專利名稱：：兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘缘慕?jīng)陽(yáng)極氧化處理鋁合金的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及鋁合金，特別是涉及CVD裝置、PVD裝置、離子注入裝置、濺射裝置、干式蝕刻裝置等的半導(dǎo)體和液晶制造裝置的真空腔的構(gòu)件和設(shè)于其內(nèi)部的構(gòu)件所使用的經(jīng)陽(yáng)極氧化處理鋁合金。
背景技術(shù)：
：在CVD裝置、PVD裝置、離子注入裝置、濺射裝置、干式蝕刻裝置等的半導(dǎo)體和液晶制造裝置的真空腔的內(nèi)部，由于含有卣素的腐蝕性氣體作為反應(yīng)氣體、蝕刻氣體、清洗氣體被導(dǎo)入，因此要求其對(duì)于腐蝕性氣體有耐腐蝕性(以下稱為耐氣體腐蝕性)。另外，在上述真空腔之中，因?yàn)槎嗍果u系的等離子體發(fā)生，所以也重視對(duì)于等離子體的耐性(以下稱為耐等離子體性)(參照特開2003-34894號(hào)公報(bào)，特開2004-225113號(hào)公報(bào)等)。另外近年來(lái)，作為這種真空腔的構(gòu)件輕量而且熱傳導(dǎo)性優(yōu)異，因此采用鋁和鋁合金。然而，鋁和鋁合金不具有充分的耐氣體腐蝕性及耐等離子體性，因此紛紛提出有用于使這些特性提高的表面改質(zhì)技術(shù)。可是，對(duì)于這些特性來(lái)說(shuō)仍不充分，因此期望進(jìn)一步提高。為了提高上述耐等離子體性，有效的是使鋁和鋁合金的表面形成高硬度的陽(yáng)極氧化皮膜。究其原因是因?yàn)?，該高硬度的?yáng)極氧化皮膜對(duì)于等離子體的物理性的能量帶來(lái)的構(gòu)件的磨耗具有耐性，因此能夠提高耐等離子體性(參照特開2004-225113號(hào)公報(bào)等)。然而，僅僅在鋁和鋁合金的表面形成高硬義的陽(yáng)極氧化皮膜，即使耐等離子體能夠提高，但在高硬度的陽(yáng)極氧化皮膜上仍容易發(fā)生裂紋。另外，一旦裂紋發(fā)生而貫通陽(yáng)極氧化皮膜時(shí)，腐蝕性氣體便會(huì)通過(guò)該貫通的裂紋(以下稱為貫通裂紋)侵入，從而發(fā)生作為基材的鋁和鋁合金腐蝕這樣的問題。因此，就期望不僅具有高硬度，而且也具有耐久性(耐裂紋性和耐氣體腐蝕性)的陽(yáng)極氧化皮膜。另外，從抑制Fe對(duì)于半導(dǎo)體晶片和液晶用玻璃基板等的被處理物的污染的觀點(diǎn)出發(fā)，若減少鋁合金中的Fe的含量，則確實(shí)能夠形成Fe的含量少的陽(yáng)極氧化皮膜。但是，這樣的陽(yáng)極氧化皮膜會(huì)進(jìn)一步變硬，耐裂紋性和耐氣體腐蝕性更加劣化。因此，在這一領(lǐng)域中，既要確保低污染性，又期望更強(qiáng)的耐久性(耐裂紋性和耐氣體腐蝕性)的提高。專利文獻(xiàn)1特開2003-34894號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開2004-225113號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明鑒于這一情況而做，其目的在于，提供一種即使高硬度，仍兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘缘慕?jīng)陽(yáng)極氧化處理鋁合金。為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明的權(quán)利要求l所述的發(fā)明，是一種具有如下鋁合金和在該鋁合金的表面所形成的陽(yáng)極氧化皮膜的陽(yáng)極氧化處理鋁合金，作為合金成分，該鋁合金含有Mg:0.12.0%("質(zhì)量％"的意思，下同。)