專利名稱：一種用于物理氣相沉積設(shè)備的紅外傳感結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造設(shè)備中的傳感裝置，特別涉及一種物理氣相沉 積設(shè)備的紅外傳感器結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)：
在電子、半導(dǎo)體等制造行業(yè)，物理氣相沉積設(shè)備(PVD)已被廣泛的應(yīng)用， 特別是應(yīng)用材料公司(Applied Materials, Inc.)的Endura和Centura系列 設(shè)備在其中占有較大的份額，不少半導(dǎo)體制造企業(yè)均采用了該系列設(shè)備。
Endura和Centura系列物理氣相沉積設(shè)備對暗盒(Cassette)的裝載鎖定 (loadlock)采用紅外感應(yīng)的方式。如圖l、圖2、圖5所示，在機(jī)臺(tái)上下貨的 過程中，依靠位于安裝于機(jī)臺(tái)頂部的清空孔2上端的紅外發(fā)射接收一體機(jī)1，實(shí) 現(xiàn)對暗盒6是否裝載于載物臺(tái)4進(jìn)行探測。正常狀態(tài)下，當(dāng)載物臺(tái)4上沒有裝 載暗盒6時(shí)，紅外發(fā)射接收一體機(jī)1發(fā)射出的紅外光通過載物臺(tái)4上的鏡面3 反射回接收端，此時(shí)紅外發(fā)射接收一體機(jī)1會(huì)輸出一個(gè)高電平信號(hào)"1"，機(jī)臺(tái) 認(rèn)為載物臺(tái)4上無暗盒6;當(dāng)載物臺(tái)4上裝載暗盒6時(shí)，紅外發(fā)射接收一體機(jī)l 發(fā)射出的紅外光被暗盒6攔截散發(fā)開，接收端接收不到光線或強(qiáng)度很弱，此時(shí) 紅外發(fā)射接收一體機(jī)1輸出一個(gè)低電平信號(hào)"0"，機(jī)臺(tái)認(rèn)為暗盒6己經(jīng)準(zhǔn)備就 緒。
當(dāng)紅外傳感設(shè)備發(fā)射光角度、強(qiáng)度或散射度發(fā)生變化，使傳感設(shè)備處于異 常狀態(tài)，當(dāng)載物臺(tái)4內(nèi)無暗盒6時(shí)，發(fā)射光強(qiáng)度不夠，或通過鏡面3反射回去 的方向錯(cuò)位，或接收端靈敏度等問題，接收端接收不到紅外光，紅外發(fā)射接收 一體機(jī)1會(huì)輸出一個(gè)錯(cuò)誤的低電平信號(hào)"0"，機(jī)臺(tái)就認(rèn)為載物臺(tái)4上已有暗盒6 準(zhǔn)備就緒；當(dāng)載物臺(tái)4上放有暗盒6時(shí)，發(fā)射光強(qiáng)度過大，或散射角度過大直 接通過晶片發(fā)射回接收端，紅外發(fā)射接收一體機(jī)1會(huì)輸出一個(gè)錯(cuò)誤的高電平信 號(hào)"1"，機(jī)臺(tái)認(rèn)為載物臺(tái)4上無暗盒6。發(fā)生誤報(bào)情況后需對發(fā)射接收一體機(jī)1進(jìn)行調(diào)試，由于發(fā)射接收一體機(jī)1 只能調(diào)整發(fā)射角度及接收靈敏度，發(fā)射光強(qiáng)度不可調(diào)，在調(diào)整過程中，會(huì)因?yàn)?br>
對低電平"0"錯(cuò)誤信號(hào)的調(diào)整，導(dǎo)致高電平"1"錯(cuò)誤信號(hào)的產(chǎn)生，且由于不 同的暗盒6對紅外光反射角度、強(qiáng)度等效果的不同，使得發(fā)射接收一體機(jī)1接 收效果產(chǎn)生差異，給調(diào)整帶來困難。
且頻繁的錯(cuò)誤偵測信號(hào)會(huì)造成機(jī)臺(tái)服務(wù)器端(SemiAuto Server)的記錄信 號(hào)阻塞而死機(jī)，嚴(yán)重降低生產(chǎn)效率，需要員工去處理錯(cuò)誤信號(hào)，增加了員工的 工作量。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的使提供一種用于物理氣相沉積設(shè)備的紅外傳感結(jié)構(gòu)的改 進(jìn)，可縮短光線行程，從而減少散射面積，可對信號(hào)進(jìn)行單獨(dú)調(diào)整，避免互相 影響，提高了檢測準(zhǔn)確度，提高生產(chǎn)效率，延長傳感器的使用壽命，降低了生 產(chǎn)成本，且結(jié)構(gòu)簡單，易安裝。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明釆用了如下的技術(shù)方案
