專利名稱：一種具有線性真空動密封及x射線防護(hù)功能的連續(xù)真空過渡室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種連續(xù)真空過渡室，具體是一種具有線性真空動密封及x射線防護(hù)功能的連續(xù)真空過渡室。
技術(shù)背景大部分的電子束加工裝置，是將被加工件封閉在一個獨(dú)立的密閉真空倉內(nèi)進(jìn) 行的。這種裝置在每次加工完一件或一批工件后要放大氣將工件取出，然后裝 入新的工件后再抽真空，達(dá)到電子束加工所需的工作真空后再進(jìn)行加工，工作 效率低。部分電子束連續(xù)加:r裝置/生產(chǎn)線，如連續(xù)電子束鋼帶真空鍍膜生產(chǎn)線，采 用了壓輥式的連續(xù)動密封方式，由于安裝壓輥需留出支撐位置，因此留出的漏 隙大，真空動密封效果不好，真空泵的負(fù)荷很大，需采用大功率真空泵來維持 所需的工作真空，并且真空泵容易損壞。對于連續(xù)運(yùn)行的電子束加工真空設(shè)備，特別是對于60KV以上的高壓電子束加工設(shè)備，x射線的防護(hù)會因?yàn)楸仨毩舫鲞B續(xù)運(yùn)行的進(jìn)出口而變得較困難。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明目的是要提供一種具有線性真空動密封及x射線防護(hù)功能的真空過渡室，它能在帶狀金屬材料連續(xù)運(yùn)行過程中，保證真空工作室的真空度/壓力達(dá)到0. 5-lPa，并使得在材料進(jìn)出口處的X射線劑量達(dá)到國家規(guī)定的安全劑量。 實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案是本發(fā)明連續(xù)真空過渡室由過渡室箱體、設(shè)置在過渡室箱體內(nèi)的兩套以上的線 性動密封裝置、箱體兩端的導(dǎo)向裝置、真空抽氣管管道、鉛擋板、鉛擋板支架 和設(shè)置在過渡室箱體外的防護(hù)鉛組成。線性動密封裝置又由可調(diào)式法蘭密封框 架、蓋板、上下密封壓板、上下密封壓塊組成。上下密封壓板的內(nèi)側(cè)與帶狀金 屬的形狀匹配，上下密封壓板之上為彈性材料的上下密封壓塊，密封壓塊壓緊 在密封壓板上，形成真空密封的線性動密封通道。這樣的密封通道設(shè)置2級以 上。動密封裝置之間設(shè)置有帶鉛板的上下錯開的X射線防護(hù)鉛擋板，防護(hù)鉛檔 板設(shè)置在鉛擋板支架上，真空過渡室外包有防護(hù)鉛，真空抽氣管與真空泵相連。本真空過渡室的工作過程是外側(cè)導(dǎo)向裝置對帶狀金屬材料起定位導(dǎo)向作 用，生產(chǎn)線上的牽引機(jī)使金屬材料在過渡室前進(jìn)，經(jīng)過2級以上的線性動密封 裝置、密封通道將大氣壓逐漸降低，使帶狀金屬材料在運(yùn)行過程中實(shí)現(xiàn)連續(xù)真空氣鎖，通過抽氣管抽氣能使在帶狀金屬連續(xù)通過的狀況下，箱內(nèi)的真空度達(dá)到0. 5-1Pa。過渡室內(nèi)的X射線防護(hù)鉛檔板及過渡室外的防護(hù)鉛層可使X射線衰減到安全劑量以下。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是在電子束加工設(shè)備的真空室左右兩側(cè)各裝一套導(dǎo)向裝置，在真空室內(nèi)設(shè)置2級以上的線性動密封，能在帶狀金屬材料連續(xù)通過的運(yùn)行狀 態(tài)下，保證真空工作室的真空度/壓力達(dá)到0. 5-1Pa;進(jìn)出口處X射線劑量達(dá)到安全劑量，真空泵的負(fù)荷較小，能保證真空設(shè)備長期連續(xù)穩(wěn)定地運(yùn)行。這種連續(xù)運(yùn)行的電子束加工設(shè)備工作效率高。
圖1為本發(fā)明連續(xù)真空過渡室結(jié)構(gòu)示意圖。圖中l(wèi).過渡室箱體2.過渡室內(nèi)的線性動密封裝置2-l.可調(diào)式法蘭密封框架 2-2.蓋板2-3.上下密封壓板 2-4.上下密封壓塊3.箱體兩端的 導(dǎo)向裝置4.真空抽氣管管道5.鉛檔板6.鉛檔板支架7.過渡箱外的防護(hù) 鉛8.帶狀金屬具體實(shí)施方式
