專利名稱：樹脂粘結的磨料的制作方法
技術領域：
本發(fā)明總體上涉及一種超級磨料產(chǎn)品、一種超級磨料產(chǎn)品的超級磨料產(chǎn)品前體，并且涉及制造超級磨料產(chǎn)品的一種方法。
背景技術：
在小型化的全球趨勢下，電子裝置正在變得越來越小。對于在高功率水平下工作的半導體裝置，晶片減薄改進了散熱能力。由于最終厚度被減小，晶片對于支撐它自身重量并且抵抗由后面的背面研磨過程產(chǎn)生的應力而言變得更弱。因此，減少由背面研磨造成的損傷并且提高品質是重要的。在芯片制造期間娃晶片的原始厚度對于8英寸的晶片是725-680 μ m。為了得到更快速且更小的電子裝置，在切成單獨的芯片之前需要將這些晶片減薄。該研磨過程由兩個步驟組成。首先，一個粗磨輪將該表面研磨至約270-280 μ m，但是留下一個損傷的Si表面，即該Si晶片的(背側)表面。然后，一個細磨輪將該損傷表面的一部分磨光滑并且將該晶片研磨至250 μ m。具有低至100-50 μ m厚度的晶片對于一些IC芯片應用幾乎是一項標準的要求?，F(xiàn)在很長一段時間，最常見的智能卡厚度已是約180μπι。然而，更薄的IC芯片在智能卡中正變得更加常見。因此，對于能夠粗加工或精加工硬質工件的改進型研磨工具連同對于制造這類工具的方法存在一種需要。
發(fā)明內(nèi)容
在一個實施方案中，一種超級磨料樹脂產(chǎn)品可以包括一種超級磨料顆粒組分、一種氧化物組分、以及一種連續(xù)相。該氧化物組分可以包括一種鑭系元素的氧化物，并且該連續(xù)相可以包括一種熱塑性聚合物組分以及一種熱固性聚合物組分。該連續(xù)相可以限定一個連通孔的網(wǎng)絡。該超級磨料顆粒組分和該氧化物組分可以分布在該連續(xù)相之中。在一個具體實施方案中，該鑭系元素可以包括具有的原子序數(shù)不小于57并且不大于60的一種元素，如鑭、鈰、鐠、以及釹。更具體地說，該鑭系元素可以包括鈰，并且甚至可以實質上由鈰組成。該鑭系元素的氧化物存在的量值可以處于該超級磨料樹脂產(chǎn)品的約O. 05與約10體積百分比之間的范圍內(nèi)。在另一個實施方案中，一種超級磨料產(chǎn)品前體可以包括一種超級磨料顆粒組分、一種氧化物組分、一種粘結劑組分、以及一種具有包封的氣體的聚合物發(fā)泡劑。該氧化物組分可以包括一種鑭系元素的氧化物。在又另一個實施方案中，一種形成超級磨料產(chǎn)品的方法可以包括將一種超級磨料、一種由鑭系元素的氧化物組成的氧化物組分、一種粘結劑組分、以及一種具有包封的氣體的聚合物發(fā)泡劑進行組合，并且將這些組合的超級磨料、粘結劑組分、氧化物組分、以及聚合物發(fā)泡劑加熱到一個溫度并且持續(xù)一段時間，該溫度和時間使得至少一部分的氣體從在該發(fā)泡劑內(nèi)的包封中釋放出來。在再另一個示例性實施方案中，一種背面研磨晶片的方法可以包括提供一個晶片；并且將該晶片背面研磨至不大于25埃的平均表面粗糙度(Ra)?？梢允褂靡环N超級磨料樹脂產(chǎn)品來進行研磨。該超級磨料樹脂產(chǎn)品可以包括一種超級磨料顆粒組分、一種由鑭系元素的氧化物組成的氧化物組分、以及一種連續(xù)相。該連續(xù)相可以包括一種熱塑性聚合物組分以及一種熱固性聚合物組分，并且該超級磨料顆粒組分和該氧化物組分可以分布在該連續(xù)相之中。
通過參見附圖可以更好地理解本披露，并且使其許多特征和優(yōu)點對于本領域的普通技術人員變得清楚。圖I是一種超級磨料樹脂工具的一個實施方案的截面；圖2和圖3是一種示例性超級磨料產(chǎn)品的掃描電子顯微照片；
在不同的圖中使用相同的參考符號表示相似的或相同的事項。
具體實施例方式在一個實施方案中，該超級磨料產(chǎn)品可以包括一種超級磨料顆粒組分、一種氧化物組分、以及一種連續(xù)相，該連續(xù)相包括一種熱塑性聚合物組分以及一種熱固性樹脂組分，其中該超級磨料顆粒組分和該氧化物組分分布在該連續(xù)相之中。該超級磨料顆粒組分可以是例如金剛石、立方氮化硼、氧化鋯、或氧化鋁。該熱固性樹脂組分可以包括例如酚醛樹月旨。該熱塑性聚合物組分可以包括例如聚丙烯腈和聚偏乙烯。優(yōu)選地，一種超級磨料產(chǎn)品可以具有一種開放式多孔的結構，由此該產(chǎn)品的一個實質性部分的孔是互連的并且與該超級磨料產(chǎn)品的一個表面是流體連通的。如在此使用的術語，“超級磨料”是指具有的硬度至少為立方氮化硼(CBN)的硬度的一種磨料，即，Kiqq為至少4，700,如基于努氏硬度標度(Knoop Hardness Scale)所測量的。除了立方氮化硼之外，超級磨料材料的其他實例包括天然的以及合成的金剛石、氧化鋯、以及氧化鋁。適合的金剛石或立方氮化硼材料可以是晶體或多晶的。優(yōu)選地，該超級磨料材料是金剛石。該超級磨料材料可以是處于顆粒的形式，也稱為“砂礫”。超級磨料顆粒組分可以商購或可以定制來生產(chǎn)?？傮w上，該超級磨料具有的平均粒徑可以在約O. 25微米與50微米之間的范圍內(nèi)。優(yōu)選地，這些粒徑可以是在約O. 5微米與30微米之間的范圍內(nèi)。在具體的實施方案中，該砂礫的平均粒徑可以是在約O. 5微米與I微米之間、約3微米與約6微米之間、如約20微米與25微米之間的范圍內(nèi)。在一個實施方案中，該超級磨料顆粒組分存在的量值可以為該超級磨料工具的按體積計至少20%。在另一個實施方案中，該超級磨料顆粒組分存在的量值可以是在該超級磨料工具的按體積計約3%與約25%之間的范圍內(nèi)，更優(yōu)選地在該超級磨料工具的按體積計約6%與約20%之間。在又一個實施方案中，該超級磨料產(chǎn)品的超級磨料顆粒組分與連續(xù)相的比率可以是在按體積計約4 :96與約30 :70之間的范圍內(nèi)、或更優(yōu)選地在按體積計約15 85與約22 :78之間的范圍內(nèi)。在一個實施方案中，該超級磨料產(chǎn)品可以包括一種鑭系元素的氧化物。該鑭系元素的氧化物可以是一種化合物或者由一種鑭系元素與氧形成的復合物。該鑭系元素可以包括周期表中具有的原子序數(shù)不小于57并且不大于60的一種元素，如鑭、鈰、鐠、以及釹。優(yōu)選地，該鑭系元素可以包括鈰、并且可以甚至實質上由鈰組成。該鑭系元素氧化物的量值可以是在該超級磨料產(chǎn)品的約O. 05與約10體積百分比之間的范圍內(nèi)，如在約I. O與約4體積百分比之間。該氧化物組分具有的平均粒徑可以是不大于約30微米，如不大于約25微米，不大于約20微米，不大于約18微米，或者甚至不大于約15微米。在某些情況下，該氧化物組分具有的平均粒徑可以是處于約O. I μ m與約30 μ m之間的范圍內(nèi)，如處于約O. I微米與約25微米之間的范圍內(nèi)，處于約O. I微米與約20微米之間的范圍內(nèi)，處于約O. I微米與約18微米之間的范圍內(nèi)，或者甚至處于約I微米與約15微米之間的范圍內(nèi)。
