專利名稱：濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于集成電路制成領(lǐng)域，涉及一種用于維護(hù)濺射靶材的管道系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體器件制備過程中，尤其是集成電路生產(chǎn)中，幾乎每道工序都要涉及到化學(xué)清洗問題，化學(xué)清洗時指用化學(xué)方法清除吸附在半導(dǎo)體、金屬材料以及生產(chǎn)用具表面上的各種有害雜質(zhì)或油污的工藝，具體方法如利用各種化學(xué)試劑清洗掉被清洗物體表面上的雜質(zhì)，然后用大量高純的熱水、冷水進(jìn)行沖洗，從而得到潔凈的物體表面。濺射靶材作為高附加值的電子材料，已被廣泛應(yīng)用于集成電路工藝中，現(xiàn)有技術(shù) 中在對所述靶材進(jìn)行維護(hù)時，通常都需要配備相應(yīng)的管道系統(tǒng)，用于接入或排出清洗液(如純水)，例如，在對濺射機(jī)臺上的靶材進(jìn)行維護(hù)時，需要接入吹水管道系統(tǒng)和冷卻水供應(yīng)系統(tǒng)，所述吹水管道是PVC材料制成并暴露于機(jī)臺的末尾，每次靶材維護(hù)時需要用一盛水的容器將靶材內(nèi)的純水排出，請參圖I所示，該盛水的容器將排出的純水作為廢水由人工操作倒入廢水槽內(nèi)，但由于所述吹水管為PVC管,排水不干凈,時常會有純水漏到潔凈的地板上，造成潔凈度污染。鑒于上述問題，有必要提供一種濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)來解決上述問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所解決的技術(shù)問題在于提供一種濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)，其可有效避免純水的浪費(fèi)、并降低對機(jī)臺工作環(huán)境的污染。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)，包括供水設(shè)備、供氣設(shè)備、回水設(shè)備、若干閥裝置及若干起連接作用的管道，所述管道包括接自供水設(shè)備的供水管、接自供氣設(shè)備的吹氣管、接入回水設(shè)備的回水管及接自靶材的排水管，所述供氣設(shè)備通過吹氣管連入靶材內(nèi)，所述靶材通過所述回水管和排水管兩路接入所述回水設(shè)備，所述排水管的末端設(shè)有一接入所述回水設(shè)備的尾管。作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述尾管為不銹鋼材質(zhì)。作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，該濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)包括冷卻水系統(tǒng)和吹水系統(tǒng)，該冷卻水系統(tǒng)和吹水系統(tǒng)單獨(dú)運(yùn)行。作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述回水管和所述排水管相連并通過一第一三通閥進(jìn)行切換，所述供水管和吹氣管相連且在連接處設(shè)有一第二三通閥，該第二三通閥用于在供氣和供水之間相互切換。作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述吹水系統(tǒng)包括供氣設(shè)備、第二三通閥、第一三通閥、排水管及設(shè)于排水管上的手動閥，該吹水系統(tǒng)運(yùn)作時供氣設(shè)備內(nèi)的壓縮氣體進(jìn)入所述靶材內(nèi)使靶材內(nèi)的水流入排水管并通過所述不銹鋼尾管最后流入回水設(shè)備內(nèi)。作為本技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述冷卻水系統(tǒng)包括所述供水設(shè)備、第二三通閥、第一三通閥、回水管、設(shè)于回水管上的回水壓力表、及回水設(shè)備。
相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明所述的濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)利用排水管末端的尾管接入回水設(shè)備，有效地避免了純水被作為廢水處理而形成的浪費(fèi)，也省去了人工操作處理盛水、降低污染。
圖I為現(xiàn)有技術(shù)中濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)的架構(gòu)圖。圖2為本發(fā)明所述濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)的架構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式請參圖I所示，本發(fā)明提供一種濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)，其包括冷卻水系統(tǒng)和吹水系統(tǒng)，所述冷卻水系統(tǒng)和所述吹水系統(tǒng)單獨(dú)運(yùn)行對濺射機(jī)臺上的靶材進(jìn)行維護(hù)。所述濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)包括供水設(shè)備、供氣設(shè)備、回水設(shè)備、若干閥裝置(如手動閥A、B及三通閥A、B)、回水壓力表及若干起連接作用的管道1、2、3、4、5、6。 所述冷卻水系統(tǒng)包括供水設(shè)備、三通閥B (即第二三通閥)、三通閥A(即第一三通閥)、回水壓力表、回水設(shè)備及管道1、3、4、5，當(dāng)冷卻水系統(tǒng)開始運(yùn)作時，首先，需調(diào)節(jié)三通閥A，使得管道4和管道5導(dǎo)通，由此可將靶材內(nèi)回水導(dǎo)通至回水設(shè)備內(nèi)，其次，再將三通閥B調(diào)節(jié)使管道I和管道3連通，使供水設(shè)備內(nèi)的純水通入靶材內(nèi)，此時，所述冷卻水系統(tǒng)即開始運(yùn)作，所述供水設(shè)備內(nèi)的純水依次流經(jīng)管道I、管道3、管道4、管道5，最后流入回水設(shè)備內(nèi)，如此，完成對靶材的清洗。