技術(shù)特征：
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種Low?k材料激光去除工藝及其設(shè)備，采用雙光束激光分別聚焦后進(jìn)行加工，一束激光整形成平頂光，對(duì)材料中間進(jìn)行平滑加工，另外一束激光分成兩個(gè)獨(dú)立光點(diǎn)，對(duì)切割道兩邊進(jìn)行修邊。由此，將一束激光分成兩束，分別進(jìn)行整形和聚焦，其中一束用來(lái)加工中間區(qū)域去除中間部分，另外一束用來(lái)加工兩邊，確保加工的底部形貌是平坦的分布，提高加工效果和產(chǎn)品良率。
技術(shù)研發(fā)人員：施心星;韓偉;邵西河
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州鐳明激光科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.19
技術(shù)公布日：2017.07.18