一種實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種蝕刻裝置，尤其涉及一種實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置。本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠提高反應(yīng)速率、能夠提高蝕刻質(zhì)量的實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了這樣一種實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置，包括有底板、左側(cè)板、滑軌Ⅰ、支桿Ⅰ、支桿Ⅱ、支桿Ⅲ、滑軌Ⅱ、右側(cè)板、固定板、蝕刻液箱、滑塊Ⅰ、齒條Ⅰ、電機(jī)、皮帶輪Ⅰ、齒輪Ⅰ、處理箱、滑塊Ⅱ、齒條Ⅱ、皮帶輪Ⅱ、齒輪Ⅱ、平皮帶、流通箱Ⅰ、活塞Ⅰ、連桿Ⅰ、水泵、出水管、閥門Ⅰ、流通箱Ⅱ、活塞Ⅱ、連桿Ⅱ、流通管、閥門Ⅱ、進(jìn)水管、閥門Ⅲ、單向閥Ⅰ和單向閥Ⅱ。本實(shí)用新型達(dá)到了反提高應(yīng)速率、能夠提高蝕刻質(zhì)量的效果。
【專利說明】
一種實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種蝕刻裝置，尤其涉及一種實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]通常所指蝕刻也稱光化學(xué)蝕刻，指通過曝光制版、顯影后，將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)膜去除，在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液，達(dá)到溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。最早可用來制造銅版、鋅版等印刷凹凸版，也廣泛地被使用于減輕重量儀器鑲板，銘牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄形工件等的加工；經(jīng)過不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展，亦可以用于航空、機(jī)械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工，特別在半導(dǎo)體制程上，蝕刻更是不可或缺的技術(shù)。
[0003]現(xiàn)有的蝕刻裝置存在反應(yīng)速率慢、影響蝕刻質(zhì)量的缺點(diǎn)，因此亟需研發(fā)一種反提高應(yīng)速率、能夠提高蝕刻質(zhì)量的實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004](I)要解決的技術(shù)問題
[0005]本實(shí)用新型為了克服現(xiàn)有的蝕刻裝置存在反應(yīng)速率慢、影響蝕刻質(zhì)量的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種能夠提高反應(yīng)速率、能夠提高蝕刻質(zhì)量的實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置。
[0006](2)技術(shù)方案
[0007]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了這樣一種實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置，包括有底板、左側(cè)板、滑軌1、支桿1、支桿π、支桿m、滑軌π、右側(cè)板、固定板、蝕刻液箱、滑塊1、齒條1、電機(jī)、皮帶輪1、齒輪1、處理箱、滑塊π、齒條π、皮帶輪π、齒輪π、平皮帶、流通箱1、活塞1、連桿1、水栗、出水管、閥門1、流通箱Π、活塞Π、連桿Π、流通管、閥門Π、進(jìn)水管、閥門m、單向閥I和單向閥π，底板上從左至右依次設(shè)有左側(cè)板、滑軌1、支桿1、支桿π、支桿m、滑軌π和右側(cè)板，左側(cè)板與右側(cè)板之間上部連接有固定板，固定板上安裝有蝕刻液箱，滑軌I上設(shè)有滑塊I，滑塊I上設(shè)有齒條I，支桿I上設(shè)有電機(jī)，電機(jī)的后部設(shè)有皮帶輪I，皮帶輪I的后部安裝有齒輪I，齒輪I與齒條I嚙合，支桿π上安裝有處理箱，滑軌Π上設(shè)有滑塊Π，滑塊π上設(shè)有齒條π，支桿m上設(shè)有皮帶輪π，皮帶輪π的后部設(shè)有齒輪π，齒輪π與齒條π嚙合，皮帶輪I與皮帶輪π之間連接有平皮帶，左側(cè)板上中部安裝有流通箱I，流通箱I內(nèi)設(shè)有活塞I，活塞I的底端連接有連桿I，連桿I的底部與齒條I連接，處理箱內(nèi)設(shè)有水栗，水栗與流通箱I之間連接有出水管，出水管上設(shè)有閥門I，右側(cè)板左側(cè)中部安裝有流通箱π，流通箱Π內(nèi)設(shè)有活塞Π，活塞Π的底端連接有連桿Π，連桿Π的底端與齒條Π連接，流通箱I與流通箱Π上部之間連接有流通管，流通管上設(shè)有閥門Π，流通管的右側(cè)底端與處理箱之間連接有進(jìn)水管，進(jìn)水管位于閥門π的右側(cè)，進(jìn)水管上設(shè)有閥門m，流通箱I與蝕刻液箱之間連接有單向閥I，蝕刻液箱與流通箱Π之間連接有單向閥Π。
[0008]優(yōu)選地，還包括有殼體和電熱絲，蝕刻液箱的底部設(shè)有殼體，殼體內(nèi)設(shè)有電熱絲。
[0009]優(yōu)選地，電機(jī)為伺服電機(jī)。
