn)而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

在本發(fā)明實(shí)施例中，透明擋板可以與觀察窗可拆卸靜連接，即透明擋板相對(duì)于觀察窗固定設(shè)置，也可以與觀察窗可拆卸動(dòng)連接，即透明擋板相對(duì)于觀察窗活動(dòng)設(shè)置。當(dāng)透明擋板相對(duì)于觀察窗活動(dòng)設(shè)置時(shí)，該透明擋板可以視為可移動(dòng)結(jié)構(gòu)，該透明擋板能夠被移動(dòng)至覆蓋或遠(yuǎn)離觀察窗。本發(fā)明實(shí)施例以以下兩方面為例進(jìn)行說(shuō)明：

一方面，如圖2-1所示，當(dāng)透明擋板001相對(duì)于觀察窗01固定設(shè)置時(shí)，觀察窗防污組件00還可以包括：第一防污擋板002和轉(zhuǎn)軸003，其中，該第一防污擋板002的面積大于或等于透明擋板001的面積，轉(zhuǎn)軸003穿過(guò)真空鍍膜腔室的側(cè)壁，其一端位于真空鍍膜腔室內(nèi)，另一端位于真空鍍膜腔室外(為了便于觀看，圖2-1中繪出了觀察窗01的邊界，實(shí)際應(yīng)用中，觀察窗01被透明擋板001完全遮擋)。

可選地，該轉(zhuǎn)軸003的一端與第一防污擋板002連接，在移動(dòng)轉(zhuǎn)軸003的另一端時(shí)，轉(zhuǎn)軸003的一端能夠帶動(dòng)第一防污擋板002移動(dòng)，使第一防污擋板002覆蓋透明擋板001，或者使第一防污擋板002遠(yuǎn)離透明擋板001。

在本發(fā)明實(shí)施例中，該透明擋板可以通過(guò)直接或間接的方式固定設(shè)置在觀察窗上，也即是直接或間接地設(shè)置在真空鍍膜腔室的內(nèi)壁上，例如，透明擋板可以通過(guò)螺栓固定連接在真空腔室的內(nèi)壁上，或者，透明擋板通過(guò)軸承固定連接在真空腔室的內(nèi)壁上，該軸承可以為滾動(dòng)軸承，該軸承至少包括內(nèi)圈、外圈和位于內(nèi)圈和外圈之間的滾動(dòng)體，該真空鍍膜腔室的側(cè)壁上可以設(shè)置有通孔，該通孔上設(shè)置有軸承，該軸承的外圈與真空腔室的內(nèi)壁固定連接，保持靜止，軸承的內(nèi)圈套接在轉(zhuǎn)軸上，與轉(zhuǎn)軸相對(duì)固定(圖2-1所示即為透明擋板通過(guò)軸承連接在轉(zhuǎn)軸上的間接連接方式)，第一防污擋板與轉(zhuǎn)軸固定連接(實(shí)際應(yīng)用中，第一防污擋板可以與內(nèi)圈固定連接，通過(guò)該內(nèi)圈實(shí)現(xiàn)與轉(zhuǎn)軸的連接)，透明擋板與軸承的外圈固定連接，由于內(nèi)圈和外圈之間存在滾動(dòng)體，在轉(zhuǎn)軸的另一端轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，內(nèi)圈相對(duì)于外圈轉(zhuǎn)動(dòng)，但是外圈保持靜止，相應(yīng)地，透明擋板也保持靜止。實(shí)際應(yīng)用中，該軸承還可以包括其他組件，例如保持架、密封圈和潤(rùn)滑油等，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)此不做限定。

可選地，第一防污擋板可以通過(guò)連接桿與轉(zhuǎn)軸連接，透明擋板可以通過(guò)連接桿與軸承的外圈連接，第一防污擋板和透明擋板與相應(yīng)的連接桿形成的整體結(jié)構(gòu)可以圖2-1所示的鐘擺狀結(jié)構(gòu)，也可以為其他結(jié)構(gòu)，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)其不做具體限定。進(jìn)一步的，為了保證真空鍍膜腔室的密閉性，可以在軸承的外圈與通孔之間設(shè)置密封圈。