、Si:0.12.0%、Mn:0.12.0%，F(xiàn)e、Cr和Cu的各含量分別規(guī)定在0.03%以下，余量由Al和不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成，其中，在所述陽(yáng)極氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上。據(jù)此，即使是高硬度，也能夠?qū)崿F(xiàn)耐久性和低污染性兼?zhèn)涞年?yáng)極氧化處理鋁合金。權(quán)利要求2所述的發(fā)明，是在權(quán)利要求1所述的發(fā)明中具有如下特征，所述硬度最小的部位的維氏硬度為365以上。據(jù)此，耐等離子體性提高。如上，本發(fā)明是一種具有如下鋁合金和在該鋁合金的表面所形成的陽(yáng)極氧化皮膜的陽(yáng)極氧化處理鋁合金，作為合金成分，該鋁合金含有Mg:0.12.0%("質(zhì)量％"的意思，下同。)、Sh0.12.0%、Mn:0.12.0%，F(xiàn)e、Cr和Cu的各含量分別規(guī)定在0.03%以下，余量由Al和不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成，因?yàn)樵谒鲫?yáng)極氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上，所以能夠提供即使為高硬度，仍兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘缘年?yáng)極氧化處理鋁合金。具體實(shí)施例方式以下，就本發(fā)明邊例示實(shí)施方式邊進(jìn)行詳細(xì)地說(shuō)明。(本發(fā)明的耐久性和低污染性兼?zhèn)涞慕?jīng)陽(yáng)極氧化處理鋁合金的構(gòu)成)本發(fā)明的耐久性和低污染性兼?zhèn)涞年?yáng)極氧化處理鋁合金，是具有如下鋁合金和在該鋁合金的表面所形成的陽(yáng)極氧化皮膜的陽(yáng)極氧化處理鋁合金，作為合金成分，該鋁合金含有Mg:0.12.0%("質(zhì)量％"的意思，下同。)、Si:0.12.0%、Mn:0.12.0%，F(xiàn)e、Cr和Cu的各含量分別規(guī)定在0.03%以下，余量由Al和不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成，其中，在所述陽(yáng)極氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上。據(jù)此，能夠提供即使為高硬度，仍兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘缘年?yáng)極氧化處理鋁合金。以下，對(duì)于達(dá)到上述構(gòu)成的理由進(jìn)行詳述。本發(fā)明者們首先抑制鋁合金中的Fe、Cr、Cu的含量，使之不會(huì)污染半導(dǎo)體等的被處理物。特別是一邊積極地活用通過(guò)抑制Fe的含量使產(chǎn)生的陽(yáng)極氧化皮膜變硬，從而能夠確保耐等離子體性這一特性，一邊銳意地研究萬(wàn)一陽(yáng)極氧化皮膜上發(fā)生裂紋，如何能夠不僅該裂紋伸展到鋁合金本身。其結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過(guò)籌劃陽(yáng)極氧化皮膜的形成條件，使陽(yáng)極氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上，能夠使裂紋不會(huì)伸展到鋁合金本身。據(jù)此，氣體向鋁合金本身的侵入也得到抑制，使綜合性的耐久性得以確保。說(shuō)到原因，成為這樣的結(jié)構(gòu)而能夠解決上述課題的詳細(xì)的機(jī)理尚不明確。