[0010]工作原理:流通箱I與蝕刻液箱內(nèi)有蝕刻液，當(dāng)要對(duì)銅板、鋅版等進(jìn)行蝕刻時(shí)，將銅板等放入蝕刻液箱內(nèi)，啟動(dòng)電機(jī)順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，電機(jī)順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)皮帶輪I順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，皮帶輪I順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒輪I順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪I順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒條I向上運(yùn)動(dòng)，齒條I向上運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)活塞I向上運(yùn)動(dòng)，流通箱I內(nèi)的蝕刻液通過單向閥I流入蝕刻液箱內(nèi)，蝕刻液箱內(nèi)的蝕刻液通過單向閥π流入流通箱Π，因?yàn)槠л咺與皮帶輪Π之間連接有平皮帶，所以皮帶輪I順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)皮帶輪π順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，皮帶輪Π順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒輪Π順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪π順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒條Π向下運(yùn)動(dòng)，齒條Π向下運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)活塞Π向下運(yùn)動(dòng)，當(dāng)蝕刻液箱內(nèi)的蝕刻液全部流入流通箱π后，啟動(dòng)電機(jī)逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，電機(jī)逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)皮帶輪I逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，皮帶輪I逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒輪I逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪I逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒條I向下運(yùn)動(dòng)，從而使活塞I向下運(yùn)動(dòng)，因?yàn)槠л咺與皮帶輪Π之間連接有平皮帶，所以皮帶輪I逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)皮帶輪Π逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，皮帶輪Π逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒輪Π逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪Π逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒條π向上運(yùn)動(dòng)，齒輪Π向上運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)活塞Π向上運(yùn)動(dòng)，從而使流通箱Π內(nèi)的蝕刻液流到流通箱π底部，打開閥門Π，流通箱Π內(nèi)的蝕刻液通過流通管流回流通箱I內(nèi)，重復(fù)以上操作，使蝕刻液在流通箱1、蝕刻液箱和流通箱π內(nèi)來回流動(dòng)。當(dāng)蝕刻液箱內(nèi)的蝕刻液由于多次蝕刻而造成蝕刻濃度低時(shí)，關(guān)閉閥門Π，將閥門m打開，流通箱π內(nèi)的蝕刻液流入處理箱內(nèi)，處理箱內(nèi)有能增加蝕刻液離子的濃度，使蝕刻液的濃度更濃，控制氣栗工作，打開閥門I，將濃度加強(qiáng)過的蝕刻液通過出水管重新流入流通箱I。
[0011 ]因?yàn)檫€包括有殼體和電熱絲，蝕刻液箱的底部設(shè)有殼體，殼體內(nèi)設(shè)有電熱絲，當(dāng)蝕刻液的溫度降低時(shí)，控制電熱絲加熱，能更好的控制蝕刻液的溫度。
[0012]因?yàn)殡姍C(jī)為伺服電機(jī)，能更好的控制其轉(zhuǎn)速。
[0013](3)有益效果
[0014]本實(shí)用新型達(dá)到了反提高應(yīng)速率、能夠提高蝕刻質(zhì)量的效果。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實(shí)用新型的第一種主視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2為本實(shí)用新型的第二種主視結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]附圖中的標(biāo)記為:1-底板，2-左側(cè)板，3-滑軌I，4-支桿I，5_支桿Π，6_支桿ΙΠ，7_滑軌Π，8-右側(cè)板，9-固定板，10-蝕刻液箱，11-滑塊I，12-齒條I，13-電機(jī)，14-皮帶輪I，15-齒輪I，16-處理箱，17-滑塊Π，18-齒條Π，19-皮帶輪Π，20_齒輪Π，21-平皮帶，22-流通箱I，
23-活塞I，24-連桿I，25-水栗，26-出水管，27-閥門I，28_流通箱Π，29_活塞Π，30_連桿Π，31_流通管，32-閥門Π，33-進(jìn)水管，34-閥門ΙΠ，35-單向閥I，36-單向閥Π，37-殼體，38-電熱絲。
【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。
[0019]實(shí)施例1