當(dāng)?shù)谝环牢蹞醢暹h(yuǎn)離透明擋板時(shí)，第一防污擋板和透明擋板的位置可以參考圖2-2，此時(shí)，透明擋板001覆蓋在觀察窗上，工作人員能夠通過(guò)該透明擋板和觀察窗觀察真空鍍膜腔室內(nèi)部的生產(chǎn)情況，并且，由于該透明擋板的遮擋，觀察窗可以在其保護(hù)下不受污染。

當(dāng)?shù)谝环牢蹞醢甯采w透明擋板時(shí)，第一防污擋板和透明擋板的位置可以參考圖2-3，此時(shí)，透明擋板覆蓋在觀察窗上，在圖2-3中僅能看到第一防污擋板002。由于第一防污擋板對(duì)透明擋板的遮擋，透明擋板可以在其保護(hù)下不受污染，繼而可以降低透明擋板的更換和清洗頻率。并且，通過(guò)在真空鍍膜腔室外移動(dòng)轉(zhuǎn)軸的另一端，以通過(guò)真空鍍膜腔室內(nèi)轉(zhuǎn)軸一端的帶動(dòng)第一防污擋板移動(dòng)，進(jìn)而遮擋觀察窗，不僅保護(hù)了觀察窗不受污染，保證了真空鍍膜腔室的使用效果，還保證了第一防污擋板移動(dòng)的可操作性。

實(shí)際應(yīng)用中，透明擋板的一面可以與真空鍍膜腔室的內(nèi)壁貼合，第一防污擋板的一面可以與透明擋板的另一面貼合。這樣可以使透明擋板與觀察窗之間，以及第一防污擋板與透明擋板之間沒(méi)有縫隙，使得鍍膜材料無(wú)法通過(guò)該縫隙鍍到被遮擋的觀察窗和透明擋板上，保證了透明擋板對(duì)觀察窗和第一防污擋板對(duì)透明擋板的有效遮擋。

另一方面，如圖3-1所示，當(dāng)該透明擋板001相對(duì)于觀察窗活動(dòng)設(shè)置時(shí)，觀察窗防污組件00還可以包括：第一防污擋板002、第二防污擋板004和轉(zhuǎn)軸003，其中，該第一防污擋板002的面積可以大于或等于真空鍍膜腔室的觀察窗01的面積，第二防污擋板004的面積可以大于或等于透明擋板001的面積，轉(zhuǎn)軸003穿過(guò)真空鍍膜腔室的側(cè)壁，其一端位于真空鍍膜腔室內(nèi)，另一端位于真空鍍膜腔室外(為了便于觀看，圖3-1中繪出了觀察窗01的邊界，實(shí)際應(yīng)用中，觀察窗01被第一防污擋板002完全遮擋)。

可選地，轉(zhuǎn)軸003的一端與第一防污擋板002和透明擋板001分別連接。在移動(dòng)轉(zhuǎn)軸003的另一端時(shí)，轉(zhuǎn)軸003的一端可以帶動(dòng)第一防污擋板002和透明擋板001同時(shí)移動(dòng)，使第一防污擋板002或透明擋板001覆蓋觀察窗01。

在本發(fā)明實(shí)施例中，第二防污擋板004固定設(shè)置在真空鍍膜腔室的內(nèi)壁上，用于在透明擋板001未覆蓋觀察窗01時(shí)，覆蓋透明擋板001。第二防污擋板可以通過(guò)直接或間接的方式固定設(shè)置在真空鍍膜腔室的內(nèi)壁上，例如，第二防污擋板可以通過(guò)螺栓固定連接在真空腔室的內(nèi)壁上，或者，第二防污擋板通過(guò)軸承固定連接在真空腔室的內(nèi)壁上，該軸承可以為滾動(dòng)軸承，該軸承至少包括內(nèi)圈、外圈和位于內(nèi)圈和外圈之間的滾動(dòng)體，該軸承的外圈與真空腔室的內(nèi)壁固定連接，保持靜止，軸承的內(nèi)圈套接在轉(zhuǎn)軸上，與轉(zhuǎn)軸相對(duì)固定(圖3-1所示即為第二防污擋板通過(guò)軸承連接在真空腔室的內(nèi)壁上的間接連接方式)，第二防污擋板與軸承的外圈固定連接，由于內(nèi)圈和外圈之間存在滾動(dòng)體，在轉(zhuǎn)軸的另一端轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，內(nèi)圈相對(duì)于外圈轉(zhuǎn)動(dòng)，但是外圈保持靜止，相應(yīng)地，第二防污擋板也保持靜止。

