專利名稱：拋光液自動(dòng)滴液裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光電子學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，涉及半導(dǎo)體激光器熱沉拋光的自動(dòng)滴液裝置。
背景技術(shù)：
目前，高功率半導(dǎo)體激光線陣和疊陣所面臨的主要問(wèn)題是其低的性能價(jià)格比，即激光線陣、疊陣的性能低(功率、效率、可靠性和穩(wěn)定性、一致性等)，而制作成本(即售價(jià))卻很高，這在很大程度上限制了其實(shí)際應(yīng)用。激光線陣和疊陣的性能除與外延材料有關(guān)以外，還與激光線陣和疊陣的散熱有很大關(guān)系，如熱沉平整度和光潔度等工藝有著密切的關(guān)系。
目前國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體激光線陣、疊陣熱沉在拋光時(shí)普遍采用手工滴液方式。手工滴液方式即將配好的拋光液放在燒杯內(nèi)，人工用料勺將拋光液緩緩滴入拋光臺(tái)面。手工滴液方式存在的缺點(diǎn)是滴入的拋光液量多少不勻，速度大小不均，導(dǎo)致熱沉平整度和光潔度較差，很容易出現(xiàn)一套熱沉高低不平，造成焊接完的bar條不能與熱沉均勻接觸，使激光線陣、疊陣的穩(wěn)定性、可靠性和壽命都受到嚴(yán)重影響；手工滴液方式注入拋光液的工藝大大降低了生產(chǎn)效率，提高了熱沉成本。
發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)手工滴液方式滴入的拋光液量多少不勻，速度大小不均等，導(dǎo)致熱沉平整度和光潔度較差，造成焊接完的bar條不能與熱沉均勻接觸，使激光線陣、疊陣的穩(wěn)定性、可靠性和壽命都受到嚴(yán)重影響的問(wèn)題，和生產(chǎn)效率低、成本高的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種拋光液自動(dòng)滴液裝置，將拋光液裝在盛液瓶中，利用控制閥來(lái)控制拋光液滴定的速度和流量，使拋光液流量和滴液速度均勻，以提高熱沉平整度和光潔度，從而提高激光線陣、疊陣的穩(wěn)定性、可靠性和壽命，提高生產(chǎn)效率，降低成本。
本發(fā)明包括盛液瓶1，導(dǎo)液管2，一級(jí)控制閥3，真空氣囊4，二級(jí)控制閥5；盛液瓶1固定在自動(dòng)拋光機(jī)支桿上，盛液瓶1的瓶底與導(dǎo)液管2連接，導(dǎo)液管2與一級(jí)控制閥3連接，一級(jí)控制閥3與真空氣囊4連接，真空氣囊4與二級(jí)控制閥5連接，二級(jí)控制閥5固定聯(lián)接在拋光機(jī)的與拋光工件盤(pán)相連的支架上。
為了保證熱沉拋光面能夠達(dá)到所需的光潔度，而又不至造成拋光液浪費(fèi)，在使用本發(fā)明進(jìn)行滴液前，首先應(yīng)通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)確定一級(jí)控制閥和二級(jí)控制閥打開(kāi)的程度和拋光及滴液的時(shí)間，使拋光液在確定的拋光及滴液時(shí)間內(nèi)按一定的速度和流量通過(guò)二級(jí)控制閥滴出。
在使用本發(fā)明控制拋光液速度和流量對(duì)熱沉進(jìn)行拋光時(shí)，需要將拋光的熱沉牢固的粘在拋光工件盤(pán)上，在拋光工件盤(pán)與拋光托接觸良好的情況下進(jìn)行減薄拋光操作；一級(jí)控制閥和二級(jí)控制閥必須按通過(guò)實(shí)驗(yàn)確定好速度和流量滴液。其特點(diǎn)包括以下步驟將需要拋光的熱沉牢固的粘在拋光工件盤(pán)上，拋光工件盤(pán)與拋光托保持良好的接觸；將固定在拋光機(jī)支桿上的盛液瓶中倒入拋光液；按照實(shí)驗(yàn)確定的一級(jí)控制閥和二級(jí)控制閥打開(kāi)的程度打開(kāi)一級(jí)控制閥和二級(jí)控制閥，使拋光液能夠按確定好的速度和流量滴出；打開(kāi)自動(dòng)拋光機(jī)總開(kāi)關(guān)，拋光工件盤(pán)與拋光托轉(zhuǎn)動(dòng)，并產(chǎn)生振動(dòng)，使拋光液在盛液瓶中振蕩形成均勻混合液，混合液通過(guò)導(dǎo)液管和一級(jí)控制閥流入真空氣囊，經(jīng)過(guò)真空氣囊進(jìn)一步控制流量后，再通過(guò)二級(jí)控制閥以預(yù)先確定好的速度和流量滴出，在拋光及滴液時(shí)間達(dá)到通過(guò)實(shí)驗(yàn)確定的時(shí)間后，關(guān)閉拋光機(jī)總開(kāi)關(guān)，取出熱沉。