[0020]—種實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置，如圖1-2所示，包括有底板1、左側(cè)板2、滑軌13、支桿14、支桿Π 5、支桿ΙΠ 6、滑軌Π 7、右側(cè)板8、固定板9、蝕刻液箱1、滑塊111、齒條112、電機(jī)13、皮帶輪114、齒輪115、處理箱16、滑塊Π 17、齒條Π 18、皮帶輪Π 19、齒輪Π20、平皮帶21、流通箱I22、活塞123、連桿124、水栗25、出水管26、閥門127、流通箱Π 28、活塞Π 29、連桿Π 30、流通管31、閥門Π 32、進(jìn)水管33、閥門ΙΠ34、單向閥135和單向閥Π 36，底板I上從左至右依次設(shè)有左側(cè)板2、滑軌13、支桿14、支桿Π 5、支桿ΙΠ6、滑軌Π 7和右側(cè)板8，左側(cè)板2與右側(cè)板8之間上部連接有固定板9，固定板9上安裝有蝕刻液箱10，滑軌13上設(shè)有滑塊111，滑塊111上設(shè)有齒條112，支桿14上設(shè)有電機(jī)13，電機(jī)13的后部設(shè)有皮帶輪114，皮帶輪114的后部安裝有齒輪I15，齒輪115與齒條112嚙合，支桿Π 5上安裝有處理箱16，滑軌Π 7上設(shè)有滑塊Π 17，滑塊Π17上設(shè)有齒條Π 18，支桿ΙΠ6上設(shè)有皮帶輪Π 19，皮帶輪Π 19的后部設(shè)有齒輪Π 20，齒輪Π20與齒條Π 18嚙合，皮帶輪114與皮帶輪Π 19之間連接有平皮帶21，左側(cè)板2上中部安裝有流通箱122，流通箱122內(nèi)設(shè)有活塞123，活塞123的底端連接有連桿124，連桿124的底部與齒條112連接，處理箱16內(nèi)設(shè)有水栗25，水栗25與流通箱122之間連接有出水管26，出水管26上設(shè)有閥門127，右側(cè)板8左側(cè)中部安裝有流通箱Π 28，流通箱Π 28內(nèi)設(shè)有活塞Π 29，活塞Π 29的底端連接有連桿Π 30，連桿Π 30的底端與齒條Π 18連接，流通箱122與流通箱Π 28上部之間連接有流通管31，流通管31上設(shè)有閥門Π 32，流通管31的右側(cè)底端與處理箱16之間連接有進(jìn)水管33，進(jìn)水管33位于閥門Π 32的右側(cè)，進(jìn)水管33上設(shè)有閥門ΙΠ34，流通箱122與蝕刻液箱1之間連接有單向閥135，蝕刻液箱1與流通箱Π 28之間連接有單向閥Π 36。
[0021]還包括有殼體37和電熱絲38，蝕刻液箱10的底部設(shè)有殼體37，殼體37內(nèi)設(shè)有電熱絲38。
[0022]電機(jī)13為伺服電機(jī)13。
[0023]工作原理:流通箱122與蝕刻液箱10內(nèi)有蝕刻液，當(dāng)要對(duì)銅板、鋅版等進(jìn)行蝕刻時(shí)，將銅板等放入蝕刻液箱10內(nèi)，啟動(dòng)電機(jī)13順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，電機(jī)13順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)皮帶輪114順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，皮帶輪114順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒輪115順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪115順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒條I12向上運(yùn)動(dòng)，齒條112向上運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)活塞123向上運(yùn)動(dòng)，流通箱122內(nèi)的蝕刻液通過單向閥I35流入蝕刻液箱10內(nèi)，蝕刻液箱10內(nèi)的蝕刻液通過單向閥Π 36流入流通箱Π 28，因?yàn)槠л?14與皮帶輪Π 19之間連接有平皮帶21，所以皮帶輪114順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)皮帶輪Π 19順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，皮帶輪Π 19順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒輪Π 20順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪Π 20順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒條Π 18向下運(yùn)動(dòng)，齒條Π 18向下運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)活塞Π 29向下運(yùn)動(dòng)，當(dāng)蝕刻液箱1內(nèi)的蝕刻液全部流入流通箱Π 28后，啟動(dòng)電機(jī)13逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，電機(jī)13逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)皮帶輪114逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，皮帶輪114逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒輪115逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪115逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒條112向下運(yùn)動(dòng)，從而使活塞123向下運(yùn)動(dòng)，因?yàn)槠л?14與皮帶輪Π 