實(shí)際應(yīng)用中，透明擋板和第一防污擋板均與轉(zhuǎn)軸固定連接，(可選地，第一防污擋板和透明擋板可以均與內(nèi)圈固定連接，通過(guò)該內(nèi)圈實(shí)現(xiàn)與轉(zhuǎn)軸的連接)，透明擋板和第一防污擋板位于同一平面，且兩者之間的距離為預(yù)設(shè)距離，在轉(zhuǎn)軸的另一端轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，內(nèi)圈相對(duì)于外圈轉(zhuǎn)動(dòng)，透明擋板和第一防污擋板也同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)透明擋板或第一防污擋板對(duì)觀察窗的覆蓋。由于第一防污擋板和透明擋板之間的距離為預(yù)設(shè)距離，無(wú)論兩者在轉(zhuǎn)軸的帶動(dòng)下順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，兩者的距離依然保持固定，不會(huì)出現(xiàn)重合的情況。相應(yīng)地，為了實(shí)現(xiàn)第一防污擋板對(duì)觀察窗和第二防污擋板對(duì)透明擋板的有效遮擋，觀察窗與第二防污擋板之間的距離也為預(yù)設(shè)距離。進(jìn)一步的，為了保證真空鍍膜腔室的密閉性，可以在軸承的外圈與通孔之間設(shè)置密封圈。

當(dāng)透明擋板覆蓋觀察窗時(shí)，第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板的位置可以參考圖3-2，此時(shí)，透明擋板001覆蓋在觀察窗上，第一防污擋板002遠(yuǎn)離觀察窗，第二防污擋板004固定設(shè)置在真空鍍膜腔室的內(nèi)壁上，工作人員能夠通過(guò)該透明擋板和觀察窗觀察真空鍍膜腔室內(nèi)部的生產(chǎn)情況，并且，由于該透明擋板的遮擋，觀察窗可以在其保護(hù)下不受污染。

當(dāng)?shù)谝环牢蹞醢甯采w觀察窗時(shí)，第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板的位置可以參考圖3-3，此時(shí)，第二防污擋板004覆蓋在透明擋板上，在圖3-3中僅能看到第一防污擋板002和第二防污擋板004。由于第一防污擋板的遮擋，觀察窗可以在其保護(hù)下不受污染，并且，由于第二防污擋板的遮擋，透明擋板可以在其保護(hù)下不受污染，降低了透明擋板的更換和清洗頻率。

實(shí)際應(yīng)用中，第一防污擋板的一面可以與真空鍍膜腔室的內(nèi)壁貼合，透明擋板的一面可以與真空鍍膜腔室的內(nèi)壁貼合，第二防污擋板的一面可以與透明擋板的另一面貼合。這樣可以使第一防污擋板與觀察窗之間、透明擋板與觀察窗之間，以及第二防污擋板與透明擋板之間沒(méi)有縫隙，使得鍍膜材料不能夠通過(guò)該縫隙鍍到被遮擋的觀察窗和透明擋板上，保證了第一防污擋板對(duì)觀察窗、透明擋板對(duì)觀察窗，以及第二防污擋板對(duì)透明擋板的有效遮擋。

本發(fā)明實(shí)施例中，為了保證轉(zhuǎn)軸有效穿過(guò)真空鍍膜腔室的側(cè)壁，轉(zhuǎn)軸可以穿過(guò)設(shè)置在真空鍍膜腔室的側(cè)壁上的通孔，使得轉(zhuǎn)軸的一端位于真空鍍膜腔室內(nèi)，另一端位于真空鍍膜腔室外。該通孔的設(shè)置，為工作人員在真空鍍膜腔室外對(duì)真空鍍膜腔室內(nèi)的擋板的移動(dòng)進(jìn)行控制，提供了條件。