在一個實施方案中，該超級磨料產(chǎn)品可以包括一個連通孔的網(wǎng)絡。這些孔可以包括具有的尺寸在約125微米與約150微米之間的大孔、具有的尺寸在約20微米與約50微米之間的小孔、具有的尺寸在約85微米與約105微米之間的中間孔，或者它們的任何組合。這些孔可以具有帶有至少兩種模態(tài)(mode)、如至少三種模態(tài)的多模態(tài)尺寸分布。如在此使用的，一種多模態(tài)尺寸分布是包括兩種或更多種模態(tài)的粒徑或孔徑的一種連續(xù)的概率分布函數(shù)。每種模態(tài)在該概率分布函數(shù)中作為一種不同的局部最大值出現(xiàn)。這種多模態(tài)分布可以具有一個在約125微米與約150微米之間的模態(tài)、一個具有的平均尺寸在約85微米與約105微米之間的模態(tài)、一個具有的平均尺寸在約30微米與約50微米之間的模態(tài)、或者它們的任何組合。孔隙率在研磨中起重要作用?？紫堵士刂屏斯ぜc該復合物微結構之間的接觸面積?？紫堵蚀龠M了冷卻劑在該微結構的周圍移動從而將該研磨表面的溫度保持為盡可能的低。重要的是要理解通過使用多種不同尺寸的孔誘導物所產(chǎn)生的不同結構。較大的(例如120-420 μ m)直徑的物理發(fā)泡劑總體上可以產(chǎn)生具有較少的強橋接的大孔。另一方面，尺寸在IO-SOym之間的較小的物理發(fā)泡劑可以產(chǎn)生更大數(shù)目的更小橋接。較小的與較大的孔誘導物的一種良好平衡產(chǎn)生了一種顯微結構，這種顯微結構具有在只有用更大的孔誘導物產(chǎn)生的顯微結構以及只有更小的孔誘導物產(chǎn)生的顯微結構二者中發(fā)現(xiàn)的多種有利的特性。在一個實施方案中，一種超級磨料產(chǎn)品可以包括一種超級磨料顆粒組分、一種氧化物組分、以及一種連續(xù)相。該超級磨料顆粒組分和該氧化物組分可以分布在其中的該連續(xù)相可以包括一種熱塑性聚合物組分。總體上，該超級磨料工具可以是一種粘結的研磨工具，例如與一種涂覆的研磨工具相對。適合的熱塑性聚合物組分的實例可以包括選自下組的至少一個成員，該組由以下各項組成聚丙烯腈、聚偏乙烯、聚苯乙烯以及聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。優(yōu)選的熱塑性聚合物組分的實例可以包括聚丙烯腈和聚偏二氯乙烯。在一個特別優(yōu)選的實施方案中，該超級磨料產(chǎn)品的連續(xù)相可以包括聚丙烯腈和聚偏二氯乙烯的一個組合。在一個實施方案中，聚丙烯腈和聚偏二氯乙烯的重量比可以是在約60 40與約98 2之間的范圍內(nèi)。在一個特別優(yōu)選的實施方案中，聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯之間的比率可以是在約50 50與約90 10之間的比率。該超級磨料產(chǎn)品的連續(xù)相還包括一種熱固性聚合物組分。用于超級磨料產(chǎn)品的連續(xù)相中的適合的熱固性聚合物組分的實例可以包括多酚甲醛樹脂、聚酰胺、聚酰亞胺、以及環(huán)氧改性的酚醛樹脂。在一個優(yōu)選的實施方案中，該熱固性聚合物組分可以是多酚-甲醛樹脂。該連續(xù)相中熱塑性聚合物組分與熱固性聚合物組分之間的體積比典型地可以是處于約80 15與約80 :10之間的范圍內(nèi)。在一個特別優(yōu)選的實施方案中，該連續(xù)相的熱塑性聚合物組分與熱固性聚合物組分之間的體積比可以是處于約70 25與約70 20之間的范圍內(nèi)。在另一個優(yōu)選的實施方案中，該連續(xù)相中的熱塑性與熱固性聚合物的體積比可以是處于約50 30與約50 40之間的范圍內(nèi)。該超級磨料產(chǎn)品的其他組分可以包括例如無機填充劑，像硅石、硅膠，它們是在約
O. 5體積百分比與約3體積百分比之間的范圍內(nèi)。在另一個實施方案中，一種超級磨料產(chǎn)品的超級磨料產(chǎn)品前體可以包括一種超級磨料顆粒組分、一種氧化物組分、一種粘結劑組分、以及一種聚合物發(fā)泡劑，其中該聚合物發(fā)泡劑包封了氣體。該超級磨料產(chǎn)品前體的一種優(yōu)選的超級磨料顆粒組分是金剛石。該氧化物組分可以是鑭系元素的氧化物。該粘結劑組分可以是一種熱固性樹脂組分，它在該超級磨料產(chǎn)品前體轉化為一種超級磨料產(chǎn)品的過程中將進行聚合。適合的粘結劑組分的實例可以包括本領域中已知的那些，例如酚醛樹脂、聚酰胺、聚酰亞胺、和環(huán)氧改性的酚醛樹脂。在一個實施方案中，該發(fā)泡劑可以包括離散顆粒，其中這些顆粒的至少一部分具有一種包封了氣體的殼?？傮w上，這些殼中的至少一部分包括一種熱塑性聚合物。適合的塑料聚合物的實例包括聚丙烯腈、聚偏乙烯如聚偏二氯乙烯、聚苯乙烯、尼龍、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)以及甲基丙烯酸甲酯的其他聚合物。在一個實施方案中，這些離散顆粒可以具有至少兩種不同的類型，其中每種類型包括一種不同組成的熱塑性殼。例如，在一個實施方案中，至少一種類型的離散顆粒具有一種實質性地包括聚丙烯腈的熱塑性殼。在另一個實施方案中，至少一種類型的離散顆粒具有一種實質性地包括聚偏二氯乙烯的熱塑性殼。在又一個實施方案中，該發(fā)泡劑的至少一種類型的離散顆粒具有一種實質性地包括聚丙烯腈的熱塑性殼，并且該發(fā)泡劑的另一種類型的離散顆粒具有一種實質性地包括聚偏二氯乙烯的熱塑性殼。在又另一個實施方案中，可以存在至少三種不同類型的離散顆粒，每種不同類型的離散顆粒具有的熱塑性殼包括不同重量比的聚丙烯腈和聚偏二氯乙烯。典型地，包封了氣體的聚合物球體，例如包括聚丙烯腈、聚偏二氯乙烯、聚苯乙烯、尼龍和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、以及甲基丙烯酸甲酯(MMA)的其他聚合物中的至少一種、并且包封了異丁烷和異戊烷中的至少一種的那些聚合物球體，是以“膨脹的”和“未膨脹的”形式可商購的。