專利名稱:快速定位的晶棒端面銑磨機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型屬于晶棒加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,涉及一種快速定位的晶棒端面銑磨機(jī)。
背景技術(shù):
在加工晶棒的端面時(shí),先要將晶棒的一端校準(zhǔn)并固定粘接在固定座上,再用夾具將固定座固定在晶棒端面銑磨機(jī)的工作臺(tái)上,用磨頭對(duì)晶棒的端面進(jìn)行打磨。晶棒端面銑磨機(jī)主要由機(jī)座、機(jī)箱、轉(zhuǎn)臂、固定套、升降軸、轉(zhuǎn)軸、磨頭、變速箱和電機(jī)組成,機(jī)箱安裝在機(jī)座的中部,機(jī)座上部安裝轉(zhuǎn)臂,轉(zhuǎn)臂的前端安裝固定套,固定套內(nèi)安裝升降軸,固定套側(cè)面安裝升降軸操作桿,升降軸內(nèi)安裝轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸的下端安裝磨頭,升降軸操作桿推動(dòng)磨頭上下移動(dòng),固定套的上端安裝變速箱,變速箱一端安裝電機(jī),另一端與轉(zhuǎn)軸連接,在機(jī)箱上安裝有工作臺(tái),機(jī)箱的側(cè)面安裝有工作臺(tái)移動(dòng)手輪。在使用夾具將晶棒固定座固定在工作臺(tái)上時(shí),基座在夾具夾緊的過(guò)程中容易發(fā)生位置移動(dòng),基座的定位較困難,影響生產(chǎn)效率。
發(fā)明內(nèi)容為解決現(xiàn)有技術(shù)中,使用夾具固定晶棒固定座時(shí),存在的夾具在夾緊過(guò)程中固定座位置容易發(fā)生移動(dòng),定位困難的問(wèn)題,本實(shí)用新型提供一種快速定位的晶棒端面銑磨機(jī),在機(jī)座的中部安裝有機(jī)箱,上部安裝有轉(zhuǎn)臂,轉(zhuǎn)臂的前端安裝有固定套,固定套內(nèi)安裝升降軸,升降軸內(nèi)安裝轉(zhuǎn)軸,固定套側(cè)面安裝轉(zhuǎn)軸升降手柄,轉(zhuǎn)軸的下端安裝有磨頭,固定套的上端安裝變速箱,變速箱一端安裝電機(jī),轉(zhuǎn)軸的上端連接在變速箱的另一端,在機(jī)箱上安裝工作臺(tái),機(jī)箱的側(cè)面安裝有工作臺(tái)移動(dòng)手輪,在工作臺(tái)上固定有固定臺(tái),固定臺(tái)上放置晶棒固定座,晶棒固定座上固定晶棒,在固定臺(tái)內(nèi)安裝有不少于一塊的永磁鐵,固定臺(tái)外安裝有手柄,手柄通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接永磁鐵。多塊永磁鐵串聯(lián)連接在一根轉(zhuǎn)軸上組成一組永磁鐵組,在固定臺(tái)內(nèi)的永磁鐵組不少于一組。在工作時(shí),將固定座放置到固定臺(tái)上,此時(shí)固定臺(tái)內(nèi)永磁鐵的磁極方向與工作臺(tái)面平行,基座不受磁力作用,固定座可以在固定臺(tái)上快速移動(dòng)定位,在定位后轉(zhuǎn)動(dòng)連接永磁鐵的手柄,使永磁鐵的磁極與固定臺(tái)臺(tái)面垂直,此時(shí)永磁鐵對(duì)固定座產(chǎn)生較大的吸引力,固定座被牢牢固定在固定臺(tái)上。
