專利名稱:雙路水冷旋轉(zhuǎn)軸式真空動(dòng)密封器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及真空烘烤(鍍膜)容器中需由外部輸入動(dòng)力的真空動(dòng)密封技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及到能夠?qū)崿F(xiàn)真空旋轉(zhuǎn)軸式傳遞動(dòng)力的密封器件。
背景技術(shù):
在通用真空(鍍膜)容器中,內(nèi)部所需動(dòng)力通常都是通過動(dòng)密封器件由容器外部傳遞進(jìn)來的。常規(guī)工況下的旋轉(zhuǎn)軸動(dòng)密封組件型式主要有橡膠密封圈型、磁流體密封型、磁力傳動(dòng)型、液態(tài)金屬型幾種。然而,在有烘烤要求的真空(鍍膜)容器中的烘烤溫度一旦超過密封材料的工作溫度,就會(huì)使真空動(dòng)密封器件中的構(gòu)件和軸承過熱,從而使得密封材料產(chǎn)生老化、磁耦合材料產(chǎn)生退磁、低熔點(diǎn)密封材料升華等問題,嚴(yán)重影響動(dòng)密封器件的密封性能。因此,有烘烤·要求的真空(鍍膜)容器,要保證動(dòng)密封器件具有良好的真空動(dòng)態(tài)密封和動(dòng)力傳遞性能,必須給予良好的冷卻。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷而提供一種雙路水冷旋轉(zhuǎn)軸式高真空動(dòng)密封器件。本實(shí)用新型采用橡膠密封圈型式的旋轉(zhuǎn)軸動(dòng)密封結(jié)構(gòu),通過增加雙水冷卻結(jié)構(gòu)來解決容器內(nèi)過高的烘烤溫度對(duì)密封材料和構(gòu)件的影響問題。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是雙路水冷旋轉(zhuǎn)軸式真空動(dòng)密封器件,包括動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸,動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸通過軸承與密封座傳動(dòng)連接,軸承外設(shè)有通過六角螺釘連接的軸承壓蓋,還包括彈性擋圈,動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸的中心鉆有孔,導(dǎo)水管插入動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸的中心孔內(nèi),且中心孔的開口端通過導(dǎo)水孔補(bǔ)芯封堵;進(jìn)水嘴與導(dǎo)水管的內(nèi)部相連通,導(dǎo)水管的末端與導(dǎo)水管與動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸的中心孔的內(nèi)部之間夾層相通,最后與出水嘴相通,且進(jìn)水嘴和出水嘴都安裝在水冷密封座上。動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸與水冷密封座的兩接觸面上進(jìn)水嘴和出水嘴之間設(shè)有將冷卻進(jìn)水和出水隔斷的第一 O型密封圈;動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸與水冷密封座的兩接觸面上,進(jìn)水嘴和出水嘴的兩外側(cè)邊分別設(shè)有減壓和密封雙重作用的第二 O型密封圈;動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸與水冷密封座的兩接觸面上,靠近動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸的中心孔的開口端設(shè)有起對(duì)冷卻水第二道密封作用的骨架油封。密封座內(nèi)部設(shè)有空腔,空腔上連通有外部冷卻進(jìn)水嘴和外部冷卻出水嘴。密封座上通過螺栓連接絕緣套和絕緣板。靜密封座上切有環(huán)狀冷卻溝槽。本實(shí)用新型具有的有益效果是動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸與插入動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸的導(dǎo)水管構(gòu)成的冷卻水通道,對(duì)動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸以及軸承、骨架油封以及填充的真空脂等材料和構(gòu)件進(jìn)行了充分冷卻,避免了烘烤高溫對(duì)它們的影響;水冷密封座上設(shè)計(jì)的配、匯水環(huán)與旋轉(zhuǎn)軸上的進(jìn)、出水側(cè)孔,解決了將冷卻水導(dǎo)入旋轉(zhuǎn)軸的難題。另外還具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,尺寸緊湊、低成本高可靠性的優(yōu)點(diǎn)。
圖I 是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1.皮(齒形)帶輪;2.端蓋;3.第一擋圈;4.止退圓螺母;5.平鍵;6.骨架油封;7.第一內(nèi)六角螺釘;8.第二 O型密封圈;9.水冷密封座;10.出水嘴;11.第二內(nèi)六角螺釘;12.軸承;13.第二擋圈;14.真空脂杯;15.隔環(huán);16.動(dòng)密封座出水嘴;17.六角螺栓;18.絕緣套;19.絕緣板;20.密封座;21.橡膠密封圈;22.第三內(nèi)六角螺釘;23.軸承壓蓋;24.導(dǎo)水管;25.動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸;26.軸承;27.骨架油封;28.動(dòng)密封座進(jìn)水嘴;29.彈性擋圈;30.漏水檢測(cè)環(huán);31.第四內(nèi)六角螺釘;32.軸承壓蓋;33.第一 O型密封圈;34.進(jìn)水嘴;35.導(dǎo)水孔補(bǔ)心。
具體實(shí)施方式