19之間連接有平皮帶21，所以皮帶輪114逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)皮帶輪Π 19逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，皮帶輪Π 19逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒輪Π 20逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，齒輪Π 20逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)齒條Π 18向上運(yùn)動(dòng)，齒輪Π 20向上運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)活塞Π 29向上運(yùn)動(dòng)，從而使流通箱Π 28內(nèi)的蝕刻液流到流通箱Π 28底部，打開閥門Π 32，流通箱Π 28內(nèi)的蝕刻液通過流通管31流回流通箱122內(nèi)，重復(fù)以上操作，使蝕刻液在流通箱122、蝕刻液箱10和流通箱Π 28內(nèi)來回流動(dòng)。當(dāng)蝕刻液箱10內(nèi)的蝕刻液由于多次蝕刻而造成蝕刻濃度低時(shí)，關(guān)閉閥門Π 32，將閥門ΙΠ34打開，流通箱Π 28內(nèi)的蝕刻液流入處理箱16內(nèi)，處理箱16內(nèi)有能增加蝕刻液離子的濃度，使蝕刻液的濃度更濃，控制氣栗工作，打開閥門127，將濃度加強(qiáng)過的蝕刻液通過出水管26重新流入流通箱122。
[0024]因?yàn)檫€包括有殼體37和電熱絲38，蝕刻液箱10的底部設(shè)有殼體37，殼體37內(nèi)設(shè)有電熱絲38，當(dāng)蝕刻液的溫度降低時(shí)，控制電熱絲38加熱，能更好的控制蝕刻液的溫度。
[0025]因?yàn)殡姍C(jī)13為伺服電機(jī)13，能更好的控制其轉(zhuǎn)速。
[0026]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形、改進(jìn)及替代，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置，其特征在于，包括有底板(I)、左側(cè)板(2)、滑軌1(3)、支桿I(4)、支桿Π(5)、支桿ΙΠ(6)、滑軌Π (7)、右側(cè)板(8)、固定板(9)、蝕刻液箱(10)、滑塊1(11)、齒條1(12)、電機(jī)(13)、皮帶輪1(14)、齒輪1(15)、處理箱(16)、滑塊Π (17)、齒條Π (18)、皮帶輪Π (19)、齒輪Π (20)、平皮帶(21)、流通箱I (22)、活塞I (23)、連桿1(24)、水栗(25)、出水管(26)、閥門1(27)、流通箱Π (28)、活塞Π (29)、連桿Π (30)、流通管(31)、閥門Π (32)、進(jìn)水管(33)、閥門ΙΠ (34)、單向閥I (35)和單向閥Π (36)，底板(I)上從左至右依次設(shè)有左側(cè)板(2)、滑軌1(3)、支桿1(4)、支桿Π (5)、支桿ΙΠ(6)、滑軌Π (7)和右側(cè)板(8)，左側(cè)板(2)與右側(cè)板(8)之間上部連接有固定板(9)，固定板(9)上安裝有蝕刻液箱(10)，滑軌1(3)上設(shè)有滑塊1(11)，滑塊I(Il)上設(shè)有齒條1(12)，支桿1(4)上設(shè)有電機(jī)(13)，電機(jī)(13)的后部設(shè)有皮帶輪1(14)，皮帶輪1(14)的后部安裝有齒輪1(15)，齒輪1(15)與齒條1(12)嚙合，支桿Π(5)上安裝有處理箱(16)，滑軌Π(7)上設(shè)有滑塊Π (17)，滑塊Π (17)上設(shè)有齒條Π (18)，支桿ΙΠ(6)上設(shè)有皮帶輪Π (19)，皮帶輪Π (19)的后部設(shè)有齒輪Π (20)，齒輪Π (20)與齒條Π(18)嚙合，皮帶輪I(14)與皮帶輪Π (19)之間連接有平皮帶(21)，左側(cè)板(2)上中部安裝有流通箱1(22)，流通箱I (22)內(nèi)設(shè)有活塞I (23)，活塞I (23)的底端連接有連桿I (24)，連桿I(24)的底部與齒條I (12)連接，處理箱(16)內(nèi)設(shè)有水栗(25)，水栗(25)與流通箱I (22)之間連接有出水管(26)，出水管(26)上設(shè)有閥門I (27)，右側(cè)板(8)左側(cè)中部安裝有流通箱Π(28)，流通箱Π (28)內(nèi)設(shè)有活塞Π (29)，活塞Π (29)的底端連接有連桿Π (30)，連桿Π (30)的底端與齒條Π (18)連接，流通箱I (22)與流通箱Π (28)上部之間連接有流通管(31)，流通管(31)上設(shè)有閥門Π (32)，流通管(31)的右側(cè)底端與處理箱(16)之間連接有進(jìn)水管(33)，進(jìn)水管(33)位于閥門Π (32)的右側(cè)，進(jìn)水管(33)上設(shè)有閥門ΙΠ (34)，流通箱1(22)與蝕刻液箱(1)之間連接有單向閥I (35)，蝕刻液箱(1)與流通箱Π (28)之間連接有單向閥Π (36)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置，其特征在于，還包括有殼體(37)和電熱絲(38)，蝕刻液箱(10)的底部設(shè)有殼體(37)，殼體(37)內(nèi)設(shè)有電熱絲(38)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種實(shí)驗(yàn)室用蝕刻裝置，其特征在于，電機(jī)(13)為伺服電機(jī)(13)。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK205710922SQ201620573569
【公開日】2016年11月23日
【申請(qǐng)日】2016年6月13日
【發(fā)明人】張本漢
【申請(qǐng)人】信豐正天偉電子科技有限公司