專利名稱：集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法。
通常大都采用整圈線材置于真空的熱處理爐內(nèi)進(jìn)行或者采用普通溫度控制器控制的管道連續(xù)熱處理，這樣不僅使內(nèi)外線體的一致性差，而且加熱溫度和保溫時間很難控制，普通溫控器和受熱加熱器的熱慣性較大，當(dāng)需要設(shè)定溫度為300℃時，儀表和加熱器的正常誤差大于±20℃，這樣大范圍的溫度變動對溫度十分敏感的鋁硅鍵合線熱處理是十分不利的，無法保證產(chǎn)品的批次一致性。
本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是具有電壓調(diào)整器、溫度傳感器、可控硅溫度控制器、管形隧道電加熱裝置、放線系統(tǒng)、收線調(diào)速系統(tǒng)。利用經(jīng)放線器后的單絲連續(xù)通過恒溫管形隧道，收線調(diào)速機構(gòu)以一定的速度連續(xù)放收，采用不同的行線速度和加熱溫度，實現(xiàn)對不同規(guī)格的絲材進(jìn)行連續(xù)熱處理。
權(quán)利要求
1.一種集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法，其特征在于具有電壓調(diào)整器、溫度傳感器、可控硅溫度控制器、管形隧道電加熱裝置、放線系統(tǒng)、收線調(diào)速系統(tǒng)，利用經(jīng)放線系統(tǒng)后的單絲連續(xù)通過恒溫管形隧道電加熱裝置，收線調(diào)速系統(tǒng)以一定的速度連續(xù)放收，采用不同的行線速度和加熱溫度，實現(xiàn)對不同規(guī)格的絲材進(jìn)行連續(xù)熱處理。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法，其特征在于所述集成電路鍵合線是集成電路鍵合用鋁-1％硅細(xì)絲。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法，其特征在于所述熱處理方法為恒溫管形隧道的在線連續(xù)處理方法。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法，其特征在于所述恒溫管形隧道的材料包括石英玻璃管、耐高溫玻璃管、耐熱不銹鋼等，所涉及恒溫管形隧道的直徑為10-60mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法，其特征在于所述可控硅電壓調(diào)整器，溫度控制器為可控硅給定式溫控儀，驅(qū)動可控硅為雙向可控硅。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路鍵合線的連續(xù)熱處理高精度溫控方法，其特征在于所述電加熱器為普通鎳鉻直絲均勻螺旋地纏繞在管外。
全文摘要
本發(fā)明是由電壓調(diào)整器、溫度傳感器、可控硅溫度控制器、管形隧道電加熱裝置、放線系統(tǒng)、收線系統(tǒng)組成。主要特征當(dāng)放線系統(tǒng)的線材通過管型隧道電加熱裝置時，由電壓調(diào)整器對管型隧道加熱器一個特定的加熱功率特性進(jìn)行粗調(diào)，在溫度傳感器信號輸入給可控硅溫控器時，溫控器在設(shè)定特性和輸入信號的比較下，由溫控器控制可控硅對加熱器進(jìn)行電壓精密微調(diào)，達(dá)到加熱能量與耗熱能量的平衡。當(dāng)放線、收線與溫度達(dá)到最佳工藝點時，達(dá)到恒溫、恒速、恒力學(xué)性能的目的，保持產(chǎn)品批次的一致性。
文檔編號C21D9/56GK1392282SQ0213805
公開日2003年1月22日 申請日期2002年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2002年8月2日
發(fā)明者黃國興, 趙偉旦 申請人:黃國興