本發(fā)明連續(xù)真空過渡室由過渡室箱體1、過渡室內(nèi)的線性動密封裝置2、可 調(diào)式法蘭密封框架2-1、蓋板2-2、上下密封壓板2-3、上下密封壓塊2-4、箱 體兩端的導(dǎo)向裝置3、真空抽氣管管道4、鉛檔板5、鉛檔板支架6、過渡箱外 的防護(hù)鉛7組成，上下密封壓板2-3用摩擦系數(shù)小的材料制成，上下密封壓板 2-3的內(nèi)側(cè)與帶狀金屬8的形狀匹配，上下密封壓板2-3之上為彈性材料制成的 上下密封壓塊2-4，密封通道設(shè)置2級以上，形成線性動密封裝置2，在線性動 密封裝置2之間設(shè)置帶鉛板的上下錯開的X射線鉛檔板5，鉛檔板5設(shè)置在鉛檔 板支架6上，過渡室箱體1外設(shè)置防護(hù)鉛7，真空抽氣管管道4與真空泵連通。
權(quán)利要求
1、一種具有線性真空動密封及X射線防護(hù)功能的連續(xù)真空過渡室，其特征是它由過渡室箱體(1)、設(shè)置在過渡室箱體(1)內(nèi)的兩套以上的線性動密封裝置(2)、設(shè)置在過渡室箱體(1)兩端的導(dǎo)向裝置(3)、真空抽氣管管道(4)、鉛擋板(5)、鉛擋板支架(6)和設(shè)置在過渡室箱體(1)外的防護(hù)鉛(7)組成。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有線性真空動密封及X射線防護(hù)功能的連 續(xù)真空過渡室，其特征是線性動密封裝置由可調(diào)式法蘭密封框架(2-1)、蓋 板(2-2)、上下密封壓板(2-3)、上下密封壓塊(2-4)組成，上下密封壓板(2-3) 的內(nèi)側(cè)與帶狀金屬(8)的形狀匹配，上下密封壓板(2-3)之上為彈性材料的 上下密封壓塊(2-4)，密封壓塊(2-4)壓緊在密封壓板(2-3)上，形成真空 密封的線性動密封通道。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種具有線性真空動密封及X射線防護(hù)功能的連 續(xù)真空過渡室，其特征是所述的線性動密封通道設(shè)置2級以上。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有線性真空動密封及X射線防護(hù)功能的連 續(xù)真空過渡室，其特征是所述的鉛檔板(5)上下錯開設(shè)置。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種具有線性真空動密封及X射線防護(hù)功能的連續(xù)真空過渡室，其特征是它由過渡室箱體、設(shè)置在過渡室箱體內(nèi)的兩套以上的線性動密封裝置、箱體兩端的導(dǎo)向裝置、真空抽氣管管道、鉛擋板、鉛擋板支架和設(shè)置在過渡室箱體外的防護(hù)鉛組成；線性動密封裝置的上下密封壓塊壓緊在密封壓板上，形成真空密封的線性動密封通道；動密封裝置之間設(shè)置有帶鉛板的上下錯開的X射線防護(hù)鉛擋板，真空過渡室外包有防護(hù)鉛，真空抽氣管與真空泵相連。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是能在帶狀金屬材料連續(xù)通過的運(yùn)行狀態(tài)下，保證真空工作室的真空度/壓力達(dá)到0.5-1Pa；進(jìn)出口處X射線劑量達(dá)到安全劑量，真空泵的負(fù)荷較小，真空設(shè)備長期連續(xù)穩(wěn)定地運(yùn)行，加工設(shè)備工作效率高。
文檔編號C23C14/56GK101403102SQ200810073878
公開日2009年4月8日 申請日期2008年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年10月30日
發(fā)明者宋宜梅, 李少林, 黃以平 申請人:桂林實(shí)創(chuàng)真空數(shù)控設(shè)備有限公司