可選地，第一防污擋板和透明擋板均可以通過(guò)連接桿與轉(zhuǎn)軸連接，第二防污擋板可以通過(guò)連接桿與軸承的外圈連接，第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板與相應(yīng)的連接桿形成的整體結(jié)構(gòu)可以圖3-1所示的鐘擺狀結(jié)構(gòu)，也可以為其他結(jié)構(gòu)，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)其不做具體限定。由于第一防污擋板和透明擋板之間的距離為預(yù)設(shè)距離，相應(yīng)地，當(dāng)?shù)谝环牢蹞醢?、透明擋板和第二防污擋板與相應(yīng)的連接桿形成的整體結(jié)構(gòu)為鐘擺狀結(jié)構(gòu)時(shí)，第一防污擋板對(duì)應(yīng)的整體結(jié)構(gòu)和透明擋板對(duì)應(yīng)的整體結(jié)構(gòu)形成的夾角為預(yù)設(shè)夾角。

可選地，在圖2-1和圖3-2中，轉(zhuǎn)軸的另一端可以設(shè)置有把手。該把手可以包括：手持部和指示部，手持部上設(shè)置有滾紋，指示部用于指示觀察窗是否處于可觀察狀態(tài)。真空腔室外的工作人員可以通過(guò)抓持并轉(zhuǎn)動(dòng)把手，以帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)擋板移動(dòng)。手持部上設(shè)置的滾紋，可以在抓持時(shí)增加手與手持部之間的摩擦力，使工作人員更容易地轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)軸。指示部為工作人員判斷觀察窗是否處于可觀察狀態(tài)提供了客觀標(biāo)準(zhǔn)，相較于工作人員通過(guò)人眼觀察等主觀判斷的方式進(jìn)行判斷，有效地提高了判斷的準(zhǔn)確性，進(jìn)而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

實(shí)際應(yīng)用中，觀察窗防污組件還可以包括：保持部，該保持部用于將可活動(dòng)的擋板保持在指定位置，該指定位置可以為上述指示部指示的位置所對(duì)應(yīng)的位置。設(shè)置保持部，可以實(shí)現(xiàn)可活動(dòng)的擋板的自動(dòng)位置保持，避免人工操作實(shí)現(xiàn)可活動(dòng)的擋板在指定位置的保持，減少操作復(fù)雜度。

例如，該保持部可以包括設(shè)置在轉(zhuǎn)軸的另一端的凸起結(jié)構(gòu)，和設(shè)置在該轉(zhuǎn)軸周圍的凹陷結(jié)構(gòu)，該凹陷結(jié)構(gòu)可以位于上述指示部指示的位置，在轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)到該指示的位置時(shí)，凸起結(jié)構(gòu)卡接在凹陷結(jié)構(gòu)內(nèi)，在不受到外力作用時(shí)，兩者保持卡接，使得可活動(dòng)的擋板(如圖2-1中的第一防污擋板)保持在相應(yīng)的位置，再次轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)軸時(shí)，凸起結(jié)構(gòu)在受力后可以脫離凹陷結(jié)構(gòu)，相應(yīng)地，可活動(dòng)的擋板解除剛才所保持的狀態(tài)。

示例地，當(dāng)工作人員通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)轉(zhuǎn)軸將第一防污擋板移動(dòng)至圖2-1中所示的遠(yuǎn)離透明擋板的位置時(shí)，凸起結(jié)構(gòu)卡接在凹陷結(jié)構(gòu)內(nèi)，使轉(zhuǎn)軸不再轉(zhuǎn)動(dòng)，將第一防污擋板保持在該位置。

需要說(shuō)明的是，凸起結(jié)構(gòu)和凹陷結(jié)構(gòu)中可以有至少一個(gè)是可形變材料制成，以避免兩者摩擦所造成的損傷。并且，實(shí)際應(yīng)用中，該保持部還可以有多種結(jié)構(gòu)，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)此不再贅述。

可選地，第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板可以設(shè)置有相應(yīng)的連接桿連接在轉(zhuǎn)軸上，第一防污擋板、透明擋板和第二防污擋板與連接桿形成的整體結(jié)構(gòu)可以圖2-1或圖3-1所示的鐘擺狀結(jié)構(gòu)，也可以為其他結(jié)構(gòu)，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)其不做具體限定。