但是，作為機(jī)理之一，認(rèn)為是由于裂紋的伸展被硬度小的部位吸收或者抑制，結(jié)果是裂紋不會(huì)伸展至鋁合金本身。以下詳述本發(fā)明。(鋁合金中的成分)存在于鋁合金中的Mg、Si和Mn，組合成Mg2Si、還有Al-Mn-Si化合物、或者A1-Mn化合物，雖然詳細(xì)地機(jī)理不明，但是推測(cè)會(huì)使陽(yáng)極氧化皮膜強(qiáng)化。Mg:0.12.0%Mg是形成Mg2Si化合物所需要的元素，低于0.1%時(shí)，幾乎不會(huì)形成Mg2Si化合物，因此得不到陽(yáng)極氧化皮膜期望的耐久性提高效果。另一方面，當(dāng)超過(guò)2.0%時(shí)，Mg2Si化合物粗大化，反而阻礙正常的陽(yáng)極氧化皮膜的形成。因此，Mg的含量的下限為0.P/。，其上限為2.0%。優(yōu)選為0.8%。Sh0.12.0%Si與Mg都是形成Mg2Si化合物所需要的元素，低于0.1%時(shí)，幾乎不會(huì)形成Mg2Si化合物，因此得不到陽(yáng)極氧化皮膜期望的耐久性提高效果。另一方面，當(dāng)超過(guò)2.0%時(shí)，Mg2Si化合物粗大化，反而阻礙正常的陽(yáng)極氧化皮膜的形成。因此，Si的含量的下限為0.1%，其上限為2.0%。優(yōu)選為1.2%。Mn:0.12.0%Mn是形成Al-Mn-Si化合物或者Al-Mn化合物所需要的元素，低于0.1%時(shí)，幾乎不會(huì)形成這些化合物，因此得不到陽(yáng)極氧化皮膜期望的耐久性提高效果。另一方面，當(dāng)超過(guò)2.0%時(shí)，上述化合物粗大化，反而阻礙正常的陽(yáng)極氧化皮膜的形成。因此，Mn的含量的下限為0.1%，其上限為2.0%。優(yōu)選為1.6%。Fe、Cr禾卩Cu:分別在0.03%以下陽(yáng)極氧化處理中所使用的電，被用于鋁的離子化和基于水的電解的氧發(fā)生，因此，若用于氧發(fā)生的電的比例變大，則用于鋁合金的離子化的電的比例變小，鋁合金氧化物的形成的效率降低而減緩成膜速度。若Fe、Cr、Cu存在于鋁合金中，則這些元素成為氧發(fā)生的起點(diǎn)，導(dǎo)致用于氧發(fā)生的電的比例變大，成膜速度變慢。另外。若Fe、Cr、Cu的含量分別超過(guò)0.03%，則從母材和陽(yáng)極氧化皮膜向氣體中排放，從而污染半導(dǎo)體等的被處理物。因此，F(xiàn)e、Cr和Cu的各含量分別在0.03。/。以下，優(yōu)選分別規(guī)定在0.01%以下。余量Al和不可避免的雜質(zhì)余量實(shí)質(zhì)上只有A1，但是也允許Fe、Cr、Cu以外的Ni、Zn、B、Ca、Na、K等的雜質(zhì)元素的不可避免地少量含有。但是，為了實(shí)現(xiàn)更低污染化，優(yōu)選將Fe、Cr、Cu以外的雜質(zhì)元素(不可避免的雜質(zhì))的總和規(guī)定在0.1%以下。另外，若鋁合金的晶粒大，則在陽(yáng)極氧化皮膜上顯現(xiàn)結(jié)晶紋樣，色調(diào)變得不均一，因此為了對(duì)其加以防止，也可以含有Ti。還有，若Ti的含量過(guò)少，則得不到晶粒的控制效果，若含量過(guò)多，則反而成為污染的原因，因此使Ti含有時(shí)，優(yōu)選其下限為0.01%，更優(yōu)選為0.015%，優(yōu)選其上限為0.03%，更優(yōu)選為0.025%。(鋁合金的制造方法)接下來(lái)，對(duì)于鋁合金的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。首先，適宜選擇例如連續(xù)鑄造法、半連續(xù)鑄造法(DC鑄造法)等通常的熔解鑄造法，制造調(diào)整到上述成分范圍內(nèi)的鋁合金鑄錠。其次，對(duì)該鋁合金鑄錠實(shí)施均質(zhì)化熱處理(也稱"均熱處理")。