有益效果本發(fā)明利用控制閥來(lái)控制拋光液滴定的速度和流量，拋光液流量和滴液速度均勻，提高了熱沉平整度和光潔度，從而提高了激光線陣、疊陣的穩(wěn)定性、可靠性和壽命，提高了生產(chǎn)效率，降低了成本。由于拋光液在盛液瓶中振蕩形成均勻混合液，進(jìn)一步提高了熱沉平整度和光潔度；并且拋光液混合均勻使滴定時(shí)裝置不易堵塞。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作成本低、生產(chǎn)效率高的特點(diǎn)，適用于高功率半導(dǎo)體激光線陣、疊陣熱沉的制作。
圖1是本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖，也是摘要附圖。圖中1、盛液瓶，2、導(dǎo)液管，3、一級(jí)控制閥，4、真空氣囊，5、二級(jí)控制閥。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說(shuō)明盛液瓶1采用塑料瓶，其底部通過(guò)膠塞與導(dǎo)液管2的上端連接；導(dǎo)液管2采用直徑為0.4厘米～0.7厘米的塑料管，其下端套在一級(jí)控制閥3的進(jìn)液口上；一級(jí)控制閥3采用手動(dòng)閥，其出液口通過(guò)一段同導(dǎo)液管相同的塑料管與真空氣囊4連接；真空氣囊4采用長(zhǎng)為3厘米～5厘米、直徑為1.5厘米～2厘米的一段膠管或塑料管，其下端通過(guò)一段同導(dǎo)液管相同的塑料管與二級(jí)控制閥5的進(jìn)液口連接，二級(jí)控制閥5亦采用手動(dòng)閥。二級(jí)控制閥5用長(zhǎng)條形物品固定在拋光機(jī)的與拋光工件盤(pán)相連的支架上。一級(jí)控制閥3和二級(jí)控制閥5打開(kāi)的程度對(duì)應(yīng)于手柄轉(zhuǎn)動(dòng)的角度，即拋光液滴液的速度和流量對(duì)應(yīng)于手柄轉(zhuǎn)動(dòng)的角度，手柄轉(zhuǎn)動(dòng)的角度越大，滴液的速度和流是越大。
權(quán)利要求
1.一種拋光液自動(dòng)滴液裝置，其特征在于包括盛液瓶(1)，導(dǎo)液管(2)，一級(jí)控制閥(3)，真空氣囊(4)，二級(jí)控制閥(5)；盛液瓶(1)固定在自動(dòng)拋光機(jī)支桿上，盛液瓶(1)的瓶底與導(dǎo)液管(2)連接，導(dǎo)液管(2)與一級(jí)控制閥(3)連接，一級(jí)控制閥(3)與真空氣囊(4)連接，真空氣囊(4)與二級(jí)控制閥(5)連接，二級(jí)控制閥(5)固定聯(lián)接在拋光機(jī)的與拋光工件盤(pán)相連的支架上。
全文摘要
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體光電子學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種拋光液自動(dòng)滴液裝置，其采用的技術(shù)方案盛液瓶固定在自動(dòng)拋光機(jī)支桿上，盛液瓶的瓶底與導(dǎo)液管連接，導(dǎo)液管與一級(jí)控制閥連接，一級(jí)控制閥與真空氣囊連接，真空氣囊與二級(jí)控制閥連接，二級(jí)控制閥固定聯(lián)接在拋光機(jī)的與拋光工件盤(pán)相連的支架上。本發(fā)明將拋光液裝在盛液瓶中，利用控制閥來(lái)控制拋光液滴定的速度和流量，使拋光液流量和滴液速度均勻，提高了熱沉平整度和光潔度，從而提高了激光線陣、疊陣的穩(wěn)定性、可靠性和壽命，提高了生產(chǎn)效率，降低了成本。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、制作成本低、生產(chǎn)效率高的特點(diǎn)，適用于高功率半導(dǎo)體激光線陣、疊陣熱沉的制作。
文檔編號(hào)B24B57/02GK101073881SQ200710055788
公開(kāi)日2007年11月21日 申請(qǐng)日期2007年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月20日
發(fā)明者劉云, 張彪, 王立軍, 王祥鵬, 王超 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所