一種用于物理氣相沉積設(shè)備的紅外傳感結(jié)構(gòu)，包括機(jī)臺(tái)、紅外傳感裝置及 一可移動(dòng)的暗盒，，紅外傳感裝置采用對射式傳感裝置，包括對應(yīng)設(shè)置的紅外發(fā) 射機(jī)與紅外接收機(jī)；紅外發(fā)射機(jī)、紅外接收機(jī)與機(jī)臺(tái)連接，當(dāng)暗盒放置于機(jī)臺(tái) 內(nèi)時(shí)，紅外發(fā)射機(jī)與紅外接收機(jī)之間的紅外光被阻擋。
紅外發(fā)射機(jī)與紅外接收機(jī)豎直對應(yīng)設(shè)置。本發(fā)明采用此結(jié)構(gòu)，保證了紅外 光在機(jī)臺(tái)內(nèi)行程最短，從而可減少散射面積，降低誤報(bào)機(jī)率。
上述機(jī)臺(tái)頂部和底部對應(yīng)位置設(shè)置有一對清空孔，上述紅外發(fā)射機(jī)、紅外 接收機(jī)分別設(shè)置在上述一對清空孔中。本發(fā)明采用此結(jié)構(gòu)，安裝時(shí)對原有結(jié)構(gòu) 改變不大，方便安裝，調(diào)整紅外發(fā)射機(jī)、紅外接收機(jī)時(shí)更為方便，
上述機(jī)臺(tái)具有一載物臺(tái)，上述暗盒放置在該載物臺(tái)上，該載物臺(tái)與上述紅 外發(fā)射機(jī)、紅外接收機(jī)對應(yīng)的位置具有一用于供紅外光穿過的通孔。本發(fā)明采 用此結(jié)構(gòu)，確保紅外光在機(jī)臺(tái)內(nèi)有不被遮擋的路徑。
本發(fā)明用于物理氣相沉積設(shè)備的紅外傳感結(jié)構(gòu)，由于采用了對射式光電傳感器，避免了散射光成為反射信號(hào)，提高了探測精確度，而且發(fā)射光角度及接 收靈敏度均可以調(diào)整，在調(diào)整過程中，對高低電平信號(hào)進(jìn)行單獨(dú)調(diào)整，避免了 相互影響，減少了誤報(bào)的可能性，提高了機(jī)臺(tái)生產(chǎn)效率。由于發(fā)射接收靈敏度 可單獨(dú)調(diào)解，可實(shí)現(xiàn)微電流對紅外傳感設(shè)備的驅(qū)動(dòng)，從而延長了紅外傳感設(shè)備
的使用壽命，理論壽命可達(dá)到原有傳感設(shè)備的io倍以上，降低設(shè)備的維護(hù)成本。
且本結(jié)構(gòu)對原有機(jī)臺(tái)的改進(jìn)不大，結(jié)構(gòu)簡單，易安裝。
為讓本發(fā)明上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí) 施例，并配合附圖，作詳細(xì)說明如下。
圖1為現(xiàn)有的機(jī)臺(tái)中的載物臺(tái)未裝載暗盒時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖2為現(xiàn)有的機(jī)臺(tái)中的載物臺(tái)裝載暗盒后的結(jié)構(gòu)示意圖3為本發(fā)明提出的一種用于物理氣相沉積設(shè)備的紅外傳感結(jié)構(gòu)優(yōu)選實(shí)施 例中的載物臺(tái)轉(zhuǎn)載暗盒后的結(jié)構(gòu)示意圖4為為本發(fā)明提出的一種用于物理氣相沉積設(shè)備的紅外傳感結(jié)構(gòu)優(yōu)選實(shí) 施例中的載物臺(tái)未轉(zhuǎn)載暗盒的結(jié)構(gòu)示意圖5為載物臺(tái)的俯視圖中，l為紅外發(fā)射接收一體機(jī)，2為清空孔(clearport)， 3為載物臺(tái)上 的反射面(mirror), 4為載物臺(tái)(stage), 5為變址器(indexer)， 6為暗盒 (cassette), 7為紅外發(fā)射機(jī)，8為紅外接收機(jī)，9為通孔。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明提出的一種用于物理氣相沉積設(shè)備的紅外傳感結(jié)構(gòu)優(yōu)選實(shí)施例如圖 3、圖4所示，圖中，在機(jī)臺(tái)的頂部清空孔2外側(cè)設(shè)置紅外發(fā)射機(jī)7，在機(jī)臺(tái)的 底部清空孔2外側(cè)設(shè)置紅外接收機(jī)8，紅外發(fā)射機(jī)7與紅外接收機(jī)8豎直對應(yīng)， 確保紅外光在接收機(jī)與發(fā)射機(jī)間行程最短。變址器5安裝于機(jī)臺(tái)底部，在變址 器5上端設(shè)有載物臺(tái)4，載物臺(tái)4左側(cè)豎直方向設(shè)有通孔9，該通孔9位置對應(yīng) 于發(fā)射機(jī)7及接收機(jī)8，紅外光可透過此通孔9。