這些球體的“膨脹的”形式在加熱到一個使得球體的聚合物殼破裂并且釋放出被包封的氣體的溫度的過程中一般不顯著地膨脹。另一方面，“未膨脹的”形式在加熱到使得些聚合物殼破裂的溫度的過程中發(fā)生膨脹。任一種類型的聚合物球體都適合用作一種發(fā)泡劑，但膨脹的聚合物球體是優(yōu)選的。除非另外說明，在此對聚合物球體的大小的引述是關于膨脹的球體。經(jīng)常地，用碳酸鈣(CaCO3)或二氧化硅(SiO2)來對可商購的適合的聚合物球體進行處理。適合的可商購的聚合物球體的實例包括膨脹的DE 40,DE 80和950DET 120，全部來自阿克蘇諾貝爾公司(Akzo Nobel)。其他實例包括Dualite E135-040D、E130_0%D和E030，全部來自亨克爾公司(Henkel )。在另一個實施方案中，該超級磨料產(chǎn)品前體的發(fā)泡劑包括多個帶有一種殼的離散顆粒，該殼包括聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的一種共聚物。聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的按重量計的比率可以是例如處于約40 60與約99 1之間的范圍內(nèi)。該發(fā)泡劑的平均粒徑可以是例如處于約10微米與約420微米之間的范圍內(nèi)。在一個特定實施方案中，一種發(fā)泡劑的平均粒徑可以是在約20微米與50微米之間的范圍內(nèi)。在這個實施方案中，聚丙烯腈與聚偏乙烯的重量比可以是例如處于約40 60與約60 40之間的范圍內(nèi)。優(yōu)選地，聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的重量比在這個實施方案中可以是約50 :50。在另一個實施方案中，該發(fā)泡劑的平均粒徑是在85微米與約105微米之間的范圍 內(nèi)。在這個實施方案中，聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的重量比優(yōu)選地是在約60 :40與約80 20之間的范圍內(nèi)，其中特別優(yōu)選的比率是約70 :30。在又一個實施方案中，該發(fā)泡劑的平均粒徑是大于約125微米。在這個實施方案中，聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的重量比優(yōu)選地是在約92:8與約98 :2之間的范圍內(nèi)，其中特別優(yōu)選的比率是約95 :5。在一個實施方案中，該發(fā)泡劑可以包括具有一種多模態(tài)尺寸分布的離散顆粒。這種多模態(tài)尺寸分布可以包括一個在約125微米與約150微米之間的模態(tài)、一個在約85微米與約105微米之間的模態(tài)、一個在約30微米與約50微米之間的模態(tài)、或者它們的任何組
八
口 ο這些離散顆粒的被包封氣體的實例包括選自下組的至少一個成員，該組由以下各項組成異丁烷和異戊烷。在適合的氣體包括異丁烷和異戊烷中的至少一種的實施方案中，這些離散顆粒的大小優(yōu)選地是在約8微米與約420微米之間的范圍內(nèi)，并且包封該氣體的離散顆粒的壁厚是在約O. 01微米與約O. 08微米之間的范圍內(nèi)。在該超級磨料產(chǎn)品前體中該發(fā)泡劑的離散體與粘結劑組分的比率通常是在按體積計約2 :1與約30 :35之間的范圍內(nèi)。在一個特定實施方案中，該體積比是80 :15，并且在另一個實施方案中，該體積比為70 :25。在再另一個實施方案中，一種用于形成超級磨料產(chǎn)品的方法可以包括將一種超級磨料、一種粘結劑組分、一種氧化物組分、以及一種具有包封的氣體的聚合物發(fā)泡劑進行組合。將這些組合的超級磨料、粘結劑組分、氧化物組分、和聚合物發(fā)泡劑加熱到一個溫度并且持續(xù)一段時間，該溫度和時間使得至少一部分的氣體從該發(fā)泡劑內(nèi)的包封中釋放出來。典型地，該超級磨料是金剛石，該粘結劑包括一種熱固性物質如酚醛樹脂，該氧化物組分是一種鑭系元素的氧化物，并且該具有包封氣體的發(fā)泡劑包括由至少聚丙烯腈和聚偏二氯乙烯構成的、包封了異丁烷和異戊烷中至少一種氣體的一種熱塑性殼。將所組合的超級磨料、粘結劑組分、氧化物組分、和聚合物發(fā)泡劑加熱到一個溫度并且持續(xù)一段時間，該溫度和時間使得至少一個實質性的部分的該包封的氣體從該超級磨料產(chǎn)品前體中被釋放，由此所形成的超級磨料產(chǎn)品具有一種孔隙率，該孔隙率基本上是一種開放的孔隙率。如在此定義的，“開放的孔隙率”是指這些孔的至少一部分或一個實質性部分與彼此并且與該超級磨料產(chǎn)品的表面是流體連通的。在該超級磨料產(chǎn)品的約70%與約90%之間的體積被孔隙所占據(jù)的一個實施方案中，該產(chǎn)品將基本上是完全開放式多孔的。在該超級磨料產(chǎn)品具有在約40%與約70%之間的范圍內(nèi)的孔隙率時，則這些孔的一部分將是封閉的并且剩余的是開放的。在孔隙率位于約20%與約40%之間的范圍內(nèi)的又一個實施方案中，基本上所有的孔都將是封閉的。
在一個實施方案中，在該超級磨料產(chǎn)品前體處于正的表壓力下時，將處于一種超級磨料產(chǎn)品前體形式的所組合的超級磨料、粘結劑組分、氧化物組分、以及聚合物發(fā)泡劑加熱。典型地，該聚合物發(fā)泡劑包括一種熱塑性聚合物，而該粘結劑組分包括一種熱固性聚合物。在一個實施方案中，將該超級磨料產(chǎn)品前體在至少兩噸的壓力下預加熱到至少約100° C的一個第一溫度。然后將該超級磨料產(chǎn)品前體從該第一溫度加熱到至少約180° C的一個第二均熱溫度(soak temperature)。然后將該超級磨料產(chǎn)品前體在該均熱溫度下保持至少約15分鐘以便由此形成該超級磨料物品。典型地，在該超級磨料產(chǎn)品前體處于一個模具(例如本領域中已知的)中時將該超級磨料產(chǎn)品前體加熱到該第一溫度、該第二均熱溫度并且保持在該均熱溫度下。將該超級磨料產(chǎn)品前體于該均熱溫度下保持一個足以形成該超級磨料產(chǎn)品的時間段之后，將該超級磨料產(chǎn)品在約10分鐘與約45分鐘之間的范圍內(nèi)的一個時間段內(nèi)從該均熱溫度冷卻到一個降低的第一溫度(在約100° C與約170° C之間的范圍內(nèi))。然后典型地將超級磨料產(chǎn)品在約10分鐘與約30分鐘之間的范圍內(nèi)的一個時間段內(nèi)從該降低的第一溫度冷卻到一個降低的第二溫度(在約30° C與約100° C之間的范圍內(nèi))。 