所述管道I充當(dāng)灌入冷卻水的供水管，所述管道5充當(dāng)用于回流靶材內(nèi)純水的回水管。所述吹水系統(tǒng)包括供氣設(shè)備、三通閥B(即第二三通閥)、三通閥A(即第一三通閥)、手動閥A、回水設(shè)備、管道2、3、4、6及尾管7。當(dāng)吹水系統(tǒng)開始運(yùn)作時，首先，需調(diào)節(jié)三通閥B，使得管道2和管道3導(dǎo)通，此時先不打開手動閥B，由此為供氣設(shè)備的氣體吹入靶材內(nèi)提供了路徑；其次，再將管道4上的手動開關(guān)和管道6上的手動閥A打開，導(dǎo)通管道4和管道6，為靶材內(nèi)回水吹入回水設(shè)備提供了路徑；最后，將管道2上的手動閥B打開，此時，供氣設(shè)備內(nèi)的壓縮氣體將通過管道2和管道3通入靶材內(nèi)，如此可使靶材內(nèi)殘留的水被吹入管道4和管道6內(nèi)，并最后通過尾管7流回入回水設(shè)備內(nèi)，由此，完成對靶材的維護(hù)。所述管道2充當(dāng)向靶材內(nèi)通入氣體的吹氣管，所述管道6和尾管7充當(dāng)用于排出靶材內(nèi)殘留純水的排水管，所述尾管7設(shè)于該排水管的末端。所述尾管7為不銹鋼材質(zhì)，其直接接入回水設(shè)備，有效地避免了純水被作為廢水處理而形成的浪費(fèi)，也省去了人工操作處理盛水、減少了維護(hù)工作的時間，另外，所述尾管7不暴露于機(jī)臺末尾也使得不會有純水滴漏至機(jī)臺下的地板上而造成污染。本發(fā)明所述的濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)將吹水系統(tǒng)和靶材的冷卻水系統(tǒng)靈活的結(jié)合在一起，簡化了操作，避免了浪費(fèi)和污染。以上所述，僅是本發(fā)明的最佳實(shí)施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，利用上述揭示的方法內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案做出許多可能的變動和修飾，均屬于權(quán)利要求書保護(hù)的范圍。
權(quán)利要求
1.一種濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)，包括供水設(shè)備、供氣設(shè)備、回水設(shè)備、若干閥裝置及若干起連接作用的管道，所述管道包括接自供水設(shè)備的供水管、接自供氣設(shè)備的吹氣管、接入回水設(shè)備的回水管及接自靶材的排水管，其特征在于所述供氣設(shè)備通過吹氣管連入靶材內(nèi)，所述靶材通過所述回水管和排水管兩路接入所述回水設(shè)備，所述排水管的末端設(shè)有一接入所述回水設(shè)備的尾管。
2.如權(quán)利要求I所述的濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)，其特征在于所述尾管為不銹鋼材質(zhì)。
3.如權(quán)利要求2所述的濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)，其特征在于該濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)包括冷卻水系統(tǒng)和吹水系統(tǒng)，該冷卻水系統(tǒng)和吹水系統(tǒng)單獨(dú)運(yùn)行。
4.如權(quán)利要求3所述的濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)，其特征在于所述回水管和所述排水管相連并通過一第一三通閥進(jìn)行切換，所述供水管和吹氣管相連且在連接處設(shè)有一第二三通閥，該第二三通閥用于在供氣和供水之間相互切換。
5.如權(quán)利要求4所述的濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)，其特征在于所述吹水系統(tǒng)包括供氣設(shè)備、第二三通閥、第一三通閥、排水管及設(shè)于排水管上的手動閥，該吹水系統(tǒng)運(yùn)作時供氣設(shè)備內(nèi)的壓縮氣體進(jìn)入所述靶材內(nèi)使靶材內(nèi)的水流入排水管并通過所述不銹鋼尾管最后流入回水設(shè)備內(nèi)。
6.如權(quán)利要求5所述的濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)，其特征在于所述冷卻水系統(tǒng)包括所述供水設(shè)備、第二三通閥、第一三通閥、回水管、設(shè)于回水管上的回水壓力表、及回水設(shè)備。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種濺射靶材維護(hù)用管道系統(tǒng)，包括供水設(shè)備、供氣設(shè)備、回水設(shè)備、若干閥裝置及若干起連接作用的管道，所述管道包括接自供水設(shè)備的供水管、接自供氣設(shè)備的吹氣管、接入回水設(shè)備的回水管及接自靶材的排水管，所述供氣設(shè)備通過吹氣管連入靶材內(nèi)，所述靶材通過所述回水管和排水管兩路接入所述回水設(shè)備，所述排水管的末端設(shè)有一接入所述回水設(shè)備的尾管。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明利用排水管末端的尾管接入回水設(shè)備，有效地避免了純水被作為廢水處理而形成的浪費(fèi)，也省去了人工操作處理盛水、降低污染。
文檔編號C23C14/34GK102808157SQ20111014356
公開日2012年12月5日 申請日期2011年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月31日
發(fā)明者羅明新 申請人:無錫華潤上華半導(dǎo)體有限公司, 無錫華潤上華科技有限公司