需要說(shuō)明的是，當(dāng)?shù)谝环牢蹞醢迮c相應(yīng)的連接桿形成的整體結(jié)構(gòu)為圖2-1所示的鐘擺狀結(jié)構(gòu)時(shí)，或者，當(dāng)?shù)谝环牢蹞醢搴屯该鲹醢迮c相應(yīng)的連接桿形成的整體結(jié)構(gòu)為圖3-1所示的鐘擺狀結(jié)構(gòu)時(shí)，設(shè)置在真空鍍膜腔室側(cè)壁上的通孔可以位于觀察窗上方，通常，該第一防污擋板、透明擋板、通孔和觀察窗均可以為軸對(duì)稱結(jié)構(gòu)，該通孔的對(duì)稱軸與觀察窗的對(duì)稱軸重合。

可選地，透明擋板可以由透明材料制成，該透明材料需滿足具體較高透過(guò)率、具有一定硬度且不易碎。例如，該透明材料可以為樹脂等材料。

可選地，第一防污擋板和第二防污擋板可以由透明或不透明的材料制成，該材料只需滿足具體較高透過(guò)率、具有一定硬度且不易碎即可。例如，該材料可以為樹脂、鐵、銅、鎳或鐵銅鎳等金屬的合金等材料。當(dāng)?shù)谝环牢蹞醢逵赏该鞑牧现瞥蓵r(shí)，相對(duì)于圖2-1所示的觀察窗防污組件，該第一防污擋板可以在觀察時(shí)也覆蓋在透明擋板上，直至第一防污擋板的可視性不能滿足觀察為止；相對(duì)于圖3-1的所示的觀察窗防污組件，在第一防污擋板的可視性能夠滿足觀察的期間內(nèi)，可以將該第一防污擋板覆蓋在觀察窗上，使用戶能夠透過(guò)觀察窗和第一防污擋板對(duì)真空鍍膜腔室內(nèi)部的生產(chǎn)情況進(jìn)行查看，無(wú)需轉(zhuǎn)動(dòng)把手以實(shí)現(xiàn)第一防污擋板和透明擋板的切換，直至第一防污擋板的可視性不能滿足觀察后，再進(jìn)行第一防污擋板和透明擋板的切換。因此，第一防污擋板由透明材料制成，一方面，可以減少透明擋板被污染的幾率，實(shí)現(xiàn)對(duì)透明擋板的有效保護(hù)，并且進(jìn)一步地降低了透明擋板的更換和清洗頻率；另一方面，在第一防污擋板的可視性能夠滿足觀察的期間內(nèi)，可以透過(guò)第一防污擋板對(duì)真空鍍膜腔室內(nèi)部的生產(chǎn)情況進(jìn)行觀察，無(wú)需對(duì)第一防污擋板和透明擋板進(jìn)行切換，可以減少用戶操作。

可選地，在第一防污擋板和第二防污擋板的表面可以形成有具有一定深度的溝槽。并且，該溝槽中還可以填充有噴砂，或者，在第一防污擋板和第二防污擋板的表面噴涂有噴砂，該噴砂用以吸收真空鍍膜腔室中的水分和氧氣等影響鍍膜的物質(zhì)，從而保證鍍膜工藝的正常進(jìn)行。

需要說(shuō)明的是，在本發(fā)明實(shí)施例中的附圖中，觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的輪廓構(gòu)成的形狀均為圓形僅僅為一示意性的示例，并不用以限定。在實(shí)際應(yīng)用中，該形狀還可以為橢圓形、正方形或者長(zhǎng)方形等形狀。并且，觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的輪廓構(gòu)成的形狀可以全部相同，也可以全部不相同，還可以部分相同且部分不相同?？蛇x地，觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的大小可以相同，也可以不同，其大小只要保證透明擋板能夠覆蓋觀察窗，且第一防污擋板或第二防污擋板能夠覆蓋透明擋板即可。示例地，觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的形狀可以為等比例的相似圖形；或者，也可以為全等圖形。例如，觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的形狀可以為等比例的相似圓形，其中，觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和/或第二防污擋板的大小依次等比例增大；或者，觀察窗、透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的形狀也可以為大小相同的圓形。