工作狀態(tài)下，當(dāng)載物臺(tái)4上沒有裝載暗盒6時(shí)，紅外發(fā)射機(jī)7發(fā)射出的紅 外光通過載物臺(tái)4上的通孔，被紅外接收機(jī)8所探測，此時(shí)紅外接收機(jī)8會(huì)輸 出一個(gè)高電平信號(hào)"l"，機(jī)臺(tái)認(rèn)為載物臺(tái)4上無暗盒6;當(dāng)載物臺(tái)4上裝載暗盒 6時(shí)，紅外發(fā)射機(jī)7發(fā)射出的紅外光被暗盒6攔截散發(fā)開，紅外接收機(jī)8接收不 到光線或強(qiáng)度很弱，此時(shí)紅外接收機(jī)8輸出一個(gè)低電平信號(hào)"0"，機(jī)臺(tái)認(rèn)為暗 盒6己經(jīng)準(zhǔn)備就緒。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非因此限定本發(fā)明的專利保護(hù)范圍， 故凡運(yùn)用本發(fā)明的說明書及圖示內(nèi)容所謂的等效結(jié)構(gòu)變化，或直接或間接運(yùn)用 于其他相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域均同理皆包含于本發(fā)明所涵蓋之范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種用于物理氣相沉積設(shè)備的紅外傳感結(jié)構(gòu)，包括機(jī)臺(tái)、紅外傳感裝置及一可移動(dòng)的暗盒，其特征在于，紅外傳感裝置采用對射式傳感裝置，包括對應(yīng)設(shè)置的紅外發(fā)射機(jī)與紅外接收機(jī)；紅外發(fā)射機(jī)、紅外接收機(jī)與機(jī)臺(tái)連接，當(dāng)暗盒放置于機(jī)臺(tái)內(nèi)時(shí)，紅外發(fā)射機(jī)與紅外接收機(jī)之間的紅外光被阻擋。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的紅外傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于，紅外發(fā)射機(jī)與紅外 接收機(jī)豎直對應(yīng)設(shè)置。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紅外傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于，上述機(jī)臺(tái)頂部和底部對應(yīng)位置設(shè)置有一對清空孔，上述紅外發(fā)射機(jī)、紅外接收機(jī)分別設(shè)置在 上述一對清空孔中。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的紅外傳感結(jié)構(gòu)，其特征在于，上述機(jī)臺(tái)具有一載 物臺(tái)，上述暗盒放置在該載物臺(tái)上，該載物臺(tái)與上述紅外發(fā)射機(jī)、紅外接收機(jī) 對應(yīng)的位置具有一用于供紅外光穿過的通孔。
全文摘要
本發(fā)明提供一種用于物理氣相沉積設(shè)備的紅外傳感結(jié)構(gòu)，針對現(xiàn)有技術(shù)探測準(zhǔn)確度低，調(diào)整困難等問題而發(fā)明，包括機(jī)臺(tái)、紅外傳感裝置及一可移動(dòng)的暗盒，紅外傳感裝置采用對射式傳感裝置，包括對應(yīng)設(shè)置的紅外發(fā)射機(jī)與紅外接收機(jī)；紅外發(fā)射機(jī)、紅外接收機(jī)與機(jī)臺(tái)連接，當(dāng)暗盒放置于機(jī)臺(tái)內(nèi)時(shí)，紅外發(fā)射機(jī)與紅外接收機(jī)之間的紅外光被阻擋；紅外發(fā)射機(jī)與紅外接收機(jī)豎直對應(yīng)設(shè)置。本發(fā)明提高了探測精確度減少了誤報(bào)的可能性，提高了機(jī)臺(tái)生產(chǎn)效率延長了紅外傳感設(shè)備的使用壽命，理論壽命可達(dá)到原有傳感設(shè)備的10倍以上，降低設(shè)備的維護(hù)成本。且本結(jié)構(gòu)對原有機(jī)臺(tái)的改進(jìn)不大，結(jié)構(gòu)簡單，易安裝。
文檔編號(hào)C23C14/52GK101298661SQ20071010203
公開日2008年11月5日 申請日期2007年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月30日
發(fā)明者賴學(xué)明 申請人:和艦科技(蘇州)有限公司