該均質(zhì)化溫度(也稱"均質(zhì)化處理溫度"或"均熱處理溫度")為，以50(TC以上的溫度進(jìn)行均熱處理，從而得到耐久性優(yōu)異的陽(yáng)極氧化皮膜。但是，若以超過(guò)600'C的溫度實(shí)施均質(zhì)化處理，則燒損(burning)等發(fā)生，有招致表面性狀等出問題的情況。因此，均質(zhì)化處理溫度推薦為50(TC以上(更優(yōu)選超過(guò)550'C)、600。C以下的范圍。關(guān)于這樣的均熱處理溫度如何關(guān)乎高耐久性的陽(yáng)極氧化皮膜的形成雖然尚未判明，但如上述，認(rèn)為是與Al-Mn-Si化合物或者Al-Mn化合物的形成有關(guān)。然后，將實(shí)施了均質(zhì)化處理的鋁合金鑄錠進(jìn)行軋制、鍛造、擠出等適宜的塑性加工，對(duì)由此得到的鋁合金進(jìn)行固溶處理、淬火、人工時(shí)效處理(以下僅稱為"時(shí)效處理"。)后，機(jī)械加工成適宜的形狀，從而制作鋁合金的基材。或者，也可以將上述鋁合金成形加工成規(guī)定的形狀后，再實(shí)施固溶處理、淬火、時(shí)效處理，由此制作鋁合金的基材。作為固溶處理、淬火、時(shí)效處理，例如能夠進(jìn)行作為通常的T6處理的固溶處理51555(TC、水淬火、時(shí)效處理170。CX8h，155165。CX18h。(關(guān)于陽(yáng)極氧化皮膜)其次，對(duì)于上述鋁合金基板的表面所形成的陽(yáng)極氧化皮膜進(jìn)行說(shuō)明。作為陽(yáng)極氧化皮形成方法，其進(jìn)行只要適宜選擇進(jìn)行電解的條件，即電解溶液的組成、濃度、電解條件(電壓、電流密度、電流-電壓波形、溫度)等的條件即可。關(guān)于陽(yáng)極氧化處理液，需要以含有C、S、N、P、B之中的l種以上的元素的溶液進(jìn)行電解，例如，使用含有草酸、蟻酸、氨基磺酸、磷酸、亞磷酸、硼酸、硝酸或其化合物、酞酸或其化合物這中的l種以上的水溶液進(jìn)行是有效的。陽(yáng)極氧化皮膜的膜厚沒有特別限制，但以0.1200pm左右為宜，優(yōu)選為0.570^m左右，更優(yōu)選為150pm左右。如前述，因?yàn)樵陉?yáng)極氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，該硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上，所以即使該皮膜為高硬度，仍可抑制裂紋的傳播，耐裂紋性優(yōu)異。如此，因?yàn)槟土鸭y性被抑制，所以作為結(jié)果，氣體向鋁合金本身的侵入也被抑制，耐久性得到綜合性地確保。相對(duì)于此，硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)低于5時(shí)，實(shí)質(zhì)上在陽(yáng)極氧化皮膜的厚度方向上，會(huì)顯示出與硬度均一(同樣)的情況相同的舉動(dòng)，裂紋的傳播難以得到抑制，耐裂紋性劣。因此，耐氣體腐蝕性也差。在本發(fā)明中，在陽(yáng)極氧化皮膜的厚度方向上硬度不同的部位的數(shù)量需要有2個(gè)以上，但如果是2個(gè)以上，則此部位的數(shù)量沒有特別限定。另外，在陽(yáng)極氧化皮膜的厚度方向上，硬度可以斷續(xù)地變化，或者也可以連續(xù)地(傾斜地)變化。另外，從抑制在陽(yáng)極氧化皮膜上發(fā)生的裂紋的傳播這一觀點(diǎn)出發(fā)，考慮硬度最小的部位的維氏硬度以盡可能小的方面為宜，但是，若把對(duì)于等離子體的物理能量造成的磨耗的耐性也考慮在內(nèi)，則優(yōu)選以維氏硬度計(jì)為365以上。施加有這種陽(yáng)極氧化皮膜的鋁合金(以下稱為陽(yáng)極氧化處理鋁合金)適合在高溫的腐蝕氣氛下使用的各種用途。