還需要說(shuō)明的是，在本發(fā)明實(shí)施例中均以真空鍍膜腔室為立方體腔室為例進(jìn)行說(shuō)明，該立方體腔室的側(cè)壁為平面。實(shí)際應(yīng)用中，真空鍍膜腔室也可以為圓柱狀腔室或其他形狀的腔室，相應(yīng)地，其側(cè)壁可以為曲面或平面，對(duì)應(yīng)地，透明擋板、第一防污擋板和第二防污擋板的整體形狀也可以為曲面或平面，只要保證透明擋板與觀察窗且第一防污擋板與透明擋板能夠有效貼合即可，或者，只要保證透明擋板與觀察窗、第一防污擋板與觀察窗、且第二防污擋板與透明擋板能夠有效貼合即可，本發(fā)明實(shí)施例對(duì)其不做具體限定。

在本發(fā)明實(shí)施例中，觀察窗防污組件中的除透明擋板之外的擋板，如第一防污擋板，也可以與真空鍍膜腔室可拆卸連接，其連接方式可以參考上述透明擋板與真空鍍膜腔室可拆卸連接的方式。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的觀察窗防污組件，通過(guò)在真空鍍膜腔室內(nèi)部設(shè)置透明擋板，并且該透明擋板與真空鍍膜腔室可拆卸連接，使得該透明擋板可以在觀察時(shí)期遮擋觀察窗，避免觀察窗在觀察時(shí)期被鍍上鍍膜材料，即保護(hù)觀察窗不受污染，并且，透明擋板的可拆卸連接，為透明擋板的更換和清洗提供了條件，保證了真空鍍膜腔室上的觀察窗的可視性，進(jìn)而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種真空鍍膜系統(tǒng)，請(qǐng)參考圖1，該真空鍍膜系統(tǒng)s可以包括：真空鍍膜腔室0，以及設(shè)置在該真空鍍膜腔室0上的觀察窗防污組件00，并且，該真空鍍膜腔室0的側(cè)壁上設(shè)置有觀察窗01，該觀察窗防污組件00可以為圖2-1或圖3-1所示的觀察窗防污組件00。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的真空鍍膜系統(tǒng)，通過(guò)在真空鍍膜腔室上設(shè)置觀察窗防污組件，并且使用該觀察窗防污組件遮擋觀察窗，避免觀察窗被鍍上鍍膜材料，即保護(hù)觀察窗不受污染，進(jìn)而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

進(jìn)一步的，請(qǐng)參考圖2-1或圖3-1，該觀察窗防污組件00還可以包括：轉(zhuǎn)軸003和第一防污擋板002，其中，轉(zhuǎn)軸003一端位于真空鍍膜腔室0內(nèi)，另一端位于真空鍍膜腔室0外。

可選地，真空鍍膜腔室的側(cè)壁上可以設(shè)置有通孔(圖中未畫出)，該通孔可以位于觀察窗上方，轉(zhuǎn)軸穿過(guò)該通孔，在移動(dòng)轉(zhuǎn)軸003的另一端時(shí)，轉(zhuǎn)軸的一端能夠帶動(dòng)第一防污擋板轉(zhuǎn)動(dòng)。

可選地，在通孔上還可以設(shè)置有軸承，該軸承可以為滾動(dòng)軸承，該軸承可以包括內(nèi)圈、外圈和位于內(nèi)圈和外圈之間的滾動(dòng)體，該內(nèi)圈可以套接在轉(zhuǎn)軸上，與轉(zhuǎn)軸相對(duì)固定，該外圈可以與內(nèi)壁固定連接，保持靜止。

當(dāng)設(shè)置在真空鍍膜腔室上的觀察窗防污組件為圖2-1所示的觀察窗防污組件時(shí)，第一防污擋板與轉(zhuǎn)軸固定連接(實(shí)際應(yīng)用中，第一防污擋板可以與內(nèi)圈固定連接，通過(guò)該內(nèi)圈實(shí)現(xiàn)與轉(zhuǎn)軸的連接)，透明擋板與軸承的外圈固定連接，第一防污擋板可以在轉(zhuǎn)軸的帶動(dòng)下覆蓋或遠(yuǎn)離透明擋板，透明擋板由于與軸承的外圈固定連接，在轉(zhuǎn)軸的另一端轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，外圈能夠保持靜止，相應(yīng)地，透明擋板也能夠保持靜止。