典型地，通過空氣冷卻將該超級磨料產(chǎn)品冷卻到該降低的第一溫度并且然后通過液體冷卻從該降低的第一溫度冷卻到該降低的第二溫度。然后在冷卻到該降低的第二溫度后，將該超級磨料物品從該模具中移除。在一個實施方案中，該超級磨料物品可以在冷卻后經(jīng)受一個任選的后烘焙過程。例如，可以將該超級磨料物品加熱到至少約180° C的一個溫度而持續(xù)幾個小時的一段時間，如至少約5小時，甚至至少約10小時。在一個實施方案中，該超級磨料產(chǎn)品顯示出強度特征，即熱固性和熱塑性聚合物的共混物的特征。此外，該超級磨料樹脂產(chǎn)品可以非常有效地粘合多個超級磨料顆粒組分，例如金剛石，從而能夠制造出具有更寬范圍的顆粒組分粒徑的工具。此外，這些工具可以擁有相對高的孔隙率，由此能夠更有效地冷卻這些工具。因此，對一個工件的研磨可以得到更好控制并且該研磨工具的磨損被顯著地降低。與制造其他類型的超級磨料工具(例如使用玻璃質粘結劑的工具)所要求的多種方法中的通常情況相比，該超級磨料工具可以在更低的溫度下持續(xù)更短的周期并且在更加環(huán)境友好的條件下相對容易地進行制造。這些超級磨料工具的實例可以包括固定磨料垂直轉軸型(FAVS)工具、砂輪、磨盤、砂輪區(qū)段、磨石、和珩磨石。在一個實施方案中，可以將該超級磨料產(chǎn)品用于這些固定磨料垂直轉軸(FAVS)型應用中。在一個優(yōu)選的實施方案中，該超級磨料樹脂產(chǎn)品是一個固定磨料垂直轉軸(FAVS)。FAVS的一個實例在圖I中示出。如圖I中所示，工具10被配置為一個輪，該輪具有圍繞一條軸線14的底座12。輪的凸起的周邊16支撐了圍繞基底12的周邊的磨料區(qū)段
18。磨料區(qū)段是超級磨料產(chǎn)品的一個實施方案。典型地，基底將具有的直徑是在約六英寸與約十二英寸之間的范圍內(nèi)；該磨料區(qū)段的高度將是在約2毫米(mm)與約10毫米之間的范圍內(nèi)，如在約5毫米與約8毫米之間的范圍內(nèi)，并且具有的寬度是在約2毫米與約4. 5毫米之間。如關于圖I所描述的輪適合于通過圍繞它們的軸線進行旋轉而進行晶片研磨。在與晶片的軸線的旋轉逆時針的方向上被該工具研磨。通過背面研磨一系列的硅晶片可以測定表面粗糙度指數(shù)。在背面研磨的過程中，該超級磨料能以5500rpm的 速度來旋轉,而同時該晶片的表面與在80rpm的速度下旋轉的卡盤臺面相接觸?？梢詫⒃摼瑥?50微米的起始厚度研磨到430微米的最終厚度。該超級磨料的給進速率可以是O. 80微米/秒，直至該晶片的厚度減少到約434微米。然后可以將該給進速率減少到O. 50微米/秒，直到晶片厚度為約430微米。在達到約430微米的厚度后，可以將該給進速率減少到O. 10微米/秒，直到達到430. O的最終厚度。該晶片表面的Ra (粗糙度輪廓的算數(shù)平均值)可以在該晶片上的五個點處進行測定，包括中心點和距離其邊緣約Icm并且大致間隔90°的四個位置。每個點的Ra能以40X的放大倍率光學地測定?？梢詫⒚總€晶片的這些讀數(shù)進行平均以確定每個晶片的平均Ra。可以將這些晶片的平均Ra進行平均以確定表面粗糙度指數(shù)，這是可以與在此的這些實施方案的研磨工具相關聯(lián)的一個數(shù)。實魁樣品I是由超級磨料顆粒、二氧化鈰、樹脂組分、以及一種聚合物發(fā)泡劑的混合物所制成的一種高孔隙率的樹脂粘結的金剛石超級磨料結構。用于該顯微結構中的樹脂是酚醛樹脂。這些物理發(fā)泡劑是來自漢高(Henkel)的得力公司(Dualite)的PAN與PVDC的共聚物球體。這些超級磨料顆粒是具有1-3微米尺寸的金剛石。該二氧化鈰具有的尺寸為3-6微米。在加熱前該混合物的組成以體積百分比計是22. 5%的金剛石、2%的二氧化鈰、29%的粘結劑組分、以及46. 5%的聚合物發(fā)泡劑。為了制造這些復合物微結構，將該材料進行稱重并且通過在一個不銹鋼缽中攪拌而進行混合，直到獲得一種視覺上均勻的混合。將該混合物通過165目的篩子篩選三次(美國標準尺寸)。將它放入一個具有適當設計的鋼模具中來生產(chǎn)測試樣品，這些樣品具有以下尺寸5. 020英寸X I. 25英寸X0. 300英寸。用藥匙將每個混合物填入該模具中并且使用一個抹平槳在該模具中抹平。將該完全加載的模具套裝運送到電動壓機中。一旦將該模具套裝放置于該壓機中，就施加兩噸的壓力，以確保頂板平坦地進入該模具套裝中。將溫度升高至100° C持續(xù)15分鐘，并且然后升高是150° C持續(xù)10分鐘。將施加至該模具套裝上的壓力壓緊。將該模具套裝的溫度升高到180° C，并且然后均熱20分鐘。一旦該均熱周期完成，則允許通過空氣冷卻將該壓機冷卻到100° C、隨后水冷卻到室溫。從該壓機中移除該模具套裝并且將其運送到“剝離”心軸壓機裝置上。將該模具套裝(頂板和底板加上條帶)置于該剝離心軸上，剝?nèi)l帶。將該模具和樣品的這些板取出并且備用。將這些輪在具有兩個轉軸的垂直轉軸機器上進行測試。該第一轉軸使用了一個粗磨輪，而該第二轉軸使用了一個所測試的細磨輪。用一個粗輪將這些硅晶片進行粗研磨接著使用細輪進行精加工。使用一個特細的墊對該輪進行修整。使用這些輪來研磨8英寸的硅晶片。測得這些樣品的平均Ra是21埃。表I
權利要求
1.一種超級磨料樹脂產(chǎn)品,包括 一種超級磨料顆粒組分； 由一種鑭系元素的氧化物組成的一種氧化物組分；以及 包括一種熱塑性聚合物組分和一種熱固性樹脂組分的一種連續(xù)相，該連續(xù)相限定了一個連通孔的網(wǎng)絡，其中該超級磨料顆粒組分和該氧化物組分被分布在該連續(xù)相之中。
2.—種超級磨料樹脂產(chǎn)品,包括 一種超級磨料顆粒組分； 由一種鑭系元素的氧化物組成的一種氧化物組分；以及 包括一種聚合物粘結劑組分的一種連續(xù)相，該連續(xù)相限定了一個連通孔的網(wǎng)絡，其中這些孔具有一種帶有至少兩個模態(tài)的多模態(tài)尺寸分布， 其中該超級磨料顆粒組分和該氧化物組分被分布在該連續(xù)相之中。
3.如權利要求I和2中任一項所述的超級磨料樹脂產(chǎn)品，其中這些孔具有的平均尺寸在約8微米與約420微米之間、或在約125微米與約150微米之間、或在約20微米與約50微米之間、或在約85微米與約105微米之間。
4.如權利要求I和2中任一項所述的超級磨料樹脂產(chǎn)品，其中這些孔的尺寸分布是具有至少兩個模態(tài)或至少三個模態(tài)的一種多模態(tài)分布。