圖I為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例如圖I所示,一種快速定位的晶棒端面銑磨機(jī),在機(jī)座I的中部安裝有機(jī)箱3,上部安裝有轉(zhuǎn)臂13,轉(zhuǎn)臂13的前端安裝有固定套10,固定套10內(nèi)安裝升降軸14,升降軸14內(nèi)安裝轉(zhuǎn)軸15,固定套10側(cè)面安裝轉(zhuǎn)軸15升降手柄9,轉(zhuǎn)軸15的下端安裝有磨頭8,固定套10的上端安裝變速箱11,變速箱11 一端安裝電機(jī)12,轉(zhuǎn)軸15的上端連接在變速箱11的另一端,在機(jī)箱3上安裝工作臺(tái)4,機(jī)箱3的側(cè)面安裝有工作臺(tái)移動(dòng)手輪2,在工作臺(tái)上固定有晶棒的基座固定臺(tái)6,固定臺(tái)6上旋轉(zhuǎn)晶棒固定座7,晶棒固定座7上固定晶棒,在固定臺(tái)6內(nèi)安裝有不少于一塊的永磁鐵16,固定臺(tái)6外安裝有手柄5,手柄5通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接永磁鐵16。多塊永磁鐵16串聯(lián)連接在一根轉(zhuǎn)軸上組成一組永磁鐵組,在固定臺(tái)內(nèi)的永磁鐵組不少于一組。·
權(quán)利要求1.快速定位的晶棒端面銑磨機(jī),在機(jī)座(I)的中部安裝有機(jī)箱(3),上部安裝有轉(zhuǎn)臂(13),轉(zhuǎn)臂(13)的前端安裝有固定套(10),固定套(10)內(nèi)安裝升降軸(14),升降軸(14)內(nèi)安裝轉(zhuǎn)軸(15),固定套(10)側(cè)面安裝轉(zhuǎn)軸(15)升降手柄(9),轉(zhuǎn)軸(15)的下端安裝有磨頭(8),固定套(10)的上端安裝變速箱(11),變速箱(11) 一端安裝電機(jī)(12),轉(zhuǎn)軸(15)的上端連接在變速箱(11)的另一端,在機(jī)箱(3)上安裝工作臺(tái)(4),機(jī)箱(3)的側(cè)面安裝有工作臺(tái)移動(dòng)手輪(2),其特征在于在工作臺(tái)上固定有晶棒的基座固定臺(tái)(6),固定臺(tái)(6)上旋轉(zhuǎn)晶棒固定座(7),晶棒固定座(7)上固定晶棒,在固定臺(tái)(6)內(nèi)安裝有不少于ー塊的永磁鐵(16),固定臺(tái)(6)外安裝有手柄(5),手柄(5)通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接永磁鐵(16)。
2.如權(quán)利要求I所述的快速定位的晶棒端面銑磨機(jī),其特征在于多塊永磁鐵(16)串聯(lián)連接在一根轉(zhuǎn)軸上組成ー組永磁鐵組,在固定臺(tái)內(nèi)的永磁鐵組不少于ー組。
專利摘要快速定位的晶棒端面銑磨機(jī),在機(jī)座的中部安裝有機(jī)箱,上部安裝有轉(zhuǎn)臂,轉(zhuǎn)臂的前端安裝有固定套,固定套內(nèi)安裝升降軸,升降軸內(nèi)安裝轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸的下端安裝有磨頭,固定套的上端安裝變速箱,變速箱一端安裝電機(jī),在機(jī)箱上安裝工作臺(tái),在工作臺(tái)上固定有固定臺(tái),固定臺(tái)上放置晶棒固定座,在固定臺(tái)內(nèi)安裝有不少于一塊的永磁鐵,固定臺(tái)外安裝有手柄,手柄通過(guò)轉(zhuǎn)軸連接永磁鐵。在工作時(shí),將固定座放置到固定臺(tái)上,此時(shí)固定臺(tái)內(nèi)永磁鐵的磁極方向與工作臺(tái)面平行,基座不受磁力作用,固定座可以在固定臺(tái)上快速移動(dòng)定位,在定位后轉(zhuǎn)動(dòng)連接永磁鐵的手柄,使永磁鐵的磁極與固定臺(tái)臺(tái)面垂直,此時(shí)永磁鐵對(duì)固定座產(chǎn)生較大的吸引力,固定座被牢牢固定在固定臺(tái)上。
文檔編號(hào)B24B7/16GK202607450SQ20122021476
公開日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2012年5月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月14日
發(fā)明者吳康, 白連偉, 王紹鴻 申請(qǐng)人:云南藍(lán)晶科技股份有限公司