一種降低電弧離子鍍氮化鈦涂層和鋁涂層中氧含量的方法與流程

技術(shù)特征：

1.一種降低電弧離子鍍氮化鈦涂層和鋁涂層中氧含量的方法，其特征在于所述方法為在電弧離子鍍氮化鈦涂層或鋁涂層過程當(dāng)中，向真空室內(nèi)連續(xù)通入純度為99.99%氫氣，氫氣的流量為0.05-0.5mL/min，可使涂層中的氧含量減少30-80wt.%。