當(dāng)設(shè)置在真空鍍膜腔室上的觀察窗防污組件為圖3-1所示的觀察窗防污組件時(shí)，第一防污擋板和透明擋板均與轉(zhuǎn)軸固定連接，第二防污擋板與軸承的外圈固定連接。第一防污擋板和透明擋板位于同一平面，且第一防污擋板的中軸線所在方向與透明擋板的中軸線所在方向呈預(yù)設(shè)夾角。在轉(zhuǎn)軸的另一端轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，透明擋板和第一防污擋板也同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，可以實(shí)現(xiàn)透明擋板或第一防污擋板對(duì)觀察窗的覆蓋。第二防污擋板與軸承的外圈固定連接，在轉(zhuǎn)軸的另一端轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，外圈能夠保持靜止，相應(yīng)地，第二防污擋板也能夠保持靜止。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的真空鍍膜系統(tǒng)，通過(guò)在真空鍍膜腔室上設(shè)置觀察窗防污組件，并且使用該觀察窗防污組件遮擋觀察窗，避免觀察窗被鍍上鍍膜材料，即保護(hù)觀察窗不受污染，進(jìn)而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

本發(fā)明實(shí)施例還提供了一種觀察窗防污組件的使用方法，該方法可以包括：在需要觀察真空鍍膜腔室內(nèi)部時(shí)，將設(shè)置在真空鍍膜腔室內(nèi)的透明擋板覆蓋真空鍍膜腔室的觀察窗。其中，透明擋板與真空鍍膜腔室可拆卸連接，該可拆卸連接為透明擋板的更換和清洗提供了條件。

示例地，當(dāng)該方法涉及的觀察窗防污組件可以為圖2-1所示的結(jié)構(gòu)時(shí)，透明擋板相對(duì)于觀察窗固定設(shè)置，當(dāng)工作人員需要觀察真空鍍膜腔室內(nèi)部的生產(chǎn)情況時(shí)，可以通過(guò)抓持并轉(zhuǎn)動(dòng)把手的手持部，以帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，使把手上的指示部指示在觀察狀態(tài)，此時(shí)，第一防污擋板遠(yuǎn)離透明擋板，工作人員可以通過(guò)透明擋板和觀察窗進(jìn)行觀察；當(dāng)不需要觀察真空鍍膜腔室內(nèi)部的生產(chǎn)情況時(shí)，工作人員可以通過(guò)抓持并轉(zhuǎn)動(dòng)把手的手持部，以帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，使把手上的指示部指示在非觀察狀態(tài)，此時(shí)，第一防污擋板覆蓋透明擋板，透明擋板可以在其保護(hù)下不受污染，繼而降低透明擋板的更換和清洗頻率。

示例地，當(dāng)該方法涉及的觀察窗防污組件可以為圖3-1所示的結(jié)構(gòu)時(shí)，透明擋板相對(duì)于觀察窗活動(dòng)設(shè)置，當(dāng)工作人員需要觀察真空鍍膜腔室內(nèi)部的生產(chǎn)情況時(shí)，可以通過(guò)抓持并轉(zhuǎn)動(dòng)把手的手持部，以帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，使把手上的指示部指示在觀察狀態(tài)，此時(shí)，透明擋板覆蓋觀察窗，工作人員可以通過(guò)透明擋板和觀察窗進(jìn)行觀察，并且，觀察窗在透明擋板的遮擋下可以免受污染；當(dāng)不需要觀察真空鍍膜腔室內(nèi)部的生產(chǎn)情況時(shí)，工作人員可以通過(guò)抓持并轉(zhuǎn)動(dòng)把手的手持部，以帶動(dòng)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，使把手上的指示部指示在非觀察狀態(tài)，此時(shí)，第一防污擋板覆蓋觀察窗，且使第二防污擋板覆蓋透明擋板，第一防污擋板可以保護(hù)觀察窗不受污染，第二防污擋板可以保護(hù)透明擋板不受污染。