雙路水冷旋轉(zhuǎn)軸式真空動(dòng)密封器件,包括動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25,動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25通過軸承12 (26)與密封座20傳動(dòng)連接,軸承12 (26)外設(shè)有通過第三內(nèi)六角螺釘22連接的軸承壓蓋23 (32),還包括彈性擋圈29,動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25的中心鉆有孔,導(dǎo)水管24插入動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25的中心孔內(nèi),且中心孔的開口端通過導(dǎo)水孔補(bǔ)芯35封堵;進(jìn)水嘴34與導(dǎo)水管24的內(nèi)部相連通,導(dǎo)水管24的末端與導(dǎo)水管24與動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25的中心孔的內(nèi)部之間夾層相通,最后與出水嘴10相通,且進(jìn)水嘴34和出水嘴10都安裝在水冷密封座9上。動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25與水冷密封座9的兩接觸面上,進(jìn)水嘴34和出水嘴10之間設(shè)有將冷卻進(jìn)水和出水隔斷的第一 O型密封圈33 ;動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25與水冷密封座9的兩接觸面上,進(jìn)水嘴34和出水嘴10的兩外側(cè)邊分別設(shè)有減壓和密封雙重作用的第二 O型密封圈8 ;動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25與水冷密封座9的兩接觸面上,靠近動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25的中心孔的開口端設(shè)有起對(duì)冷卻水第二道密封作用的骨架油封6。密封座20內(nèi)部設(shè)有空腔,空腔上連通有外部冷卻進(jìn)水嘴28和外部冷卻出水嘴16。密封座20上通過螺栓17連接絕緣套18和絕緣板19。靜密封座20上切有環(huán)狀冷卻溝槽。雙路水冷部分由端蓋2、骨架油封6、第一內(nèi)六角螺釘7、第二 O型密封圈8、水冷密封座9、出水嘴10、第二內(nèi)六角螺釘11、漏水檢測(cè)環(huán)30、動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25、第一 O型密封圈33、進(jìn)水嘴34和導(dǎo)水孔補(bǔ)芯35組成對(duì)動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸內(nèi)的水冷回路。此時(shí),冷卻水經(jīng)進(jìn)水嘴34進(jìn)入水冷密封座9的A點(diǎn)給水配水環(huán),再經(jīng)動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25上的進(jìn)水側(cè)孔進(jìn)入導(dǎo)水管24,冷卻水到達(dá)動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25的C點(diǎn)后從動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25和導(dǎo)水管24形成的夾套折返回到B點(diǎn)匯水環(huán),然后從出水嘴10流出,完成對(duì)動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25從內(nèi)部進(jìn)行的冷卻。為將導(dǎo)水管24插入動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25,在動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25中心鉆的孔,可在導(dǎo)水管24插入后用導(dǎo)水孔補(bǔ)芯35封補(bǔ)。冷卻進(jìn)、出水的隔斷由兩個(gè)O型密封圈承擔(dān),兩端O型密封圈肩負(fù)著減壓和密封的雙重作用,骨架油封6則起著冷卻水的第二道密封。軸承12 (26)起著將動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25定位在密封座20上的作用,配以軸承壓蓋23
(32)、彈性擋圈29以及內(nèi)第二內(nèi)六角螺釘11和31構(gòu)成了靜、動(dòng)一體傳遞旋轉(zhuǎn)動(dòng)力的運(yùn)動(dòng)組件,而兩端的骨架油封27、隔環(huán)15、第二擋圈13和真空脂杯14與動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25、密封座20 一同組成了高真空橡膠密封圈型式的動(dòng)密封構(gòu)件。[0020]另一路冷卻水由進(jìn)水嘴28進(jìn)入密封座20的冷卻環(huán)后經(jīng)由出水嘴16流出,完成動(dòng)密封座的外部冷卻。當(dāng)真空烘烤(鍍膜)容器中的工件需要加載偏壓電源時(shí),加裝絕緣套18和絕緣板19后即可構(gòu)成偏壓電源輸入的接入點(diǎn)。靜密封座20上切有環(huán)狀冷卻溝槽,提高冷卻面積,使得與靜密封座20有接觸的材料、構(gòu)件均得到充分冷卻。如圖I所示,動(dòng)密封器件部分的安裝將導(dǎo)水管24插入導(dǎo)水孔補(bǔ)心35中用氬弧焊焊接固定后插入動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25的孔中用螺紋副與動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25連接,然后用軸承26將密 封座20和動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25固聯(lián)在一起,裝上軸承壓蓋23用第三內(nèi)六角螺釘22壓緊,安裝密封座20右側(cè)的2組骨架油封27,推入充滿真空脂的隔環(huán)15以及骨架油封27,裝上第二擋圈13、軸承12,用第四內(nèi)六角螺釘31將軸承壓蓋32固定在密封座20上。