5.如權利要求4所述的超級磨料樹脂產(chǎn)品，其中該多模態(tài)分布具有一個模態(tài)在約125微米與約150微米之間、或在約85微米與約105微米之間、或在約30微米與約50微米之間的模態(tài)。
6.如權利要求I和2中任一項所述的超級磨料樹脂產(chǎn)品，其中該鑭系元素包括一種具有的原子序數(shù)至少為57并且最大為60的元素。
7.如權利要求I和2中任一項所述的超級磨料樹脂產(chǎn)品，其中該鑭系元素是選自下組的至少一個成員，該組由以下各項組成鑭、鈰、鐠、以及釹。
8.如權利要求7所述的超級磨料樹脂產(chǎn)品，其中該鑭系元素包括鈰。
9.如權利要求8所述的超級磨料樹脂產(chǎn)品，其中該鑭系元素實質上由鈰組成。
10.如權利要求I和2中任一項所述的超級磨料樹脂產(chǎn)品，其中該氧化物組分存在的量值是在該超級磨料產(chǎn)品的約O. 05與約10. O體積百分比之間的范圍內(nèi)。
11.如權利要求I和2中任一項所述的超級磨料樹脂產(chǎn)品，其中該氧化物組分具有的平均粒徑是在約O. I μ m與約30 μ m之間的范圍內(nèi)。
12.如權利要求I和2中任一項所述的超級磨料樹脂產(chǎn)品，其中該連續(xù)相進一步包括一種熱固性聚合物組分。
13.如權利要求12所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該熱固性聚合物組分包括選自下組的至少一個成員，該組由以下各項組成酚醛樹脂、聚酰胺、聚酰亞胺、以及環(huán)氧改性的酚醛樹脂。
14.如權利要求13所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該熱固性樹脂組分包括多酚-甲醛樹脂。
15.如權利要求12所述的超級磨料產(chǎn)品，其中在該連續(xù)相中熱固性樹脂與熱塑性聚合物組分的比率是在按體積計約80 15與約80 10之間的范圍內(nèi)。
16.如權利要求15所述的超級磨料產(chǎn)品，其中連續(xù)相與超級磨料組分的比率是在按體積計約2 1與約I :2之間的范圍內(nèi)。
17.如權利要求I和2中任一項所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該連續(xù)相是一種是實質性地開放式的連續(xù)相。
18.如權利要求I和2中的任一項所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該超級磨料包括選自下組的至少一個成員，該組由以下各項組成金剛石、立方氮化硼、氧化鋯、以及氧化鋁。
19.如權利要求18所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該超級磨料包括金剛石。
20.如權利要求18所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該超級磨料具有的中值粒徑是在約O. 25 μ m與約30 μ m之間或在O. 5 μ m與約I. O μ m之間或在I. O μ m與約3. O μ m之間或在約3 μ m與約6 μ m之間或在約20 μ m與約25 μ m之間的范圍內(nèi)。
21.如權利要求20所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該超級磨料具有的中值粒徑的范圍是在約…之間。
22.如權利要求20所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該超級磨料具有的中值粒徑的范圍是在約…之間。
23.如權利要求20所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該超級磨料具有的中值粒徑的范圍是…。
24.如權利要求I和2中任一項所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該熱塑性聚合物組分包括選自下組的至少一個成員，該組由以下各項組成聚丙烯腈、聚偏乙烯、聚苯乙烯、尼龍、聚乙烯、聚丙烯、以及聚甲基丙烯酸甲酯。
25.如權利要求25所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該熱塑性聚合物組分包括聚丙烯腈。
26.如權利要求25所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該熱塑性聚合物包括聚偏乙烯。
27.如權利要求27所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該聚偏乙烯包括聚偏二氯乙烯。
28.如權利要求25所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該熱塑性聚合物組分包括聚丙烯腈和聚偏二氯乙烯。
29.如權利要求29所述的超級磨料產(chǎn)品，其中聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的比率是在按重量計約I :1與約98 :2之間的范圍內(nèi)。
30.如權利要求I和2中任一項所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該超級磨料產(chǎn)品具有的孔隙率是在按體積計約30%與約80%之間的范圍內(nèi)。
31.如權利要求I和2中任一項所述的超級磨料產(chǎn)品，其中該產(chǎn)品是一種輪。
32.—種超級磨料產(chǎn)品前體,包括 一種超級磨料顆粒組分； 由一種鑭系元素的氧化物組成的一種氧化物組分； 一種粘結劑組分；以及 一種具有包封的氣體的聚合物發(fā)泡劑。
33.如權利要求32所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該鑭系元素包括一種具有的原子序數(shù)至少為57并且最大為60的元素。
34.如權利要求33所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該鑭系元素是選自下組的至少一個成員，該組由以下各項組成鑭、鈰、鐠、以及釹。
35.如權利要求34所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該鑭系元素包括鈰。