特別是適合作為在高溫環(huán)境下被曝露于腐蝕氣體和等離子體中，要求其一方對(duì)被處理物低污染化的半導(dǎo)體制造設(shè)備等所附加設(shè)置的等離子體處理裝置所使用的真空腔和設(shè)于其內(nèi)部的電極等的構(gòu)件。為了在陽(yáng)極氧化皮膜的厚度方向上使陽(yáng)極氧化皮膜的硬度變化，采用在陽(yáng)極氧化處理的途中斷續(xù)或連續(xù)地使陽(yáng)極氧化處理液的溫度變化的方法，和在途中中斷陽(yáng)極氧化處理，一下子從陽(yáng)極氧化處理液中取出被處理物，在其他的液組成和/或溫度不阇的陽(yáng)極氧化處理液中恢復(fù)陽(yáng)極氧化處理的方法等即可，根據(jù)這些方法，能夠使陽(yáng)極氧化皮膜的厚度方向的硬度變化。另外，陽(yáng)極氧化處理液的溫度低的一方，陽(yáng)極氧化處理中的陽(yáng)極氧化皮膜的化學(xué)溶解受到抑制而變硬。另外如前述，考慮到對(duì)半導(dǎo)體等的被處理的污染，例如若將鋁合金中的Fe的含量抑制在0.03%以下，則陽(yáng)極氧化皮膜中的Fe的含量被抑制在500ppm以下，此外，若將將鋁合金中的Fe的含量抑制在0.01。/。以下，則陽(yáng)極氧化皮膜中的Fe的含量被抑制在150ppm以下。如以上說(shuō)明，上述陽(yáng)極氧化處理鋁合金即使為高硬度，也能夠滿足耐久性(耐裂紋性和耐氣體腐蝕性)和低污染性。實(shí)施例以下，基于實(shí)施例詳細(xì)闡述本發(fā)明。但是，下述實(shí)施例并不限制本發(fā)明，在不脫離前、后述的宗旨的范圍內(nèi)進(jìn)行變更實(shí)施的均包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍中。首先，熔煉具有下述表1所述的{實(shí)施例(試料No.l、2、4、5)，比較例(試料No.3、614)的}成分組成的鋁合金鑄錠(尺寸寬220mmX長(zhǎng)250mmX厚100mm，冷卻速度1510°C/s)，切斷該鑄錠并進(jìn)行端面銑削(尺寸寬220mmX長(zhǎng)150mmX厚60mm)后，實(shí)施均熱處理(540°CX4h)。均熱處理后，通過(guò)熱軋將60mm厚的原材軋制成6mm厚的板材，進(jìn)行固溶處理(51052(TCX30min)后，進(jìn)行水淬火并實(shí)施時(shí)效處理(160180。CX8h)，得到供試合金板。從該合金板上切割25mmX35mm(軋制方向)厚X3mm的試驗(yàn)片，對(duì)其表面進(jìn)行端面銑削加工而成為Ral.6的表面粗糙度。<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>其次，將上述各試驗(yàn)片在60°C_10%NaOH水溶液中浸漬2分鐘后水洗，再在30。C-20。/。HNO3水溶液中浸漬2分鐘后，通過(guò)水洗的處理凈化表面，之后按第1層(鋁合金基材側(cè))、第2層(第1層之上又形成的層)的順序?qū)嵤╆?yáng)極氧化處理。作為陽(yáng)極處理的條件，如上述表l所述，第l層和第2層均是處理液為25g/L(在此"L"是升的意思)草酸，將電解電壓固定為60V，使形成的陽(yáng)極氧化皮膜的厚度為15Mm。作為第1層和第2層的陽(yáng)極氧化處理的條件，不同的是上述處理液的溫度，第l層在形成時(shí)的溫度的一方比第2層在形成時(shí)的溫度高。對(duì)于如上這樣制作的陽(yáng)極氧化處理鋁合金試料片(以下僅稱為試料片)，進(jìn)行陽(yáng)極氧化皮膜中的Fe、Cr、Cu的含量的測(cè)定，陽(yáng)極氧化皮膜的硬度的測(cè)定，陽(yáng)極氧化皮膜的耐久性的試驗(yàn)。