裝上黃油杯14,進(jìn)出、水嘴28和16,至此,高真空橡膠密封圈型的動(dòng)密封器件部分裝配完成。雙路水冷部分的裝配先將漏水檢測(cè)環(huán)30放入軸承壓蓋30的孔中,壓入骨架油封6,將4組O型密封圈分別套在動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25的槽中,將裝有骨架油封6的水冷密封座9套裝在動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸25上用第二內(nèi)六角螺釘11連接固定,在水冷密封座9左端壓入骨架油封6后再將端蓋2用第一內(nèi)六角螺釘7固定在水冷密封座9上,裝上進(jìn)、出水嘴34和10,最后敲入平鍵5和皮(齒形)帶輪1,套入第一擋圈3后用止退圓螺母4鎖緊。至此,雙路水冷旋轉(zhuǎn)軸式真空動(dòng)密封器件安裝完畢。如果真空烘烤(鍍膜)裝置中的工件需要加載偏壓電源時(shí),還需加裝絕緣套18和絕緣板19。
權(quán)利要求1.雙路水冷旋轉(zhuǎn)軸式真空動(dòng)密封器件,包括動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸(25),動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸(25)通過軸承(12、26 )與密封座(20 )傳動(dòng)連接,軸承(12、26 )外設(shè)有通過第三內(nèi)六角螺釘(22 )連接的軸承壓蓋(23、32),還包括彈性擋圈(29),其特征在于,動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸(25)的中心鉆有孔,導(dǎo)水管(24)插入動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸(25)的中心孔內(nèi),且中心孔的開口端通過導(dǎo)水孔補(bǔ)芯(35)封堵;進(jìn)水嘴(34)與導(dǎo)水管(24)的內(nèi)部相連通,導(dǎo)水管(24)的末端與導(dǎo)水管(24)與動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸(25 )的中心孔的內(nèi) 部之間夾層相通,最后與出水嘴(10 )相通,且進(jìn)水嘴(34)和出水嘴(10 )都安裝在水冷密封座(9 )上。
2.如權(quán)利要求I所述的雙路水冷旋轉(zhuǎn)軸式真空動(dòng)密封器件,其特征在于,動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸(25)與水冷密封座(9)的兩接觸面上,進(jìn)水嘴(34)和出水嘴(10)之間設(shè)有將冷卻進(jìn)水和出水隔斷的第一 O型密封圈(33);動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸(25)與水冷密封座(9)的兩接觸面上,進(jìn)水嘴(34)和出水嘴(10)的兩外側(cè)邊分別設(shè)有減壓和密封雙重作用的第二 O型密封圈(8);動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸(25 )與水冷密封座(9 )的兩接觸面上,靠近動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸(25 )的中心孔的開口端設(shè)有起對(duì)冷卻水第二道密封作用的骨架油封(6 )。
3.如權(quán)利要求I所述的雙路水冷旋轉(zhuǎn)軸式真空動(dòng)密封器件,其特征在于,密封座(20)內(nèi)部設(shè)有空腔,空腔上連通有外部冷卻進(jìn)水嘴(28)和外部冷卻出水嘴(16)。
4.如權(quán)利要求1、2或3所述的雙路水冷旋轉(zhuǎn)軸式真空動(dòng)密封器件,其特征在于,密封座(20 )上通過螺栓(17 )連接絕緣套(18 )和絕緣板(19 )。
5.如權(quán)利要求4所述的雙路水冷旋轉(zhuǎn)軸式真空動(dòng)密封器件,其特征在于,靜密封座(20)上切有環(huán)狀冷卻溝槽。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種雙路水冷旋轉(zhuǎn)軸式真空動(dòng)密封器件,包括動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸,動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸通過軸承與密封座傳動(dòng)連接,軸承外設(shè)有通過六角螺釘連接的軸承壓蓋,還包括彈性擋圈,動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸的中心鉆有孔,導(dǎo)水管插入動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸的中心孔內(nèi),且中心孔的開口端通過導(dǎo)水孔補(bǔ)芯封堵;進(jìn)水嘴與導(dǎo)水管的內(nèi)部相連通,導(dǎo)水管的末端與導(dǎo)水管與動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸的中心孔的內(nèi)部之間夾層相通,最后與出水嘴相通,且進(jìn)水嘴和出水嘴都安裝在水冷密封座上。本實(shí)用新型具有的有益效果是動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸與插入動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸的導(dǎo)水管構(gòu)成的冷卻水通道,對(duì)動(dòng)力旋轉(zhuǎn)軸以及軸承、骨架油封以及填充的真空脂等材料和構(gòu)件進(jìn)行了充分冷卻,避免了烘烤高溫對(duì)它們的影響。
文檔編號(hào)C23C14/56GK202719135SQ20122039077
公開日2013年2月6日 申請(qǐng)日期2012年8月8日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月8日
發(fā)明者徐樹深, 梅麗文, 張韜 申請(qǐng)人:蘭州理工大學(xué)溫州泵閥工程研究院