36.如權利要求35所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中，該鑭系元素實質上由鈰組成。
37.如權利要求32所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中，該氧化物組分存在的量值是在該超級磨料產(chǎn)品的約O. 05與約10. O體積百分比之間的范圍內(nèi)。
38.如權利要求32所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中，該氧化物組分具有的平均粒徑是在約O. I微米與約30微米之間的范圍內(nèi)。
39.如權利要求32所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中，該發(fā)泡劑包括多個離散顆粒，這些顆粒的至少一部分具有一種包封了氣體的殼。
40.如權利要求39所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中，這些殼的至少一部分包括一種熱塑性聚合物。
41.如權利要求40所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該熱塑性聚合物是選自下組的至少一個成員，該組由以下各項組成聚丙烯腈、聚偏乙烯、聚苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、尼龍、以及聚甲基丙烯酸甲酯。
42.如權利要求39所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中，這些離散顆粒具有至少兩種不同的類型，每種類型包括一種不同組成的熱塑性殼。
43.如權利要求42所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中一種類型的離散顆粒具有的平均粒徑是在約125微米與約150微米之間。
44.如權利要求42所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中一種類型的離散顆粒具有的平均粒徑是在約85微米與約105微米之間。
45.如權利要求42所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中一種類型的離散顆粒具有的平均粒徑是在約20微米與約50微米之間。
46.如權利要求42所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中這些離散顆粒具有至少三種不同的類型。
47.如權利要求42所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中至少一種類型的離散顆粒具有包括聚丙烯腈的一種熱塑性殼。
48.如權利要求42所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中至少一種類型的離散顆粒具有一種包括聚偏二氯乙烯的熱塑性殼。
49.如權利要求42所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中至少一種類型的離散顆粒具有一種實質性地包括聚丙烯腈的熱塑性殼，并且該發(fā)泡劑的另一種類型的離散顆粒具有一種實質性地包括聚偏二氯乙烯的熱塑性殼。
50.如權利要求39所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該發(fā)泡劑的殼包括聚丙烯腈和聚偏二氯乙烯的一種共聚物。
51.如權利要求50所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的按重量計的比率是在約40 60與約99 1之間的范圍內(nèi)。
52.如權利要求51所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該發(fā)泡劑的平均粒徑是在約8與約420微米之間、或在約20與約50微米之間、或約85與約105微米之間的范圍內(nèi)。
53.如權利要求50所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的重量比是在約40 60與約60 40之間的范圍內(nèi)。
54.如權利要求51所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的重量比是約50 50o
55.如權利要求50所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中聚丙烯腈和聚偏二氯乙烯的重量比是在約60 40與約80 :20之間的范圍內(nèi)。
56.如權利要求55所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中聚丙烯腈和聚偏二氯乙烯的重量比是約70 :30。
57.如權利要求50所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該發(fā)泡劑的平均粒徑是大于約125微米。
58.如權利要求57所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的重量比是在約92 8與約98 2之間的范圍內(nèi)。
59.如權利要求58所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中聚丙烯腈與聚偏乙烯的重量比是約.95 :5。
60.如權利要求39所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該離散顆粒的被包封的氣體包括至少一個選自異丁烷和異戊烷組成的組中的成員。
61.如權利要求39所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該離散顆粒具有的壁厚度是在約.O. 01微米與約O. 08微米之間的范圍內(nèi)。
62.如權利要求32所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該粘結劑組分包括一種熱固性樹脂。
63.如權利要求62所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該熱固性樹脂是下組的至少一個成員，該組由以下各項組成酚醛樹脂、聚酰胺、聚酰亞胺、以及環(huán)氧改性的酚醛樹脂。