(陽(yáng)極氧化皮膜中的Fe、Cr、Cu的含量的測(cè)定)為了評(píng)價(jià)試料片的耐污染性，在不露出鋁合金基板的程度下使陽(yáng)極氧化皮膜溶解于7%鹽酸100mL(在此"mL"是毫升的意思。)中，根據(jù)溶解前后的鹽酸的重量變化計(jì)算陽(yáng)極氧化皮膜的溶解量W(g)。其次，對(duì)該鹽酸溶液進(jìn)行ICP分析，求得鹽酸中的Fe、Cr、Cu的各濃度，計(jì)算溶解于100mL鹽酸中的Fe、Cr、Cu的各重量WFe、WCr、WCu(g)，根據(jù)WFe/W、Wc/W、WCu/W，求得陽(yáng)極氧化皮膜中的Fe、Cr、Cu各濃度。然后，以陽(yáng)極氧化皮膜中的Fe、Cr、Cu的濃度，根據(jù)下述的基準(zhǔn)評(píng)價(jià)耐污染性(評(píng)價(jià)結(jié)果顯示在上述表l中)。耐污染性評(píng)價(jià)基準(zhǔn)全部的元素都在300ppm以下，〇至少1種元素超過(guò)300ppm在500ppm以下，其他元素在300ppm以下，X:至少1種元素超過(guò)500ppm耐污染性評(píng)價(jià)結(jié)果如上述表l所示，比較例(試料No.1214)，雖然陽(yáng)極氧化皮膜中的任意一種元素的含量超過(guò)500ppm,但是實(shí)施例(試料No.l、2、4、5)和比較例(試料No.3、611)是全部元素都在500ppm以下的良好的結(jié)果。另外，實(shí)施例(試料No.l、2)和比較例(試料No.3、611)如上述表l所示，是陽(yáng)極氧化皮膜中的全部的元素的含量為300ppm以下的極好的結(jié)果。(陽(yáng)極氧化皮膜的硬度的測(cè)定)沿截面方向(使陽(yáng)極氧化皮膜截面和鋁合金基材截面成為研磨面)將試料片埋入樹脂，進(jìn)行研磨后，對(duì)于陽(yáng)極氧化皮膜截面按JISZ2244(1998)的方法測(cè)定硬度。測(cè)定結(jié)果如上述表1所示，實(shí)施例(試料No.l、2、4、5)和比較例(試料No.3、614)均是第2層的陽(yáng)極氧化皮膜的硬度的一方比第1層的陽(yáng)極氧化皮膜的硬度硬。這是由于，第2層的陽(yáng)極氧化皮膜在形成時(shí)的處理液的溫度比第1層的陽(yáng)極氧化皮膜的成形時(shí)的處理液的溫度低。另外，實(shí)施例(試料No.2)的第2層和第l層的陽(yáng)極氧化皮膜的硬度之差，以維氏硬度計(jì)為5。這是基于第2層的陽(yáng)極氧化皮膜在形成時(shí)的溫度為5'C，第1層的陽(yáng)極氧化皮膜在形成時(shí)的處理液的溫度為8'C。另外，實(shí)施例(試料No.3)的第2層和第1層的陽(yáng)極氧化皮膜的硬度之差，以維氏硬度計(jì)為4。這是基于第2層的陽(yáng)極氧化皮膜在形成時(shí)的溫度為5°C，第1層的陽(yáng)極氧化皮膜在形成時(shí)的處理液的溫度為7'C。這些以外的實(shí)施例(試料No.l、4、5)和比較例(試料No.614)的第2層和第1層的陽(yáng)極氧化皮膜的硬度之差，以維氏硬度計(jì)為10。這是基于第2層的陽(yáng)極氧化皮膜在形成時(shí)的溫度為5。C，第1層的陽(yáng)極氧化皮膜在形成時(shí)的處理液的溫度為IO'C。如此，通過(guò)控制陽(yáng)極氧化皮膜在形成時(shí)的處理液的溫度，可以任意設(shè)定陽(yáng)極氧化皮膜的硬度。另外，上述陽(yáng)極氧化皮膜的硬度如上述表1所示，除去比較例(試料No.12)，以維氏硬度計(jì)均為365以上，因此除比較例(試料No.12)以外，均可以確保耐等離子體性。(陽(yáng)極氧化皮膜的耐久性的試驗(yàn))耐久性的試驗(yàn)，由下述這種耐裂紋性試驗(yàn)和耐氣體腐蝕性試驗(yàn)的2個(gè)階段構(gòu)成。