需要說(shuō)明的是，當(dāng)觀察窗防污組件并未設(shè)置把手或者把手上并未設(shè)置指示部時(shí)，當(dāng)工作人員需要觀察真空鍍膜腔室內(nèi)部的生產(chǎn)情況時(shí)，工作人員可以觀察通過(guò)觀察窗是否可以看到真空鍍膜腔室內(nèi)部的圖像，若通過(guò)觀察窗無(wú)法看到真空鍍膜腔室內(nèi)部的圖像(例如，第一防污擋板不透明，圖2-1中，透明擋板相對(duì)于觀察窗固定設(shè)置，第一防污擋板覆蓋透明擋板；或者，圖3-1中，透明擋板相對(duì)于觀察窗活動(dòng)設(shè)置，第一防污擋板覆蓋觀察窗，透明擋板遠(yuǎn)離觀察窗)，旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸直至可以看到真空鍍膜腔室內(nèi)部的圖像(例如，第一防污擋板不透明，圖2-1中，透明擋板相對(duì)于觀察窗固定設(shè)置，第一防污擋板遠(yuǎn)離透明擋板；或者，圖3-1中，透明擋板相對(duì)于觀察窗活動(dòng)設(shè)置，第一防污擋板遠(yuǎn)離觀察窗，透明擋板覆蓋觀察窗)，然后進(jìn)行生產(chǎn)情況的觀察，若持續(xù)無(wú)法看到清晰的真空鍍膜腔室內(nèi)部的圖像，說(shuō)明透明擋板和/或觀察窗被污染，需要對(duì)透明擋板和觀察窗進(jìn)行檢查，對(duì)被污染的透明擋板進(jìn)行拆卸清洗，若觀察窗也被污染，對(duì)觀察窗也進(jìn)行清洗。

若通過(guò)觀察窗可以看到真空鍍膜腔室內(nèi)部的圖像(例如，第一防污擋板透明，第一防污擋板和/或透明擋板覆蓋觀察窗)，工作人員可以直接進(jìn)行生產(chǎn)情況的觀察，但是若通過(guò)觀察窗可以看到的真空鍍膜腔室內(nèi)部的圖像較模糊，工作人員可以旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)軸直至可以看到清晰的真空鍍膜腔室內(nèi)部的圖像(例如，第一防污擋板透明，圖2-1中，透明擋板相對(duì)于觀察窗固定設(shè)置，第一防污擋板遠(yuǎn)離透明擋板；或者，圖3-1中，透明擋板相對(duì)于觀察窗活動(dòng)設(shè)置，第一防污擋板遠(yuǎn)離觀察窗，透明擋板覆蓋或者遠(yuǎn)離觀察窗)，然后進(jìn)行生產(chǎn)情況的觀察，若持續(xù)無(wú)法看到清晰的真空鍍膜腔室內(nèi)部的圖像，說(shuō)明擋板和/或觀察窗被污染，該被擋板包括上述透明的第一防污擋板和透明擋板，需要進(jìn)行對(duì)擋板和觀察窗進(jìn)行檢查，對(duì)被污染的擋板進(jìn)行拆卸清洗，若觀察窗也被污染，對(duì)觀察窗也進(jìn)行清洗。

所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員可以清楚地了解到，為描述的方便和簡(jiǎn)潔，上述描述的方法的具體步驟，可以參考前述裝置實(shí)施例中的對(duì)應(yīng)過(guò)程，在此不再贅述。

綜上所述，本發(fā)明實(shí)施例提供的觀察窗防污組件的使用方法，通過(guò)將透明擋板設(shè)置在真空鍍膜腔室內(nèi)，使透明擋板覆蓋真空鍍膜腔室的觀察窗，避免觀察窗在觀察時(shí)期被鍍上鍍膜材料，即保護(hù)觀察窗不受污染，并且，透明擋板的可拆卸連接，為透明擋板的更換和清洗提供了條件，保證了真空鍍膜腔室上的觀察窗的可視性，進(jìn)而保證了真空鍍膜腔室的使用效果。

通過(guò)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解實(shí)現(xiàn)上述實(shí)施例的全部或部分步驟可以通過(guò)硬件來(lái)完成，也可以通過(guò)程序來(lái)指令相關(guān)的硬件完成，所述的程序可以存儲(chǔ)于一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)中，上述提到的存儲(chǔ)介質(zhì)可以是只讀存儲(chǔ)器，磁盤或光盤等。

以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。