高致密度氧化鋅基靶材及其制備方法與流程

技術(shù)特征：
1.一種高致密度氧化鋅基靶材的制備方法，其特征在于，依次包括如下步驟：混料步驟：向原料中加入粘結(jié)劑和水，混合均勻，得到均勻漿料，然后將所述漿料進(jìn)行干燥并制粉，得到粒度分布均勻的干燥粉末顆粒；所述干燥并制粉的方法為噴霧制粉工藝；脫粘結(jié)劑及除氣步驟：將所述干燥粉末顆粒裝入對(duì)應(yīng)尺寸的包套內(nèi)，進(jìn)行脫粘結(jié)劑及除氣處理；熱等靜壓步驟：將脫粘結(jié)劑及除氣完畢的包套封焊后進(jìn)行熱等靜壓處理；退火步驟：對(duì)去除包套后的錠坯進(jìn)行退火處理；其中，所述原料包括鋅源和氧源；所述熱等靜壓的保溫溫度為1000-1600℃，保溫時(shí)間1-10小時(shí)，壓力為50-200MPa；在所述退火步驟中，退火溫度為300-900℃，退火時(shí)間為1-10小時(shí)，退火氣氛為氧化氣氛。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述粘結(jié)劑是聚乙二醇、聚乙烯醇、聚乙烯縮丁醛或乙醇。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，當(dāng)所述鋅源和氧源為兩種不同的物質(zhì)時(shí)，所述鋅源為金屬鋅、醋酸鋅、草酸鋅、檸檬酸鋅、硝酸鋅、硫酸鋅、氟化鋅和氯化鋅中的一種或多種，所述氧源為氨水、尿素、硫脲和肼中的一種或多種，所述鋅源和氧源的質(zhì)量比為1:1至6:1；當(dāng)所述鋅源與氧源為同一種物質(zhì)時(shí)，所述鋅源與氧源均為ZnO粉末。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述ZnO粉末的平均粒度為0.005-5μm。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備方法，其特征在于，所述原料還包括摻雜源，所述摻雜源至少為氧化銦粉末、氧化鎵粉末、氧化鋰粉、錳粉、氧化釔粉、氧化鋯粉、鎢粉、銀粉、銅粉、氧化錫粉、鉍粉、鈷粉、鎳粉、鈦粉、鉬粉、鉻粉、氧化釩粉、硼粉和氧化鋁粉末中的一種；所述鋅源和氧源的總質(zhì)量與所述摻雜源的質(zhì)量比為5:1至500:1。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述混料步驟得到的干燥粉末顆粒的平均粒度為5-50μm。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述粘結(jié)劑的用量為所述原料總重量的5-20％；所述水的用量為所述原料總重量的30-200％。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，在脫粘結(jié)劑及除氣步驟中，所述脫粘結(jié)劑及除氣溫度為400-800℃，時(shí)間為10-30小時(shí)。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制備方法，其特征在于，所述脫粘結(jié)劑及除氣時(shí)的真空度為10-1Pa～10-4Pa。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，在熱等靜壓步驟中，所述熱等靜壓以氬氣作為壓力介質(zhì)。11.一種由權(quán)利要求1-10任一所述方法制備的氧化鋅基靶材，其特征在于，所述氧化鋅基靶材的密度不低于理論密度的99％，密度均勻，平均晶粒尺寸不大于30μm，無(wú)氣孔和疏松。