1.一種化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，包括：
擴(kuò)散器，用于擴(kuò)散待沉積氣體，以形成薄膜；
載臺(tái)，用于放置待沉積基板，所述載臺(tái)與所述擴(kuò)散器相對(duì)設(shè)置；在所述擴(kuò)散器和所述載臺(tái)之間設(shè)置有至少一組光距離檢測(cè)組件，所述光距離檢測(cè)組件用于測(cè)量所述擴(kuò)散器和所述載臺(tái)之間的間距。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述光距離檢測(cè)組件包括光接收器和光發(fā)射器，所述光接收器的位置與所述光發(fā)射器的位置相對(duì)應(yīng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述光發(fā)射器位于所述擴(kuò)散器的內(nèi)表面；所述光接收器位于所述載臺(tái)的內(nèi)表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，在所述擴(kuò)散器上設(shè)置有第一凹槽，所述光發(fā)射器位于所述第一凹槽中。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述光發(fā)射器的頂部與所述擴(kuò)散器的內(nèi)表面位于同一平面內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，在所述載臺(tái)上設(shè)置有第二凹槽，所述光接收器位于所述第二凹槽中。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述光接收器的頂部與所述載臺(tái)的內(nèi)表面位于同一平面內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述擴(kuò)散器的內(nèi)表面上還設(shè)置有第一保護(hù)罩，所述第一保護(hù)罩包裹在所述光發(fā)射器外；
所述載臺(tái)的內(nèi)表面上還設(shè)置有第二保護(hù)罩，所述第二保護(hù)罩包裹在所述光接收器外。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述第一保護(hù)罩的材料和所述第二保護(hù)罩的材料都為耐高溫可透光材料。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的化學(xué)氣相沉積裝置，其特征在于，所述第一保護(hù)罩的頂部與所述擴(kuò)散器的內(nèi)表面位于同一平面內(nèi)。