64.如權利要求63所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該熱固性樹脂包括酚醛樹脂。
65.如權利要求32所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中離散體與粘結劑組分的比率是在按體積計約2 1與約30 35之間的范圍內(nèi)。
66.如權利要求65所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中離散體與粘結劑組分的比率是按體積計約80 15ο
67.如權利要求65所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中離散體與粘結劑組分的比率是按體積計約70 :25。
68.如權利要求32所述的超級磨料產(chǎn)品前體,其中該超級磨料顆粒組分包括選自下組的至少一個成員，該組由以下各項組成金剛石、立方氮化硼、氧化鋯和氧化鋁。
69.如權利要求68所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該超級磨料顆粒組分包括金剛石。
70.如權利要求32所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該超級磨料顆粒組分的量比上該超級磨料產(chǎn)品的其余部分是在按體積計約3%與約25%之間的一個比率。
71.如權利要求32所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該超級磨料顆粒組分具有的平均粒徑是在約3 μ m與約6 μ m之間的范圍內(nèi)。
72.如權利要求32所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中該超級磨料顆粒組分具有的粒徑分布是在約I μ m與約10 μ m之間。
73.一種形成超級磨料產(chǎn)品的方法，該方法包括以下步驟 a)將一種超級磨料、一種氧化物組分、一種粘結劑組分以及一種具有包封的氣體的聚合物發(fā)泡劑進行組合，該氧化物組分是由一種鑭系元素的氧化物組成；并且 b)將所組合的超級磨料、粘合組分和聚合物發(fā)泡劑加熱到一個溫度并且持續(xù)一段時間，這段時間段使得至少一部分的該氣體從該發(fā)泡劑內(nèi)的包封中釋放。
74.如權利要求73所述的方法，其中該鑭系元素包括一種具有的原子序數(shù)至少為57并且最大為60的元素。
75.如權利要求73所述的方法，其中該鑭系元素是選自下組的至少一個成員，該組由以下各項組成鑭、鈰、鐠、以及釹。
76.如權利要求75所述的方法，其中該鑭系元素包括鈰。
77.如權利要求76所述的方法，其中該鑭系元素實質上由鈰組成。
78.如權利要求73所述的方法，其中該氧化物組分存在的量值是在該超級磨料產(chǎn)品的約O. 05與約10. O體積百分比之間的范圍內(nèi)。
79.如權利要求73所述的方法，其中該氧化物組分具有的平均粒徑是在約O.I微米與約30微米之間的范圍內(nèi)。
80.如權利要求73所述的方法，其中該聚合物發(fā)泡劑的聚合物包括一種熱塑性聚合 物。
81.如權利要求73所述的方法，其中該粘結劑組分包括一種熱固性聚合物。
82.如權利要求73所述的方法，其中所組合的超級磨料、粘結劑以及聚合物發(fā)泡劑是一種超級磨料產(chǎn)品前體。
83.如權利要求82所述的方法,其中該超級磨料產(chǎn)品前體進一步包括該超級磨料顆粒組分以及該氧化物組分。
84.如權利要求83所述的方法，其中超級磨料顆粒組分的比率是在該超級磨料產(chǎn)品前體的按體積計約3%與約25%之間的一個比率。
85.如權利要求82所述的方法，其中將該超級磨料產(chǎn)品前體加熱到一個溫度并且持續(xù)一段時間，該溫度和時間使得至少一個實質性部分的被包封的氣體從該超級磨料產(chǎn)品前體中被釋放，由此所形成的超級磨料產(chǎn)品具有一種孔隙率，該孔隙率實質性地是一種開放的孔隙率。
86.如權利要求85所述的方法,其中在該超級磨料產(chǎn)品前體處于一個正的表壓力下時通過將該超級磨料5產(chǎn)品前體的溫度升高而加熱該超級磨料產(chǎn)品前體。
87.如權利要求85所述的方法，將該超級磨料產(chǎn)品前體在至少兩噸的壓力下預加熱到至少約100° C的一個第一溫度。
88.如權利要求87所述的方法，其中將該超級磨料產(chǎn)品前體從該第一溫度加熱到至少約180° C的一個第二均熱溫度。
89.如權利要求88所述的方法，其中將該超級磨料產(chǎn)品前體在該均熱溫度下保持至少約十五分鐘以便由此形成該超級磨料物品。
90.如權利要求88所述的方法，其中將該超級磨料物品在約10分鐘與約40分鐘之間的范圍內(nèi)的一段時間內(nèi)從該均熱溫度冷卻到在約100° C與約170° C之間的范圍內(nèi)的一個降低的第一溫度。
91.如權利要求90所述的方法，其中，通過空氣冷卻將該超級磨料物品冷卻到該降低的第一溫度。
92.如權利要求90所述的方法，其中將該超級磨料物品在約10分鐘與約30分鐘之間的一段時間內(nèi)從該降低的第一溫度冷卻到在約30° C與約100° C之間的范圍內(nèi)的一個降低的第二溫度。
93.如權利要求92所述的方法，其中，通過液體冷卻將該超級磨料物品從該降低的第一溫度冷卻到該降低的第二溫度。
94.如權利要求92所述的方法，其中，將該超級磨料產(chǎn)品前體加熱以便在一個模具中形成該超級磨料物品。
95.如權利要求94所述的方法，其中，在冷卻到該降低的第二溫度之后將該超級磨料5物品從該模具中移出。
96.如權利要求73所述的方法，其中該發(fā)泡劑包括多個離散顆粒，這些顆粒的至少一部分具有一種包封了氣體的殼。
97.如權利要求96所述的方法,其中這些殼的至少一部分包括一種熱塑性聚合物。
98.如權利要求97所述的方法，其中該熱塑性聚合物組分是選自下組的至少一個成員，該組由以下各項組成聚丙烯腈、聚偏乙烯、聚苯乙烯、聚丙烯、聚乙烯、尼龍、以及聚甲基丙烯酸甲酯。
99.如權利要求98所述的方法，其中該發(fā)泡劑的殼包括聚丙烯腈和聚偏二氯乙烯的一種共聚物。
100.如權利要求99所述的方法，其中聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的按重量計的比率是在約40 60與約99 1之間的范圍內(nèi)。