首先，最初將試料片設(shè)置在試驗(yàn)容器內(nèi)(氣氛為大氣中)，加熱至45(TC并保持1小時(shí)，其后從試驗(yàn)容器中取出試料片，浸漬在27T:的水中急冷(耐裂紋性試驗(yàn))。在此試驗(yàn)之后，將試料片靜置在5%C12-Ar氣體氣氛下(400°C)4小時(shí)(以此為1個(gè)周期)后，再追加個(gè)周期，實(shí)施合計(jì)2個(gè)周期(耐氣體腐蝕性試驗(yàn))。之后，取出試料片，計(jì)算試料片表面的腐蝕發(fā)生面積率(腐蝕面積/試料片面積X100)，根據(jù)下述的基準(zhǔn)進(jìn)行評(píng)價(jià)(評(píng)價(jià)結(jié)果顯示在上述表1中)。耐久性評(píng)價(jià)基準(zhǔn)腐蝕發(fā)生面積率0%，〇腐蝕發(fā)生面積率超過(guò)9%、在3%以下，X:腐蝕發(fā)生面積率超過(guò)3%耐久性評(píng)價(jià)結(jié)果如上述表l所示，雖然比較例(試料No.3、611)不合格，但是實(shí)施例(試料No.l、2、4、5)和比較例(試料No.1214)為良好的結(jié)果。另外，實(shí)施例(試料No.l)和比較例(試料No.1214)如上述表1所示，是極其良好的結(jié)果。如上，若綜合判斷陽(yáng)極氧化皮膜中的Fe、Cr、Cu的含量的測(cè)定結(jié)果，陽(yáng)極氧化皮膜的硬度的測(cè)定結(jié)果和陽(yáng)極氧化皮膜的耐久性的試驗(yàn)結(jié)果，則能夠滿足全部基準(zhǔn)的只有實(shí)施例(試料No.l、2、4、5)。滿足全部基準(zhǔn)的實(shí)施例(試料No.l、2、4、5)即使為高硬度，仍兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘?。?quán)利要求1.一種兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘缘慕?jīng)陽(yáng)極氧化處理鋁合金，其特征在于，是具有如下構(gòu)成的鋁合金和在該鋁合金的表面形成的陽(yáng)極氧化皮膜的陽(yáng)極氧化處理鋁合金，該鋁合金作為合金成分以質(zhì)量％計(jì)含有Mg0.1～2.0％、Si0.1～2.0％、Mn0.1～2.0％，F(xiàn)e、Cr和Cu的各含量分別限定在0.03％以下，余量由A1和不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成，其中，在所述陽(yáng)極氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的經(jīng)陽(yáng)極氧化處理鋁合金，其特征在于，所述硬度最小的部位的維氏硬度為365以上。全文摘要本發(fā)明的目的在于，提供一種即使在高硬度下，仍兼?zhèn)淠途眯院偷臀廴拘缘年?yáng)極氧化處理鋁合金。一種具有如下鋁合金和在該鋁合金的表面所形成的陽(yáng)極氧化皮膜的陽(yáng)極氧化處理鋁合金，作為合金成分，該鋁合金含有Mg0.1～2.0％(“質(zhì)量％”的意思，下同。)、Si0.1～2.0％、Mn0.1～2.0％，F(xiàn)e、Cr和Cu的各含量分別規(guī)定在0.03％以下，余量由Al和不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成，在所述陽(yáng)極氧化皮膜的厚度方向上具有硬度不同的部位，使硬度最大的部位和最小的部位的差以維氏硬度計(jì)為5以上。文檔編號(hào)C22C21/00GK101372731SQ200810135759公開日2009年2月25日申請(qǐng)日期2008年7月11日優(yōu)先權(quán)日2007年8月22日發(fā)明者久本淳,和田浩司申請(qǐng)人:株式會(huì)社神戶制鋼所