101.如權利要求100所述的方法，其中，該發(fā)泡劑的平均粒徑是在約8微米與約420微米之間的范圍內(nèi)。
102.如權利要求101所述的方法，其中，該發(fā)泡劑的平均粒徑是在約20微米與約50微米之間的范圍內(nèi)。
103.如權利要求102所述的方法，其中聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的重量比是在約4060與約60 40的范圍內(nèi)。
104.如權利要求103所述的方法，其中聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的重量比是約50:50。
105.如權利要求101所述的方法，其中，該發(fā)泡劑的平均粒徑5是在約85微米與約105微米之間的范圍內(nèi)。
106.如權利要求105所述的方法，其中聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的重量比是在約6040與約80 20之間的范圍內(nèi)。
107.如權利要求106所述的方法，其中聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的重量比是約70:30。
108.如權利要求101所述的方法，其中該發(fā)泡劑的平均粒徑是大于約125微米。
109.如權利要求108所述的方法，其中該聚丙烯腈與聚偏二氯乙烯的重量比是在約92 8與約98 :2之間的范圍內(nèi)。
110.如權利要求109所述的方法，其中聚丙烯腈與聚偏乙烯的重量比是約95:5。
111.如權利要求96所述的方法，其中該離散顆粒的被包封的氣體包括至少一個選自異丁烯和異戊烷組成的組中的成員。
112.如權利要求96所述的方法，其中該離散顆粒具有的壁厚度是在約O.01微米與約O. 08微米之間的范圍內(nèi)。
113.如權利要求96所述的方法，其中離散體與粘結劑組分的比率是在按體積計約2I與約30 :35之間的范圍內(nèi)。
114.如權利要求73所述的方法，其中該粘結劑組分包括一種熱固性樹脂。
115.如權利要求114所述的方法，其中該熱固性樹脂是下組的至少一個成員，該組由以下各項組成酚醛樹脂、聚酰胺、聚酰亞胺、以及環(huán)氧改性的酚醛樹脂。
116.如權利要求115所述的方法，其中該熱固性樹脂組分包括酚醛樹脂。
117.如權利要求73所述的方法，其中該超級磨料顆粒組分包括選自下組的至少一個成員，該組由以下各項組成金剛石、立方氮化硼、氧化鋯、以及氧化鋁。
118.如權利要求117所述的方法，其中該超級磨料顆粒組分包括金剛石。
119.如權利要求73所述的方法，其中該超級磨料顆粒組分具有的平均粒徑是在約3微米與約6微米之間的范圍內(nèi)。
120.如權利要求119所述的方法，其中該超級磨料顆粒組分具有的粒徑分布是在約Iym與約10 μ m之間。
121.如權利要求73所述的方法，其中該具有包封的氣體的聚合物發(fā)泡劑包括未膨脹 的球體。
122.如權利要求73所述的方法，其中該具有包封的氣體的聚合物發(fā)泡劑包括膨脹的球體。
123.—種對晶片進行背面研磨的方法，包括 提供一個晶片；并且 使用一種超級磨料樹脂產(chǎn)品將該晶片背面研磨至不大于25埃的平均表面粗糙度(Ra),該超級磨料樹脂產(chǎn)品包括 一種超級磨料顆粒組分； 由一種鑭系元素的氧化物組成的一種氧化物組分；以及 包括一種熱塑性聚合物組分和一種熱固性樹脂組分的一種連續(xù)相，該連續(xù)相限定了一個連通孔的網(wǎng)絡，其中該超級磨料顆粒組分和該氧化物組分被分布在該連續(xù)相之中。
124.如權利要求123所述的方法，其中該Ra是不大于約23?；虿淮笥诩s21埃。
125.—種超級磨料樹脂產(chǎn)品,包括 一種超級磨料顆粒組分； 由一種鑭系元素的氧化物組成的一種氧化物組分；以及 包括一種粘結劑組分的一種連續(xù)相，該連續(xù)相限定了一個連通孔的網(wǎng)絡，這些孔包括具有的尺寸在約125微米與約150微米之間的大孔、具有的尺寸在約20微米與約50微米之間的小孔、以及具有的尺寸在約85微米與約105微米之間的中間孔，其中該超級磨料顆粒組分和該氧化物組分被分布在該連續(xù)相之中。
126.如權利要求125所述的超級磨料樹脂產(chǎn)品，其中該多模態(tài)尺寸分布具有一個在約125微米與約150微米之間、或在約85微米與約105微米之間、或在約30微米與約50微米之間的模態(tài)。
127.—種超級磨料產(chǎn)品前體,包括 一種超級磨料顆粒組分； 由一種鑭系元素的氧化物組成的一種氧化物組分； 一種粘結劑組分；以及 一種具有包封的氣體的聚合物發(fā)泡劑，該聚合物發(fā)泡劑包括至少兩種類型的不同顆粒。
128.如權利要求127所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中一種類型的離散顆粒具有的平均粒徑是在約125微米與約150微米之間或在約85微米與約105微米之間或在約20微米與約50微米之間。
129.如權利要求127所述的超級磨料產(chǎn)品前體，其中這些聚合物發(fā)泡劑包括至少三種類型的不同顆粒。
130.一種超級磨料產(chǎn)品前體,包括 一種超級磨料顆粒組分； 由一種鑭系元素的氧化物組成的一種氧化物組分； 一種粘結劑組分；以及 一種具有包封的氣體的聚合物發(fā)泡劑，該發(fā)泡劑包括多個具有多模態(tài)尺寸分布的離散顆粒。
131.如權利要求130所述的超級磨料樹脂產(chǎn)品，其中該多模態(tài)尺寸分布具有一個在約125微米與約150微米之間、或在約85微米與約105微米之間、或在約30微米與約50微米之間的模態(tài)。
全文摘要
一種超級磨料樹脂產(chǎn)品包括一種超級磨料顆粒組分、一種氧化物組分、以及限定了連通孔的網(wǎng)絡的一種連續(xù)相。該氧化物組分由一種鑭系元素的氧化物組成，并且該連續(xù)相包括一種熱塑性聚合物組分。該超級磨料顆粒組分和該氧化物組分被分布在該連續(xù)相之中。
文檔編號B24D3/28GK102648072SQ201080055356
公開日2012年8月22日 申請日期2010年10月27日 優(yōu)先權日2009年10月27日
發(fā)明者R·烏帕德亞雅, R·維達塔姆 申請人:圣戈班磨料磨具有限公司, 法國圣戈班磨料磨具公司